WO2001081657A2

WO2001081657A2 - Elastisches kontakelement

Info

Publication number: WO2001081657A2
Application number: PCT/DE2001/001512
Authority: WO
Inventors: Egon Hübel
Original assignee: Atotech Deutschland Gmbh
Priority date: 2000-04-20
Filing date: 2001-04-11
Publication date: 2001-11-01
Also published as: JP4681789B2; CA2402805A1; EP1309740A2; CN1309878C; MXPA02010309A; KR20030011297A; EP1309740B1; HK1056753A1; AU2001273849A1; KR100740816B1; DE10019713C2; US7033468B2; US20030051999A1; TW548348B; JP2003531301A; CN1429284A; DE10019713A1; BR0110114A; DE50104027D1; ATE278823T1

Abstract

Zur Herstellung von Leiterplatten und Leiterfolien (7) mit geringer Schichtdickenschwankung der Leiterstrukturen ohne Beschädigung der Platten- und Folienoberflächen wird ein Rotationselement (9, 10), insbesondere eine Kontaktwalze, zur elektrischen Kontaktierung der Leiterplatten und Leiterfolien verwendet, an dessen auf den Leiterplatten und Leiterfolien abrollender Lauffläche zumindest teilweise ein elastischer, elektrisch leitfähiger Werkstoff (2, 5, 6) aufgebracht ist.

Description

Elastisches Kontaktelement

Beschreibung:

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die elektrische Kontaktierung von flachem Behandlungsgut bei der Durchführung elektrolytischer Prozesse in Durchlaufbehandlungsanlagen, vorzugsweise zur Behandlung von Leiterplatten und Leiterfolien. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung von elektrolytisch zu behandelndem Gut, eine An- Ordnung von mindestens zwei Rotationselementen zur elektrischen Kontaktierung des Behandlungsgutes sowie ein Verfahren zur elektrischen Kontaktierung des Behandlungsgutes. Die Erfindung bezieht sich sowohl auf das Galvanisieren als auch auf das elektrolytische Ätzen.

Zur Herstellung von Leiterplatten werden elektrolytische Verfahren eingesetzt. Insbesondere wird Metall, vor allem Kupfer, abgeschieden, um die Leiterbahnen und Löt- sowie Bondplätze zu bilden. Im allgemeinen wird von beidseitig mit Kupferschichten überzogenem, dielektrischem Platten- oder Folienmaterial ausgegangen. Nach dem Herstellen von Durchgangsbohrungen durch das Ma- terial wird eine Kupferschicht vollflächig auf die Oberflächen, beispielsweise in einer Dicke von 30 μm, aufgebracht, wobei auch eine Kupferschicht auf den Bohrungswänden abgeschieden wird. Um Leiterzüge und andere Metallstrukturen bilden zu können, wird in einer Verfahrensvariante zunächst eine strukturierte Maske auf die Oberflächen der Platten bzw. Folien aufgetragen, wobei die Oberflächenbereiche freigelassen werden, in denen die Strukturen gebildet werden sollen. Hierzu wird das Leiterbild negativ aufgedruckt. Dies geschieht durch Siebdruck und bei der Feinleitertechnik durch phototechnische Verfahren (Photoresist). Eine Photoresistschicht weist üblicherweise eine Dicke von 25 μm bis zu 40 μm auf und stellt einen hochwertigen elektrischen Isolator dar. Auf dem Resist darf sich beim Leiterbildaufbau kein Metall abscheiden. In den freigelassenen Bereichen der Abdeckmaske wird anschließend Metall abgeschieden und das von der Abdeckmaske bedeckte Metall nach deren Entfernung schließlich abgeätzt. Dieses Verfahren wird als Pattern-Plating-Verfahren oder Leiterbildaufbau-Verfahren bezeichnet.

Zur elektrolytischen Behandlung muß eine elektrolytisch zu behandelnde leitfähige Oberfläche mit der hierfür nötigen Stromquelle elektrisch verbunden werden. Beim Galvanisieren ist der Minuspol und beim Ätzen der Pluspol der Stromquelle mit dieser Oberfläche in Verbindung zu bringen, wobei der jeweili- ge Gegenpol mit einer Gegenelektrode elektrisch verbunden ist, die wie die zu behandelnde Oberfläche mit einer Behandlungsflüssigkeit in Kontakt steht. In Durchlaufbehandlungsanlagen der Leiterplattentechnik wird hierfür unter anderem eine Walzenkontaktierung angewendet. Das Behandlungsgut, die Leiterplatten, werden zum Beispiel in horizontaler Richtung mittels unterer und oberer angetriebener Walzen oder Rädchen durch die einzelnen naßchemischen Behandlungsstationen und Spülstationen transportiert. Die Walzen bestehen in der Regel aus einem gegen die eingesetzten Elektrolyte resistenten Werkstoff, wie beispielsweise PP (Polypropylen), PE (Polyethylen) oder PVC (Polyvinylchlorid). Zum Abquetschen von Flüssigkeiten und zum gleichzeitigen Transport werden Walzen mit einem offenporigen oder geschlossenporigen Schwammüberzug verwendet.

Zur elektrischen Kontaktierung der Leiterplattenoberflächen in elektrolytischen Behandlungsstationen werden metallische Kontaktwalzenpaare, das heißt obe- re und untere Walzen, verwendet. Diesen wird der Strom von der Badstromquelle beispielsweise über einen Schleifkontakt zugeführt. Die metallische Oberfläche jeder Walze rollt auf der Oberfläche der zu behandelnden Platten ab. Diese Walzen dienen zum Transport des Behandlungsgutes und zugleich zur Stromübertragung zu dessen Oberfläche.

