WO1999066289A1 - Detecteur de vitesse angulaire - Google Patents

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WO1999066289A1
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circuit
pass filter
angular velocity
detecting
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French (fr)
Inventor
Toshiyuki Nozoe
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
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Filing date
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Application filed by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. filed Critical Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks

Definitions

  • the present invention relates to an angular velocity sensor.
  • a metal support pin 101 is vertically pressed into a weight plate (not shown) and fixed, and the metal support pin 101 is perpendicular to the support pin 101.
  • One end of 102 is press-fitted and fixed.
  • a metal block 103 is fixed to the other end of the support pin 102 by soldering.
  • Diaphragms 104 and 105 are fixed to both ends of the metal block 103.
  • a piezoelectric element 106 is attached to the vibration plate 104 to form an excitation unit 150.
  • a piezoelectric element 107 is attached to the vibration plate 105 to constitute a means 160 for detecting a vibration level.
  • Amplifier that amplifies the output signal from the piezoelectric element 107 that detects the current
  • BPF bandpass filter
  • BPF 1 21 Input, rectifies the output signal from the BPF 1 2 1 to obtain a DC voltage, and a full-wave rectifier circuit 1 2 2 according to the value of the output signal from the full-wave rectifier circuit 1 2 2
  • An automatic gain control circuit (hereinafter abbreviated as AGC) that changes the degree of amplification of the output signal from the AGC, and affixed on the diaphragm 104 according to the value of the output signal from the AGC
  • the output signal of the charge amplifier 125 are input to the BPF 126, and the output signal from the BPF 126 is input.
  • the synchronous detection circuit 127 for detecting the signal and the output signal from the synchronous detection circuit 127 are input to the low-pass filter (hereinafter abbreviated as LPF) 128, and the LPF 128 Sensor output terminal 12 9 from which the output signals are output, the output signal (signal amplitude at point A) from the full-wave rectifier circuit 122 and the charge amplifier
  • An output signal (signal amplitude at point B) after being amplified by 1 25 is input, and a judgment circuit 130 for diagnosing abnormality and a judgment circuit 130 for judgment of abnormality are external. And an abnormality diagnosis terminal 13 1 for notifying an abnormality.
  • 13 2 is a power supply voltage supply terminal, and 13 3 is a ground terminal.
  • the drive circuit 134 is configured.
  • the voltage E is supplied from the power supply 13 5 to the power supply voltage supply terminal 13 2 of the drive circuit 13 4, and the load resistance 13 6 is supplied to the sensor output terminal 12 9. Is connected, and the output signal C is supplied to the controller (not shown). Similarly, a load resistance 1337 is connected to the abnormality diagnosis terminal 131, and the output signal D is supplied to the controller (not shown).
  • the output signal (:, output signal D, and the change in the voltage of the ground terminal 133 when the disconnection occurs at a point between the ground terminal 133 of the drive circuit 134 and the ground are detected.
  • Figure 5 shows.
  • the output signal D of the abnormality diagnosis terminal 1331 quickly changes from a high voltage level to a low voltage level as shown in FIG. , It can be determined that a disconnection has occurred.
  • the output signal C of the sensor output terminal 12 9 is the level of the power supply voltage E as shown by the broken line in Fig. 5 due to the combined impedance of the drive circuit 13 4 and the load resistors 13 6 and 13 7.
  • the output signal C alone cannot determine whether the angular velocity sensor is normal or abnormal.
  • the voltage of the ground terminal 13 3 also only shows a behavior of gradually increasing toward the level of the power supply voltage E, it is not possible to instantaneously distinguish whether the sensor is normal or abnormal using this signal. Not possible.However, depending on the type of controller, the number of input signals is limited so that the output signal D of the fault diagnosis terminal 13 1 cannot be input or the output signal C of the sensor output terminal 12 9 is distributed to multiple controllers. Input and provide for each control. In these systems, we want to instantaneously judge whether the angular velocity sensor is normal or abnormal based only on the output signal C of the sensor output terminal 129. Disclosure of the invention
  • An object of the present invention is to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an angular velocity sensor that can instantaneously determine whether the angular velocity sensor is normal or abnormal based only on the sensor output signal.
  • an angular velocity sensor includes: an excitation unit that applies vibration to a vibrating body; a unit that detects a vibration level of the vibrating body; a detecting unit that detects Corioliska generated according to an angular velocity; A current amplifier that amplifies the output signal of the means for detecting the level, and a full-wave rectifier that inputs the output signal of the current amplifier to a bandpass filter and rectifies the output signal from the bandpass filter to obtain a DC voltage A circuit, an automatic gain control circuit in which the degree of amplification of the output signal from the bandpass filter changes in accordance with the value of the output signal from the full-wave rectifier circuit, A driver for driving the excitation unit in response thereto, and a charger for inputting and amplifying a signal detected by the detection means for detecting the Coriolis core.
