WO2001049454A1 - Appareil et procede de polissage de tete magnetique - Google Patents

Appareil et procede de polissage de tete magnetique Download PDF

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WO2001049454A1
WO2001049454A1 PCT/JP2001/000035 JP0100035W WO0149454A1 WO 2001049454 A1 WO2001049454 A1 WO 2001049454A1 JP 0100035 W JP0100035 W JP 0100035W WO 0149454 A1 WO0149454 A1 WO 0149454A1
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WO
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polishing
jig
load
magnetic head
applying
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PCT/JP2001/000035
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Hiroshi Shindou
Akio Ogawa
Original Assignee
Tdk Corporation
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    • G—PHYSICS
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    • G11B5/3109—Details
    • G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks

Definitions

  • the present invention relates to a magnetic head polishing apparatus and a polishing method for polishing an object to be polished which is held by a jig and in which a plurality of magnetic heads are arranged.
  • converters containing multiple magnetic thin films were arranged in a single row on ceramic bars (separated individually to form sliders).
  • the throat height of the gap in the conversion section is set to an optimum value for reading and writing the data signal.
  • the ceramic to be polished may be distorted, or the ceramic plate may have undesirable curvature or curvature. It is a problem. In other words, if the ceramic bar has distortion or curvature, the ceramic bar is not uniformly polished on the rotary polishing table of the polishing apparatus. Therefore, for example, even if the throat height of the thin film magnetic head at the center of the ceramic bar is an appropriate value. However, the throat heights of the thin film magnetic heads at both ends may be excessively large or small and may be defective.
  • a ceramic bar is attached to the bottom of a plate-shaped horizontally long jig, and a large number of thin films are arranged in a ceramic bar.
  • the throat height of each thin film magnetic head formed on the ceramic bar is polished. It has been proposed to set an appropriate value.
  • the vertical jig to which the ceramic bar is attached is vertically moved at three positions in accordance with the polishing amount obtained by the resistance value that changes with the throat height. A load is applied in the direction to correct the bending of the ceramic bar.
  • the throat height will be required to be more and more precise.
  • a load is applied vertically to three locations in the longitudinal direction of the horizontally long jig. Therefore, the ceramic bar can only be deformed into a shape that approximates a quartic curve.
  • the modifiable throat height pattern is also limited to a shape that approximates a low-order curve of order 4 or lower.
  • the distribution of the throat height of the magnetic head in the actual polished ceramic bar shows a more complicated pattern that is approximated by, for example, a higher-order curve of order 6 or higher. Therefore, the conventional polishing apparatus has a problem that the throat height is not sufficiently corrected in a portion that cannot correspond to the throat height distribution pattern approximated by the higher-order curve.
  • Figure 28 shows the final throat when a conventional polishing device is used to automatically control the throat height, for example, when polishing a ceramic bar of about 50 reference lengths. This is an example of the height distribution.
  • the solid line represents the sixth order curve of the throat height distribution
  • the broken line represents the fourth order curve of the throat height distribution.
  • the final distribution of the throat height is approximated by a sixth-order curve.
  • the actual distribution pattern of the throat height in the ceramic cavity before polishing is approximated to a curve of order 6 or higher, whereas in the conventional polishing apparatus described above, The distribution pattern of the throat height that can be modified is limited to those approximating a curve of fourth order or less. Therefore, as shown in Fig. 28, In the height distribution pattern, higher order components remain uncorrected. As described above, the conventional polishing apparatus has a problem that when the throat height of the magnetic head is required to be highly accurate, sufficient correction cannot be performed. Disclosure of the invention
  • the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and has an object to provide a magnetic head polishing apparatus and a polishing method capable of correcting distortion and curvature of an object to be polished more accurately. It is intended to provide.
  • the present invention provides a magnetic head polishing apparatus for polishing an object to be polished which is held by a jig and in which a plurality of magnetic heads are arranged.
  • a polishing table ; and a polishing apparatus main body movably arranged with respect to a polishing surface of the rotary polishing table.
  • the polishing apparatus main body is provided below the polishing apparatus main body.
  • a jig holding portion for holding the jig, and load applying means for applying a predetermined load to a plurality of load applying portions provided along the longitudinal direction of the jig, respectively. In order to deform the jig into a predetermined shape, a load is applied to at least one of the load applying portions from a plurality of different directions.
  • the jig is deformed into a predetermined shape by applying loads from at least one of the load applying portions from a plurality of different directions by the load applying means. For example, before polishing, even if the distribution of the throat height value of each magnetic head of the object to be polished has a complicated pattern approximating a higher-order curve, the pattern is faithfully adhered to the pattern. Deform the jig to correspond As a result, it is possible to correct distortion and curvature of the object to be polished very accurately.
  • the load applying means preferably includes a vertical load applying means for applying a vertical load to at least one load applying portion of the jig.
  • the load applying means preferably has a horizontal load applying means for applying a horizontal load to at least one load applying portion of the jig.
  • the load applying means includes a rotational load applying means for applying a rotational load to at least one load applying portion of the jig.
  • the jig holding means preferably holds the jig substantially at the center in the longitudinal direction.
  • the polishing apparatus main body has tilting means for holding the polishing apparatus main body so as to be tiltable about a tilt axis parallel to the polishing surface.
  • the present invention further includes a swinging means for swingably holding the polishing apparatus main body.
  • the present invention provides a method for polishing a magnetic head for polishing an object to be polished which is held by a jig and in which a plurality of magnetic heads are arranged, comprising: a rotary polishing table having a polishing surface driven to rotate; A step of preparing a polishing apparatus main body which is movably disposed with respect to the polishing surface of the polishing table and has a jig holding portion for holding the jig below the polishing table; Attaching a jig having a plurality of load applying portions along the longitudinal direction, and applying a load from at least one of a plurality of different directions to at least one of the load applying portions in order to deform the jig into a predetermined shape. Polishing a plurality of magnetic heads of the object to be polished.
  • FIG. 1 is an overall perspective view showing a first embodiment of a magnetic head polishing apparatus of the present invention. You.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the vicinity of the jig holding unit in FIG.
  • FIG. 3 is a front view showing a state where the jig is fixed to the jig holding portion.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
  • FIG. 5 is a front view showing the jig.
  • FIG. 6 is a front view showing another example of the jig used in the magnetic head polishing apparatus of the first embodiment.
  • FIG. 7 is a front view showing another example of a jig used in the magnetic head polishing apparatus of the first embodiment.
  • FIG. 8 is a front view of still another example of the jig used in the magnetic head polishing apparatus of the first embodiment.
  • FIG. 9 is an overall front view showing a magnetic head polishing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a plan view of FIG.
  • FIG. 11 is a main part front view showing a magnetic head polishing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 is a plan view of a principal part showing a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a bottom view showing an Asian string used in the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a front view showing a polishing apparatus main body according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 15 is a partial side sectional view of FIG.
  • FIG. 16 is a plan view of FIG.
  • FIG. 17 is a side view showing only the tilting mechanism.
  • FIG. 18 is a side view showing only the balance load driving mechanism.
  • FIG. 19 is a front view showing only the X-direction drive mechanism.
  • FIG. 20 is a partial side view of FIG.
  • FIG. 21 is a side sectional view taken along the line BB of FIG.
  • FIG. 22 is a front view showing only the Y-direction drive mechanism.
  • FIG. 23 is a side sectional view taken along the line C-C of FIG.
  • FIG. 24 is a front view showing only the ⁇ -direction drive mechanism.
  • FIG. 25 is a partial side sectional view of FIG.
  • FIG. 26 is a cross-sectional plan view taken along line DD in FIG.
  • FIG. 27 is a side cross-sectional view of the object to be polished for explaining the taper processing of the object to be polished in the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 28 is a diagram showing an example of a final slot height distribution when a bar is polished using a conventional polishing apparatus.
  • FIG. 1 is an overall perspective view showing a first embodiment of a magnetic head polishing apparatus according to the present invention.
  • the polishing apparatus 1 includes a table 10, a rotary polishing table 11 provided on the table 10, and a column 12 provided on the table 10 beside the rotary polishing table 11. And a polishing apparatus main body 20 attached to the support 12 via an arm 13.
  • the rotary polishing table 11 has a polishing surface 11a that comes into contact with the bar.
  • the polishing apparatus main body 20 includes a support portion 27 connected to the arm 13, a base member 22 disposed in front of the support portion 27, and a front surface of the base member 22.
  • the jig holding part 23 provided, and three jigs arranged at equal intervals in front of the jig holding part 23 25A, 25B, 25C.
  • the upper portions of the support part 27, the base member 22 and the load applying rods 25 A, 25 B, 25 C are covered with a cover 21.
  • the base member 22 is connected via an arm (not shown) to an actuator installed in the support portion 27, and can be moved up and down by driving the actuator. .
  • the horizontally long jig 50 is fixed to the jig holding portion 23.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the vicinity of the jig holder 23 in FIG. 1
  • FIG. 3 is a front view showing a state where the jig is fixed to the jig holder 23, and
  • FIG. 4 is a line A—A in FIG. FIG.
  • the jig holding part 23 is provided with a holding part main body 31 and a jig fixing via-hole provided at the center in the left-right direction near the lower end of the front surface of the holding part main body 31. And a guide bin 33, 33 as a rotation preventing member provided so as to protrude forward near the left and right ends near the lower end of the front surface of the holding part body 31. are doing. Most of the guide pins 33, 33 are formed in a columnar shape, and the distal end portion is formed such that the diameter decreases toward the distal end side. A female screw is formed on the jig fixing pin 32 from the tip side. The jig 50 is fixed to the jig fixing pin 32 by a bolt 40 as a fixing tool.
  • a bearing 37 is provided near the lower end of the load applying block 35 A, 35 B, 35 C, through which a load applying pin 36 A, 36 B, 36 C described later is rotatably inserted.
  • the load application work 35 B is provided with a jig fixing so that the load application block 35 B can move a predetermined distance vertically and horizontally at a position corresponding to the jig fixing pin 32. Pins 3 and 2 are inserted A through hole 38 is formed.
  • the load-applying pins 36A, 36B, and 36C pass through the bearings 37 of the load-applying blocks 35A, 35B, and 35C, respectively, and the leading end protrudes from the front end face of the load-applying blocks 35A, 35B, and 35C. I have.
  • rectangular parallelepiped heads 39A, 39B, 39C are formed, respectively.
  • the rear ends of the load-applying bins 36 A, 36 B, and 36 C are provided with levers 41 A, 4 IB, and 41 C disposed between the holding body 31 and the load-carrying blocks 35 A, 35 B, and 35 C, respectively.
  • the other end of the lever 41A, 41.B, 41C is rotatably connected to the lower end of a shaft 42A, 42B, 42C for swinging the lever 41A, 41B, 41C. Have been.
  • Support members 43A, 43B, and 43C are provided above the load-applying blocks 35A, 35B, and 35C to support the load-applying rods 25A, 25B, and 25C so that they can move up and down and rotate. I have.
  • the distal ends of the drive rods 44A, 44B, 44C are joined to the rear ends of these support members 43A, 43B, 43C.
  • the drive rods 44A, 44B, and 44C pass through bearings 45A, 45B, and 45C provided on the holding section main body 31, and the rear end is guided to the base member 22.
  • Each of the load applying rods 25A, 25B, 25C is vertically driven by an unillustrated actuator provided in the base member 22.
  • Drive rods 44A, 44B, 44. Each is driven in the rotation direction by another actuator (not shown) provided in the base member 22.
  • the shafts 42A, 42B, 42C are configured to be driven in the vertical direction by a further actuator (not shown) provided in the base member 22.
  • FIG. 5 is a front view showing the jig 50 and has a horizontally long plate shape.
  • the jig 50 includes a main body 51 fixed to the polishing apparatus 1 shown in FIG. 1, a holding part 52 long in one direction for holding a bar as an object to be polished, and a holding part 52.
  • Four connecting parts 5 3 A to 5 3 D connecting the main body part 5 1 and three holding parts 5 connected to the holding part 52 to apply a load for deforming the holding part 52 4 A to 54 C, and arm portions 55 A to 55 C for connecting the load applying portions 54 A to 54 C and the holding portion 52.
  • the main body 51 has a bolt 40 for fixing the main body 51 to the jig fixing bin 32 of the polishing apparatus 1 at a position in the center in the longitudinal direction and above the center in the vertical direction.
  • a fixing hole 56 is formed as a fixing portion through which the hole is inserted.
  • engaging portions 57, 57 with which the guide pins 33, 33 are engaged are formed in the main body 51.
  • the engagement portions 5 7 and 5 7 correspond to the guide bins 3 3 and 3 3 when the positions of the jig fixing bin 32 of the polishing apparatus 1 and the fixing hole 56 of the jig 50 are aligned. It is formed at the position.
  • the holding portion 52 has an elongated beam structure that bends when an external force is applied.
  • a bar fixing portion 58 to which the bar is fixed is provided.
  • the bar fixing portion 58 has a plurality of grooves into which a bar cutting blade enters when cutting the bar.
  • the longitudinal direction (horizontal direction, horizontal direction) of the jig 50 is defined as the X direction, and is orthogonal to the longitudinal direction of the jig 50, and the front and back surfaces of the jig 50.
