JP2001214906A - シリンダ装置 - Google Patents
シリンダ装置Info
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Abstract
達成することが可能なシリンダ装置を提供することにあ
る。 【解決手段】扁平な円板状からなる第1ボデイ12と第
2ボデイ14とが一体的に連結されたシリンダチューブ
16と、前記シリンダチューブ16の内部に配設された
ダイヤフラムの撓曲作用下に前記シリンダチューブ16
の高さ方向に沿って昇降する扁平な板状のテーブル22
と、軸受部材によって支持され、前記テーブル22の昇
降動作を案内するとともに、該テーブル22の回り止め
を行うロッド部材26a、26bとを備える。
Description
能するダイヤフラムの撓曲作用下にテーブルを変位させ
ることが可能なシリンダ装置に関する。
される圧縮空気の作用下にシリンダチューブ内のシリン
ダ室に沿ってピストンを変位させることにより、前記ピ
ストンと一体的にピストンロッドを変位させるエアーシ
リンダが用いられている。
シリンダを、例えば、鉛直方向に沿って立設して使用す
る場合、シリンダチューブの高さ方向の寸法(鉛直方向
の寸法)は、ピストンの変位量と、前記ピストンの軸線
方向に沿った寸法と、ロッドカバーおよびヘッドカバー
の肉厚とが加算された値となる。
法を抑制して扁平化を促進しようとすると、ピストンの
軸線方向の寸法を短縮化せざるを得ないが、これには限
界がある。
たものであり、高さ方向の寸法を抑制してより一層の扁
平化を達成することが可能なシリンダ装置を提供するこ
とを目的とする。
めに、本発明は、扁平な板状からなる第1ボデイと第2
ボデイとが一体的に連結されたシリンダチューブと、前
記シリンダチューブの内部に形成されたダイヤフラム室
に配設され、前記第1ボデイと第2ボデイとの間に挟持
されたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの撓曲作用下
に前記シリンダチューブの高さ方向に沿って昇降する扁
平な板状のテーブルと、軸受部材によって支持され、前
記テーブルの昇降動作を案内するとともに、該テーブル
の回り止めを行うロッド部材と、を備えることを特徴と
する。
よびテーブルを、それぞれ、略円板状に形成すると好適
である。
近接した初期位置にあるとき、ロッド部材の軸線方向に
沿った寸法を、シリンダチューブの側面部と略面一とな
る長さに設定し、あるいはロッド部材の一端部が、シリ
ンダチューブの側面部から外部に向かって所定長だけ突
出するように設けるとよい。
されたピストンロッドを初期位置に復帰させるばね部材
を設けるとよい。また、前記ダイヤフラムを、第1ボデ
イと中間部材との間に挟持された第1ダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムから所定間隔離間し、前記中間部材と
第2ボデイとの間に挟持された第2ダイヤフラムとから
構成するとよい。
沿って昇降自在に設けられ、テーブルに連結される第1
ピストンロッドと、前記第1ピストンロッドと同軸状に
連結され、第2ボデイを貫通する孔部から外部に突出す
る第2ピストンロッドとを設けるとよい。
第1ボデイおよび第2ボデイを扁平な板状に形成し、し
かも、テーブルも扁平な板状に形成することにより、装
置全体の高さ方向の寸法を抑制してより一層の扁平化を
図ることができる。
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。
本発明の第1の実施の形態に係るシリンダ装置を示す。
る第1ボデイ12と第2ボデイ14とが一体的に連結さ
れたシリンダチューブ16と、前記シリンダチューブ1
6の内部に形成されたダイヤフラム室18に配設され、
前記第1ボデイ12と第2ボデイ14との間に周縁部が
挟持されたダイヤフラム20と、前記ダイヤフラム20
の撓曲作用下に前記シリンダチューブ16の高さ方向に
沿って昇降する略円板状のテーブル22と、ねじ部材2
4によって前記テーブル22の下面部に締結され、該テ
ーブル22の昇降動作を案内するとともに、該テーブル
22の回り止めの機能を営む一組のロッド部材26a、
26bとを含む。
ラム20によって上部側ダイヤフラム室18aと下部側
ダイヤフラム室18bとに区分される。また、テーブル
22が下降した状態にある初期位置では、図3に示され
るように、前記ロッド部材26a、26bの下端部が第
2ボデイ14の底面部から突出することがなく、該ロッ
ド部材26a、26bの下端部と第2ボデイ14の底面
部とが略面一となるように形成されている。
2および第2ボデイ14はそれぞれ略同一直径に形成さ
れ、第1ボデイ12の外周面には上部側ダイヤフラム室
18aに連通する第1圧力流体出入ポート28aが形成
され、第2ボデイ14の外周面には下部側ダイヤフラム
室18bに連通する第2圧力流体出入ポート28bが形
成される。
の略中心部には、保持部材30を介してピストンロッド
