KR20020077887A

KR20020077887A - 핀치 밸브

Info

Publication number: KR20020077887A
Application number: KR1020027009285A
Authority: KR
Inventors: 후루카와시게노부; 하마다다케시
Original assignee: 아사히 유키자이 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2000-12-05
Filing date: 2001-12-05
Publication date: 2002-10-14
Also published as: CN1396995A; EP1253360A4; CN1201105C; CA2396807C; DE60112893D1; DE60112893T2; KR100459523B1; WO2002046648A1; CA2396807A1; TW505757B; US6755388B2; EP1253360A1; US20030010946A1; EP1253360B1

Abstract

본 발명의 핀치 밸브는, 탄성 튜브 본체(1)와, 실린더부(2) 및 실린더 커버(3)를 구비하는 실린더 본체(4)와, 실린더 본체의 내주면과 미끄럼 가능하게 접촉하는 피스톤(11)과, 피스톤으로부터 현수된 연결부(13)에 부착된 가압자(15)와, 튜브 본체(1)를 수용하기 위한 홈(17)을 가지며 실린더 본체에 연결되는 본체(16)와, 본체 내의 홈과 결합하며 튜브 본체(1)를 수용하기 위한 관통 구멍(26)을 구비하는 한 쌍의 연결 본체 캐리어(20)와, 피스톤(11)의 상부 및 하부면에 형성된 제 1 및 제 2 공간부(8, 7), 및 제 1 및 제 2 공간부(8, 7)와 각각 연통하는 한 쌍의 공기 포트(10, 9)를 포함하며, 전체 밸브가 콤팩트하게 형성된다.

Description

핀치 밸브{Pinch valve}

종래, 다양한 핀치 밸브가 제안되어 왔으며, 그 일례가 일본 실공소 45-3264호에 개시되어 있다. 상기 공보에 따르면, 도 27 및 도 28에 도시한 바와 같이, 레그대(37)와 레그 로드(38)로 구성된 레그 부재(39) 상의 실린더(40)에 고정된 두 개의 상측 및 하측 피스톤(41, 42)에 있어서, 상측 피스톤(41)은 샤프트 로드(43)의 상단부에 고정되며, 하측 피스톤(42)은 샤프트 로드(43) 상에 느슨하게 고정된 파이프 샤프트(44)의 상단부에 고정된다. 파이프 샤프트(44)의 하부 부분에는, 연결 바아(46)를 통해 하측 가압자(47)에 고정되어 있는 날개부(45)가 제공된다. 반면, 상측 가압자(48)는 샤프트 로드(43)의 하단부에 고정되어 있다. 또한, 유로의 양 단부에 고정된 플랜지(49)와 레그 부재(39) 사이에 걸쳐 있는 두 개의 횡방향 로드(50)에 의해 지지된 밸브 튜브 본체(51)의 중앙부는 상측 및 하측 가압자(48, 47)에 의해 가압되며, 다음, 피스톤(41, 42)에 연결되어 있는 상측 및 하측가압자(48, 47)는 실린더(40) 내의 구멍(52, 53, 54)으로 압축 공기를 적절하게 압입함으로써 대칭적으로 상하 운동하여, 밸브 튜브 본체(51)가 개폐된다.

현재, 다양한 배관 및 제어 기기들이 배치되어 있으며 복잡한 배관 설계가 수행되는 반도체 제조용 장치에 있어서, 장치 자체를 콤팩트화하는 것이 요구되고 있다. 그 결과, 장치의 배관에 사용되는 핀치 밸브는 공간을 절약하기 위해 콤팩트화 되어야 하며, 따라서 장치에 사용되는 핀치 밸브를 콤팩트화하는 것이 중요한 과제이다. 또한, 미소 유량을 조절할 수 있는 핀치 밸브가 요구된다.

그러나, 상술한 핀치 밸브에 있어서, 구동부와 밸브 본체가 개별 부품으로서 구성되어 있으며, 레그 부재(39), 레그대(37) 및 날개부(45)가, 유로인 밸브 튜브 본체(51)와 실린더(40) 사이에 제공되어 있기 때문에, 밸브의 전체 높이는 매우 크며 따라서 밸브가 콤팩트화될 수 없다. 따라서, 상기 핀치 밸브는 반도체 제조 장치의 배관 내의 핀치 밸브로서 사용될 수 없다. 또한, 이러한 구조의 핀치 밸브에 있어서, 밸브 튜브 본체의 개방도를 임의적으로 조절하는 것이 어렵기 때문에, 미소 유량의 조절이 수행될 수 없다.

본 발명은 화학 공장, 반도체 제조, 식품 가공, 생물 공학 등과 같은 다양한 산업 분야에서 유체 수송용 배관에 사용되는 핀치 밸브에 관한 것이며, 특히 콤팩트하며 밸브의 개폐 중에 튜브 본체에 대한 손상을 완화하는 핀치 밸브에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1 양태에 따른 핀치 밸브의 제 1 실시예의 폐쇄 상태를 도시하는 종단면도.

도 2는 측면(유로 방향)에서 도 1을 도시하는 종단면도.

도 3은 도 2의 개방 상태를 도시하는 종단면도.

도 4는 도 1의 실린더 본체의 저면도.

도 5는 도 1의 본체의 평면도.

도 6은 고정 볼트, 피스톤 및 가압자의 전개 정면도.

도 7은 도 1의 연결 본체 캐리어의 종방향 단면도.

도 8은 도 7의 연결 본체의 우측면도.

도 9는 본 발명의 제 1 양태에 따른 핀치 밸브의 제 2 실시예의 폐쇄 상태를도시하는 종단면도.

도 10은 측면(유로 방향)에서 본 도 9의 핀치 밸브의 종단면도.

도 11은 도 10의 개방 상태를 도시하는 종단면도.

도 12는 본 발명의 제 1 양태에 따른 핀치 밸브의 제 3 실시예의 개방 상태를 도시하는 종단면도.

도 13은 측면(유로 방향)에서 도 12의 핀치 밸브를 도시하는 종방향 단면도.

도 14는 도 13의 폐쇄 상태를 도시하는 종단면도.

도 15는 본 발명의 제 2 양태에 따른 핀치 밸브의 제 1 실시예의 폐쇄 상태를 도시하는 종방향 단면도.

도 16은 측면(유로 방향)에서 도 15를 도시하는 종단면도.

도 17은 도 15의 개방 상태를 도시하는 종단면도.

도 18은 도 16의 개방 상태를 도시하는 종단면도.

도 19는 핀치 밸브가 중간 정도로 개방되도록 조절되어 있는 상태를 도시하는 종단면도.

도 20은 도 19의 개방 상태를 도시하는 종단면도.

도 21은 도 15의 실린더 본체의 저면도.

도 22는 도 15의 본체의 평면도.

도 23은 도 15의 연결 본체 캐리어의 종단면도.

도 24는 도 23의 연결 본체 캐리어의 우측면도.

도 25는 고정 볼트, 피스톤 및 가압자의 전개 사시도.