  • the direction parallel to (vertical direction, vertical direction) is the Y direction.
  • the direction of rotation about the axis orthogonal to the X and Y directions is the 0 direction.
  • the two load applying portions 54 A and 54 C on both sides have three degrees of freedom, that is, orthogonal X and Y directions and zero direction. That is, the load application section 5 4 A, 5 4 C is movable in three directions, that is, the X direction, the Y direction, and the ⁇ direction based on the main body 51.
  • the central load applying portion 54B has a single degree of freedom only in the Y direction. That is, the load applying section 54B is movable only in the Y direction with respect to the main body section 51.
  • the load applying portions 54A and 54C having three degrees of freedom have holes whose cross sections capable of receiving loads in three directions have a shape other than a circle.
  • the load applying portion 54B also has a hole having the same shape as the load applying portions 54A and 54C.
  • the two arms 55 A and 55 C on both sides allow the center of the load applying parts 54 A and 54 C to be adjusted when the holding part 52 is deformed in the rotational direction by the displacement of the load applying parts 54 A and 54 C.
  • the load applying parts 54A, 54C and the holding part 52 are connected to each other so as to be located at a position shifted to the outside in the longitudinal direction of the holding part 52 with respect to the rotation centers 59A, 59B. That is, the arms 55A and 55C have a structure in which the arms 55A and 55C overhang (extend) outside the longitudinal direction of the holding portion 52 with respect to the centers of rotation 59A and 59B.
  • the center arm 55B has a shorter length in the Y direction than the other arms 55A and 55C, and overhangs the longitudinal center of the holding portion 52 and the load applying portion 54B. Are connected without.
  • the engaging portions 57, 57 are formed by cutting out the upper portions of the end connection portions 53 A, 53 D in the main body 51 so as to open inward in the longitudinal direction of the jig 50. Is formed.
  • Each of the engagement portions 57 has two surfaces parallel to the longitudinal direction of the jig 50. The distance between these two surfaces is slightly larger than the diameter of the guide pins 33,33.
  • the guide bins 33, 33 are inserted into the engagement portions 57, 57 with an appropriate clearance in the vertical direction, and the engagement portions 57, 57 are connected to the two parallel surfaces described above.
  • the position fluctuation of the main body 51 with respect to the guide bins 33, 33 is allowed by a predetermined amount.
  • the medium facing surface of the bar 70 faces the bar fixing portion 58 of the jig 50 on the front side.
  • the bar 70 is fixed by bonding or the like so as to be (lower side).
  • the jig 50 is disposed in front of the load applying blocks 35A, 35B, 35C.
  • the guide pins 33, 33 are engaged with the engagement portions 57, 57 of the jig 50, and the heads 39A, 39B, 39C of the load-applying pins 36A, 36B, 36C are disengaged. It is inserted into the load applying parts 54A, 54B, 54C. Further, the position of the jig 50 is adjusted so that the position of the fixing hole 56 of the jig 50 and the position of the jig fixing pin 32 of the polishing apparatus 1 are aligned.
  • the bolt 40 is inserted into the fixing hole 56 from the front side of the jig 50 via the washer 49, and the bolt 40 is screwed into the female screw of the jig fixing pin 32.
  • the jig 50 is sandwiched between the seat surface of the bolt 40 and the distal end surface of the jig fixing pin 32 via the washer 49, and the jig 50 is fixed to the jig fixing pin 32.
  • the bar 70 is arranged so that the surface to be polished abuts on the polishing surface 1 la of the rotary polishing table 11.
  • the load applying rods 25A, 25B, and 25C are driven in the vertical direction, the load applying blocks 35A, 35B, and 35C move in the vertical direction, and these load adding blocks 35A, 35B, and 35C are moved.
  • the penetrating load applying pins 36A, 36B, 36C move up and down, and the heads 39A, 39B, 39C also move up and down. You.
  • a load in the Y direction can be applied to the load applying portions 54A, 54B, 54C of the jig 50.
  • the support members 43A and 43C are rotated about the axes of the drive rods 44A and 44C, and the lower ends of the load-carrying rods 25A and 25C are moved downward.
  • the drive rods 44A and 44C move in the rotation direction around the center.
  • the load applying blocks 35A and 35C move in the rotation direction about the axes of the drive rods 44A and 44C.
  • the moving distance of the load applying blocks 35A, 35C in the rotating direction is extremely small compared to the distance from the driving rods 44A, 44C to the load applying blocks 35A, 35C.
  • the movement of the load applying blocks 35 A and 35 C accompanying the driving of 44 C is a substantially linear movement in the left and right direction.
  • the load applying pins 36A and 36C passing through the load applying blocks 35A and 35C move in the left and right direction, and the heads 39A and 39C move. Also move left and right.
  • the load applying portions 54 A and 54 of the jig 50 are formed. , A load in the X direction can be applied.
  • the holding portion 52, the bar fixing portion 58, and the bar 70 are deformed.
  • the medium facing surface of the bar 70 can be polished while controlling the value of the throat height of the magnetic head in the bar 70 to a target value. Therefore, according to the magnetic head polishing apparatus according to the first embodiment of the present invention, before polishing, the distribution of the throat height values of the magnetic heads at 70 is approximated to a higher-order curve. Even if a complicated pattern is formed, the holding portion 52 of the jig 50 can be deformed so as to faithfully correspond to the pattern. It is possible to accurately set the throat height within an allowable range.
  • the two load applying portions 54 A and 54 C on both sides are arranged in the X direction, the Y direction, and the zero direction.
  • the load applying portion 54 B at the center is movable only in the Y direction.
  • the driving rods 44 B and 6> for moving the central load applying portion 54 B in the X direction are used. Since the shaft 42B and the lever 41B for giving the movement of the shaft are not used, the drive rod 44B, the shaft 42B and the lever 41B should not be provided. Is also good.
  • the jig 75 has a longer vertical length than the jig 50 shown in FIG. Also, in the jig 75, the central load applying portion 54B is disposed above the position of the load applying portion 54B in the jig 50, and the other load applying portions 54A and 54C are arranged. Similarly, it is arranged at a substantially central position in the vertical direction of the main body 51. Accordingly, the length of the arm 55B of the jig 75 is longer than the length of the arm 55B of the jig 50.
  • all three load applying portions 54A to 54C have three degrees of freedom in the orthogonal X and Y directions and the zero direction. That is, the load applying portions 54 A to 54 C are arranged in three directions of the X direction, the Y direction, and the zero direction with respect to the main body 51. Can be moved to
  • the holding portion 52 can be deformed into a more complicated shape than the jig 50 shown in FIG. 5, specifically, a complicated shape that approximates a higher-order curve of order 8 or higher. You can.
  • This jig 80 is the same as the jig 50 shown in Fig. 5, except that the load-carrying part 54B and the arm part 55B move the intermediate connecting parts 53B, 53C to a position closer to the center. It was made.
  • the holding portion 52 of the jig 80 is thinnest between the intermediate connecting portions 53B and 53C in the vicinity of the intermediate connecting portions 53B and 53C. The thickness increases toward the center between the 3Cs, and the flexural rigidity increases.
  • the driving rod 44B for giving the movement in the X direction to the central load applying portion 54B and the movement in the Y direction are given. Since the load rod 25B, the shaft 42B for giving the movement in the 0 direction and the lever 41B are not used, the drive rod 44B, the load rod 25B, the shaft 42B and the lever 41 are not used. B may not be provided.
  • This jig 85 can receive loads in two directions, X and Y, instead of the load applying parts 54 A, 54 B, and 54 C each having a rectangular cross section in the jig 75 shown in FIG.
  • the jig 85 has a circular hole in the cross section and has load applying parts 54 A, 54 B, 254 C having two degrees of freedom in the X direction and the Y direction.
  • the holding part 52 can be deformed into a complicated shape by combining the loads in multiple directions applied to the three load applying parts 54A, 54B, 54C. .
  • the three load applying portions 54A, 54B, and 54C can be moved only in the X and Y directions.
  • the shafts 42A, 42B, which give the three load applying portions 54A, 54B, 54C 6> Do not use 42 C and levers 41 A, 4 IB, 41 C Therefore, the shafts 42A, 42B, 42B and the levers 41, 41B, 41B may not be provided.
  • FIG. 9 is an overall front view showing a magnetic head polishing apparatus according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 10 is a plan view of FIG.
  • the magnetic head polishing apparatus 100 includes a base 101, on which a rotary polishing table 102 is rotatably supported in a horizontal plane.
  • the rotary polishing table 102 is rotatably driven via a belt 106 by a platen driving motor 104 which is a rotary drive source provided in the base 101.
  • a pair of vertically spaced guide rails 108 are supported above the base 101 so as to extend in the horizontal direction, and are slidable horizontally by a pair of guide rails 108. Is provided with a lateral movement slider 110.
  • a polishing head mounting frame 112 is attached to the horizontal moving slider 110 so as to be able to move up and down freely (the height is adjustable so as to be driven up and down).
  • the laterally moving slider 110 is driven, for example, by screwing a ball screw nut on the slider 110 side into a ball screw shaft parallel to the guide rail 108, and rotating the ball screw shaft in motor and motor. Further, the slider 110 and the polishing head mounting frame 112 can reciprocate linearly.
  • the inside of the polishing head mounting frame 1 12 is The rotation support portion 116 is rotatably supported via an annular bearing 114, and the rotation support portion 116 is polished by an elastic member 118 such as a leaf spring or rubber.
  • Head 120 is attached.
  • a rigid member may be used instead of the elastic member 118.
  • the polishing head 120 has a bottom plate 122 and a vertical support plate 124 fixed upright on the bottom plate 122 in parallel with the bottom plate 122, and further has a bottom plate 122 of the polishing head 120.
  • Azia strings 1 2 6 are fixed to the bottom surface.
  • the adjust ring 1 26 comes into contact with the polishing surface 102 a which is the upper surface of the rotary polishing table 102.
  • the aisle string 126 may not be provided as necessary.
  • the rotation support part 1 16 has a belt wheel
  • polishing head 1 2 8 is fixed, and on the outside of the polishing head mounting frame 1 1 2, a polishing head swinging mode 1 3 2 that rotates the belt wheel (pulley) 130 is mounted. It has been done.
  • a belt 134 is wound between the belt wheels 128, 130. Mo overnight
  • Belt wheels 1 28, 1 30 and Belt 1 34 allow the polishing head 1 20 and adjuster ring 1 26 to perform a reciprocating rotational motion (oscillating motion) within a predetermined angle range. Functions as rocking means.
  • FIG. 13 is a bottom view of the adjust ring.
  • the adjust ring 1 26 consists of a number of abrasion-resistant ceramic cylindrical dummies 13 8 embedded in an aluminum ring main body 13 6, for example. The lower end face of 8 protrudes slightly from the ring body 1 36.
  • the number of columnar dummies 1338 is set in accordance with the weight balance of the polishing heads 120 mounted on the adjust rings 126.
  • the arc-shaped portions 40 and 42 of the adjuster string 1 26 facing the rotary polishing table 102 Since the arc-shaped portion 140 receives the load of the polishing head 120 more, the number of columnar dummies 1 38 is larger.
  • FIG. 14 is a front view showing a polishing apparatus main body according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 15 is a partial side sectional view of FIG. 14
  • FIG. 16 is a plan view of FIG. 14
  • FIG. Fig. 18 is a side view showing only the balance load drive mechanism.
  • Fig. 19 is a front view showing only the X-direction drive mechanism.
  • Fig. 20 is a part of Fig. 19.
  • FIG. 21 is a side sectional view taken along the line B—B of FIG. 19,
  • FIG. 21 is a front view showing only the Y-direction drive mechanism
  • FIG. 23 is a view of FIG. Fig.
  • FIG. 24 is a front sectional view showing only the 0-direction drive mechanism.
  • Fig. 25 is a side sectional view of Fig. 24, and
  • Fig. 26 is a sectional view of Fig. 25.
  • FIG. 27 is a side sectional view of the object to be polished for explaining the taper processing of the object to be polished in the second embodiment.
  • the polishing apparatus main body 300 of the polishing apparatus 100 of the second embodiment includes a tilting mechanism 302, a balance load driving mechanism 304, an X-direction driving mechanism 303, a Y-direction driving mechanism 310 and And a zero-direction drive mechanism 310.
  • the tilting mechanism 302 will be described mainly with reference to FIG. 15 and FIG.
  • a tilting axis 1 parallel to the lower surface of the azure string 126 (that is, the polishing surface 102a of the rotary polishing table 102).
  • a tilting portion 144 is pivotally mounted on the tilting shaft 144 so as to be tiltable with respect to the polishing head 120 around the tilting shaft 144.
  • the lower part of the motor mounting base 144 is rotatably mounted on the fulcrum shaft 150, and the motor mounting base is further mounted.
  • a tilting module 15 2 is fixed to the upper part of the section 1 48.
  • the ball screw shaft 1 5 4 is connected to the rotary drive shaft of the motor
  • the ball screw nut 156 is screwed to the ball screw shaft 154.
  • the other end of the arm 158 having one end fixed to the tilting portion 146 is connected to the ball screw nut 156 by a fulcrum shaft 160.