  • the amplifier and the output signal of this charge amplifier are input to the band-pass filter, the synchronous detection circuit for detecting the output signal from the band-pass filter, and the output signal from the synchronous detection circuit are input to the low-pass filter.
  • Input, and a sensor output terminal from which an output signal from the single-pass filter is output, and an output signal from the full-wave rectifier circuit and an output signal amplified by the charge amplifier are input to diagnose an abnormality.
  • an output clamp circuit that is activated by an output signal of the determination circuit when an abnormality is determined, and clamps an output signal of the sensor output terminal near a power supply voltage or a ground voltage.
  • FIG. 1 is a block diagram for explaining an embodiment of the angular velocity sensor of the present invention
  • FIG. 2 is a block diagram for explaining a main part of the drive circuit
  • FIG. 3 is an output signal diagram of the angular velocity sensor when it is abnormal
  • FIG. 4 is a block diagram illustrating a conventional angular velocity sensor
  • FIG. 5 is an output signal diagram when the angular velocity sensor is abnormal.
  • Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
  • FIG. 1 is a block diagram for explaining Embodiment 1 of the angular velocity sensor of the present invention.
  • FIG. 2 is a block diagram for explaining a main part of the drive circuit in FIG.
  • FIG. 3 is an output signal diagram at the time of abnormality in the present embodiment.
  • a metal support pin 1 is vertically pressed into and fixed to a weight plate (not shown), and one end of the metal support pin 2 is perpendicular to the support pin 1. Is press-fitted and fixed.
  • a metal block 3 is fixed to the other end of the support pin 2 by soldering.
  • Diaphragms 4 and 5 are fixed to both ends of the metal block 3.
  • a piezoelectric element 6 is attached to the vibration plate 4 to form an excitation unit 50, and a piezoelectric element 7 is attached to the vibration plate 5 to constitute a vibration level detecting means 60.
  • the end of the diaphragm 4 is extended so that the diaphragm 4 is orthogonal to the piezoelectric element 6.
  • the vibrating plate 5 is extended so that the tip of the vibrating plate 5 is orthogonal to the piezoelectric element 7, and becomes a detecting plate 9.
  • Piezoelectric elements 10 and 11 are attached to the detection plates 8 and 9, respectively, and detection means 70 and 80 for detecting Coriolisa generated according to the angular velocity are configured.
  • the tuning fork structure vibration type angular velocity sensor element block 12 is completed.
  • a power amplifier 20 that amplifies an output signal from the piezoelectric element 7 that detects a vibration level on the vibration plate 5 that vibrates or vibrates due to the vibration of the vibration plate 4, and a band-pass filter that outputs the output signal of the current amplifier 20.
  • BPF Band-pass filter
  • Full-wave rectifier circuit 22 that rectifies the output signal from BPF 21 to obtain a DC voltage, and the value of the output signal from full-wave rectifier circuit 22
  • the gain of the output signal from the BPF 21 changes according to the automatic gain control circuit (hereinafter abbreviated as AGC) 23 and the diaphragm 4 according to the value of the output signal from the AGC 23.
  • AGC automatic gain control circuit
  • the output signal of the charge amplifier 25 is input to the BPF 26,
  • the synchronous detection circuit 27 for detecting the output signal from the PF 26 and the output signal from the synchronous detection circuit 27 are input to a single-pass filter (hereinafter abbreviated as LPF) 28, and the LPF 2
  • LPF single-pass filter
  • the drive circuit 35 is configured.
  • the angular velocity sensor is completed by the tuning fork structure vibration type angular velocity sensor element block 12 and the drive circuit 35.
  • the signal at the point G detects the abnormal vibration amplitude of the tuning fork structure vibration type angular velocity sensor element block 12 and determines it.
  • the output transistor 30 turns off, and the current stops flowing from the power supply 42 through the power supply terminal 33, causing the abnormal diagnosis terminal 31 to drop toward the ground voltage due to the load resistance 43.
  • the transistor 41 of the output clamp circuit 32 is forward-biased and turned on, and a current flows from the power supply 42 to the sensor output terminal 29. Therefore, the voltage of the sensor output terminal 29 is instantaneously clamped near the power supply voltage by the load resistor 44 (see the output signal I in Fig. 3). This output signal I is sent to the controller (not shown).
  • the upper limit voltage and the lower limit voltage of the output voltage from the sensor output terminal 29 when the present angular velocity sensor is operating normally are set in advance. In this way, the normal state and the abnormal state can be instantaneously determined only by the output signal I of the sensor output terminal 29. This not only increases the reliability of this angular velocity sensor, but also ensures the design of an abnormality determination system on the controller side.
  • the present invention provides a determination circuit for diagnosing an abnormality by inputting an output signal from a full-wave rectifier circuit and an output signal amplified by a charge pump, and determining when an abnormality is determined.
  • An output clamp circuit that operates according to the output signal of the circuit and clamps the output signal of the sensor output terminal near the power supply voltage or near the ground voltage.