도 26은 핸들, 연결 바아, 스프링 캐리어 및 스프링의 전개 사시도.

도 27은 종래의 핀치 밸브의 종단면도.

도 28은 종래의 핀치 밸브의 부분 절개 정면도.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 문제점들을 감안하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 종래의 핀치 밸브와 비교할 때 전체 높이가 낮고, 콤팩트하며, 밸브의 개폐 중에 장치에 배관되는 튜브 본체의 내구성을 현저하게 향상시키며, 미소 유량을 조절할 수 있는 핀치 밸브를 제공하는 것이다.

상기 목적을 성취하기 위해, 광범위한 연구 결과, 본 발명자들은 구동부와밸브 본체를 일체로 구성함으로써 핀치 밸브를 매우 콤팩트하게 할 수 있다는 것을 발견하였다. 즉, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 구성을 설명하면, 본 발명의 제 1 양태에 따른 핀치 밸브는, 탄성체로 형성된 튜브 본체(1)와, 내부에 실린더부(2)를 가지며 상부 부분에서 디스크형 실린더 커버(3)에 접합되어 있는 실린더 본체(4)와, 상기 실린더부(2)의 내주면에서 밀봉 상태로 상하로 미끄럼 이동 가능하며 상기 실린더 본체(4)의 하부면의 중앙에 제공된 관통 구멍(5)에 밀봉 상태로 관통하도록 상기 피스톤의 하부면의 중앙으로부터 현수되어 있는 연결부(13)를 구비하는 피스톤(11)과, 상기 피스톤(11)의 연결부(13)의 하단부에 부착되며 유로의 축에 수직으로 실린더 본체(4)의 저부면에 제공된 타원형 슬릿(6) 내에 수용되는 가압자(15)와, 상기 실린더 본체(4)의 하부 단부면에 부착 및 접합되며 상기 유로의 축 상에서 튜브 본체(1)를 수용하기 위한 홈(17)과 상기 홈(17)의 양 단부 상에 배치되는 연결 본체 캐리어(20)를 수용하며 상기 홈(17) 보다 깊은 홈(18)을 구비하는 본체(16)와, 캐리어(20)의 한 단부에서 본체(16)의 홈(18) 내에 고정되는 고정부(21)와 상기 캐리어(20)의 다른 단부의 내부면 상에 제공된 연결 본체 캐리어 포트(23)를 각각 구비하며 상기 튜브 본체(1)를 수용하기 위한 관통 구멍(26)을 구비하는 한 쌍의 연결 본체 캐리어(20), 및 상기 실린더 본체(4)의 주측면(周側面) 상에 제공되며 상기 실린더부(2)의 저부면과 내주면 및 상기 피스톤(11)의 하부 단부면에 의해 둘러싸인 제 1 공간부(7)와 연통하며 상기 실린더 커버(3)의 하부 단부면과 상기 실린더부(2)의 내주면 및 상기 피스톤(11)의 상부면에 의해 둘러싸인 제 2 공간부(8)와 연통하는 한 쌍의 공기 포트(9, 10)를 포함하는 것을 특징으로한다.

또한 제 1 양태에 따른 핀치 밸브에서, 연결 본체 캐리어(20)는 상기 연결 본체 캐리어(20)가 미끄러져 빠지는 것을 방지하기 위한 레지부(ledge)(22)를 그의 고정부(21)에 구비하며, 본체(16)는 캐리어(20)가 미끄러져 빠지는 것을 방지하기 위해 레지부(22)를 수용하기 위한 오목부(19)를 그의 홈(18)에 구비하는 것을 특징으로 한다.

게다가, 제 1 양태에 따른 핀치 밸브에서, 스프링(35)이 실린더 커버(3) 및 피스톤(11)과 접촉하는 상태에서 제 2 공간부(8)에 스프링(35)이 장착되는 것을 특징으로 하며, 또한 스프링(35)이 실린더부(2)의 저부면 및 피스톤(11)과 접촉하는 상태에서 제 1 공간부(7)에 스프링(35)이 장착되는 것을 특징으로 한다.

또한, 제 1 양태에 따른 핀치 밸브에서, 연결 본체(29)의 한 단부에서 튜브 본체(1)의 내경 보다 큰 외경으로 형성되며 상기 튜브 본체(1)에 삽입되어 연결되는 삽입부(31)와 상기 연결 본체(29)의 다른 단부에 위치된 배관 연결부(32) 및 상기 연결 본체(29)의 중앙에 위치된 플랜지부(33)를 구비하는 연결 본체(29)가, 캡 너트(34)와 플랜지부(33)를 결합하고 상기 연결 본체 캐리어(20)의 외주부에 제공된 수형 나사부(24)에 캡 너트(34)를 나사 결합함으로써 연결 본체 캐리어(20)에 고정되며 부착되는 것을 특징으로 한다.

또한, 핀치 밸브에서, 튜브 본체(1)의 재료는 EPDM, 불소 고무, 실리콘 고무 또는 상기 재료들의 복합체인 것을 특징으로 하며, 또한 상기 튜브 본체는 폴리테트라플루오로에틸렌 및 실리콘 고무의 복합체로 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 핀치 밸브의 튜브 본체(1)가 EPDM, 불소 고무, 실리콘 고무 또는 불소 고무와 실리콘 고무의 복합체와 같은 탄성체로 형성될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니지만, 불소 고무와 실리콘 고무의 복합체가 특히 적합하다.

또한, 실린더 본체(4)와 본체(16)가 금속 또는 플라스틱과 같은 강성을 갖는 재료로 형성될 수 있으며, 상기 부품들의 재료가 특별히 한정되는 것은 아니지만, PVC, PVDF 등과 같은 불소 수지 플라스틱이 특히 적합하다.

또한, 도 15 내지 도 26을 참조하여 본 발명의 제 2 양태의 구성을 설명하면, 핀치 밸브는, 내부면의 상부 부분에 개방도를 조절하기 위한 나사부(114)를 갖는 실린더부(115)와 상기 실린더부(115)의 하단부와 연통하는 공기 포트(116)를 구비하는 실린더 본체(101)와, 그 하부 부분에서 스프링을 수용하는 리세스(117)와 핸들(103)의 하부 부분의 외주부에서 개방도를 조절하기 위한 나사부(114)와 나사 결합하는 나사부(118)를 구비하는 원통형 핸들(103)과, 상기 핸들 리세스(117)의 상부 단부면과 스프링(106)을 클램핑하는 디스크형 스프링 캐리어(105)와, 상기 핸들(103)의 상부 부분과 연결 바아(104)를 결합시키고 상기 스프링 캐리어(105)에 연결 바아의 하부 단부면을 접합시킴으로써 상기 핸들(103)과 스프링 캐리어(105) 사이에 스프링(106)을 클램핑하는 연결 바아(104)와, 상기 핸들(103)의 위치를 고정시키기 위해 상기 핸들(103)의 나사부(118)에 나사 결합되는 체결 너트(110)와, 상기 실린더부(115)의 내주면에서 밀봉 상태로 상하로 미끄럼 이동 가능하며 상기 실린더 본체(101)의 하부면의 중앙에 제공된 관통 구멍(119)에 밀봉 상태로 관통하도록 상기 피스톤(107)의 중앙으로부터 현수되어 있는 연결부(120)를 구비하는 피스톤(107)과, 상기 연결부(120)의 하단부에 고정되며 유로의 축에 수직으로 상기 실린더 본체(101)의 하단부에 제공된 타원형 슬릿(121)에 수용되는 가압자(108)와, 상기 실린더 본체(101)의 하부 단부면에 접합되어 고정되며 유로의 축 상에 탄성체의 튜브 본체(109)를 수용하는 홈(129)을 구비하는 본체(102), 및 상기 본체의 양 측면에서 다른 튜브에 튜브 본체(109)를 연결하는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 제 2 양태에서, 핸들(103), 스프링 캐리어(105), 연결 바아(104) 및 스프링(106)은 연결 바아(104) 및 스프링 캐리어(105)의 내부를 관통하는 볼트(122)와 너트(123)에 의해 일체로 조립되는 것을 특징으로 한다.