  • the mechanism from the fulcrum shaft 150 to the fulcrum shaft 160 constitutes a tilting means for tilting the tilting portion 146 by a predetermined angle from a state in which the tilting portion 146 is perpendicular to the polishing surface 102a of the rotary polishing table 102. I have.
  • a slider 164 is attached to the tilting portion 146 via a straight guide 162 so as to be able to move up and down with respect to the tilting portion 146.
  • the tilting portion 146 and the slider 164 are always kept in a parallel state.
  • a back plate 168 is pivotally mounted on a fulcrum shaft 166 parallel to the polishing surface 102a of the rotary polishing table 102 and orthogonal to the tilting shaft 144.
  • electromagnetic actuating units 170A and 170B for balance are mounted via a bracket 172. These balance-type electromagnetic actuators 170A and 170B press down (press) the left and right sides of the fulcrum shaft 166 of the back plate 168, respectively, and apply a load acting on the back plate 168.
  • the electromagnetic actuating units 170A and 170B for balancing are composed of a frame 174, a coil 176 mounted on the inner side of the frame 174 to form a fixed portion, a magnet 178 provided at a central portion and forming a movable portion, A rod 180 is integrally attached to the center of the magnet 178.
  • a slider 182 with an L-shaped cross section is attached to the frame of the actuators 170A and 170B. It is provided to be able to move up and down along a straight guide 18 4 attached to 17 4.
  • the upper side of the frame 17 4 and the slider 18 2 having an L-shaped cross section
  • the panel 186 is connected by the biasing force of the panel member 186 to cancel the weight of the magnet 178 serving as the movable portion.
  • the lower end side of these L-shaped sliders 18 2 and the left and right sides of the back plate 168 are connected by connecting links 18 88 via the spacers 18 7 and 18 9, respectively. Each is linked.
  • the pivot point for connecting the left and right connecting links 1 88 to the back plate 1 68 is L,.
  • the mounting structure of the jig will be described with reference to FIGS. 14 and 15.
  • the jigs 50 see FIG. 5
  • jigs 75 see FIG. 6
  • jigs 80 see FIG. 7
  • jigs 85 Any of the above is applicable.
  • a rectangular plate portion 190 is formed integrally with the lower portion of the back plate 168.
  • a jig fixing bin 1 9 6 see Fig. 17
  • stopper pins 19 9 A and 19 7 B see Fig.
  • Fixing bolts 202 are screwed onto the end surfaces of the jig fixing pins 1996 at the center to prevent the jig 50 from falling off. At one point, it is held on the back plate 168.
  • the stopper pins 197A and 197B at the left and right ends and the jig fixing pin 196 serve as a reference for the mounting position when mounting the later-described correction holders 222A, 222B and 222C. Further, the diameters of the stopper pins 197A and 197B and the jig fixing pin 196 are respectively determined from the through holes 20OA, 200B and 200C provided in the correction holders 222A, 222B and 222C. It has become smaller by the length of.
  • the stopper pins 197A and 197B and the jig fixing pin 196 also have a function of regulating the movement of the correction holders 222A, 222B and 222C when the holders 222A, 222B and 222C move up and down more than necessary.
  • the guide bins 198A and 198B are provided at both ends of the rectangular plate-shaped portion 190 so as not to affect the bending correction of the jig 50. It is used for positioning when attaching to the rectangular plate 190 through 222 A, 222 B, and 222 C.
  • bearings 226 are provided near the lower ends of the correction holders 222A, 222B and 222C, and load-applying pins 224A, 224B and 224C are provided. Are rotatably inserted into the bearing 226. Rectangular heads 228A, 228B, and 228C are formed on the distal ends of the load-bearing pins 224A, 224B, and 224C, respectively, and these heads 228A, 228B, and 228C are used for treatment. It is fitted into the holes that make up the load negative application parts 54 A, 54 B, 54 C of the fixture 50.
  • the rear ends of the load applying pins 224A, 224B, 224C are joined to one ends of levers 230A, 230B, 230C.
  • the other ends of the levers 230A, 230B and 230C are connected via pins 234 to the lower ends of the 0-direction holders 232A, 232B and 232C for driving the levers 23OA, 230B and 230C. And swingably connected.
  • FIGS. 19 to 21 exemplarily show a mechanism for applying a load in the X direction to the load application pin 222B.
  • a main holder 236 is fixed to the upper side of the knock plate 168 (see FIG. 15), and an upper holder 238 is fixed to an upper end of the main holder 236. I have.
  • the upper holder 238 has an X-direction driving actuator for applying a load in the X-direction to each of the above-described load-applying bins 222A, 222B, and 222C.
  • OA, 240B, 240C are attached.
  • the lower end of the X-direction drive actuator 240B is connected to the upper end of a rod 242, and the lower end of the rod 242 can be moved up and down via a shaft 244.
  • Rotating plate 2 4 6 is connected.
  • the rotating plate 2466 is rotatable about a shaft 250 provided on the main holder 236 via a bearing 2488.
  • a straight guide 25 2 is fixedly provided on the front side (left side in FIG. 21) of the rotating plate 24 6.
  • the straight guide 25 2 has the above-mentioned correction holder 2 2 B is mounted so that it can slide vertically. In the vicinity of the lower end of the correction holder 222B, the load applying bin 222B is rotatably mounted via the bearing 222 as described above.
  • FIG. 22 and FIG. 23 representatively show a mechanism for applying a load to the load applying pin 224B in the Y direction.
  • a Y-direction drive actuator 258B (258A, 258B) for applying a load in the Y-direction to the load applying pin 224B (224A, 224C) via the bracket 256 is provided. 258 C) is installed.
  • a rod 260 is connected to a lower end of the Y-direction driving actuator 25 8 B, and the above-mentioned correction holder 222 B is connected to a lower end of the mouth 260 via a shaft 262. It is rotatably connected.
  • the correction holder 222B can be rotated around the axis 250 (see FIGS. 19 and 21) by the X-direction driving mechanism 240B, and can be rotated by the Y-direction driving mechanism 258B. It can also move in the Y direction (up and down). As a result, the load is applied to the load adding bin 224B in both the X and Y directions by the correction holder 222B.
  • FIGS. 24 and 26 representatively show a mechanism for applying a load in the zero direction to the load applying bin 224B.
  • a 0-direction drive for applying a load in the 0 direction to the load applying pins 224B (224A, 224C) via the bracket 264. 266B (266 A, 266 C) is installed.
  • the lower end of the zero-direction driving actuator 266B is connected to the upper end of a rod 268.
  • the lower end of the rod 268 is rotatably connected to the zero-direction holder 232B via a shaft 270. It is connected.
  • a straight guide 274 is fixed via a plate 272 to the front side of the correction holder 222B.
  • the linear guide 274 is provided with a zero-direction slider 276 so as to be slidable in the vertical direction.
  • the lower end of the zero-direction slider 276 is connected to the zero-direction holder 2 described above. 3 2 B is physically fixed.
  • the lower end of the 6> direction holder 2 32 B has a laterally projecting portion 278 formed integrally therewith, and the laterally projecting portion 278 is provided with the above-mentioned lever 230 B is swingably connected via a pin 234. As described above, the rear end of the load applying pin 224B is joined to the other end of the lever 230B.
  • the zero-direction drive mechanism 310 when the zero-direction drive mechanism 266B is driven and the rod 268 is lowered (or ascended), the shaft 270 is lowered (or ascended), Guided by the linear guide 274, the directional slider 276 descends (or ascends), and the 0-direction holder 232B descends (or ascends). The lever 230B descends (or rises), and the lever 230B rotates clockwise around the load applying pin 222B. As a result, a load in the zero direction acts on the load-adding bin 2 2 4 B.
  • the bar 7 Polishing is performed while measuring the electrical resistance values corresponding to the throat heights of the converter located at the left and right ends and the converter located at the center at predetermined intervals.
  • an electrode electrically connected to the converter is formed on the surface of the jig 50 facing the rectangular plate portion 190 on the back plate side, and this electrode is formed of the rectangular plate portion 19.
  • the measuring pin 280 is connected to an electric resistance measuring means (not shown).
  • a contact type sensor 2 28 2 is used to detect the positions of the left and right ends of the jig 50 attached to the rectangular plate 19 of the back plate 16 8. Are fixed to the left and right edges of the back plate 168.
  • the mounting positions of the mold sensors 282 substantially correspond to the positions of the left and right ends of the jig 50.
  • the tip of the contact 284 of the contact sensor 282 is in contact with the upper surface of the convex portion formed on the vertical support plate 124 of the polishing head 120.
  • the contact type sensor 282 generates a capacitance change in proportion to the amount of protrusion of the contact 284, but a sensor having another detection principle can be used. Note that the two contact-type sensors 282 indirectly detect the left and right end positions of the jig 50 in order to detect the amount of polishing and the left and right balance.
  • a jig 50 holding a workpiece to be polished having a plurality of thin film magnetic heads arranged thereon is back-plated. Attached to the rectangular plate-shaped part 190 of 168, the inclination angle of the back plate 168 with respect to the polishing head 120 is initially zero degrees (perpendicular to the bottom surface of the adjust ring 126, that is, a rotary polishing table). Position perpendicular to the polished surface).
  • the polishing head mounting frame 1 12 with the polishing head 120 mounted is moved linearly along the guide rail 108.
  • the rotary polishing table 102 that is being driven to rotate, and place the adjuster ring 126 in contact with the polishing surface 102 a of the upper surface of the rotary polishing table 102.
  • Lower the polishing head mounting frame 1 1 2 so that it comes into contact with pressure.
  • the adjuster string 126 touches the polishing surface of the rotary polishing table 102 with an appropriate pressing force
  • the posture of the polishing head 120 on the adjuster ring 126 is based on the polishing surface. It is controlled to the posture that was set.
  • the tilting part 1 46 set perpendicular to the bottom surface of the adjusting ring 126, the rectangular plate-shaped part 190 of the knock plate 168, and the jig 50 attached to the against Will form a face.
  • electromagnetic actuating units 17 OA and 170B for balancing are used, respectively, and these actuating units 17 OA and 170B are movable.
  • the pressing force is applied so that the moving direction of the part and the acting direction of the pressing force are parallel.
  • the electromagnetic actuator for balancing 170A and 170B adjusts the left and right pressing force of the object to be polished to equalize the amount of left and right polishing of the object to be polished and also sends out the object to be polished in the direction of the polishing surface 102a. I do.
  • the X-direction driving mechanism 240A, 240A and 240C of the X-direction driving mechanism 306 are driven to lower (or raise) the rod 242 and the shaft 244, whereby the rotating plate 226 is moved.
  • the clockwise (or counterclockwise) rotation about the axis 250 and the correction holders 222A and 222C simultaneously rotate, and as a result, the load-applying pins 224A, Move 224 C left (or right) a predetermined distance.
  • a load in the X direction (horizontal direction) can be applied to the load applying portions 54A and 54C of the jig 50.
  • the Y-direction drive mechanisms 258A, 258B, and 258C of the Y-direction drive mechanism 308 are driven to lower (or ascend) the rod 260 and the shaft 262, whereby the correction holder 222A, 222B and 222C move in the Y direction (vertical direction), and as a result, move the load applying pins 224A and 224C upward (or downward) by a predetermined distance.
  • a load in the Y direction (vertical direction) can be applied to the load applying portions 54A 54B and 54C of the jig 50.
  • the rod 268 and the shaft 270 are lowered (or raised), and the linear guide 274 is guided.
  • Lower (or raise) 34, and levers 230A and 230C rotate load-applying bins 222A and 222C clockwise. As a result, a zero-direction load can be applied to the load applying portions 54A and 54.
  • the first polishing step is performed so that the value of the throat height of the conversion part of the magnetic head in the valve 70 (formed on the longitudinal surface 70a of the valve 70) becomes the target value.
  • the polishing head 120 and the adjust ring 1 26 are attached.
  • the revolving support part 116 is reciprocally rotated within a predetermined angle range by a polishing head moving module 132, and the polishing head mounting frame 112 is reciprocated linearly within a predetermined range. ing. Therefore, during the first polishing step, the polishing head 120 and the axle string 126 perform a motion in which the reciprocating rotational motion and the reciprocating linear motion are superimposed.
  • the conversion portions of the magnetic head formed of a magnetic thin film are arranged on the longitudinal side 70a of one of the rectangular rod-shaped bars 70 to be polished. Can be detected by measuring the electrical resistance of each converter, and by performing the first polishing step while periodically monitoring the electrical resistance of each converter, each thin-film magnetic head can be detected.
  • the throat height can be made uniform and set to an optimum value.
  • a second polishing step (a taper processing step of polishing and removing the hatched portion Q) is performed to make 0b an inclined surface having a maximum of about 3 degrees with respect to the horizontal plane.
  • the tilting model —Evening 15 2, tilting section 1 4 6 and back plate 1 6 8 are rotated at a maximum of about 3 degrees from a state that is perpendicular to the polished surface 10 2 a of the polishing table 10 2 a.
  • the rectangular plate-shaped portion 190 of the back plate 168 and the jig 50 attached thereto are inclined at a predetermined angle from a vertical surface to the polishing surface,
  • the rotary polishing table 102 which is rotating, grinds the bottom surface portion of the slider 70 of the base 70.