In DE 36 03 856 A1 wird eine derartige Vorrichtung zum Galvanisieren von Leiterplatten beschrieben. Die Leiterplatten werden innerhalb der Galvanisieranla- ge von einem kathodisch geschalteten, rotierenden Walzenpaar erfaßt und transportiert. Die Walzen bestehen aus rostfreiem Edelstahl oder Titan.

In EP 0 959 153 A2 ist eine ähnliche Vorrichtung beschrieben: Metallwalzen sind beiderseits einer horizontalen Transportebene angeordnet. Die zu behandelnden Leiterplatten werden über diese Walzen elektrisch kontaktiert. Hierzu wird eine elektrische Verbindung von einer externen Stromquelle zu den Metallwalzen über eine rotierende Stromübertragungseinrichtung hergestellt.

In JP-A-63-297588, Patent Abstracts of Japan, ist ein elektrolytisches Verfahren zur Behandlung elektrisch isolierter Leiterstrukturen auf Leiterplatten offenbart. Zum Galvanisieren werden die mitunter sehr kleinen isolierten Flächen mittels einer metallischen, rotierenden Bürste elektrisch kontaktiert.

Mit den bekannten Vorrichtungen und Verfahren ist es nicht möglich, Metallschichten in gleichmäßiger Dicke abzuscheiden, ohne daß die Leiterplatten beschädigt werden. Es hat sich nämlich herausgestellt, daß insbesondere bei der elektrolytischen Behandlung großformatiger Platten Schichtdickenschwankungen auftreten und die Platten bei der Behandlung sogar beschädigt werden können. Auch bei der elektrolytischen Metallisierung von Leiterzugmustern beim Pattern-Plating-Verfahren ist festgestellt worden, daß die Schichtdicke der einzelnen Leiterbahnen innerhalb eines weiten Bereiches schwanken kann. Ursachen für diese Probleme und deren Behebung sind den genannten Dokumenten nicht zu entnehmen.

Der vorliegenden Erfindung liegt von daher das Problem zugrunde, die Nachteile der bekannten Verfahren zu vermeiden und insbesondere Maßnahmen zu finden, mit denen Leiterstrukturen auf Leiterplatten und Leiterfolien mit geringer Schichtdickenschwankung und ohne Beschädigung der Platten- und Folien- Oberflächen im Leiterbildaufbau-Verfahren hergestellt werden können. Insbesondere sollen auch großformatige Platten sowie feinste Leiterzüge problemlos und insbesondere ohne fehlerhafte Leiterstrukturen erzeugt werden können. Das Problem wird gelöst durch das Rotationselement gemäß Anspruch 1 , die Anordnung von mindestens zwei Rotationselementen gemäß den Ansprüchen 16 und 17 und das Verfahren nach Anspruch 18. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Das erfindungsgemäße Rotationselement und das Verfahren dienen zur elektrischen Kontaktierung von elektrolytisch zu behandelndem, plattenförmigem Gut in einer Durchlaufbehandlungsanlage. Derartige Anlagen werden häufig zur Herstellung von Leiterplatten und Leiterfolien eingesetzt. In erfindungsgemäßer Weise wird das Rotationselement an dessen auf dem Behandlungsgut abrollender Lauffläche zumindest teilweise mit einem elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff versehen. Das Behandlungsgut wird dadurch zumindest teilweise über den elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff elektrisch kontaktiert.

Das Rotationselement ist vorzugsweise als Kontaktwalze ausgebildet. Es kann aber auch als Kontaktrad oder als Kontaktspirale ausgebildet sein. Im letzteren Falle handelt es sich um eine an den Enden mit einem Antrieb verbundene und insbesondere freitragende Spirale, vorzugsweise aus Metall.

Werden Kontaktwalzen eingesetzt, so sind zumindest die Mantelflächen der Kontaktwalzen, die auf den Oberflächen des Behandlungsgutes abrollen, in einer ersten Ausführungsform zumindest überwiegend, vorzugsweise vollständig, das heißt partiell bzw. vollkommen mit dem elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff überzogen.

Dieser Werkstoff entsteht durch Einlagerung eines elektrisch leitfähigen Füllstoffes, so daß er den elektrischen Strom sehr gut leitet. Damit sind derartige Kontaktwalzen überraschend gut geeignet, den zur elektrolytischen Behandlung erforderlichen hohen Strom zu übertragen. Gleichzeitig findet im Vergleich zu den metallischen Kontaktwalzen nach dem Stand der Technik eine sehr schonende Berührung der üblicherweise empfindlichen Leiterplattenoberflächen statt. Wenn auch Bürsten zur Kontaktierung von elektrisch isolierten Leiterstrukturen auf dielektrischem Material grundsätzlich geeignet sind, um diese elektrolytisch zu behandeln, so stellt sich doch heraus, daß sich Metall beim Galvanisieren bevorzugt an den Bürsten niederschlägt und die Borsten versteift. Dies führt zu Beschädigungen am Behandlungsgut. Daher ist die in JP-A-63-297588 beschriebene Vorrichtung nicht gut geeignet, um Leiterplatten und Leiterfolien herzustellen.