게다가, 제 2 양태에서, 한 단부에서 튜브 본체(109)의 내경 보다 큰 외경을 가지며 상기 튜브 본체(109)에 삽입되어 연결되는 삽입부(124)와 연결 본체(113)의 다른 단부에 위치된 배관 연결부(125) 및 상기 연결 본체(113)의 중앙에 위치된 플랜지부(126)를 구비하는 연결 본체(113)가 연결 본체 캐리어(111)에 고정 부착되어, 캡 너트(112)와 플랜지부(126)를 결합시키고 상기 연결 본체 캐리어(111)의 외주부에 제공된 수형 나사(128)에 캡 너트(112)를 나사 결합함으로써 연결부를 구성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 제 2 양태에서, 튜브 본체(109)의 재료는 EPDM, 불소 고무, 실리콘 고무, 또는 상기 재료들의 복합체인 것을 특징으로 하며, 튜브 본체(109)는 PTFE와 실리콘 고무의 복합체로 형성되는 것을 특징으로 한다.

제 2 양태에 따른 핀치 밸브의 튜브 본체(109)가 EPDM, 불소 고무, 실리콘고무 또는 불소 고무와 실리콘 고무의 복합체로 형성되며, 상기 재료들에 특별히 한정되는 것은 아니지만, 불소 고무(예를 들면, PTFE 등)와 실리콘 고무의 복합체가 특히 적합하다.

더욱이, 실린더 본체(101), 본체(102) 및 핸들(103)은 금속 또는 플라스틱과 같이 강성을 갖는 재료로 형성되며, 상기 부품들의 재료가 특별히 한정되는 것은 아니지만, PVC, PVDF 등과 같은 불소 수지 플라스틱이 특히 적합하다.

마지막으로, 연결부를 구성하는 연결 본체(113)가 플라스틱 등과 같은 내화학성을 갖는 재료로 형성될 수 있으며, 연결 본체의 재료가 특별히 한정되는 것은 아니지만, PTFE, PVDF, PFA 등과 같은 불소 수지가 특히 적합하다.

본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 하기에 설명하겠다.

본 발명의 제 1 실시예를 설명하겠다. 그러나, 본 발명은 이러한 실시예에만 한정되는 것은 아니라는 것을 주목해야 한다. 도 1은 폐쇄 상태를 도시하는 본 발명의 제 1 양태에 따른 핀치 밸브의 실시예의 종단면도이다. 도 2는 측면(유로 방향)에서 도 1의 핀치 밸브를 도시하는 종단면도이다. 도 3은 도 2의 개방 상태를 도시하는 종단면도이다. 도 4는 도 1의 실린더 본체의 저면도이다. 도 5는 도 1의 본체의 평면도이다. 도 6은 고정 볼트, 피스톤 및 가압자의 전개 정면도이다. 도 7은 도 1의 연결 본체 캐리어의 종방향 단면도이다. 도 8은 도 7의 연결 본체의 우측면도이다. 도 9는 본 발명의 제 1 양태에 따른 핀치 밸브의 제 2 실시예의 폐쇄 상태를 도시하는 종단면도이다. 도 10은 측면(유로 방향)에서 본 도 9의 핀치 밸브의 종단면도이다. 도 11은 도 10의 개방 상태를 도시하는 종단면도이다. 도 12는 본 발명의 제 1 양태에 따른 핀치 밸브의 제 3 실시예의 개방 상태를 도시하는 종단면도이다. 도 13은 측면(유로 방향)에서 도 12의 핀치 밸브를 도시하는 종방향 단면도이다. 도 14는 도 13의 폐쇄 상태를 도시하는 종단면도이다.

본 발명의 제 1 양태에 따라 PVDF로 형성된 핀치 밸브의 제 1 실시예를 도 1 내지 도 8에 기초하여 하기에 설명한다. 도면 부호 1은 불소 고무와 실리콘 고무의 복합체로 형성되며 유체가 내부에 유동하는 튜브 본체를 나타낸다. 상기 튜브 본체(1)는 예를 들면 실리콘 고무가 함침된 PTFE 시트의 다중층을 접착 및 적층함으로써 소정의 두께로 형성된다. 튜브 본체(1)의 재료는 본 실시예에서 불소 고무와 실리콘 고무의 복합체이지만, 튜브 본체는 EPDM, 실리콘 고무, 불소 고무 또는 상기 재료들의 복합체와 같은 탄성체로 형성될 수 있으며, 특별히 한정되는 것은 아니다.

도면 부호 4는 원통형 공간을 갖는 실린더 본체(2)를 가지며 디스크형 실린더 커버(3)가 O-링을 통해 상단부에 나사 결합되는 실린더 본체를 나타낸다. 상기 실린더 본체(4)의 하부면의 중심에는, 피스톤 연결부(13) 및 가압자(15)를 수용하는 타원형 슬릿(6)이 관통하는 관통 구멍(5)이 연속적으로 제공되어 있다(도 4 참조). 또한, 실린더 본체(4)의 주측면에는, 실린더부(2)의 내주면과 저부면에 의해 규정되는 제 1 공간부(7)를 외부 공기 공급 기기(도시 않음)와 연통시키는 공기 포트(9)와, 실린더부(2)의 내주면과 실린더 커버(3)의 하부 단부면 및 피스톤(11)의 상부 단부면에 의해 규정되는 제 2 공간부(8)를 외부 공기 공급 기기와 연통시키는 다른 공기 포트(10)가 제공된다.