  • the left and right contact-type sensors 282 detect the position of the left and right edges of the back plate 168 (indirect position detection of the left and right ends of the jig 50). Polishing is completed when the results reach the required values.
  • the polishing head 120 and the axial string 126 may perform a motion in which the reciprocating rotational motion and the reciprocating linear motion are superimposed.
  • the following excellent effects can be obtained.
  • the height of each magnetic head in the magnetic head 70 is reduced. Even if the distribution of the values is a complicated pattern that approximates a higher-order curve, the holding portion 52 of the jig 50 can be deformed so as to faithfully correspond to the pattern. Therefore, the throat height of each magnetic head can be accurately set within an allowable range over the entire length of the bar 70.
  • the jig 50 is attached to the polishing head 120, and the polishing head 120 is moved while moving the polishing head 120 on the polishing surface 102a of the rotary polishing table 102 which is driven to rotate.
  • the attitude of the polishing head 120 is controlled by an adjust ring 126 facing the polishing surface 102a of the rotary polishing table 102.
  • the position of the polishing head 120, the tilting part 144 attached to the polishing head 120, and the nozzle plate 168 always with respect to the polishing surface 102a of the rotary polishing table 102 Control Polishing is possible by applying a pressing force other than its own weight to the object to be polished.
  • the polishing head 120 can perform a motion in which the reciprocating rotational motion and the reciprocating linear motion are superimposed in a plane parallel to the polishing surface 102 a of the rotary polishing table 102. Also in this respect, the flatness of the bottom surface of the object to be polished can be improved.
  • the bar 70 is attached to the rectangular plate-shaped portion 190 of the back plate 168 at one point at the center, and even if the bar 70 has a twist in the rotational direction, the twist is not corrected. Grinding can be performed while holding, and there is no occurrence of defects due to twisting.
  • the distortion and the curvature of the object to be polished can be corrected with high accuracy. In addition, it can be accurately corrected according to the distribution pattern of the distortion and the curvature of the object to be polished.

Landscapes

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Description

明 細 書
磁気へヅドの研磨装置及び研磨方法
技術分野
本発明は、 治具により保持され磁気へッドが複数配列された被研磨物を研磨す る磁気へッドの研磨装置及び研磨方法に関する。
背景技術
従来、 電算機のディスクドライブ装置に用いる薄膜磁気へッドのバッチ式製造 過程において、 セラミックバー （個々に切り離されてスライダとなる） に多数個 の磁性薄膜を含む変換部を 1列に配置した被研磨物を研磨することで、 変換部の ギャップのスロートハイ トをデ一夕信号の読み書きに最適な値に設定することが 行われている。
薄膜磁気へッドのスロートハイ トを研磨工程で適切な値とする場合に、 被研磨 物であるセラミックノ、'一が歪んでいたり、 セラミ ヅクバ一に望ましくなレ、湾曲が 存在することが問題となっている。 つまり、 セラミックバーに歪や湾曲があると 、 研磨装置の回転研磨用テーブルでセラミックバーが均一に研磨されないため、 例えばセラミックバー中央部の薄膜磁気へッドのスロートハイトは適性値であつ ても、 両端部の薄膜磁気へッドのスロートハイトは過大又は過小となって不良と なる可能性がある。
このため、 米国特許第 5 6 2 0 3 5 6号に示された磁気へッド研磨装置では、 セラミックバ一を板状の横長治具の底面に貼り付け、 セラミツクバ一に多数配列 された薄膜磁気へッドのスロートハイ トにより変化する抵抗値を測定しながら、 セラミックバーの曲がりを修正して研磨することで、 セラミツクバ一上に形成さ れた各々の薄膜磁気へッドのスロートハイ トを適性値に設定することが提案され ている。 この米国特許に開示された従来の研磨装置では、 スロートハイ トにより変化す る抵抗値により求められた研磨量に応じて、 セラミックバーが貼り付けられた横 長治具の長手方向の 3個所に上下方向に荷重を作用させて、 セラミックバーの曲 りを修正するようにしている。
しかしながら、 今後ますますスロートハイ 卜の高精度化が要求されることにな るが、 この米国特許の研磨装置では、 横長治具の長手方向の 3箇所に対して荷重 を上下方向に作用させているため、 セラミックバーを 4次曲線に近似されるよう な形状にしか変形させることができない。 このため、 修正可能なスロートハイ ト のパターンも 4次以下の低次数の曲線に近似されるような形状に限られる。 これに対し、 実際の研磨後のセラミックバーにおける磁気へヅドのスロートハ イトの値の分布は、 例えば 6次以上の高次曲線に近似されるような、 より複雑な パターンを呈している。 そのため、 従来の研磨装置では、 この高次曲線に近似さ れるようなスロートハイ 卜の分布パターンに対応できない部分では、 スロートハ ィ 卜の修正は十分に行われないという問題がある。
図 2 8は、 従来の研磨装置を使用し、 スロートハイ トの制御を自動的に行いな がら、 例えは約 5 0誦の長さのセラミックバーの研磨を行ったときの、 最終的な スロートハイ トの分布の一例を表したものである。 この図 2 8において、 実線は スロートハイ トの分布の 6次曲線を表し、 破線はスロートハイ 卜の分布の 4次曲 線を表している。 この図 2 8から明らかなように、 この例では、 最終的なスロー トハイ 卜の分布は、 6次曲線に近似される。
このように、 研磨前のセラミヅクバ一におけるスロートハイ 卜の実際の分布パ 夕一ンは、 6次以上の次数の曲線に近似されるものであるのに対し、 上述した従 来の研磨装置では、 修正可能なスロートハイ 卜の分布パターンは 4次以下の曲線 に近似されるものに限られる。 そのため、 図 2 8に示すように、 研磨後のスロー トハイ 卜の分布パターンでは、 高次成分が修正されないまま残ってしまう。 このように、 従来の研磨装置では、 磁気へッドのスロートハイ トの高精度化が 要求される場合には、 十分な修正を行なうことができないという問題がある。 発明の開示
本発明は、 上記の従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、 被 研磨物の歪み及び湾曲をより精度良く修正することが出来るできる磁気へッドの 研磨装置及び研磨方法を提供することを目的としている。
また、 本発明は、 被研磨物の歪み及び湾曲の分布パターンに応じて精度良く修 正することができる磁気へッドの研磨装置及び研磨方法を提供することを目的と している。
上記の目的を達成するために、 本発明は、 治具により保持され磁気ヘッドが複 数配列された被研磨物を研磨する磁気へッドの研磨装置において、 回転駆動され る研磨面を有する回転研磨用テーブルと、 この回転研磨用テーブルの研磨面に対 して移動可能に配置された研磨装置本体部と、 を有し、 この研磨装置本体は、 こ の研磨装置本体部の下方側に設けられ治具を保持する治具保持部と、 治具の長手 方向に沿って設けられた複数の荷重付加部に所定の荷重をそれぞれ付加する荷重 付加手段と、 を有し、 荷重付加手段は、 治具を所定形状に変形させるために、 荷 重付加部の内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加することを特 徴としている。
このように構成された本発明においては、 荷重付加手段により、 荷重付加部の 内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加して、 治具を所定形状に 変形させるようにしているため、 例えば、 研磨前において、 被研磨物の各磁気へ ッドのスロートハイ 卜の値の分布が高次の曲線に近似されるような複雑なパター ンとなっていても、 そのパターンに忠実に対応するように治具を変形させること ができ、 そのため、 被研磨物の歪みや湾曲を非常に精度良く修正することが出来 。
本発明において、 荷重付加手段は、 治具の少なくとも一つの荷重付加部に垂直 方向の荷重を付加する垂直方向荷重付加手段を有することが好ましい。
本発明において、 荷重付加手段は、 治具の少なくとも一つの荷重付加部に水平 方向の荷重を付加する水平方向荷重付加手段を有することが好ましい。
本発明において、 荷重付加手段は、 治具の少なくとも一つの荷重付加部に回転 方向の荷重を付加する回転方向荷重付加手段を有することが好ましい。
本発明において、 治具保持手段は、 治具をその長手方向のほぼ中央で保持する ようにしていることが好ましい。
本発明において、 研磨装置本体部は、 研磨装置本体部を研磨面に平行な傾動軸 を中心として傾動可能に保持する傾動手段を有することが好ましい。
本発明は、 更に、 研磨装置本体部を揺動可能に保持する揺動手段を有すること が好ましい。
また、 本発明は、 治具により保持され磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を 研磨する磁気へッドの研磨方法において、 回転駆動される研磨面を有する回転研 磨用テーブルと、 この回転研磨用テ一ブルの研磨面に対して移動可能に配置され ると共にその下方側に上記治具を保持する治具保持部を有する研磨装置本体部を 準備する工程と、 治具保持部にその長手方向に沿って複数の荷重付加部を備えた 治具を取り付ける工程と、 治具を所定形状に変形させるために荷重付加部の内の 少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加させながら、 被研磨物の複数 の磁気へッドを研磨する工程と、 を有することを特徴としている。
図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の磁気へッドの研磨装置の第 1実施形態を示す全体斜視図であ る。
図 2は、 図 1における治具保持部の近傍を示す斜視図である。
図 3は、 治具保持部に治具を固定した状態を示す正面図である。
図 4は、 図 3の A— A線に沿って見た断面図である。
図 5は、 治具を示す正面図である。
図 6は、 第 1実施形態の磁気へッドの研磨装置に用いられる治具の他の例を示 す正面図である。
図 7は、 第 1実施形態の磁気へッドの研磨装置に用いられる治具の他の例を示 す正面図である。