Die Kontaktbürste nach dem beschriebenen Stand der Technik eignet sich fer- ner nur für kleine Ströme, weil die Bürstenhaare sehr dünn und flexibel sein müssen. Wählt man größere Querschnitte der Haare zur Übertragung von höheren Strömen, so leidet die Oberflächenqualität durch Verkratzen. Des weiteren werden die Bäder durch abbrechende Bürstenhaare verunreinigt. Diese Bürstenpartikel werden auch an der Oberseite der Leiterplatten in horizontalen Durchlaufbehandlungsanlagen angalvanisiert. Völliger Ausschuß ist die Folge.

Bei Verwendung der erfindungsgemäßen Rotationselemente werden die genannten Probleme vermieden. Insbesondere bestehen keine Beschränkungen hinsichtlich der anzuwendenden Stromdichte. Außerdem ist das Kontaktierele- ment ausreichend stabil gegen Abrieb, so daß die Behandlungsflüssigkeit dadurch kaum verunreinigt werden kann.

Um die Metallisierung der Kontaktierelemente selbst zu vermeiden, sind in DE 36 03 856 A1 und EP 0 959 153 A2 Ausführungsformen der dort beschrie- benen Kontaktwalzen mit besonderen Abschirmmaßnahmen vorgesehen.

Die aus DE 36 03 856 A1 und EP 0 959 153 A2 bekannten metallischen Kontaktwalzen müssen allerdings sehr präzise gefertigt und in der Durchlaufbehandlungsanlage auch präzise gelagert sein, insbesondere wenn das Behand- lungsgut dünn ist. Bei der Feinleitertechnik werden die zu verarbeitenden Folien immer dünner. Bei nicht präziser Fertigung, das heißt bei nicht fluchtenden Walzenachsen liegt nur ein Teil der unteren und oberen Walze auf den Folien mit der vorgesehenen Auflagekraft auf. Die weiteren Mantellinien der Walzen tragen nicht zur Stromübertragung bei. Andererseits sind dickere Leiterplatten, wie zum Beispiel Multilayer, niemals völlig plan. So ist zum Beispiel nach den internationalen Normen PERFAG 2D und IPC-TM-650 Number 2.4.22 eine ma- ximale Wölbung von 1 ,0 % bei einer Plattendicke von 1 ,5 mm bis 3,2 mm zulässig. Bei einer Plattenausdehnung mit einer Kantenlänge von beispielsweise 400 mm beträgt die noch zulässige Wölbung damit 4 mm. Daher liegen die Kontaktwalzen auch bei dicken und stets sehr starren Platten nicht auf der gesamten Mantellinie auf. Stromübertragungsprobleme bis hin zur Beschädigung der Leiterplatten sind die Folge.

Auch diese Probleme werden mit dem erfindungsgemäßen Rotationselement vermieden. Insbesondere kann eine gleichmäßige Auflage der Kontaktelemente auf der zu metallisierenden Oberfläche erreicht werden.

Gänzlich ungeeignet sind die Walzenkontaktierungen mit starren Walzen beim Galvanisieren eines Leiterbildes auf Leiterplatten und Leiterfolien nach dem Pattern-Plating-Verfahren. Wegen der Dicke des isolierenden Lackes erreicht eine starre Kontaktwalze nicht die in den Vertiefungen befindlichen, zu galvani- sierenden Metallschichten, die meist aus Kupfer bestehen. Daher kann das sich in den vom Photoresist gebildeten Vertiefungen befindende Kupfer elektrisch nicht kontaktiert werden. Somit ist ein elektrolytischer Leiterbildaufbau derartiger Leiterplatten mit diesen Kontaktwalzen unmöglich. Auch die in JP-A-63-297588 beschriebene Kontaktbürste ist zur elektrischen Kontaktierung wegen der oben beschriebenen Nachteile völlig ungeeignet. Hier kommt noch hinzu, daß der empfindliche Lack durch die Bürsten zerkratzt und Lackkanten beschädigt werden.

Die zu verwendende Shore-Härte des elastischen Werkstoffes auf dem Rota- tionselement nach DIN 53 505 richtet sich nach dem Anwendungsfall:

Beim vollflächigen elektrolytischen Bearbeiten von Leiterplatten und Leiterfolien kann der elastische Werkstoff härter eingestellt werden als beim elektrolytischen Leiterbildaufbau (Pattern-Plating-Verfahren), bei dem lediglich die in Vertiefungen in der Photoresistmaske liegenden Leiterstrukturen zu metallisieren sind. Die Elastizität wird zunächst zum Ausgleich von Leiterplattenwölbungen und verschieden dicken Bereichen des Behandlungsgutes und zum Ausgleich mechanischer Toleranzen der Walzenlagerung sowie ferner zum Schutz der Oberflächen gegen Beschädigungen, wie Kratzern, Druckstellen und Strombrandmarken benötigt.

Beim Leiterbildaufbau, insbesondere bei der Feinleitertechnik soll ein möglichst großer Anteil der kontaktgebenden Walzenmantellinie die zu Beginn der Behandlung um die Photoresistdicke tiefer liegende metallische Oberfläche erreichen, das heißt elektrisch kontaktieren. Hierfür ist eine größere Elastizität des kontaktgebenden Werkstoffes nötig, um den Höhenunterschied zu den Vertiefungen zu überbrücken. Es ist jedoch nicht erforderlich, daß die gesamte Mantellinie zu jeder Zeit, das heißt bei dem in der Durchlaufbehandlungsanlage durchfahrenden Leiterbild kontaktierend aufliegt. Auf jedem zu produzierenden Nutzen gibt es größere Kontaktflächen, wie beispielsweise die später abgetrennten Ränder. Diese sind sowohl an der Oberseite als auch an der Untersei- te einer Leiterplatte vorhanden. Beide Seiten sind an den Rändern und durch die vielen durchkontaktierten Löcher miteinander elektrisch leitend verbunden.