피스톤(11)은 디스크로서 형성되며 그의 주측면 상에 O-링(12)이 설치되며, 상기 피스톤(11)은 실린더부(2)에 고정되어 밀봉 상태에서 상하 이동한다. 피스톤 연결부(13)는 피스톤의 중앙으로부터 현수되며 실린더 본체(4)의 하부면의 중심에 제공된 관통 구멍(5)을 통과하도록 피스톤 상에 제공되며, 팁 부분에는 가압자(15)가 고정되어 있다. 또한, 가압자(15)의 고정은, 연결부(13)가 바아로서 형성되며상기 가압자는 나사 결합, 접착 또는 용접에 의해 연결부(13)의 팁 부분에 고정되도록 수행될 수 있으며, 이는 특별히 한정적인 것은 아니다.

상기 가압자(15)는, 튜브 본체(1)를 가압하기 위한 부분이 반원형 단면을 갖도록 형성된다. 또한, 가압자(15)는 유로의 축을 수직으로 교차하도록 피스톤 연결부(13)에 고정되며 밸브가 개방될 때 실린더 본체(4)의 타원형 슬릿(6) 내에 수용된다.

도면 부호 16은 볼트 및 너트 등(도시 않음)에 의해 실린더 본체(4)의 하부 단부면에 접합되며 고정되는 본체를 나타내며, 상기 본체는 유로의 축 상에 튜브 본체(1)를 수용하기 위한 직사각형 단면을 갖는 홈(17)을 구비한다. 또한, 홈(17)의 양 단부에는, 연결 본체 캐리어(20)의 고정부(21)를 수용하기 위한, 홈(17) 보다 깊은 홈(18)이 제공되며, 상기 홈(18) 내에는 상기 연결 본체 캐리어(20)의 고정부(21)의 선단부에 제공된 미끄럼 빠짐 방지용 레지부(22)를 수용하기 위한 오목 홈(19)이 제공된다.

도 7에 도시한 바와 같이, 연결 본체 캐리어(20)의 한 단부에는 본체(16)의 단부에 제공된 홈(18) 내에 고정되는 직사각형 단면의 고정부(21)가 형성되며, 고정부(21)의 팁의 저부에는 연결 본체 캐리어(20)가 미끄려져 빠지는 것을 방지하기 위한 레지부(22)가 제공되어 있으며, 상기 레지부는 본체(16)의 홈(18)에 제공된 오목 홈(19) 내에 고정된다. 한편, 연결 본체 캐리어(20)의 다른 단부에는, 연결 본체(29)의 6각형 플랜지부(33)를 수용하기 위한 6각형 단면을 갖는 수용 개구(23)가 제공되어 있으며, 상기 개구의 단면은 개구(23)의 단면과 동일하며, 연결 본체캐리어(20)의 외주부에는 수형 나사부(24)가 제공된다. 상기 수형 나사부(24)와 고정부(21) 사이에 배치된 외주부에는 고정부(21)의 대각선 길이와 거의 동일한 직경을 갖는 환형 플랜지부(25)가 제공된다. 플랜지부(25)는 실린더 본체(4) 및 본체(16)와 접촉되며, 실린더 본체 캐리어(20)가 상기 양 본체들의 내부를 향해 이동하는 것을 방지한다. 연결 본체 캐리어(20)의 내부에는, 튜브 본체(1)의 외경과 거의 동일한 직경을 갖는 관통 구멍(27)이 고정부(21)에 제공되어 있으며, 상기 관통 구멍(27)에 계속하여 수용 개구(23)와 연통하는 연결 본체(29)의 고정부(31) 상에 고정되며 확장되는, 상기 튜브 본체(1)의 외경과 거의 동일한 직경을 갖는 관통 구멍(26)이 제공되어 있다. 따라서, 도 7에 도시한 바와 같이, 단차부(28)가 연결 본체 캐리어(20) 내부에 클램핑되며 고정된다. 또한, 본 실시예에 있어서, 관통 구멍(27) 및 상기 관통 구멍(27) 보다 큰 관통 구멍(26)이 제공되어 있지만, 관통 구멍(27)만이 연결 본체 캐리어(20) 내에 제공될 수도 있다.

상기 연결 본체(29)는 내부에 유로(30)를 가지며, 그 한 단부에는 튜브 본체의 직경이 확장된 상태로 튜브 본체(1)가 고정되는 삽입부(31)가 제공되어 있으며, 다른 단부에는 다른 튜브 본체가 연결되는 배관 연결부(32)가 제공되어 있다. 연결 본체(29)의 외주부의 중앙에는, 6각형 단면의 플랜지부(33)가 제공되어 있으며, 상기 플랜지부의 직경은 연결 본체(29)의 양 단부 보다 크다. 연결 본체(29)는 연결 본체 캐리어(20)의 수용 개구(23) 내에 플랜지부(33)를 고정하고 플랜지 부분(33)과 결합된 캡 너트(34)를 상기 연결 본체 캐리어(20)의 외주부에 제공된 수형 나사부(24)에 나사 결합함으로써 피벗 불가능하게 연결 본체 캐리어(20)에 고정 부착된다.

상술한 바와 같이, 본 실시예의 핀치 밸브는, 종래의 핀치 밸브와는 달리 레그 부재, 레그대 및 날개부가 밸브 본체가 구동부와 밸브 본체 사이에 필요하지 않도록 구성되기 때문에, 밸브의 전체 높이가 낮으며, 밸브의 체적이 작으며, 따라서, 종래의 핀치 밸브와 비교할 때 매우 콤팩트화된다.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예의 핀치 밸브의 작동을 하기에 설명한다.

도 1 및 도 2에 도시한 핀치 밸브의 완전 폐쇄 상태에서, 압축 공기가 공기 포트(9)로부터 제 1 공간부(7) 내로 공급됨과 동시에 제 2 공간부(8)로부터 공기 포트(10)를 통해 배출되면, 피스톤(11)의 주측면은 실린더부(2)의 내주면 상을 미끄러지기 시작하여 상승되며, 그 결과 가압자(15)는 피스톤(11)으로부터 현수된 연결부(13)를 통해 상승한다. 최종적으로, 상기 가압자(15)의 상부 단부면은 실린더 본체(4)의 하부 단부면에 제공된 타원형 슬릿(6)의 상부 단부면에 도달하며, 피스톤(11) 및 가압자(15)의 상승이 중단되며, 핀치 밸브는 완전 개방 상태(도 3에 도시한 상태)가 된다.

도 3에 도시한 완전 개방 상태에서, 압축 공기가 공기 포트(10)로부터 제 2 공간부(8) 내로 공급됨과 동시에 제 1 공간부(7) 내의 압축 공기가 공기 포트(9)를 통해 배출되면, 피스톤은 공기압에 의해 하강되기 시작하며, 그 결과 가압자(15)가 또한 피스톤(11)으로부터 현수된 연결부(13)를 통해 하강된다. 최종적으로, 상기 피스톤(11)의 하부 단부면은 실린더부(2)의 저부면에 도달하며 피스톤(11) 및 가압자(15)의 하강이 중단되며, 핀치 밸브는 완전 폐쇄 상태(도 1 및 도 2에 도시한 상태)가 된다. 이 때, 가압자(15)의 상부 단부면은 가압자(15)가 피벗되는 것을 방지하기 위해 실린더 본체(4)의 타원형 슬릿(6) 내에 위치되도록 적용된다.