図 8は、 第 1実施形態の磁気へッドの研磨装置に用いられる治具の更なる他の 例の正面図である。
図 9は、 本発明の第 2実施形態の磁気へッドの研磨装置を示す全体正面図であ る。
図 1 0は、 図 9の平面図である。
図 1 1は、 本発明の第 2実施形態の磁気ヘッドの研磨装置を示す要部正面図で ある。
図 1 2は、 本発明の第 2実施形態を示す要部平面図である。
図 1 3は、 本発明の第 2実施形態に使用されるアジヤストリングを示す底面図 である。
図 1 4は、 本発明の第 2実施形態の研磨装置本体部を示す正面図である。 図 1 5は、 図 1 4の側面部分断面図である。
図 1 6は、 図 1 4の平面図である。
図 1 7は、 傾動機構のみを取出して示す側面図である。
図 1 8は、 バランス荷重駆動機構のみを取出して示す側面図である。 図 1 9は、 X方向駆動機構のみを取出して示す正面図である。
図 2 0は、 図 1 9の部分側面図である。
図 2 1は、 図 1 9の B— B線に沿って見た側面断面図である。
図 2 2は、 Y方向駆動機構のみを取出して示す正面図である。
図 2 3は、 図 2 2の C一 C線に沿って見た側面断面図である。
図 2 4は、 Θ方向駆動機構のみを取出して示す正面図である。
図 2 5は、 図 2 4の側面部分断面図である。
図 2 6は、 図 2 5の D— D線に沿って見た平面断面図である。
図 2 7は、 本発明の第 2実施形態における被研磨物のテ一パ加工を説明するた めの被研磨物の側面断面図である。
図 2 8は、 従来の研磨装置を使用してバーの研磨を行ったときの最終的なスロ —トハイ卜の分布の一例を表した線図である。
発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
先ず、 図 1乃至図 8を参照して本発明の第 1実施形態を説明する。 図 1は、 本 発明の磁気へッドの研磨装置の第 1実施形態を示す全体斜視図である。研磨装置 1は、 テーブル 1 0と、 このテーブル 1 0上に設けられた回転研磨用テーブル 1 1と、 この回転研磨用テーブル 1 1の側方において、 テーブル 1 0上に設けられ た支柱 1 2と、 この支柱 1 2に対してアーム 1 3を介して取り付けられた研磨装 置本体部 2 0とを備えている。 回転研磨用テーブル 1 1は、 バーに当接する研磨 面 1 1 aを有している。
研磨装置本体部 2 0は、 アーム 1 3に連結された支持部 2 7と、 この支持部 2 7の前方に配設されたベース部材 2 2と、 このべ一ス部材 2 2の前面に配設され た治具保持部 2 3と、 この治具保持部 2 3の前方位置に等間隔に配設された 3本 の荷重付加棒 2 5 A、 2 5 B、 2 5 Cとを備えている。 支持部 2 7、 ベース部材 2 2および荷重付加棒 2 5 A、 2 5 B、 2 5 Cの上部は、 カバー 2 1によって覆 われている。 ベース部材 2 2は、 図示しないアームを介して、 支持部 2 7内に設 けられたァクチユエ一夕に連結きれており、 ァクチユエ一夕を駆動することによ り、 上下動可能となっている。 横長の治具 5 0は、 治具保持部 2 3に固定される ようになっている。
図 2は図 1における治具保持部 2 3の近傍を示す斜視図、 図 3は治具保持部 2 3に治具を固定した状態を示す正面図、 図 4は図 3の A— A線に沿って見た断面 図である。
治具保持部 2 3は、 保持部本体 3 1と、 この保持部本体 3 1の前面の下端部近 傍における左右方向の中央部に、 前方に突出するように設けられた治具固定用ビ ン 3 2と、 保持部本体 3 1の前面の下端部近傍における左右方向の端部近傍に、 前方に突出するように設けられた回転防止用部材としてのガイ ドビン 3 3 , 3 3 とを有している。 ガイ ドピン 3 3， 3 3は、 大部分が円柱形状に形成され、 先端 部分は、 先端側ほど径が小さくなるように形成されている。 治具固定用ピン 3 2 には、 先端側より、 雌ねじが形成されている。 そして、 この治具固定用ピン 3 2 に、 固定具としてのボルト 4 0によって、 治具 5 0が固定されるようになってい 。
荷重付加棒 2 5 A , 2 5 B , 2 5 Cの下端部には、 直方体形状の荷重付加プロ ック 3 5 A, 3 5 B， 3 5 Cが固定されている。 荷重付加ブロック 3 5 A , 3 5 B , 3 5 Cの下端部近傍には、 後述する荷重付加ピン 3 6 A, 3 6 B , 3 6 Cが 回転自在に揷通される軸受 3 7が設けられている。 また、 荷重付加プロヅク 3 5 Bには、 治具固定用ピン 3 2に対応する位置に、 荷重付加ブロック 3 5 Bが上下 方向および左右方向に所定の距離だけ移動可能なように治具固定用ピン 3 2が挿 通される孔 38が形成されている。
荷重付加ピン 36 A, 36B, 36 Cは、 それぞれ、 荷重付加プロヅク 35 A , 35B， 35 Cの軸受 37を通って、 先端側が荷重付加ブロック 35 A， 35 B, 35 Cの前端面より突出している。 荷重付加ピン 36 A， 36B, 36 Cの 先端部には、 それぞれ、 直方体形状の頭部 39 A， 39B, 39 Cが形成されて いる。 荷重付加ビン 36 A, 36B, 36 Cの後端部は、 保持部本体 31と荷重 付カロブロック 35 A, 35 B, 35 Cとの間に配置されたレバ一 41 A， 4 IB , 41 Cの一端部に接合されている。 レバ一 41 A, 41.B, 41 Cの他端部は 、 レバー 41 A, 41 B, 41 Cを揺動させるためのシャフト 42 A， 42B, 42 Cの下端部に、 回動可能に連結されている。
荷重付加プロヅク 35A， 35B, 35 Cの上方の位置には、 荷重付加棒 25 A， 25B， 25 Cを上下動可能および回転可能に支持する支持部材 43 A, 4 3B， 43 Cが設けられている。 これらの支持部材 43 A， 43B， 43 Cの後 端部には、 駆動棒 44A， 44B, 44 Cの先端部が接合されている。 これらの 駆動棒 44A, 44B， 44Cは、 保持部本体 31に設けられた軸受 45 A， 4 5B, 45 Cを通って、 後端側がベ一ス部材 22に導かれている。
荷重付加棒 25 A， 25B, 25 Cは、 それそれ、 ベ一ス部材 22内に設けら れた図示しないァクチユエ一夕によって上下方向に駆動されるようになっている 。 また、 駆動棒 44A， 44B, 44。は、 それぞれ、 ベース部材 22内に設け られた図示しない他のァクチユエ一夕によって、 回転方向に駆動されるようにな つている。 また、 シャフト 42A， 42B, 42Cは、 ベ一ス部材 22内に設け られた図示しない更に他のァクチユエ一夕によって上下方向に駆動されるように なっている。
次に、 図 5を参照して、 本実施形態の磁気ヘッドの研磨装置に使用される治具 5 0を説明する。 図 5は治具 5 0を示す正面図であり、 横長の板状となっている 。 この治具 5 0は、 図 1に示す研磨装置 1に固定される本体部 5 1と、 被研磨物 としてのバーを保持するための 1方向に長い保持部 5 2と、 保持部 5 2と本体部 5 1とを連結する 4本の連結部 5 3 A〜5 3 Dと、 保持部 5 2に連結され、 保持 部 5 2を変形させるための荷重が付加される 3つの荷重付加部 5 4 A〜5 4 Cと 、 荷重付加部 5 4 A〜 5 4 Cと保持部 5 2とを連結する腕部 5 5 A〜5 5 Cとを 備えている。
本体部 5 1には、 長手方向の中央で且つ上下方向の中央よりも上側の位置に、 本体部 5 1を研磨装置 1の治具固定用ビン 3 2に対して固定するためのボルト 4 0が挿通される固定部としての固定用孔 5 6が形成されている。 また、 本体部 5 1には、 ガイ ドピン 3 3 , 3 3が係合する係合部 5 7 , 5 7が形成されている。 係合部 5 7 , 5 7は、 研磨装置 1の治具固定用ビン 3 2と治具 5 0の固定用孔 5 6との位置を合わせたときにガイドビン 3 3， 3 3に対応する位置に形成されて いる。
保持部 5 2は、 外力が加えられることによってたわむ細長い梁構造になってい る。 保持部 5 2の下端部には、 バーが固定されるバー固定部 5 8が設けられてい る。 バー固定部 5 8には、 バーを切断する際に、 バー切断用のブレードが入り込 む複数の溝が形成されている。
ここで、 図 5に示したように、 治具 5 0の長手方向 （左右方向、 水平方向） を X方向とし、 治具 5 0の長手方向に直交し、 且つ治具 5 0の前面および背面に平 行な方向 （上下方向、 垂直方向） を Y方向とする。 まだ、 X方向および Y方向に 直交する軸を中心にして回転する方向を 0方向とする。
両側の 2つの荷重付加部 5 4 A， 5 4 Cは、 それぞれ、 直交する X方向および Y方向と、 0方向の 3方向の自由度を持つ。 すなわち、 荷重付加部 5 4 A, 5 4 Cは、 本体部 51を基準にして、 X方向、 Y方向および Θ方向の 3方向に移動可 能である。 中央の荷重付加部 54 Bは、 Y方向のみの 1方向の自由度を持つ。 す なわち、 荷重付加部 54Bは、 本体部 51を基準にして、 Y方向にのみ移動可能 である。
3方向の自由度を持つ荷重付加部 54 A， 54Cは、 3方向の荷重を受けるこ との可能な断面が円形以外の形状をなす孔を有している。 また、 荷重付加部 54 Bも、 荷重付加部 54 A， 54 Cと同様の形状の孔を有している。
両側の 2つの腕部 55 A, 55 Cは、 荷重付加部 54 A, 54 Cの中心が、 こ の荷重付加部 54 A， 54 Cの変位によって保持部 52が回転方向に変形される ときの回転の中心 59 A, 59Bに対して、 保持部 52の長手方向の外側にずれ た位置に配置されるように、 荷重付加部 54 A， 54 Cと保持部 52とを連結し ている。 すなわち、 腕部 55A， 55 Cは、 回転の中心 59 A, 59 Bに対して 、 保持部 52の長手方向の外側にオーバーハングした （張り出した） 構造になつ ている。 また、 中央の腕部 55Bは、 他の腕部 55A、 55 Cに比べて、 Y方向 の長さが短く、 保持部 52の長手方向の中央部と荷重付加部 54 Bとを、 オーバ —ハングせずに連結している。
また、 治具 50において、 係合部 57、 57は、 本体部 51における端部連結 部 53A, 53Dの上側の部分を、 治具 50の長手方向の内側に向けて開口する ように切り欠いて形成されている。 この係合部 57， 57は、 それぞれ、 治具 5 0の長手方向に平行な 2つの面を有している。 この 2つの面の距離は、 ガイドピ ン 33， 33の直径よりわずかに大きくなつている。 係合部 57, 57には、 ガ イドビン 33, 33が、 上下方向に適度のクリアランスを持って揷入されるよう になっていて、 係合部 57, 57は、 前述の平行な 2つの面によって、 固定用孔 56を中心とする回転方向については、 ガイ ドピン 33, 33に対する本体部 5 1の位置変動を制限し、 固定用孔 56を中心とする回転方向に交差する方向につ いては、 ガイ ドビン 33， 33に対する本体部 51の位置変動を所定量だけ許容 するようになつている。
次に、 図 3および図 4を参照して、 治具 50の研磨装置 1への固定方法を説明 する。 まず、 治具 50のバー固定部 58に対して、 バー 70の媒体対向面が表側
(下側） となるように、 バー 70が接着等により固定される。 治具 50は、 荷重 付加ブロック 35 A， 35 B, 35 Cの前方に配置される。 このとき、 ガイ ドピ ン 33, 33が、 治具 50の係合部 57， 57に係合され、 荷重付加ピン 36 A , 36B， 36 Cの頭部 39 A, 39B， 39 Cが、 それそれ荷重付加部 54 A ， 54B， 54 Cに挿入される。 また、 治具 50の固定用孔 56と研磨装置 1の 治具固定用ピン 32との位置が合うように、 治具 50の位置が調整される。 この 状態で、 治具 50の前面側より、 ヮッシャ 49を介して、 固定用孔 56内にボル ト 40を挿入し、 このボルト 40を治具固定用ピン 32の雌ねじに螺合させる。 これにより、 ヮッシャ 49を介して、 ボルト 40の座面と治具固定用ピン 32の 先端面とによって治具 50が挟持されて、 治具 50が治具固定用ピン 32に固定 される。
次に、 図 3及び図 4により、 治具 50が取り付けられた磁気ヘッドの研磨装置 1によるバ一70の研磨方法を説明する。
バー 70を保持した治具 50が上述のように研磨装置 1に固定されると、 バー 70の被研磨面が回転研磨用テーブル 1 1の研磨面 1 l aに当接するように配置 される。 この状態で、 荷重付加棒 25A， 25B， 25Cを上下方向に駆動する と、 荷重付加ブロック 35 A, 35B， 35 Cが上下方向に移動し、 これらの荷 重付加ブロック 35A， 35B， 35 Cを貫通する荷重付加ピン 36 A， 36B ， 36 Cが上下方向に移動し、 頭部 39A， 39B， 39 Cも上下方向に移動す る。 これにより、 治具 50の荷重付加部 54 A, 54B, 54Cに対して、 Y方 向の荷重を付カ卩することができる。