Hinzu kommt, daß die zu galvanisierende Fläche beim Leiterbildaufbau immer kleiner ist als bei vollflächiger Behandlung. Entsprechend kleiner ist der über die Kontaktwalzen zu übertragende Strom, auch wenn mit der gleichen örtlichen Stromdichte gearbeitet werden sollte.

Mit fortschreitender Galvanisierzeit füllen sich die Leiterzüge in den Vertiefungen zwischen den Photoresistwänden auf. Damit werden diese Oberflächen auch von Kontaktwalzen erreicht, deren Oberflächen weniger elastisch sind.

Alternativ kann bei gleicher Elastizität auch die Oberfläche von schmäleren Leiterzügen erreicht, das heißt kontaktiert, werden. Dies erlaubt auch den Einsatz mehrerer in Transportrichtung gesehen hintereinander angeordneter Rotationselemente in einer Durchlaufbehandlungsanlage, die an der Oberfläche unterschiedlich elastisch sind: In Transportrichtung können in einer Anlage Kontaktwalzen verwendet werden, deren Härte in Durchlaufrichtung zunimmt. Eine der- artige Anordnung ist insofern vorteilhaft, als härtere Walzen etwas verschleißfester sind und somit insgesamt ein geringerer Abrieb erreicht wird. Als Richtwert für die Härte gilt ein Wert im Bereich von 2 bis 60 Shore A nach DIN 53 505.

Als elastische Kontaktwerkstoffe kommen Metall/Kunststoff-Verbundwerkstoffe, insbesondere aus einem elastischen Kunststoff mit einem hohen Anteil an elektrisch leitfähigen Füllstoffen gebildete Verbundwerkstoffe, in Frage. Sie bestehen aus Elastomeren wie Kautschuk, Silikon oder anderen elastischen Kunststoffen, die elektrochemisch beständig sind. Hierzu gehören auch nicht voll- kommen aushärtende Leitklebstoffe, wie sie in der Elektronikfertigung Verwendung finden. Derartigen Werkstoffen wird bei der Herstellung ein elektrisch leitfähiger Füllstoff beigemischt. Dadurch entsteht ein Metall/Kunststoff-Verbund- werkstoff.

Die Füllstoffe, auch Einlagerungskomponenten genannt, bestehen für diesen Anwendungsfall bevorzugt aus Metall in Form von Pulvern, Fasern, Nadeln, Zylindern, Kugeln, Flocken, Filz und anderen Formen. Die Abmessungen dieser Füllstoffe liegen im Bereich von Nanometern bis zu etwa 100 Mikrometern. Die Faserlängen haben Durchmesser und Längen von einigen Nanometern bis zu einigen Millimetern. Der Anteil des Füllstoffes an dem gesamten Kontaktwerkstoff beträgt bis zu 90 Gewichtsprozent. Mit zunehmendem Füllstoffanteil nimmt die Elastizität des Metall/Kunststoff-Verbundes ab und die elektrische Leitfähigkeit zu. Beide Größen werden an den jeweiligen Anwendungsfall angepaßt. Als Füllstoffe eignen sich alle elektrochemisch beständigen Werkstoffe, die zu- gleich elektrisch leitfähig sind. Übliche Füllstoffe sind beispielsweise Titan, Niob, Platin, Gold, Silber, Edelstahl und Elektrokohle. Verwendbar sind zum Beispiel auch platinierte oder vergoldete Partikel, wie Kugeln aus Titan, Kupfer, Aluminium oder Glas.

Vorteilhaft bei der Herstellung eines Metall/Kunststoff-Verbundes ist ein leichter Werkstoff wie Glas, Aluminium oder Titan. Die erforderliche elektrische Leitfä- higkeit der vergleichsweise leichten Partikel wird beispielsweise durch eine elektrolytische Beschichtung mit Platin, Gold oder Silber hergestellt. Bei nicht beschichteten Titan- oder Aluminiumpartikeln würde die Metalloxidation eine sehr gute elektrische Leitfähigkeit verhindern. Ganz besonders vorteilhaft sind metallische Hohlkugeln. Sie sind elektrisch gut leitend und von geringem Ge- wicht. Herstellbar sind Kugeln mit einem Durchmesser von 0,2 mm und weniger. Die Wandstärke ist wählbar. Sie liegt im Bereich beispielsweise von 10 Mikrometer. Hier liegt somit ein Füllstoff vor, der ein spezifisches Gewicht aufweist, das durch Wahl der Kugelabmessungen, insbesondere der Wandstärke der Kugeln, an das spezifische Gewicht des elastischen Werkstoffes exakt angepaßt werden kann. Somit findet bei der Herstellung des

Metall/Kunststoff-Verbundes keine Entmischung statt. Der Verbund ist hervorragend homogen.

Die leichten Füllstoffe neigen bei der Herstellung des Metall/Kunststoff-Verbun- des auch während des Aushärtens nicht zur Entmischung. Der Verbund bleibt sehr homogen, so daß die elektrische Leitfähigkeit immer ausreichend hoch ist. Gleich gute Ergebnisse werden mit Füllstoffpartikeln mit sehr kleinen Abmessungen erzielt, mit sogenannten nanostrukturierten Verbunden. Auch Metallfasern oder Metallflocken führen bei der Herstellung des elastischen und elek- trisch leitfähigen Werkstoffes nur zu einer geringen Entmischung, das heißt zu einem homogenen Metall/Kunststoff-Verbund. Durch die Homogenität wird die Lebensdauer dieser elastischen, elektrischen Leiter verbessert. Der gesamte Leiterquerschnitt wird mit einer gleichen Stromdichte beaufschlagt. Örtliche Überhitzungen treten nicht auf.