다음, 본 발명의 제 1 양태의 제 2 실시예인 역작동형(reverse operation type) 핀치 밸브를 도 9 내지 도 11에 기초하여 하기에 설명한다.

도면 부호 35는, 피스톤(11)의 상부 단부면과 실린더 커버(3)의 하부 단부면이 스프링과 접촉하는 방식으로 실린더부(2)에 장착된 스프링을 나타낸다. 본 실시예에서 하나의 스프링(35)이 장착되었지만, 스프링의 수는 필요한 압박력에 따라 증가될 수 있다.

제 2 실시예의 나머지 구성은 제 1 실시예와 유사하므로, 그 설명은 생략한다.

상기와 같이 구성된 제 2 실시예의 핀치 밸브의 작동 및 역작동 밸브로서의 작용은 하기와 같다.

도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이 핀치 밸브가 완전 폐쇄된 상태에서, 압축 공기가 공기 포트(9)로부터 제 1 공간부(7) 내로 공급되면, 상기 피스톤(11)은 스프링(35)이 압축된 상태에서 실린더부(2) 내에서 상승되기 시작하며, 그 결과 가압자(15)가 피스톤(11)으로부터 현수된 연결부(13)를 통해 상승한다. 더욱이, 상기 가압자(15)의 상승은 계속되고, 최종적으로 가압자(15)의 상부 단부면은 실린더 본체(4)의 하부 단부면에 제공된 타원형 슬릿(6)의 상부 단부면에 접촉하며, 피스톤(11) 및 가압자(15)의 상승이 중단되어, 핀치 밸브는 완전 개방 상태(도 11에 도시한 상태)가 된다.

한편, 도 11에 도시한 핀치 밸브의 완전 개방 상태에서, 제 1 공간부(7) 내의 압축 공기가 공기 포트(9)를 통해 대기 중으로 배출되면, 스프링(35)에 접촉된 피스톤(11)은 스프링(35)의 반발력에 의해 하강되기 시작하며, 그 결과 가압자(15)는 피스톤(11)으로부터 현수된 연결부(13)를 통해 하강한다. 최종적으로, 피스톤(11)의 하부 단부면은 실린더부(2)의 저부면에 도달하며, 피스톤(11) 및 가압자(15)의 하강이 중단되어, 핀치 밸브는 완전 폐쇄 상태(도 9 및 도 10에 도시한 상태)가 된다.

다음, 본 발명의 제 1 양태의 제 3 실시예인 정작동형(normal operation type) 핀치 밸브를 도 12 내지 도 14에 기초하여 하기에 설명한다.

본 실시예에서, 스프링(35)은 피스톤(11)의 하부 단부면과 실린더부(2)의 저부면에 의해 유지된 상태로, 실린더부(2)의 내부에 장착된다. 실린더부(2)의 상부 영역에는, 전체 원주에 걸쳐 스토퍼부(36)가 제공되어 피스톤(11)의 하한을 설정하고 있다. 본 실시예에서는 하나의 스프링(35)이 장착되었지만, 장착되는 스프링의 수는 필요한 압박력에 따라 증가될 수 있다.

제 3 실시예의 나머지 구성은 제 1 실시예와 유사하므로, 그 설명은 생략한다.

상기와 같이 구성된 제 3 실시예의 핀치 밸브의 작동 및 정작동 밸브로서의 작용은 하기와 같다.

핀치 밸브가 도 12 및 도 13에 도시한 완전 개방 상태에 있을 때 압축 공기가 공기 포트(10)로부터 제 2 공간부(8) 내로 공급되면, 피스톤(11)은 공기압에 의해 스프링(35)이 압축된 상태로 실린더부(2) 내에서 하강하기 시작하며, 그 결과 가압자(15)는 피스톤(11)으로부터 현수된 연결부(13)를 통해 하강한다. 상기 피스톤(11)은 하강을 계속하며, 최종적으로 피스톤(11)의 하부 단부면이 스토퍼부(36)에 도달하여 피스톤(11) 및 가압자(15)의 하강이 중단되어, 핀치 밸브는 완전 폐쇄 상태(도 14의 상태)가 된다.

한편, 도 14에 도시한 핀치 밸브의 완전 폐쇄 상태에서, 제 2 공간부(8)의 압축 공기가 공기 포트를 통해 대기 중으로 배출되면, 스프링(35)에 접촉된 피스톤(11)은 스프링(35)의 반발력에 의해 상승하기 시작하며, 그 결과 가압자(15)는 피스톤(11)으로부터 현수된 연결부(13)를 통해 상승한다. 최종적으로, 피스톤(11)의 상부 단부면은 실린더 커버(3)의 하부 단부면에 도달하여 피스톤(11) 및 가압자(15)의 상승이 중단되어, 핀치 밸브는 완전 개방 상태(도 12 및 도 13의 상태)가 된다.

다음, 본 발명의 제 2 양태의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 도 15는 본 발명의 제 2 양태에 따른 핀치 밸브의 제 1 실시예의 폐쇄 상태를 도시하는 종방향 단면도이다. 도 16은 측면(유로 방향)에서 도 15의 핀치 밸브를 도시하는 종단면도이다. 도 17은 도 15의 개방 상태를 도시하는 종단면도이다. 도 18은 측면(유로 방향)에서 본 도 17의 핀치 밸브의 종단면도이다. 도 19는 핀치 밸브가 중간 개방도로 조절되어 있는 상태를 도시하는 본 발명의 제 2 양태에 따른 핀치 밸브의 제 1 실시예의 종단면도이다. 도 20은 도 19의 개방 상태를 도시하는 종단면도이다.

본 발명의 제 2 양태에 따라 PVDF로 형성된 핀치 밸브의 제 1 실시예를 도면에 기초하여 하기에 설명한다.

도면 부호 101은, 실린더 본체의 내부면의 상부 부분에 나사부(114)를 갖는 실린더부(115)가 제공되어 있는 실린더 본체를 나타내며, 나사부(114)는 핸들(103) 내에 나사 결합된다. 실린더 본체(101)의 하부면의 중앙에는, 피스톤 연결부(120)가 관통하는 관통 구멍(119)과 가압자(108)를 포함하는 타원형 슬릿(121)이 연속적으로 제공되어 있다(도 21 참조). 또한, 실린더 본체(101)의 내주측면에는 실린더부(115)의 하부 단부면, 즉 실린더부(115)의 내주면 및 저부면과 피스톤(107)의 하부 단부면에 의해 규정된 제 1 공간부(131)를 외부 공기 공급 기기(도시 않음) 등과 연통시키는 공기 포트(116)가 제공되어 있다.