また、 駆動棒 44A， 44 Cを回転方向に駆動すると、 駆動棒 44A， 44 C の軸を中心にして支持部材 43 A， 43 Cが回転され、 荷重付カロ棒 25 A, 25 Cの下端側が、 駆動棒 44 A, 44 Cを中心とする回転方向に移動する。 すると 、 荷重付加ブロック 35 A， 35Cが、 駆動棒 44 A, 44 Cの軸を中心とする 回転方向に移動する。 ここで、 駆動棒 44 A, 44 Cから荷重付加ブロック 35 A， 35 Cまでの距離に比べて、 荷重付加ブロック 35 A， 35 Cの回転方向の 移動距離は極めて小さいので、 駆動棒 44 A, 44 Cの駆動に伴う荷重付加プロ ック 35 A, 35 Cの移動は、 略直線的な左右方向の移動となる。 荷重付加プロ ック 35A， 35 Cが左右方向に移動すると、 この荷重付加プロック 35 A， 3 5 Cを貫通する荷重付加ピン 36 A， 36 Cが左右方向に移動し、 頭部 39A， 39 Cも左右方向に移動する。 これにより、 治具 50の荷重付加部 54 A, 54 。に対して、 X方向の荷重を付加することができる。
さらに、 シャフト 42 A， 42 Cを上下方向に駆動すると、 レバ一 41A， 4 1 Cが摇動され、 このレバー 41A， 41 Cに連結された荷重付加ピン 36 A, 36 Cが回転する。 これにより、 治具 50の荷重付加部 54 A， 54 Cに対して 、 荷重付加部 54 A， 54 Cの中心を回転中心とする Θ方向のモーメント荷重を 付加することができる。
このようにして、 治具 50の荷重付加部 54 A、 54B、 54Cに対して種々 の異なる方向の荷重を付加することにより、 保持部 52、 バ一固定部 58および バー 70が変形される。 これにより、 バ一 70内の磁気ヘッドのスロートハイ ト の値を目標とする値となるように制御しながら、 バー 70の媒体対向面を研磨す ることが可能となる。 従って、 本発明の第 1実施形態による磁気ヘッドの研磨装置によれば、 研磨前 において、 バ一7 0における各磁気ヘッドのスロートハイ 卜の値の分布が、 高次 の曲線に近似されるような、 複雑なパターンとなっていても、 そのパターンに忠 実に対応するように治具 5 0の保持部 5 2を変形させることができるため、 バ一 7 0の全長にわたって各磁気へッドのスロートハイ トを精度よく許容範囲内に入 れることが可能となる。
なお、 上述した第 1実施形態においては、 図 5に示す治具 5 0を使用するため 、 両側の 2つの荷重付加部 5 4 A， 5 4 Cは、 X方向、 Y方向および 0方向の 3 方向に移動可能であり、 中央の荷重付加部 5 4 Bは、 Y方向にのみ移動可能とな つている。 この結果、 第 1実施形態では、 図 5に示す治具 5 0を使用する場合に は、 中央の荷重負荷部 5 4 Bに X方向の移動を与えるための駆動棒 4 4 B及び 6> 方向の移動を与えるためのシャフト 4 2 Bとレバ一 4 1 Bを使用しないことにな るため、 これらの駆動棒 4 4 B、 シャフト 4 2 B及びレバ一 4 1 Bを設けないよ うにしても良い。
次に図 6により第 1実施形態の磁気へッドの研磨装置に用いられる治具の他の 例を説明する。 この治具 7 5は、 図 5に示す治具 5 0に比べて、 上下方向の長さ が長くなつている。 また、 治具 7 5では、 中央の荷重付加部 5 4 Bが、 治具 5 0 における荷重付加部 5 4 Bの位置より上側に配置され、 他の荷重付加部 5 4 A、 5 4 Cと同様に本体部 5 1の上下方向の略中央の位置に配置されている。 これに 伴い、 治具 7 5の腕部 5 5 Bの長さは、 治具 5 0における腕部 5 5 Bの長さより も長くなつている。
この治具 7 5では、 3つの荷重付加部 5 4 A〜 5 4 Cが、 全て、 直交する X方 向および Y方向と、 0方向の 3方向の自由度を持つ。 すなわち、 荷重付加部 5 4 A〜5 4 Cは、 本体部 5 1を基準にして、 X方向、 Y方向および 0方向の 3方向 に移動可能である。
この治具 7 5を図 1乃至図 4に示す研磨装置 1に取り付けた場合、 駆動棒 4 4 Bを回転方向に駆動すると、 駆動棒 4 4 Bを中心にして支持部材 4 3 Bが回転さ れ、 荷重付加棒 2 5 Bの下端側が、 駆動棒 4 4 Bを中心とする回転方向に移動す る。 すると、 荷重付加ブロック 3 5 Bが、 駆動棒 4 4 Bを中心とする回転方向に 移動する。 これにより、 荷重付加ブロック 3 5 Bを貫通する荷重付加ピン 3 6 B が左右方向に移動し、 頭部 3 9 Bも左右方向に移動する。 これにより、 治具 7 5 の荷重付加部 5 4 Bに対して、 X方向の荷重を付加することができる。
また、 シャフト 4 2 Bを上下方向に駆動すると、 レバー 4 1 Bが揺動され、 こ のレバ一 4 1 Bに連結された荷重付加ビン 3 6 Bが回転する。 これにより、 治具 7 5の荷重付加部 5 4 Bに対して、 荷重付加部 5 4 Bの中心を回転中心とする Θ 方向のモーメント荷重を付加することができる。
この治具 7 5を用いた場合には、 第 1実施形態の研磨装置 1によれば、 3つの 荷重付加部 5 4 A〜 5 4 Cに付加される複数の方向の荷重を組み合わせることに より、 保持部 5 2を、 図 5に示す治具 5 0に比べてより複雑な形状、 具体的には 、 8次以上の高次の曲線に近似されるような複雑な形状に変形させることができ 。
次に図 7により第 1実施形態の磁気へッドの研磨装置に用いられる治具の更な る他の例を説明する。 この治具 8 0は、 図 5に示す治具 5 0において、 荷重付カロ 部 5 4 Bおよび腕部 5 5 Bを除き、 中間連結部 5 3 B、 5 3 Cを中央寄りの位置 に移動させたものである。 また、 治具 8 0における保持部 5 2は、 中間連結部 5 3 B、 5 3 C間では、 中間連結部 5 3 B、 5 3 Cの近傍で最も薄く、 中間連結部 5 3 B、 5 3 C間の中央に行くほど厚くなつて、 曲げ剛性が高くなつている。 この治具 8 0を図 1乃至図 4に示す研磨装置 1に取り付けた場合、 2つの荷重 付加部 54 A、 54 Cに付加される複数の方向の荷重を組み合わせることにより 、 保持部 52を、 複雑な形状に変形させることができる。
なお、 第 1実施形態においては、 図 7に示す治具 80を使用する場合、 両側の 2つの荷重付加部 54 A, 54 Cのみが、 X方向、 Y方向および 6>方向の 3方向 に移動可能となっている。 この結果、 第 1実施形態では、 図 6に示す治具 80を 使用する場合には、 中央の荷重負荷部 54 Bに X方向の移動を与えるための駆動 棒 44B、 Y方向の移動を与えるための荷重負荷棒 25 B及び 0方向の移動を与 えるためのシャフト 42 Bとレバー 41 Bを使用しないことになるため、 これら の駆動棒 44 B、 荷重負荷棒 25 B、 シャフト 42B及びレバ一 41 Bを設けな いようにしても良い。
次に図 8により第 1実施形態の磁気へッドの研磨装置に用いられる治具の更な る他の例を説明する。 この治具 85は、 図 6に示す治具 75における断面が矩形 の孔を有する荷重付加部 54 A、 54B、 54 Cの代わりに、 X方向と Y方向の 2方向の荷重を受けることの可能な、 断面が円形の孔を有し、 X方向と Y方向の 2方向の自由度を持つ荷重付加部 54 A, 54B, 254 Cを設けたものである この治具 85を図 1乃至図 4に示す研磨装置 1に取り付けた場合、 3つの荷重 付加部 54A， 54B, 54 Cに付加される複数の方向の荷重を組み合わせるこ とにより、 保持部 52を、 複雑な形状に変形させることができる。
なお、 第 1実施形態においては、 図 8に示す治具 85を使用する場合、 3つの 荷重付加部 54 A, 54B， 54 Cにおいて、 X方向及び Y方向のみに移動可能 となっている。 この結果、 第 1実施形態では、 図 8に示す治具 85を使用する場 合には、 3つの荷重付加部 54A， 54B, 54 C 6>方向の移動を与えるための シャフト 42A， 42 B, 42 C及びレバー 41 A， 4 IB, 41 Cを使用しな いことになるため、 これらのシャフト 4 2 A， 4 2 B , 4 2〇及びレバ一4 1 ， 4 1 B , 4 1 Bを設けないようにしても良い。
次に図 9乃至図 2 7を参照して本発明の第 2実施形態を説明する。 この実施形 態においても、 上記の第 1実施形態と同様に、 3つの荷重付加部が、 全て、 直交 する X方向 （水平方向） および Y方向 （垂直方向） と、 Θ方向 （回転方向） の 3 方向の自由度を持ち、 X方向、 Y方向および 0方向の 3方向に移動可能となって いる。
図 9は本発明の第 2実施形態の磁気へッドの研磨装置を示す全体正面図であり 、 図 1 0は図 9の平面図である。 これらの図 9及び図 1 0により、 第 2実施形態 に係る磁気へッドの研磨装置の全^成を説明する。 磁気へッドの研磨装置 1 0 0は、 基台 1 0 1を備え、 この基台 1 0 1には、 回転研磨用テーブル 1 0 2が水 平面内で回転可能に支持され、 さらに、 この回転研磨用テーブル 1 0 2は基台 1 0 1内に設けられた回転駆動源である定盤駆動用モー夕 1 0 4でベルト 1 0 6を 介して回転駆動される。
また、 上下方向に離間した 1対のガイ ドレール 1 0 8が水平方向に延びるよう に基台 1 0 1の上方で支持され、 さらに、 1対のガイ ドレール 1 0 8により水平 方向に摺動自在に案内される横移動スライダ 1 1 0が設けられている。 この横移 動スライダ 1 1 0には研磨へッド取付用フレーム 1 1 2が昇降自在に取り付けら れている （高さ調整自在に昇降駆動されるようになっている） 。 横移動スライダ 1 1 0の駆動は、 例えばガイ ドレール 1 0 8に平行なボール螺子軸にスライダ 1 1 0側のボール螺子ナツトを螺合し、 ボール螺子軸をモー夕で回転駆動すること で実行することができ、 さらに、 スライダ 1 1 0及び研磨へッド取付用フレーム 1 1 2は往復直線運動を行うことができる。
図 1 1及び図 1 2に示すように、 研磨へヅ ド取付用フレーム 1 1 2の内側には 円環状軸受 1 1 4を介して回転支持部 1 1 6が回転自在に支持され、 この回転支 持部 1 1 6には、 板ばね、 ゴム等の弾性部材 1 1 8を介在させて研磨へッド 1 2 0が取り付けられている。 なお、 本実施形態においては、 弾性部材 1 1 8の代わ りに剛体部材を使用してもよい。 また、 研磨ヘッド 1 2 0は、 底板 1 2 2とこの 上に平行に立設固定された垂直支持板 1 2 4とを有し、 さらに、 研磨へッド 1 2 0の底板 1 2 2の底面にはアジヤストリング 1 2 6が固着されている。 アジヤス トリング 1 2 6は回転研磨用テーブル 1 0 2の上面である研磨面 1 0 2 aに接触 するようになつている。
なお、 第 2実施形態においては、 必要に応じて、 このアジヤストリング 1 2 6 を設けないようにしても良い。
図 1 0及び図 1 1に示すように、 回転支持部 1 1 6にはベルト車 （プ一リー）
1 2 8が固着され、 研磨へッド取付用フレーム 1 1 2の外側には、 ベルト車 （プ —リー） 1 3 0を回転駆動する研磨へヅド揺動用モ一夕 1 3 2が取り付けられて いる。 ベルト車 1 2 8 , 1 3 0間にはベルト 1 3 4が卷掛けられている。 モ一夕
1 3 2、 ベルト車 1 2 8， 1 3 0及びベルト 1 3 4は、 研磨へッド 1 2 0及びァ ジャストリング 1 2 6に所定角度範囲の往復回転運動 （揺動運動） を行わせる揺 動手段として機能する。
図 1 3はアジャストリングの底面図である。 図 1 3に示すように、 アジャスト リング 1 2 6は、 例えばアルミニウム製リング本体 1 3 6に多数の耐磨耗性セラ ミックの円柱状ダミー 1 3 8を埋設したもので、 円柱状ダミー 1 3 8の下端面が リング本体 1 3 6から僅かに突出している。 ここで、 アジャストリング 1 2 6上 に載置される研磨へッド 1 2 0の重量バランスに合わせて円柱状ダミー 1 3 8の 個数を設定している。 図 1 3に示すアジャストリング 1 2 6の場合、 回転研磨用 テーブル 1 0 2に対接するアジヤストリング 1 2 6の円弧状部分 4 0， 4 2のう ち、 円弧状部分 1 4 0の方が研磨ヘッド 1 2 0の荷重を多く受けるため、 円柱状 ダミー 1 3 8の個数が多くなつている。
次に、 図 1 4乃至図 2 7により第 2実施形態の研磨装置本体の細部を説明する 。 図 1 4は本発明の第 2実施形態の研磨装置本体部を示す正面図、 図 1 5は図 1 4の側面部分断面図、 図 1 6は図 1 4の平面図、 図 1 7は傾動機構のみを取出し て示す側面図、 図 1 8はバランス荷重駆動機構のみを取出して示す側面図、 図 1 9は X方向駆動機構のみを取出して示す正面図、 図 2 0は図 1 9の部分側面図、 図 2 1は図 1 9の; B— B線に沿って見た側面断面図、 図 2 2は Y方向駆動機構の みを取出して示す正面図、 図 2 3は図 2 2の C一 C線に沿って見た側面断面図、 図 2 4は 0方向駆動機構のみを取出して示す正面図、 図 2 5は図 2 4の側面部分 断面図、 図 2 6は図 2 5の D— D線に沿って見た平面断面図、 図 2 7は第 2実施 形態における被研磨物のテ一パ加工を説明するための被研磨物の側面断面図であ る。
第 2実施形態の研磨装置 1 0 0の研磨装置本体部 3 0 0は、 傾動機構 3 0 2、 バランス荷重駆動機構 3 0 4、 X方向駆動機構 3 0 6、 Y方向駆動機構 3 0 8及 び 0方向駆動機構 3 1 0を含むように構成されている。