Die mit diesen Füllstoffen erreichbare elektrische Leitfähigkeit des elastischen Kontaktwerkstoffes beträgt 10^~3 Ωcm und in besonderen Fällen sogar 10^"4 Ωcm. Dies stellt eine nur etwa zehnmal geringere Leitfähigkeit gegenüber der Leitfähigkeit der für elektrolytische Prozesse verwendbaren Metalle wie Titan dar.

Weil die elektrische Leitfähigkeit des elastischen Kontaktwerkstoffes etwa zehnmal geringer ist als die der gebräuchlichen Metalle, entsteht in diesem Werkstoff eine zusätzliche Verlustleistung. Deshalb wird die Dicke des Kontaktwalzenüberzuges klein gehalten, insbesondere wenn das Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung von Behandlungsgut bei vollflächiger elektrolytischer Bearbeitung eingesetzt werden soll. Beispielsweise ist ein 3 mm dicker Kontaktwerkstoffüberzug auch für das Kontaktieren zum Leiterbildaufbau ausreichend.

Das Rotationselement kann als Kontaktwalze ausgebildet sein. In diesem Fall kann die Kontaktwalze einen elektrisch leitfähigen Kern aufweisen, dessen Oberfläche beispielsweise aus Metall, beispielsweise Edelstahl oder Titan, bestehen kann. Geeignet sind hierfür auch Metall/Kunststoff-Verbunde mit der erforderlichen Festigkeit und elektrischen Leitfähigkeit.

Vorteilhaft für die Kühlung ist die Rotation der Kontaktwalze. Dadurch können sich die erwärmten Kontaktbereiche während einer Umdrehung im Elektrolyten wieder abkühlen. Vorteilhaft ist es auch, daß der Kontakt nicht nur von einer exakten Mantellinie der Walze gebildet wird, wie es bei einer harten metallischen Walze nach dem Stand der Technik der Fall ist. Der elastische Kontakt- werkstoff bildet an der Berührungsstelle eine Fläche. Diese wird mit zunehmen- der Kontaktkraft und höherer Elastizität größer. Die örtlich wirkende Stromdichte nimmt dadurch deutlich ab. Durch diese Querschnittsvergrößerung an der jeweils wirkenden Kontaktstelle nimmt der elektrische Widerstand ab und damit auch die Verlustleistung, das heißt die Erwärmung.

Die Kontaktkraft wird in einer horizontalen Durchlaufbehandlungsanlage zum Beispiel durch eine Federkraft und/oder durch das Eigengewicht der oberen Kontaktwalzen gebildet. Eine darunter befindliche Walze nimmt die Gegenkraft auf. Daher ist eine Anordnung von mindestens zwei erfindungsgemäßen Rotationselementen vorteilhaft, bei der die Rotationselemente, beispielsweise Kontaktwalzen, in der Durchlaufbehandlungsanlage beiderseits der Transportebene angeordnet sind. Die obere Walze ist hierzu im Abstand zur unteren Walze frei beweglich gelagert. Sie paßt sich somit der Plattendicke und dem Grad des

Einsinkens an der kontaktgebenden Mantellinie selbsttätig an. Die untere Kontaktwalze ist üblicherweise in der Höhe fest justiert.

Eine besonders einfache kostengünstige Ausführungsform einer Kontaktwalze ergibt sich, wenn der Grundkörper, das heißt deren elektrisch leitfähiger Kern, an der Mantelfläche lediglich mit elastischen und elektrisch leitfähigen Ringen oder Bändern versehen wird. Diese Ringe oder Bänder (Kontaktstreifen) können in Nuten/Rillen der Walze formschlüssig eingelegt sein, vorzugsweise ringförmig, so daß sie zwar dort arretiert, aber leicht austauschbar und an die je- weilige Aufgabenstellung anpaßbar sind. Die Kontaktstreifen ragen vorzugsweise über die Mantelfläche des Kerns der Kontaktwalze hinaus.

Ist der elastische, elektrisch leitfähige Kontaktwerkstoff nur partiell auf dem Rotationselement aufgebracht (beispielsweise in einer spiralförmigen Nut), so ist es vorteilhaft, die nicht mit dem elastischen Kontaktwerkstoff belegten, elektrisch leitfähigen Flächen zu isolieren, zumindest soweit sie in die Behandlungsflüssigkeit eintauchen, damit an diesen Stellen kein Strom übertragen wird. Damit ist gewährleistet, daß kein elektrolytischer Metallauf- oder -abtrag an diesen Stellen stattfindet. Hierzu geeignet sind elektrisch nichtleitende Überzüge, ins- besondere Kunststoffüberzüge, aus chemisch beständigem Material, beispiels-

® weise HALAR , das auch zum Isolieren von Galvanisiergestellen verwendet wird. Das gleiche gilt für die Stirnflächen der Kontaktelemente, die nicht der

Stromübertragung dienen, zumindest soweit sie in die Behandlungsflüssigkeit eintauchen.