32が連結され、前記ピストンロッド32の一端部は、
ねじ部材34を介してテーブル22の下面の略中心部に
連結されている。この場合、ダイヤフラム20の撓曲作
用下に、前記ダイヤフラム20と一体的にピストンロッ
ド32が上下方向に沿って変位することにより、テーブ
ル22が昇降するように設けられている。なお、第1ボ
デイ12には、ピストンロッド32の外周面を囲繞して
ダイヤフラム室18を気密に保持するシール部材36が
環状溝を介して装着されている。
部材26a、26bが挿通するための孔部を有する円筒
状の軸受部材38a、38bが設けられ、前記軸受部材
38a、38bによってロッド部材26a、26bの直
線運動が円滑に支持される。
に、周方向に沿って約90度の離間角度を有する4つの
ワーク取付用孔部40a〜40dが形成され、前記ワー
ク取付用孔部40a〜40dを介して図示しないワーク
等が取り付けられる。また、前記テーブル22には、一
組の貫通する取付ボルト挿入用孔部42a、42bが所
定間隔離間して配置され、第1ボデイ12および第2ボ
デイ14には、前記一組の取付ボルト挿入用孔部42
a、42bに対応して一組の貫通する取付用孔部44
a、44bがそれぞれ形成されている(図5参照)。
22に形成された一組の貫通する取付ボルト挿入用孔部
42a、42bに取付用ボルト43をそれぞれ挿入し、
前記取付用ボルト43をさらに取付用孔部44a、44
bに挿通して他の部材の取付面45に形成されたねじ穴
47に螺入することにより、シリンダ装置10をその上
面側(テーブル22側)から固定することができる。
12および第2ボデイ14がダイヤフラム20の周縁部
を挟持する部位には、直径が異なる複数の環状溝46が
上下互い違いに形成され、前記複数の環状溝46内にダ
イヤフラム20の表面部位が食い込むことにより、前記
ダイヤフラム20を確実且つ強固に把持することができ
るとともに、ダイヤフラム室18の気密性を高精度に保
持することができる。
装置10は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
体出入ポート28aおよび第2圧力流体出入ポート28
bを圧力流体供給源(図示せず)に接続する。なお、以
下の説明では、図3に示されるように、テーブル22が
下降して第1ボデイ12に接触した状態を初期位置とし
て説明する。
給源を付勢し、第2圧力流体出入ポート28bから圧力
流体を供給する。その際、第1圧力流体出入ポート28
aは、図示しない切換弁の切換作用下に大気に連通した
状態にあるものとする。前記第2圧力流体出入ポート2
8bから供給された圧力流体は下部側ダイヤフラム室1
8bに導入され、前記圧力流体の作用下にダイヤフラム
20が上部側に向かって押圧される。
フラム20が撓曲し、ダイヤフラム20およびピストン
ロッド32が一体的に上方に向かって変位することによ
り、テーブル22が上昇する。この場合、ダイヤフラム
20の略中心部を保持する保持部材30が第1ボデイ1
2に当接することにより、変位終端位置である図2に示
す状態となる。
22が上昇する際、前記テーブル22は、軸受部材38
a、38bによって支持される一組のロッド部材26
a、26bによって円滑に直線状に案内されるととも
に、周方向への回り止めがなされる。
体供給源からの圧力流体の供給を第2圧力流体出入ポー
ト28bから第1圧力流体出入ポート28aに切り換え
ることにより、上部側ダイヤフラム室18aに導入され
た圧力流体の作用下にテーブル22が下降して初期位置
に復帰する。この場合、第2圧力流体出入ポート28b
は、大気に連通した状態にあるものとする。
る第1ボデイ12と第2ボデイ14とを一体的に連結し
てシリンダチューブ16を構成し、前記シリンダチュー
ブ16の内部に形成されたダイヤフラム室18にダイヤ
フラム20を配設し、前記ダイヤフラム20の撓曲作用
下に前記シリンダチューブ16の高さ方向に沿って扁平
な略円板状のテーブル22を昇降させるように設けてい
る。従って、従来技術と比較して高さ方向の寸法が抑制
され、より一層扁平化されたシリンダ装置10を得るこ
とができる。
ル22を円板状に形成することにより、押し出し成形ま
たは引き抜き成形によって容易に加工することができ、
製造コストを低減することができる。
応する略円板状の凹部(図示せず)を形成し、前記略円
板状の凹部にシリンダチューブ16を挿入することによ
り、該シリンダチューブ16の外周面をインローとして
容易に位置決めすることができる。
と下部側ダイヤフラム室18bとの差圧によってダイヤ
フラム20を撓曲させてテーブル22を昇降させるよう
にしてもよい。
って支持される一組のロッド部材26a、26bによっ
て、テーブル22を円滑に直線状に案内するガイド機能
と、周方向への回り止めを行う回り止め機能とを併用さ
せることにより、部品点数を削減して製造コストを低減
することができる。
リンダ装置50を図6および図7に示す。なお、以下に
示す他の実施の形態において、前記第1の実施の形態に