まず、 図 1 5及び図 1 7を主に参照して、 傾動機構 3 0 2を説明する。 研磨へ ヅド 1 2 0の垂直支持板 1 2 4の間には、 アジヤストリング 1 2 6の下面 （つま り回転研磨用テーブル 1 0 2の研磨面 1 0 2 a ) に平行な傾動軸 1 4 4が設けら れており、 この傾動軸 1 4 4にこの傾動軸 1 4 4を中心として研磨へッド 1 2 0 に対して傾動可能に傾動部 1 4 6が枢着されている。 研磨へッド 1 2 0の垂直支 持板 1 2 4には、 モー夕取付用台座部 1 4 8の下部が支点軸 1 5 0で回転自在に 取り付けられており、 さらに、 モー夕取付台座部 1 4 8の上部に傾動用モ一夕 1 5 2が固定されている。 モー夕 1 5 2の回転駆動軸にはボール螺子軸 1 5 4が連 結され、 このボール螺子軸 154にボール螺子ナツト 156が螺合している。 ボ —ル螺子ナツト 156には、 支点軸 160で、 傾動部 146にその一端が固定さ れたのアーム 158の他端が連結されている。 これらの支点軸 150乃至支点軸 160までの機構は、 傾動部 146をそれが回転研磨用テーブル 102の研磨面 102 aに対し垂直面となった状態から所定角度だけ傾斜させる傾動手段を構成 している。
傾動部 146には、 直線ガイ ド 162を介してスライダ 164が傾動部 146 に対して昇降可能に取り付けられている。 ここで、 スライダ 164の傾斜方向の 動きは傾動部 146と一体的に行われるため、 傾動部 146とスライダ 164と は常に平行状態が保たれている。 このスライダ 164の下端部には、 回転研磨用 テーブル 102の研磨面 102 aに平行で傾動軸 144に直交する支点軸 166 でバックプレート 168が枢着されている。
次に、 図 14乃至図 16及び図 18を参照して、 バランス荷重駆動機構 304 を説明する。 傾動部 146の上部には、 バランス用電磁式ァクチユエ一夕 170 A, 170Bが、 ブラケット 172を介して取り付けられている。 これらのバラ ンス用電磁式ァクチユエ一夕 170 A， 170 Bは、 バヅクプレ一ト 168の支 点軸 166の左側及び右側をそれぞれ下方に押圧 （加圧） すると共にバックプレ —ト 168に作用する荷重を制御するためのものである。 バランス用電磁式ァク チユエ一夕 170A, 170Bは、 フレーム 174と、 このフレーム 174の内 側に取り付けられ固定部を形成するコイル 176と、 中心部分に設けられ可動部 を形成する磁石 178と、 この磁石 178の中心に一体的に取り付けられたロッ ド 180と構成されている。
バランス用電磁式ァクチユエ一夕 170 A， 170Bのロッド 80の下端には、 断面 L字形のスライダ 182が、 ァクチユエ一夕 170A， 170Bのフレーム 1 7 4に取り付けられた直線ガイ ド 1 8 4に沿って昇降可能に設けられている。 ここで、 フレーム 1 7 4の上部側と断面 L字形のスライダ 1 8 2とは、 パネ部材
1 8 6により接続され、 このパネ部材 1 8 6の付勢力により、 可動部である磁石 1 7 8の自重分をキャンセルするようになっている。 これらの L字形のスライダ 1 8 2の下端側と、 バックプレート 1 6 8の左側及び右側との間は、 それぞれス ぺ一サ 1 8 7 , 1 8 9を介して連結用リンク 1 8 8によりそれぞれ連結されてい る。 左、 右の連結用リンク 1 8 8のバックプレート 1 6 8への枢着点は L , で ある。 このように、 バランス用電磁式ァクチユエ一夕 1 7 O A , 1 7 O Bの可動 部である磁石 1 7 8の移動方向とバックプレート 1 6 8に作用する押圧力の作用 方向は、 互いに平行な方向となっている。 なお、 スライダ 1 6 4やバックプレー ト 1 6 8等からなる昇降可能な部分の自重が十分大きい場合には、 バランス用ァ クチユエ一夕 1 7 0 A， 1 7 O Bによる押圧力をマイナス （引き上げ方向の力） とすることもある。
次に、 図 1 4及び図 1 5により、 治具の取付け構造を説明する。 第 2実施形態 においても、 第 1実施形態で使用した治具 5 0 (図 5参照） 、 治具 7 5 (図 6参 照） 、 治具 8 0 (図 7参照） 、 治具 8 5 (図 8参照） の何れもが適用可能である 。 ここでは、 治具 5 0 (図 5参照） を適用した場合を説明する。 バックプレート 1 6 8の下部には一体的に長方形板状部 1 9 0が形成されている。 被研磨物であ るバー 7 0をその底面に貼り付けた長方形板状の治具 5 0を取り付けるために、 この長方形板状部 1 9 0の前面の中央部には治具固定用ビン 1 9 6 (図 1 7参照 ) が、 前面の左右端部の上方にはストッパーピン 1 9 7 A , 1 9 7 B (図 1 4参 照） が、 前面の両端部には、 ガイ ドピン 1 9 8 A , 1 9 8 B (図 1 4参照） がそ れぞれ長方形板状部 1 9 0に一体的に設けられている。 中央部の治具固定用ピン 1 9 6の先端面には取付用ボルト 2 0 2が螺着され、 治具 5 0が脱落しないよう にその 1点でバヅクプレ一ト 168に保持されている。
左右端部のストッパーピン 197A， 197B及び治具固定用ピン 196は、 後述する修正用ホルダ 222 A, 222B, 222 Cを取り付ける際に取付け位 置の基準となる。 さらに、 これらのストッパーピン 197 A， 197B及び治具 固定用ピン 196の径は、 修正用ホルダ 222 A, 222 B, 222 Cに設けら れた透孔 20 OA, 200 B, 200 Cよりそれぞれ所定の長さだけ小さくなつ ている。 このため、 ストッパーピン 197A， 197B及び治具固定用ピン 19 6は、 必要以上に修正用ホルダ 222 A, 222 B, 222 Cが昇降移動した場 合にその動きを規制する機能も有する。 さらに、 ガイドビン 198A, 198B は、 図 14に示すように、 治具 50の曲げ修正に影響を与えないような長方形板 状部 190の両端部に設けられており、 治具 50を修正用ホルダ 222 A, 22 2B, 222 Cを介して長方形板状部 190に取り付ける際の位置決めを行なう ためのものである。
図 14、 図 15、 図 25及び図 26に示すように、 修正用ホルダ 222 A, 2 22B， 222 Cの下端部近傍には、 軸受 226が設けられ、 荷重付加ピン 22 4A， 224B, 224 Cがこの軸受 226に回転自在に挿通されている。 荷重 付カ卩ピン 224 A， 224B, 224 Cの先端側には、 それぞれ、 直方体形状の 頭部 228A， 228B， 228 Cが形成され、 これらの頭部 228 A， 228 B， 228 Cが、 治具 50の荷重負付加部 54 A， 54B, 54 Cを構成する孔 内に嵌合されている。
一方、 荷重付加ピン 224 A, 224B, 224 Cの後端部は、 レバ一 230 A, 230B, 230 Cの一端部に接合されている。 レバー 230 A， 230B ， 230 Cの他端部は、 レバ一 23 OA, 230B, 230 Cを摇動させるため の 0方向用ホルダ 232 A, 232 B, 232 Cの下端部に、 ピン 234を介し て揺動可能に連結されている。
次に、 図 1 9乃至図 2 1を参照して、 X方向駆動機構 3 0 6の具体的な構造を 説明する。 図 1 9乃至図 2 1は、 荷重付加ピン 2 2 4 Bに X方向に荷重を付加す るための機構を代表的に示している。 ノ ックプレ一ト 1 6 8 (図 1 5参照） の上 側には、 主ホルダ 2 3 6が固定され、 この主ホルダ 2 3 6の上端部には、 上部ホ ルダ 2 3 8が固定されている。 この上部ホルダ 2 3 8には、 上述の荷重付加ビン 2 2 4 A， 2 2 4 B , 2 2 4 Cのそれぞれに X方向に荷重を付加するための X方 向駆動用ァクチユエ一夕 2 4 O A , 2 4 0 B , 2 4 0 Cが取り付けられている。
X方向駆動用ァクチユエ一夕 2 4 0 Bの下端部には、 ロッド 2 4 2の上端部が 連結され、 このロッド 2 4 2の下端部には、 軸 2 4 4を介して上下動可能に回転 プレート 2 4 6が接続されている。 この回転プレート 2 4 6は、 主ホルダ 2 3 6 に軸受 2 4 8を介して設けられた軸 2 5 0を中心として回転可能となっている。 この回転プレート 2 4 6の正面側 （図 2 1において左側） には、 直線ガイ ド 2 5 2が固定して設けられ、 この直線ガイ ド 2 5 2には、 上述の修正用ホルダ 2 2 2 Bが上下方向にスライ ド可能に取り付けられている。 この修正用ホルダ 2 2 2 B の下端部近傍には、 上述したように荷重付加ビン 2 2 4 Bが軸受 2 2 6を介して 回転自在に取り付けられている。
この X方向駆動機構 3 0 6において、 X方向駆動用ァクチユエ一夕 2 4 0 Bが 駆動し、 ロッド 2 4 2が下降 （又は上昇） したとき、 軸 2 4 4が下降 （又は上昇 ) し、 それにより、 回転プレート 2 2 6は、 図 1 9に示すように、 軸 2 5 0を中 心にして、 時計回り （又は反時計回り） に回動し、 同時に修正用ホルダ 2 2 2 B も回動し、 その結果、 荷重付加ビン 2 2 4 Bは、 所定の距離だけ左方向 （又は右 方向） に移動する。
次に、 図 2 2及び図 2 3を参照して、 Y方向駆動機構 3 0 8の具体的な構造を 説明する。 これらの図 22及び図 23は、 荷重付加ピン 224 Bに Y方向に荷重 を付加するための機構を代表的に示している。 上述の回転プレート 246の上端 部には、 ブラケヅト 256を介して荷重付加ピン 224B (224 A, 224 C ) に Y方向に荷重を付加するための Y方向駆動用ァクチユエ一夕 258 B (25 8A， 258 C) が取り付けられている。 この Y方向駆動用ァクチユエ一夕 25 8 Bの下端部には、 ロッド 260の上端部が連結され、 この口ッド 260の下端 部には、 軸 262を介して上述の修正用ホルダ 222 Bが回転可能に接続されて いる。 この修正用ホルダ 222 Bは、 上述したように、 X方向駆動用ァクチユエ —夕 240Bにより軸 250 (図 19及び図 2 1参照） を中心に回転可能である と共に Y方向駆動用ァクチユエ一夕 258Bにより Y方向 （上下方向） にも移動 可能となっている。 その結果、 荷重付加ビン 224Bは、 修正用ホルダ 222B により、 X方向及び Y方向の両方向に荷重が付加されるようになっている。 次に、 図 24乃至図 26を参照して、 0方向駆動機構 3 10の具体的な構造を 説明する。 これらの図 24及び図 26は、 荷重付加ビン 224Bに 0方向に荷重 を付加するための機構を代表的に示している。 上述の修正用ホルダ 222Bの上 部の正面側 （図 25において左側） には、 ブラケット 264を介して荷重付加ピ ン 224B (224A, 224 C) に 0方向に荷重を付加するための 0方向駆動 用ァクチユエ一夕 266B (266 A, 266 C) が取り付けられている。
0方向駆動用ァクチユエ一夕 266 Bの下端部には、 ロッド 268の上端部が 連結され、 このロッド 268の下端部には、 軸 270を介して回転可能に上述の 0方向用ホルダ 232 Bが接続されている。 一方、 上述の修正用ホルダ 222 B の正面側にはプレート 272を介して直線ガイ ド 274が固定されている。 この 直線ガイ ド 274には 0方向用スライダ 276が上下方向にスライ ド可能に設け られている。 この 0方向用スライダ 276の下端部は、 上述の 0方向用ホルダ 2 3 2 Bがー体的に固定されている。 さらに、 6>方向用ホルダ 2 3 2 Bの下端部は 横方向突出部 2 7 8がー体的に形成されており、 この横方向突出部 2 7 8には、 上述のレバ一 2 3 0 Bがピン 2 3 4を介して揺動可能に連結されている。 このレ バ一 2 3 0 Bの他端側には、 上述したように、 荷重付加ピン 2 2 4 Bの後端部が 接合されている。
この 0方向駆動機構 3 1 0において、 0方向駆動用ァクチユエ一夕 2 6 6 Bが 駆動し、 ロッド 2 6 8が下降 （又は上昇） したとき、 軸 2 7 0が下降 （又は上昇 ) し、 直線ガイ ド 2 7 4にガイ ドされて 方向用スライダ 2 7 6が下降 （又は上 昇） し、 0方向用ホルダ 2 3 2 Bが下降 （又は上昇） し、 それにより、 ピン 2 3 4が下降 （又は上昇） し、 レバ一 2 3 0 Bが荷重付加ピン 2 2 4 Bを中心として 時計回りに回転する。 この結果、 荷重付加ビン 2 2 4 Bには、 0方向の荷重が作 用することになる。
続けて、 第 2実施形態の他の構成を説明する。 被研磨物であるバー 7 0の一方 の長手方向側面 7 0 a に配列された磁性薄膜からなる磁気へッドの各変換部のス ロートハイ トをそれぞれ適正値に設定するために、 例えばバー 7 0の左右端部に 位置する変換部及び中央部に位置する変換部のスロートハイ トに対応した電気抵 抗値を所定周期で測定しながら研磨加工を実行する。 このために、 治具 5 0のバ ックプレ一ト側の長方形板状部 1 9 0への対向面に変換部に電気接続された電極 が形成してあり、 この電極が長方形板状部 1 9 0に植設された測定用ピン 2 8 0
(図 1 4参照） に接続するようになっている。 測定用ピン 2 8 0は図示しない電 気抵抗測定手段に接続されている。