핸들(103)은 상기 핸들(103)의 상부 영역의 중앙에 연결 바아(104)가 관통하는 관통 구멍(132)을 구비하며, 연결 바아(104)의 결합부, 즉 연결 바아(104)의 플랜지부(133)를 수용하며 상기 관통 구멍(132) 보다 큰 직경을 갖는 리세스(134)를 상기 관통 구멍(132)의 상부 영역에 구비한다. 또한, 관통 구멍(132)의 하부 영역에는 스프링(106)을 수용하는 리세스(117)가 연속적으로 제공되어 있다. 게다가, 핸들의 하부 영역의 외주부에는 실린더 본체(1)의 나사부(114)에 나사 결합되는 나사부(118)가 제공되어 있으며, 상기 나사부(118)는 체결 너트(110)에 나사 결합된다.

도면 부호 105는 하기에 설명하는 바와 같이, 핸들의 리세스(117)의 상부 단부면과 스프링 캐리어(105)의 상부면에 의해 스프링(106)을 클램핑하는 디스크형스프링 캐리어를 나타낸다.

연결 바아(104)는 연결 바아(104)의 상부 단부면에 제공된 플랜지부(133)에서 핸들(103)의 상부 영역에 제공된 리세스(134)와 결합하여, 핸들(103)의 관통 구멍(132)을 통해 실린더부(115)를 수직으로 하강시키며, 연결 바아(104)의 하단부에서 스프링 캐리어(105)와 접합된다. 본 실시예에서, 연결 바아와 스프링 캐리어는 연결 바아와 스프링 캐리어를 통해 삽입되는 볼트(122)와 너트(123)에 의해 함께 접합되어 고정된다. 또한, 스프링 캐리어(105)와 연결 바아(104)의 고정은 볼트와 너트에 의한 고정에 한정되는 것은 아니며, 나사 결합 또는 용접에 의해 수행될 수도 있다.

스프링(106)은 스프링 캐리어(105)의 상부면과 핸들(103)의 리세스(117)의 상부 단부면을 접촉시키도록 장착된다. 본 실시예에서는 하나의 스프링이 장착되었지만, 장착되는 스프링의 수는 필요한 압박력에 따라서 두 개 이상이 될 수도 있다.

또한, 도면에 도시한 바와 같이, 스프링(106)은 핸들(103)과 연결 바아(104) 및 스프링 캐리어(105)와 함께 볼트(122) 및 너트(123)에 의해 압축 상태로 함께 일체로 조립된다.

피스톤(107)은 디스크형으로 설계되어 주측면 상에 O-링(135)과 함께 장착되며, 상부면에서 스프링 캐리어(105)의 하부면에 항상 접촉하며, 실린더부(115)의 내주면 상에서 미끄러져서 밀봉 상태로 상하 이동한다. 상기 피스톤(107)의 중앙으로부터 현수된 연결부(120)는 실린더 본체(101)의 하부면의 중앙에 제공된 관통구멍(119)을 밀봉 상태로 관통하며, 연결부(120)의 팁 부분에서 가압자(108)와 고정된다. 본 실시예에서, 상기 가압자(108)는 피스톤 연결부(120)에 삽입된 고정 볼트(136)의 팁 부분에 고정되며 가압자(108)를 볼트(136)에 나사 결합함으로써 관통된다(도 25 참조). 또한, 가압자(108)의 고정은, 연결부(120)가 바아형으로 형성되며 가압자(108)는 나사 결합, 접착 또는 용접에 의해 연결부(120)의 팁 부분에 고정되는 방식으로 수행될 수 있으며, 이는 특별히 한정되는 것은 아니다.

상기 가압자(108)는, 튜브 본체(109)를 가압하는 영역의 단면이 반원형이 되도록 형성된다. 또한, 가압자(108)는 본체(102)의 유로의 축을 수직으로 교차하도록 피스톤 연결부(120)에 고정되며, 밸브가 개방될 때 실린더 본체(101)의 하단부에 제공된 타원형 슬릿(121)에 수용되도록 설계된다.

튜브 본체(109)는 본체(102) 내에 유로를 규정하며 PTFE와 실리콘 고무의 복합체로 제조된다. 즉, 상기 튜브 본체는 실리콘 고무가 함침된 PTFE 시트의 다중층을 접착 및 적층함으로써 소정의 두께를 갖고 형성된다. 본 실시예에서 튜브 본체의 재료는 불소 고무와 실리콘 고무의 복합체이지만, 튜브 본체는 EPDM, 실리콘 고무, 불소 고무, 또는 이들의 복합체로 제조될 수 있으며, 이는 특별히 한정되는 것은 아니다.

상기 본체(102)는 볼트와 너트(도시 않음) 등에 의해 실린더 본체의 하부 단부면에 접합되어 고정되며, 튜브 본체(109)를 수용하는 직사각형 단면의 홈(106)이 상기 본체(102)의 유로의 축에 제공된다. 또한, 슬릿(121)의 양 단부에는 연결 본체 캐리어(111)의 고정부(137)를 수용하며 상기 슬릿(121) 보다 깊은 홈(138)이 제공되어 있다. 상기 홈(138)에는, 캐리어(111)가 미끄러져 빠지는 것을 방지하기 위해 연결 본체 캐리어(111)의 고정부(137)의 팁 상에 배치된 레지부(139)를 수용하는 오목 홈(140)이 또한 제공되어 있다(도 22 참조).

다음, 연결부를 구성하는 부품을 하기에 설명한다.

연결 본체 캐리어(111)에는 직사각형 단면을 가지며 본체(102)의 양 단부에 제공된 홈(138)에 고정되는 고정부(137)가 한 단부에 형성되며, 연결부의 팁의 저부에는 캐리어가 미끄러져 빠지는 것을 방지하며 본체의 홈(138)에 제공된 오목 홈(140)에 고정되는 레지부(139)가 제공되어 있다. 한편, 연결 본체 캐리어의 다른 단부에는 연결 본체(113)의 6각형 플랜지(126)를 수용하며 플랜지(126)와 동일한 단면을 갖는 수용 개구(141)가 제공되어 있으며, 상기 수용 개구의 외주부에는 수형 나사부(128)가 제공된다. 수형 나사부(128)와 고정부(137) 사이에 위치된 연결 본체 캐리어의 외주부에는 고정부(137)의 대각선 길이와 대략 동일한 직경을 갖는 환형 플랜지(130)가 제공되어 있다. 상기 플랜지(130)는 실린더 본체(101)와 본체(102)와 접촉하여, 연결 본체 캐리어(111)가 양 본체(101, 102) 내로 이동하는 것을 방지한다. 도 23에 도시한 바와 같이, 상기 연결 본체 캐리어(111) 내에는, 튜브 본체(109)의 외경과 대략 동일한 직경을 갖는 관통 구멍(142)이 고정부(137)에 제공되어 있으며, 상기 관통 구멍(142)에 연속하여, 수용 개구(141)와 연통하며 튜브 본체(109)의 외경과 대략 동일한 직경을 가지며 연결 본체(113)의 삽입부(124)에 고정되며 확장되어 있는 관통 구멍(143)이 제공되어 있다. 따라서, 연결 본체 캐리어(111)의 내주면에는 도 23에 도시한 바와 같이 단차부(144)가 형성된다. 튜브 본체(109)는 단차부(144)에 의해 연결 본체 캐리어(111) 내에 클램핑된다. 또한, 본 실시예에서, 관통 구멍(142) 및 상기 관통 구멍(142) 보다 큰 관통 구멍(143)이 제공되었지만, 관통 구멍(142)만이 연결 본체 캐리어(111)에 제공될 수도 있다(도 23 및 도 24 참조).