係るシリンダ装置10と同一の構成要素には同一の参照
符号を付し、その詳細な説明を省略する。
50では、シリンダチューブ16の高さ方向の寸法と略
同一寸法を有する一組の軸受部材52a、52bを配設
し、前記一組の軸受部材52a、52bによってそれぞ
れ支持されるロッド部材54a、54bの一端部がシリ
ンダチューブ16の底面部から突出するように軸線方向
の寸法が僅かだけ延長して設けられている点で相違して
いる。
ンダ装置50では、一組の軸受部材52a、52bの軸
線方向に沿った寸法をシリンダチューブ16の高さ方向
の寸法と略同一に設定するとともに、ロッド部材54
a、54bの軸線方向に沿った寸法を僅かに延長するこ
とにより、前記一組の軸受部材52a、52bによって
軸支されるロッド部材54a、54bを介してテーブル
22を安定して支持するとともに、ロッド部材54a、
54bの支持精度を向上させることができる。
リンダ装置60を図8に示す。
60では、一端部がピストンロッド32に連結された保
持部材30に係着され、他端部が第1ボデイ12の内壁
に係着されたばね部材62が配設されている。また、第
2ボデイ14には、下部側ダイヤフラム室18bに圧力
流体を供給する圧力流体出入ポート28が設けられ、第
1ボデイ12には、上部側ダイヤフラム室18aと大気
とを連通させる通気ポート64が設けられている。
ダ装置60は、ばね部材62のばね力に抗して下部側ダ
イヤフラム室18bに供給された圧力流体の作用下にダ
イヤフラム20、保持部材30およびテーブル22を一
体的に上昇させるとともに、前記ばね部材62のばね力
の作用によって上昇したテーブル22を初期位置に復帰
させる単動シリンダを構成している。
ンダ装置60では、圧力流体を下部側ダイヤフラム室1
8bにのみ供給する単動シリンダの構成を採用すること
により、前記シリンダ装置60に供給される圧力流体の
制御回路(空気圧回路)の簡素化を図ることができる。
置70を図9に示す。
70は、第1ボデイ12と第2ボデイ14との間に中間
部材72を介装し、前記第1ボデイ12と中間部材72
とによって挟持される第1ダイヤフラム20aと、前記
中間部材72と第2ボデイ14とによって挟持される第
2ダイヤフラム20bとが設けられている。前記第1お
よび第2ダイヤフラム20a、20bは、所定間隔離間
する二重構造によって構成され、中間部材72には該第
1および第2ダイヤフラム20a、20bによって囲繞
された室74内のエアーを出入する通気ポート76が形
成されている。
ンダ装置70では、第1ダイヤフラム20aと第2ダイ
ヤフラム20bとからなる二重構造とすることにより、
第1および第2ダイヤフラム20a、20bに付与され
る荷重を分散させて耐久性を向上させることができる。
リンダ装置80を図10乃至図12に示す。
80は、図10に示されるように、第1ボデイ82を貫
通する孔部に沿って昇降自在に設けられ、ねじ部材84
を介してテーブル86に連結される第1ピストンロッド
88と、前記第1ピストンロッド88と同軸状に連結さ
れ、第2ボデイ90を貫通する孔部から外部に突出する
第2ピストンロッド92とを有するダブルロッドによっ
て構成されている。
ッド88を囲繞する断面V字状のパッキン94aが環状
溝に装着され、第2ボデイ90には第2ピストンロッド
92を囲繞する断面V字状のパッキン94bが環状溝に
装着されている。
ンロッド92との連結部位には、ダイヤフラム96を挟
持する保持部材98a、98bが設けられ、また、前記
第1ピストンロッド88および第2ピストンロッド92
には、軸線方向に沿って貫通する孔部100が形成され
ている。この場合、前記貫通する孔部100を形成する
ことにより、前記孔部100をテーブル86に載置され
る他の空気圧機器(図示せず)の配管通路として利用す
ることができる。
切り欠かれたテーブル86には、図11に示されるよう
に、円板状に形成された第1および第2ボデイ82、9
0の中心を通る直線上に所定間隔離間する一組のワーク
位置決めピン102a、102bが連結されている。
イ90には、ダブルロッド構造に対応して、図12に示
されるように、第1ボデイ82側から取付用ボルト43
(図5参照)が挿入される一組の第1取付用孔部44
a、44bと、第2ボデイ90側から取付用ボルト43
が挿入される第2取付用孔部104a、104bとがそ
れぞれ形成されている。
ンダ装置80では、ダブルロッド構造とすることによ
り、一方の第1ピストンロッド88に図示しない空気圧
機器を搭載し、他方の第2ピストンロッド92の変位を
図示しないセンサで検出して外部コントローラ(図示せ
ず)に検出信号を導出することができる。
る。
1ボデイおよび第2ボデイを扁平な板状に形成し、しか
も、テーブルも扁平な板状に形成することにより、装置
全体の高さ方向の寸法を抑制してより一層の扁平化を図
ることができる。
り止め機能とを併用させることにより、部品点数を削減
して製造コストを低減することができる。
の斜視図である。
ある。