更に、 図 1 1に示すように、 バックプレート 1 6 8の長方形板状部 1 9 0に取 り付けられた治具 5 0の左右端部の位置を検出するために接触型センサ 2 8 2が バックプレート 1 6 8の左側縁部及び右側縁部に固定されている。 ここで、 接触 型センサ 2 8 2の取付位置は、 治具 5 0の左右端部の位置に実質的に対応してい る。 この接触型センサ 2 8 2の接触子 2 8 4の先端は、 研磨へヅド 1 2 0の垂直 支持板 1 2 4に形成された凸部上面に当接している。 接触型センサ 2 8 2は接触 子 2 8 4の突出量に比例した静電容量変化を生じるものであるが、 他の検出原理 のセンサも使用可能である。 なお、 2個の接触型センサ 2 8 2で治具 5 0の左右 端部位置を間接的にそれぞれ検出するようにしたのは、 研磨量及び左右のバラン スを検出するためである。
以下、 以上説明した第 2実施形態の磁気へッドの装置による研磨方法を説明す 。
先ず、 研磨へッド 1 2 0が回転研磨用テーブル 1 0 2から外れた位置にて、 薄 膜磁気へッドが複数配列されてなる被研磨物を保持した治具 5 0をバックプレー ト 1 6 8の長方形板状部 1 9 0に取り付け、 研磨へヅド 1 2 0に対するバックプ レート 1 6 8の傾斜角度を当初は零度 （アジャストリング 1 2 6の底面に垂直、 つまり回転研磨用テーブルの研磨面に垂直な姿勢） に設定する。
このバックプレート 1 6 8の傾斜設定及び治具 5 0の取付け終了後、 研磨へッ ド 1 2 0を取り付けた研磨へッド取付用フレーム 1 1 2をガイドレール 1 0 8に 沿って直線移動して、 回転駆動されている回転研磨用テーブル 1 0 2の上方に位 置させ、 さらにアジャストリング 1 2 6が回転研磨用テーブル 1 0 2上面の研磨 面 1 0 2 aに対接し適切な押圧力で接触するように研磨へッド取付用フレーム 1 1 2を下降させる。 アジヤストリング 1 2 6が回転研磨用テーブル 1 0 2の研磨 面に適切な押圧力で対接することで、 アジャストリング 1 2 6上の研磨へッド 1 2 0の姿勢はその研磨面を基準とした姿勢に制御される。 この結果、 アジャスト リング 1 2 6の底面に垂直に設定された傾動部 1 4 6、 ノ ックプレート 1 6 8の 長方形板状部 1 9 0、 及びこれに取り付けられた治具 5 0は、 研磨面に対して垂 直面を形成することになる。
次に、 バックプレート側長方形板状部 190の枢着点となる支点軸 166の両 側に、 それぞれバランス用電磁式ァクチユエ一夕 17 OA, 170Bで、 これら のァクチユエ一夕 17 OA, 170Bの可動部の移動方向と押圧力の作用方向が 平行となるように押圧力を加える。 バランス用電磁式ァクチユエ一夕 170 A， 170Bは被研磨物の左右の押圧力を調整して被研磨物の左右の研磨量を均一化 するとともに被研磨物を研磨面 102 a方向に送り出す働きをする。
この状態で、 X方向駆動機構 306の X方向駆動用ァクチユエ一夕 240 A， 240 Cを駆動させて、 ロッド 242及び軸 244を下降 （又は上昇） させ、 そ れにより、 回転プレート 226を、 図 19に示すように、 軸 250を中心にして 、 時計回り （又は反時計回り） に回動させ、 同時に修正用ホルダ 222 A, 22 2 Cも回動させ、 その結果、 荷重付加ピン 224 A， 224 Cを、 所定の距離だ け左方向 （又は右方向） に移動させる。 これにより、 治具 50の荷重付加部 54 A, 54 Cに対して、 X方向 （水平方向） の荷重を付加することができる。 さらに、 Y方向駆動機構 308の Y方向駆動用ァクチユエ一夕 258A, 25 8B， 258 Cを駆動させて、 ロッド 260及び軸 262を下降 （又は上昇） さ せ、 それにより、 修正用ホルダ 222 A, 222B, 222 Cが Y方向 （垂直方 向） に移動し、 その結果、 荷重付加ピン 224 A， 224 Cを、 所定の距離だけ 上方向 （又は下方向） に移動させる。 これにより、 治具 50の荷重付加部 54 A 54B, 54Cに対して、 Y方向 （垂直方向） の荷重を付加することができる。 さらに、 0方向駆動機構 310の 6>方向駆動用ァクチユエ一夕 266A， 26 6 Cを駆動させて、 ロッド 268及び軸 270を下降 （又は上昇） させ、 直線ガ ィ ド 274にガイ ドさせて 0方向用スライダ 276を下降 （又は上昇） させ、 Θ 方向用ホルダ 232A， 232 Cを下降 （又は上昇） させ、 それにより、 ピン 2 3 4を下降 （又は上昇） させ、 レバ一 2 3 0 A , 2 3 0 Cが荷重付加ビン 2 2 4 A , 2 2 4 Cを時計回りに回転させる。 この結果、 荷重付加部 5 4 A， 5 4 に は、 0方向の荷重を作用させることができる。
このようにして、 治具 5 0の荷重付加部 5 4 A， 5 4 B , 5 4 Cに対して種々 の異なる方向の荷重を付加することにより、 保持部 5 2、 バ一固定部 5 8および バ一7 0が変形される。 これにより、 バ一7 0内の磁気ヘッドの変換部 （バ一 7 0の長手方向面 7 0 aに形成されている） スロートハイ 卜の値が目標とする値と なるように第 1研磨工程を実行する。
この第 1研磨工程中、 アジャストリング 1 2 6の同じ所が回転研磨用テーブル 1 0 2に接触していると偏磨耗を引き起こすため、 研磨へヅド 1 2 0及びアジャ ストリング 1 2 6が取り付けられた回転支持部 1 1 6を研磨へッド摇動用モ一夕 1 3 2により所定角度範囲で往復回転させるとともに、 研磨へッド取付用フレー ム 1 1 2を所定範囲で往復直線運動させている。 従って、 第 1研磨工程中、 研磨 ヘッド 1 2 0及びアジヤストリング 1 2 6は往復回転運動と往復直線運動が重畳 した運動を行うことになる。
また、 被研磨物である角棒状バ一 7 0の一方の長手方向側面 7 0 aに、 磁性薄 膜からなる磁気へッドの各変換部が配列されているが、 各変換部のスロートハイ トは、 各変換部の電気抵抗を測定することで検出することができ、 各変換部の電 気抵抗を周期的に監視しながら第 1研磨工程を実施することで、 各々の薄膜磁気 へッドのスロートハイ トを均一化しかつ最適値に設定することができる。
各々の薄膜磁気へッドのスロートハイ トを均一化しかつ最適値に設定するため の第 1研磨工程が終了したら、 図 2 7に示すように、 被研磨物の角棒状バー 7 0 の底面 7 0 bを水平面に対して最大 3度程度の傾斜面とするための第 2研磨工程 (斜線部 Qを研磨除去するテーパー加工工程） を実行する。 すなわち、 傾動用モ —夕 1 5 2を作動させて、 傾動部 1 4 6及びバックプレート 1 6 8を回転研磨用 テーブル 1 0 2の研磨面 1 0 2 aに対して垂直面を成した状態から最大 3度程度 の所定角度を成すように傾斜させ、 これに伴い、 バックプレート 1 6 8の長方形 板状部 1 9 0、 及びこれに取り付けられた治具 5 0を研磨面に対する垂直面から 所定角度傾斜させ、 この状態にて回転している回転研磨用テーブル 1 0 2にてバ 一 7 0のスライダとなる底面部分を研磨する。 そして、 バックプレ一ト 1 6 8の 左右縁部の位置検出 （治具 5 0の左右端部の間接的な位置検出） を行っている左 右の接触型センサ 2 8 2による研磨量の検出結果がそれぞれ所要値となったとき に研磨を終了する。 なお、 第 2研磨工程においても第 1研磨工程と同様に研磨へ ッド 1 2 0及びアジヤストリング 1 2 6は往復回転運動と往復直線運動が重畳し た運動を行うようにすればよい。
本発明の第 2実施形態によれば、 以下の優れた効果を得ることができる。 先ず、 第 1実施形態と同様に、 本発明の第 2実施形態による磁気ヘッドの研磨 装置 1 0 0によれば、 研磨前において、 バ一7 0における各磁気へッドのス口一 トハイ トの値の分布が、 高次の曲線に近似されるような、 複雑なパターンとなつ ていても、 そのパターンに忠実に対応するように治具 5 0の保持部 5 2を変形さ せることができるため、 バー 7 0の全長にわたって各磁気へヅドのスロートハイ トを精度よく許容範囲内に入れることが可能となる。
また、 治具 5 0を研磨へッド 1 2 0に取り付け、 回転駆動される回転研磨用テ —ブル 1 0 2の研磨面 1 0 2 aに、 研磨へッド 1 2 0を動かしながら被研磨物を 接触させて研磨する場合、 回転研磨用テーブル 1 0 2の研磨面 1 0 2 aに対接す るアジャストリング 1 2 6により研磨へッド 1 2 0の姿勢を制御している。 つま り、 常に回転研磨用テーブル 1 0 2の研磨面 1 0 2 aを基準として研磨へッド 1 2 0及びこれに取り付けられた傾動部 1 4 6、 ノ 'ヅクプレ一ト 1 6 8の姿勢を制 御でき、 被研磨物に自重以外の押圧力を加えて研磨が可能である。
また、 研磨へッド 1 2 0は回転研磨用テーブル 1 0 2の研磨面 1 0 2 aに平行 な面内において、 往復回転運動と往復直線運動とが重畳した運動を行うことがで き、 この点でも被研磨物の底面の平面度の向上を図ることができる。
また、 バックプレート 1 6 8の長方形板状部 1 9 0にバー 7 0を中央部の 1点 で取り付けており、 バー 7 0に回転方向の捻れがある場合でも、 その捻れを矯正 しない状態で保持して研磨加工を実施でき、 捻れに起因する不良の発生が無い。 以上説明したように、 本発明の磁気へッドの研磨装置及び研磨方法によれば、 被研磨物の歪み及び湾曲を非常に精度良く修正することが出来るできる。 また、 被研磨物の歪み及び湾曲の分布パターンに応じて精度良く修正することができる

Claims

請 求 の 範 囲
. 治具により保持され磁気へッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気へ ッドの研磨装置において、
回転駆動される研磨面を有する回転研磨用テーブルと、
この回転研磨用テーブルの研磨面に対して移動可能に配置された研磨装置本体 部と、 を有し、
この研磨装置本体は、 この研磨装置本体部の下方側に設けられ上記治具を保 持する治具保持部と、
上記治具の長手方向に沿って設けられた複数の荷重付加部に所定の荷重をそ れぞれ付カ卩する荷重付加手段と、 を有し、
上記荷重付加手段は、 上記治具を所定形状に変形させるために、 上記荷重付 加部の内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加することを特 徴とする磁気へッドの研磨装置。
. 上記荷重付加手段は、 上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に垂直方向の 荷重を付加する垂直方向荷重付加手段を有する請求項 1記載の磁気へッドの . 上記荷重付加手段は、 上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に水平方向の 荷重を付加する水平方向荷重付加手段を有する請求項 1に記載の磁気へッド の研磨装置。
. 上記荷重付加手段は、 上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に回転方向の 荷重を付加する回転方向荷重付加手段を有する請求項 1記載の磁気へッドの . 上記治具保持手段は、 上記治具をその長手方向のほぼ中央で保持するように している請求項 1記載の磁気へッドの研磨装置。
6 . 上記研磨装置本体部は、 研磨装置本体部を上記研磨面に平行な傾動軸を中心 として傾動可能に保持する傾動手段を有する請求項 1記載の磁気へッドの研
7 . 更に、 上記研磨装置本体部を揺動可能に保持する揺動手段を有する請求項 1 記載の磁気へッドの研磨装置。
8 . 磁気へッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気へッドの研磨方法にお いて、
被研磨物を保持した治具と、 回転駆動される研磨面を有する回転研磨用テ一 ブルと、 この回転研磨用テーブルの研磨面に対して移動可能に配置されると 共にその下方側に上記治具を保持する治具保持部を有する研磨装置本体部を 準備する工程と、
上記治具保持部にその長手方向に沿って複数の荷重付加部を備えた治具を取 り付ける工程と、
上記治具を所定形状に変形させるために上記荷重付加部の内の少なくとも一 つに複数の異なる方向から荷重を付カ卩させながら、 上記被研磨物の複数の磁 気へッドを研磨する工程と、
を有することを特徴とする磁気へッドの研磨方法。
9 . 上記研磨工程は、 上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に垂直方向の荷重 を付加する垂直方向荷重付加工程を有する請求項 8記載の磁気へッドの研磨 方 。
10. 上記研磨工程は、 上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に水平方向の荷重 を付加する水平方向荷重付加工程を有する請求項 8記載の磁気へッドの研磨 方法。
11. 上記研磨手段は、 上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に回転方向の荷重 を付加する回転方向荷重付加工程を有する請求項 8記載の磁気へッドの研磨 方法。
12. 上記治具保持手段は、 上記治具をその長手方向のほぼ中央で保持するように している請求項 8記載の磁気へッドの研磨方法。
13. 更に、 研磨装置本体部を上記研磨面に平行な傾動軸を中心として傾動可能に 保持する請求項 8記載の磁気へッドの研磨方法。
14. 更に、 上記研磨装置本体部を揺動可能に保持する請求項 8記載の磁気ヘッド の研磨方法。
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