연결 본체(113)는 내부에 유로(145)를 가지며, 한 단부에는 튜브 본체(109)의 내경 보다 큰 외경을 가지며 튜브 본체(109)가 고정되어 있으며 따라서 확장되어 있는 삽입부(124)가 제공되며, 다른 단부에는 다른 튜브 본체가 연결되는 배관 연결부(125)가 제공된다. 연결 본체(113)의 외주부의 중앙에는 연결 본체의 양 단부 보다 큰 직경을 가지며 6각형 단면을 갖는 플랜지(126)가 제공된다. 상기 연결 본체(113)는 연결 본체 캐리어(111)에 고정되어 부착되므로, 연결 본체는 연결 본체 캐리어(111)의 수용 개구(141) 내의 플랜지(126)의 고정 및 플랜지(126)와 결합된 캡 너트(112)의 연결 본체 캐리어(111)의 외주부에 제공된 수형 나사부(128)로의 나사 결합에 의해 피벗될 수 없다. 연결 피스톤의 구성은 본 실시예에 한정되는 것은 아니며, 다른 구성이 사용될 수도 있다.

상술한 바와 같이 설계된 본 실시예의 핀치 밸브의 작동은 하기와 같다.

도 15 및 도 16에 도시한 핀치 밸브의 완전 폐쇄 상태에서, 압축 공기가 공급되어 공기 포트(116)로부터 제 1 공간부(131) 내로 압입되면, 피스톤(107)은 주측면에서 실린더부(115)의 내주면 상에서 미끄러지기 시작하여 실린더부 내에서 상승한다. 그 결과, 피스톤(107)은, 피스톤의 상부 단부면이 스프링(106)을 압박하는 상태로 스프링 캐리어(105)를 통해 상승하며, 가압자(108)는 피스톤(107)으로부터 현수된 연결부(120)를 통해 상승한다. 최종적으로, 가압자(108)의 상부 단부면은 실린더 본체(101)의 하단부에 제공된 타원형 슬릿(121)의 상부 단부면에 도달하여 피스톤(107) 및 가압자(108)의 상승이 중단되어, 핀치 밸브는 완전 개방 상태(도 17 및 도 18에 도시한 상태)가 된다.

다음, 도 17 및 도 18의 완전 개방 상태에서, 공기 포트(116)로부터 제 1 공간부(131)로의 공기 공급이 중단되고 제 1 공간부 내의 공기가 대기 중으로 배출되면, 상기 피스톤(107)은 스프링의 반발력에 의해 스프링(106)에 접촉된 스프링 캐리어(105)를 통해 하강하기 시작하며, 그 결과 가압자(108)도 또한 피스톤(107)으로부터 현수된 연결부(120)를 통해 하강한다. 최종적으로, 피스톤(107)의 하부 단부면은 실린더부(115)의 저부면에 도달하여 피스톤(107) 및 가압자(108)의 하강이 중단되어, 핀치 밸브는 완전 폐쇄 상태(도 15 및 도 16에 도시한 상태)가 된다. 이 때, 가압자의 상부 단부면은 가압자(108)가 피벗하는 것을 방지하기 위해 실린더 본체(101)의 타원형 슬릿(121) 내에 위치된다.

다음, 본 발명의 제 2 양태의 중간 개방도 조절 방법을 도 19에 기초하여 설명한다.

도 16의 상태, 즉 완전 폐쇄 상태에서, 핸들(103)이 개방 방향으로 피벗되면, 스프링 캐리어(105)의 하부 단부면은 연결 바아(104)를 통해 상승한다. 그 결과, 가압자(108)는 튜브 본체(109) 내에 유동하는 유체의 유압 및 튜브 본체(109)의 탄성력에 의해 상향 압박되며, 그 결과 피스톤(107)은 상승하고 튜브 본체(109)는 중간 개방도가 된다. 여기서, 핸들(103)과 함께 상승되어 실린더 본체(101)의상부 단부면으로부터 이격되어 있는 체결 너트는, 체결 너트의 하부 단부면이 실린더 본체(101)의 상부 단부면과 접촉할 때까지 체결되므로, 핸들(103)은 체결되며 밸브의 중간 개방도는 고정된다(도 19의 상태). 체결 너트(110)는 핸들(103)이 피벗하는 것을 방지하기 때문에, 밸브는 폐쇄 상태로 복귀되지 않는다.

한편, 밸브가 중간 개방도로 조절되어 있는 상태에서, 압축 공기가 공기 포트(116)로부터 제 1 공간부(131)로 공급되면, 피스톤(107)은 공기의 압력에 의해, 피스톤의 주측면이 실린더부(115)의 내주면 상에 미끄러지는 상태로 상승되기 시작한다. 그 결과, 피스톤(107)은 상부 단부면이 스프링(106)을 압박하는 상태로 스프링 캐리어(105)를 통해 상승하며, 가압자(108)는 피스톤(107)으로부터 현수된 연결부(120)를 통해 상승한다. 최종적으로, 상기 가압자(108)의 상부 단부면은 실린더 본체(101)의 하부 단부면에 제공된 타원형 슬릿(121)의 상부 단부면에 도달하여 피스톤(107) 및 가압자(108)의 상승이 중단되어, 핀치 밸브는 완전 폐쇄 상태(도 20에 도시한 상태)가 된다. 당연히, 스프링 캐리어(105)에 연결된 연결 바아(104)도 상승하며, 따라서 연결 바아(104)의 플랜지(133)가 핸들(103)의 리세스(134)의 저부면으로부터 분리된다.

다음, 도 20의 완전 개방 상태에서, 공기 포트(116)로부터 제 1 공간부(131)로의 공기 공급이 중단되고 공기가 대기 중으로 배출되면, 피스톤(107)은 스프링의 반발력에 의해 스프링(106)에 접촉된 스프링 캐리어(105)를 통해 하강하기 시작하며, 그 결과 가압자(108)도 또한 피스톤(107)으로부터 현수된 연결부(120)를 통해 하강한다. 최종적으로, 연결 바아(104)의 플랜지(133)의 하부면은 핸들(103)의 상부 부분에 제공된 리세스(134)의 저부면에 도달하여 피스톤(107) 및 가압자(108)의 하강이 중단되어, 핀치 밸브는 중간 개방도 조절 상태(도 19의 상태)가 된다.