Als Werkstoff für die Kontaktstreifen kommt wiederum ein Metall/Kunststoff- Verbund in Frage. In einer alternativen Ausführungsform eignet sich aber auch eine metallische Spiralfeder mit schrägliegenden Windungen, die zu einem Ring zusammengefügt ist. Anstelle der Ringe können die elastischen Werkstoffe auch spiralförmig auf der Walze aufgewickelt und an den Enden der Kontaktwalze befestigt sein. In allen Fällen verlaufen diese Ringe, Bänder und Federn in Rillen in der Mantelfläche des Kerns der Walze und ragen aus diesem heraus. Nur diese rollen auf dem Behandlungsgut ab.

Von der stationären Badstromquelle und damit vom feststehenden Teil der Durchlaufbehandlungsanlage wird elektrischer Strom zum Rotationselement, beispielsweise einer Kontaktwalze, mittels eines bekannten Schleifkontaktes übertragen, der auf einer Schleifbahn der Walze anliegt.

Zur Stromversorgung des Rotationselements besteht auch die weitere Möglichkeit, einen rotierenden Kontakt (Drehkontakt) zu verwenden. Hierbei handelt es sich um ein dicht abgeschlossenes Gehäuse mit einer rotierenden Fläche und einer von dieser durch einen Spalt getrennten stationären Fläche. Der Spalt ist mit einem fließfähigen Stromübertragungsmittel, beispielsweise einer elektrisch gut leitfähigen Flüssigkeit, Suspension oder einem Metallpulver, gefüllt. Die Suspension besteht aus aufgeschwämmtem Metallpulver, wie bei den Füllstof- fen beschrieben. Dieser rotierende Kontakt ist verschleißfrei und bedarf keiner Wartung.

Die erfindungsgemäßen Rotationselemente können grundsätzlich ausschließlich zur elektrischen Kontaktierung des Behandlungsgutes eingesetzt werden. Es ist jedoch auch vorteilhaft, wenn die Rotationselemente auch zum Transport des Behandlungsgutes dienen und hierzu mit einem Antrieb versehen werden.

Falls die Bohrungen in Leiterplatten vor der weiteren Behandlung bereits mit einer elektrochemisch aufgebrachten Kupferschicht durchkontaktiert wurden, genügt für die weitere Verfahrensführung in der Leiterplattentechnik beispielsweise eine einseitige Anbringung von Kontaktwalzen mit gegenseitig angebrachten nichtleitenden Stützwalzen, da eine einseitige Kontaktierung unter diesen Bedingungen ausreichend ist:

Eine Walze auf der einen Seite der Transportebene ist zum Beispiel als Kontaktwalze ausgeführt, während die andere Walze nur dem Transport der Leiter- platten dient. Beim Transport des Behandlungsgutes in einer horizontalen Ebene kann beispielsweise die untere Walze als Kontaktwalze ausgeführt sein, während die obere Walze nur dem Transport der Leiterplatten dient oder umgekehrt. Hierzu kann beispielsweise die Kombination einer erfindungsgemäßen Kontaktwalze mit einer normalen Transportwalze (beispielsweise aus Kunst- stoff) bzw. mit einem normalen Transportrad entsprechend dem Stand der Technik gewählt werden. Durch die sehr homogene Stromeinleitung der einseitigen Kontaktwalzen, die mit dem elastischen und elektrisch leitenden Werkstoff überzogen sind, kann der Strom auch zur elektrolytischen Behandlung der Gegenseite mit eingeleitet werden. Die beiden Seiten der Leiterplatten sind über die leitfähige Schicht in den Löchern und über die Ränder ausreichend elektrisch miteinander verbunden. Mit zunehmender Schichtdicke während des Galvanisierens wird die elektrische Leitfähigkeit dieser elektrischen Verbindung zunehmend größer. Der Einsatz von Kunststoffwalzen zum Beispiel an der Oberseite anstelle von leitfähigen Kontaktwalzen spart erheblich an Kosten. Unter anderem ist eine Stromübertragung zur rotierenden und zusätzlich höhenbeweglichen Kontaktwalze unter diesen Bedingungen nämlich nicht notwendig.

Daher können erfindungsgemäße Rotationselemente sowohl beiderseits der Transportebene in der Durchlaufbehandlungsanlage eingesetzt werden, als auch jeweils nur oberhalb oder nur unterhalb der Transportebene oder auch abwechselnd oberhalb und unterhalb der Transportebene. Werden die Kontaktwalzen vorteilhafterweise nur einseitig, jedoch in Transportrichtung abwechselnd oben und unten eingebaut, so sind zumindest zeitweise auch die kürze- sten Leiterplatten oben und unten elektrisch direkt über die Kontaktmittel mit der Badstromquelle elektrisch verbunden. Der Abstand von Kontaktwalze zu Kontaktwalze in Transportrichtung wird so gewählt, daß die in Transportrichtung kürzeste Leiterplatte stets mit der Badstromquelle elektrisch verbunden bleibt. Das heißt auch, daß die kürzeste zu behandelnde Leiterplatte mit ihrer nachlaufenden Kante noch in elektrischem Kontakt mit der zurückliegenden Kontaktwalze steht, während die nächstfolgende Kontaktwalze bereits die vorlaufende Kante derselben Leiterplatte kontaktiert. Zwischen zwei Kontaktwalzen in Transportrichtung befinden sich die oberen und unteren Anoden der Durchlaufbehandlungsanlage.

In Durchlaufbehandlungsanlagen können die Kontaktwalzen auch außerhalb des Flüssigkeitsbades vor und hinter einer elektrolytischen Teilzelle oder zwischen zwei oder mehreren elektrolytischen Teilzellen und zusätzlich vor und hinter der ersten und der letzten dieser Teilzellen angeordnet sein, um eine elektrolytische Metallisierung der leitfähigen Kontaktwalzen sicher zu vermei- den. Ist dies nicht möglich, müssen die Kontaktwalzen beispielsweise von Zeit zu Zeit durch Umpolung entmetallisiert werden.