した状態を示す一部切欠正面図である。
の縦断面図である。
した状態を示す縦断面図である。
の縦断面図である。
の縦断面図である。
置の縦断面図である。
b…ダイヤフラム室 20、20a、20b、96…ダイヤフラム 22、86…テーブル 26a、26b、54a、54b…ロッド部材 28、28a、28b…圧力流体出入ポート 30、98a、98b…保持部材 32、88、92…
ピストンロッド 36…シール部材 38a、38b、52a、52b…軸受部材 40a〜40d…ワーク取付用孔部 42a、42b…取付ボルト挿入用孔部 44a、44b、104a、104b…取付用孔部 62…ばね部材 64、76…通気ポ
ート 72…中間部材 74…室 94a、94b…パッキン 102a、102b
…ワーク位置決めピン
Claims (7)
- 【請求項1】扁平な板状からなる第1ボデイと第2ボデ
イとが一体的に連結されたシリンダチューブと、 前記シリンダチューブの内部に形成されたダイヤフラム
室に配設され、前記第1ボデイと第2ボデイとの間に挟
持されたダイヤフラムと、 前記ダイヤフラムの撓曲作用下に前記シリンダチューブ
の高さ方向に沿って昇降する扁平な板状のテーブルと、 軸受部材によって支持され、前記テーブルの昇降動作を
案内するとともに、該テーブルの回り止めを行うロッド
部材と、 を備えることを特徴とするシリンダ装置。 - 【請求項2】請求項1記載の装置において、 前記第1ボデイ、第2ボデイおよびテーブルは、それぞ
れ、略円板状に形成されることを特徴とするシリンダ装
置。 - 【請求項3】請求項1または2記載の装置において、 前記テーブルがシリンダチューブと近接した初期位置に
あるとき、ロッド部材は、シリンダチューブの側面部と
略面一となる長さに設定されていることを特徴とするシ
リンダ装置。 - 【請求項4】請求項1または2記載の装置において、 前記テーブルがシリンダチューブと近接した初期位置に
あるとき、ロッド部材の一端部は、シリンダチューブの
側面部から外部に向かって所定長だけ突出するように設
けられていることを特徴とするシリンダ装置。 - 【請求項5】請求項1または2記載の装置において、 前記ダイヤフラム室には、テーブルに連結されたピスト
ンロッドを初期位置に復帰させるばね部材が配設される
ことを特徴とするシリンダ装置。 - 【請求項6】請求項1または2記載の装置において、 前記ダイヤフラムは、第1ボデイと中間部材との間に挟
持された第1ダイヤフラムと、前記ダイヤフラムから所
定間隔離間し、前記中間部材と第2ボデイとの間に挟持
された第2ダイヤフラムとからなることを特徴とするシ
リンダ装置。 - 【請求項7】請求項1または2記載の装置において、 前記第1ボデイを貫通する孔部に沿って昇降自在に設け
られ、テーブルに連結される第1ピストンロッドと、前
記第1ピストンロッドと同軸状に連結され、第2ボデイ
を貫通する孔部から外部に突出する第2ピストンロッド
とが設けられることを特徴とするシリンダ装置。
Priority Applications (2)
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Publication Number | Publication Date |
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JP2001214906A true JP2001214906A (ja) | 2001-08-10 |
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Family Applications (1)
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TW (1) | TW477866B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005268293A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Psc Kk | 微小移動機構 |
JP2010196844A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Psc Kk | 微小変位出力装置 |
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2000
- 2000-10-17 JP JP2000316214A patent/JP3717780B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-22 TW TW89124726A patent/TW477866B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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