상술한 바와 같이, 본 실시예의 핀치 밸브는 유체의 유동을 개폐할 뿐만 아니라, 유로의 중간 개방도에서 유체를 유동시킬 수 있다. 따라서, 반도체 제조 장치와 같은 장치의 내부의 폐쇄 루프 배관의 경우, 핀치 밸브는 배관 내의 최소 압력을 유지하기 위한 배압 밸브로서 사용될 수 있다.

상술한 구성을 갖는 본 발명은 하기의 우수한 효과를 갖는다.

1. 핀치 밸브의 전체 높이가 종래의 핀치 밸브와 비교할 때 낮으며 핀치 밸브가 매우 콤팩트하기 때문에, 즉 예를 들면 직사각형 실린더 본체의 측면이 최대 35mm까지 감소될 수 있으며 핀치 밸브의 전체 높이가 최대 93mm까지 감소될 수 있기 때문에, 배관에 요구되는 공간이 감소될 수 있다. 따라서, 복잡한 배관이 배치되는 반도체 제조 장치에 결합될 수 있으며 따라서 제조 장치의 콤팩트화가 이루어질 수 있다.

2. 구성 부품의 수가 종래의 핀치 밸브의 경우 보다 적기 때문에, 핀치 밸브의 조립이 용이하게 수행되며 저가로 제조될 수 있다.

3. 튜브 본체를 가압하는 가압자의 반원형 형상으로 인해, 튜브 본체의 내구성이 종래의 핀치 밸브와 비교할 때 향상되며, 따라서 핀치 밸브의 수명이 매우 연장된다.

4. 핀치 밸브의 개방도가 조절 가능하기 때문에, 유체의 미소 유량 조절이 가능해진다.

Claims

탄성체로 형성된 튜브 본체와; 내부에 실린더부를 가지며 상부 부분에서 디스크형 실린더 커버에 접합되어 있는 실린더 본체와; 상기 실린더부의 내주면에서 밀봉 상태로 상하로 미끄럼 이동 가능하며, 상기 실린더 본체의 하부면의 중앙에 제공된 관통 구멍에 밀봉 상태로 관통하도록 상기 피스톤의 하부면의 중앙으로부터 현수되어 있는 연결부를 구비하는 피스톤과; 상기 피스톤의 연결부의 하단부에 부착되며, 유로의 축에 수직으로 상기 실린더 본체의 저부면에 제공된 타원형 슬릿 내에 수용되는 가압자와; 상기 실린더 본체의 하부 단부면에 부착 및 접합되며, 상기 유로의 축 상에서 상기 튜브 본체를 수용하기 위한 홈과, 상기 홈의 양 단부 상에 배치되는 연결 본체 캐리어를 수용하며 상기 홈 보다 깊은 홈을 구비하는 본체와; 캐리어의 한 단부에서 상기 본체의 홈 내에 고정되는 고정부와, 상기 캐리어의 다른 단부의 내부면 상에 제공된 연결 본체 캐리어 포트를 각각 구비하며, 상기 튜브 본체를 수용하기 위한 관통 구멍을 구비하는 한 쌍의 연결 본체 캐리어; 및 상기 실린더 본체의 주측면 상에 제공되며, 상기 실린더부의 저부면과 내주면 및 상기 피스톤의 하부 단부면에 의해 둘러싸인 제 1 공간부, 및 상기 실린더 커버의 하부 단부면과 상기 실린더부의 내주면 및 상기 피스톤의 상부면에 의해 둘러싸인 제 2 공간부와 각각 연통하는 한 쌍의 공기 포트를 포함하는 핀치 밸브.
제 1 항에 있어서, 상기 연결 본체 캐리어는 상기 연결 본체 캐리어가 팁에서 미끄러져 빠지는 것을 방지하기 위한 레지부를 구비하며, 상기 본체의 홈은 상기 연결 본체 캐리어의 레지부를 수용하기 위한 오목 홈을 구비하는 핀치 밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 공간부는 상기 실린더 커버 및 피스톤과 접촉하도록 내부에 장착된 스프링을 구비하는 핀치 밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 공간부는 상기 실린더부의 저부면 및 상기 피스톤의 하부 단부면과 접촉하도록 내부에 장착된 스프링을 구비하는 핀치 밸브.
내부면의 상부 부분에 개방도를 조절하기 위한 나사부를 갖는 실린더부와, 상기 실린더부의 하단부와 연통하는 공기 포트를 구비하는 실린더 본체와; 하부 부분에서 스프링을 수용하는 리세스와, 하부 부분의 외주부에서 개방도를 조절하기 위한 나사부와 나사 결합하는 나사부를 구비하는 원통형 핸들과; 상기 핸들의 리세스의 상부 단부면과 스프링을 클램핑하는 디스크형 스프링 캐리어와; 상기 핸들의 상부 부분과 연결 바아를 결합시키고 상기 스프링 캐리어에 연결 바아의 하부 단부면을 접합시킴으로써 상기 핸들과 스프링 캐리어 사이에 스프링을 클램핑하는 연결 바아와; 상기 핸들의 위치를 고정시키기 위해 상기 핸들의 나사부에 나사 결합되는 체결 너트와; 상기 실린더부의 내주면에서 밀봉 상태로 상하로 미끄럼 이동 가능하며, 상기 실린더 본체의 하부면의 중앙에 제공된 관통 구멍에 밀봉 상태로 관통하도록 상기 피스톤의 중앙으로부터 현수되어 있는 연결부를 구비하는 피스톤과; 상기 피스톤의 연결부의 하단부에 고정되며, 유로의 축에 수직으로 상기 실린더 본체의 하단부에 제공된 타원형 슬릿에 수용되는 가압자와; 상기 실린더 본체의 하부 단부면에 접합되어 고정되며, 유로의 축 상에 탄성체의 튜브 본체를 수용하는 홈을 구비하는 본체; 및 상기 본체의 양 측면에서 다른 튜브에 튜브 본체를 연결하는 연결부를 포함하는 핀치 밸브.
제 5 항에 있어서, 상기 핸들, 스프링 캐리어, 연결 바아 및 스프링은 상기 연결 바아 및 상기 스프링 캐리어의 내부를 관통하는 볼트 및 너트에 의해 일체로 조립되는 핀치 밸브.
제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 연결 본체의 한 단부에서 상기 튜브 본체의 내경 보다 큰 외경으로 형성되며 상기 튜브 본체에 삽입되어 연결되는 삽입부와 상기 연결 본체의 다른 단부에 위치된 배관 연결부 및 상기 연결 본체의 중앙에 위치된 플랜지부를 구비하는 연결 본체가, 캡 너트와 플랜지부를 결합하고 상기 연결 본체 캐리어의 외주부에 제공된 수형 나사부에 캡 너트를 나사 결합함으로써 연결 본체 캐리어에 고정되며 부착되는 핀치 밸브.
제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 튜브 본체의 재료는 EPDM, 불소 고무, 실리콘 고무 또는 상기 재료들의 복합체인 핀치 밸브.
제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 튜브 본체는 폴리테트라플루오로에틸렌 및 실리콘 고무의 복합체로 형성되는 핀치 밸브.