Zur näheren Erläuterung der Erfindung dienen die nachfolgend angegebenen Figuren. Es zeigen im einzelnen:

Fig. 1a: eine erfindungsgemäße Kontaktwalze mit einem vollflächigen elastischen, elektrisch leitfähigen Überzug in Seitenansicht; Fig. 1b: eine erfindungsgemäße Kontaktwalze mit ringförmigen Kontaktstreifen in Seitenansicht; Fig. 1c: eine erfindungsgemäße Kontaktwalze mit spiralförmigem Kontaktstreifen in Seitenansicht.

In Fig. 1a bis 1c sind die Galvanisierzelle mit dem Elektrolyt-Vorratsbehälter, den Pumpen, den Transportwalzen, entsprechenden löslichen oder unlöslichen Anoden, den Stromerzeugungs- und Stromzuführungs-Einrichtungen, den Elektrolyt-Zuführungsdüsen, sowie den Stauwalzen am Ein- und Auslauf des Behandlungsgutes nicht dargestellt. In Fig. 1a sind die untere Kontaktwalze 9 und die obere Kontaktwalze 10, bestehend aus Walzenkernen 1 aus einem elektrochemisch beständigen, elektrisch gut leitfähigen Werkstoff, wie zum Beispiel Metall (Titan, Edelstahl), dargestellt. Über die gesamte Mantelfläche erstreckt sich der elektrisch leitfähige, elastische Kontaktwerkstoff 2. Er ist durch leitfähiges Vulkanisieren, Kleben oder mechanisches Befestigen wie Schrauben, Nieten oder Klemmen auf dem Kern 1 befestigt. Bei der mechanischen Befestigung ist darauf zu achten, daß die Elastizität des Überzugs an den Befestigungsstellen nicht wesentlich verändert wird. An beiden Enden der Kontaktwalzen 9,10 sind Lagerzapfen 8 mit den Lagern 3 angebracht. Mindestens an einem Ende der Kontaktwalzen 9,10 befinden sich die Stromzuführungen beispielsweise in Form von Schleifringen oder Schleifkontakten 4 oder eines hermetisch geschlossenen rotierenden Kontaktes mit einer elektrisch leit- und fließfähigen Füllung zur Stromübertragung.

In Fig. 1b ist eine untere Kontaktwalze 9 dargestellt. Deren Walzenkern 1 ist mit Rillen versehen, in die der ringförmige Kontaktwerkstoff 5 formschlüssig eingelegt ist. Bei der Auslegung der Ringe 5 muß die mechanische Spannung im eingelegen Zustand so hoch sein, daß die Reibhaftung der Ringe 5 ausrei- chend hoch ist, um das Behandlungsgut 7 ohne Schlupf transportieren zu können. Auch in diesem Falle sind wiederum der Lagerzapfen 8 der Kontaktwalze 9, das Lager 3 sowie die Stromzuführung 4 dargestellt.

In Fig. 1c ist ebenfalls eine untere Kontaktwalze 9 dargestellt. Hier weist der Walzenkem 1 eine spiralförmige Nut auf, in die der elastische, leitfähige Kon- taktwerkstoff 6 formschlüssig eingelegt ist. An beiden Enden der Kontaktwalze 9 sind in diesem Ausführungsbeispiel nicht dargestellte Befestigungselemente erforderlich, mit denen der Kontaktwerkstoff 6 befestigt wird, zum Beispiel durch Festklemmen an den Stirnseiten des Kernes 1.

Werden die Kontaktwalzen 9,10 innerhalb des Galvanisierelektrolyten verwendet, sind entsprechende, in Fig. 1a bis 1c nicht dargestellte Abschirmungen, zum Beispiel Abschirmhauben erforderlich, um einen Metallniederschlag auf dem elastischen Kontaktwerkstoff 2,5,6 zu vermeiden oder zumindest gering zu halten.

Bezugszeichenliste

1 Walzenkern

2 Elastischer leitfähiger Kontaktwerkstoff 3 Walzenlager

4 Kontaktierung zur Stromübertragung

5 Ringförmig geformter Kontaktwerkstoff

6 Spiralförmiger Kontaktwerkstoff

7 Behandlungsgut 8 Lagerzapfen

9 Untere Kontaktwalze

10 Obere Kontaktwalze

Claims

Patentansprüche:

1. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung von elektrolytisch zu behandelndem, plattenförmigem Gut in einer Durchlaufbehandlungsanlage, da- durch gekennzeichnet, daß das Rotationselement (9,10) an dessen auf dem Behandlungsgut (7) abrollender Lauffläche zumindest teilweise mit einem elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff (2,5,6) versehen ist.

2. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Rotationselement (9,10) als Kontaktwalze ausgebildet ist.

3. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Rotationselement (9,10) als Kontaktrad ausgebildet ist.

4. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Rotationselement (9,10) als Kontaktspirale ausgebildet ist.

5. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Rotationselement (9,10) zum Transport des plattenförmigen Gutes (7) mit einem Antrieb versehen ist.

6. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das als Kontaktwalze ausgebildete Rotationselement (9,10) einen elektrisch leitfähigen Kern (1) aufweist.

7. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der elektrisch leitfähige Kern (1) eine aus Metall bestehende Oberfläche aufweist.

8. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach einem der Ansprüche 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß der elektrisch leitfähige Kern (1) zumindest überwiegend mit dem elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff (2) überzogen ist.

9. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß auf den nicht mit dem elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff (5,6) versehenen Kernoberflächen ein elektrisch nichtleitender Überzug aufgebracht ist, zumindest soweit die Flächen mit Behandlungsflüssigkeit in Berührung kommen können.

10. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der elektrisch leitfähige Kern (1) an der Mantelfläche mindestens eine Rille mit jeweils einem formschlüssig eingelegten, über die Mantelfläche des Kerns (1) hinausragenden, elastischen, elektrisch leitfähigen Kontaktstreifen (5,6) aufweist.

11. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Kontaktstreifen (5) ringförmig an der Mantelfläche verläuft.

12. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Kontaktstreifen (6) spiralförmig an der Mantelfläche verläuft.

13. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach Anspruch 12, da- durch gekennzeichnet, daß der Kontaktstreifen (6) an den Enden der Kontaktwalze (9,10) befestigt ist.

14. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Schleifkontakt (4) zur Stromversorgung des Rotationselements (9,10) vorgesehen ist.

15. Rotationselement zur elektrischen Kontaktierung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein ein fließfähiges Stromübertragungsmittel enthaltender Drehkontakt (4) zur Stromversorgung des Rotationselements (9,10) vorgesehen ist.

16. Anordnung von mindestens zwei Rotationselementen zur elektrischen Kontaktierung von elektrolytisch zu behandelndem, plattenförmigem Gut in einer Durchlaufbehandlungsanlage, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationselemente (9,10) an deren auf dem Behandlungsgut (7) abrollender Lauffläche zumindest teilweise mit einem elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff (2,5,6) versehen sind, wobei die Rotationselemente (9,10) in Durchlaufrichtung gesehen in der Durchlaufbehandlungsanlage hintereinander angeordnet sind und die Härte des elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoffes (2,5,6) an den einzelnen Rotationselementen (9,10) in Durchlaufrichtung zunimmt.

17. Anordnung von mindestens zwei Rotationselementen zur elektrischen Kontaktierung von elektrolytisch zu behandelndem, plattenförmigem Gut in einer Durchlaufbehandlungsanlage, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationselemente (9,10) an deren auf dem Behandlungsgut (7) abrollender Lauffläche zumindest teilweise mit einem elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff (2,5,6) versehen sind, wobei die Rotationselemente (9,10) in der eine Trans- portebene für das Behandlungsgut (7) aufweisenden Durchlaufbehandlungsanlage beiderseits der Transportebene angeordnet sind.

18. Verfahren zur elektrischen Kontaktierung von elektrolytisch zu behandeln- dem, plattenförmigem Gut in Durchlaufbehandlungsanlagen, bei dem das Gut durch die Durchlaufbehandlungsanlage hindurchtransportiert wird und dabei mit Hilfe mindestens eines Rotationselements elektrisch kontaktiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Behandlungsgut (7) zumindest teilweise über einen elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff (2,5,6) elektrisch kontaktiert wird, der an der auf dem Behandlungsgut (7) abrollenden Lauffläche des mindestens einen Rotationselements (9,10) aufgebracht ist.

19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Behandlungsgut (7) über einen elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff (2,5,6) elektrisch kontaktiert wird, der an der Mantelfläche des mindestens einen als Kontaktwalze ausgebildeten Rotationselements (9,10) aufgebracht ist.

20. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Behand- iungsgut (7) über einen elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff (2,5,6) elektrisch kontaktiert wird, der auf der Lauffläche des mindestens einen als Kontaktrad ausgebildeten Rotationselements (9,10) aufgebracht ist.

21. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Behandlungsgut (7) über einen elastischen, elektrisch leitfähigen Werkstoff (2,5,6) elektrisch kontaktiert wird, der auf der Lauffläche des mindestens einen als Kontaktspirale ausgebildeten Rotationselements (9,10) aufgebracht ist.

22. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 21 , dadurch gekennzeichnet, daß das Behandlungsgut (7) von dem mindestens einen Rotationselement (9,10) transportiert wird.

23. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß in einer eine horizontale Transportebene für das Behandlungsgut (7) aufweisenden Durchlaufbehandlungsanlage jeweils oberhalb und unterhalb der Transportebene angeordnete Rotationselemente (9,10) zur elektrischen Kontaktierung vorgesehen werden, die am Behandlungsgut (7) beiderseits anlagen- technische Toleranzen und produktbezogene Höhenunterschiede bei der elektrischen Kontaktierung ausgleichen.

24. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 22 , dadurch gekennzeichnet, daß in einer eine horizontale Transportebene für das Behandlungsgut (7) aufweisenden Durchlaufbehandlungsanlage jeweils nur oberhalb oder nur unterhalb der Transportebene angeordnete Rotationselemente (9,10) zur elek- frischen Kontaktierung vorgesehen werden, die am Behandlungsgut (7) beiderseits anlagentechnische Toleranzen und produktbezogene Höhenunterschiede bei der elektrischen Kontaktierung ausgleichen.

25. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß in einer eine horizontale Transportebene für das Behandlungsgut (7) aufweisenden Durchlaufbehandlungsanlage in Transportrichtung gesehen mehrere Rotationselemente (9,10) zur elektrischen Kontaktierung abwechselnd oberhalb und unterhalb der Transportebene angeordnet werden, die am Behandlungsgut (7) beiderseits anlagentechnische Toleranzen und produktbezogene Höhenunterschiede bei der elektrischen Kontaktierung ausgleichen.