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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Description

明 細 書 角速度センサ 技術分野
本発明は角速度センサに関するものである。 背景技術
従来、 角速度センサとしては第 4図に示すようなものが提案されて いる。 第 4図において、 金属製の支持ピン 1 0 1がウェイ ト板 （図示 せず） に垂直に圧入され固定されており、 この支持ピン 1 0 1に対し て直交する方向に金属製の支持ピン 1 0 2の一端が圧入され固定され ている。 この支持ピン 1 0 2の他端に金属製のブロック 1 0 3が半田 により固定されている。 この金属製のブロック 1 0 3の両端には振動 板 1 0 4 , 1 0 5が固定されている。振動板 1 0 4には圧電素子 1 0 6 が貼付され励振部 1 5 0が構成され、 振動板 1 0 5には圧電素子 1 0 7が貼付され振動レベルを検出する手段 1 6 0が構成されている t 振動板 1 0 4の先は圧電素子 1 0 6と直交するように振動板 1 0 4が 延長され検知板 1 0 8となり、 振動板 1 0 5の先は圧電素子 1 0 7と 直交するように振動板 1 0 5が延長され検知板 1 0 9となる。 検知板 1 0 8， 1 0 9にはそれぞれ圧電素子 1 1 0， 1 1 1が貼付され角速 度に応じて生ずるコリオリカを検出する検出手段 1 7 0， 1 8 0が構 成されている。 以上により、 音叉構造振動型角速度センサ素子ブロッ ク 1 1 2が完成する。
振動板 1 0 4の振動により音叉振動する振動板 1 0 5上の振動レべ ルを検出する圧電素子 1 0 7からの出力信号を増幅するカレントアン プ 1 2 0と、 このカレントアンプ 1 2 0の出力信号をバンドパスフィ ル夕 （以下、 B P Fと略す） 1 2 1に入力し、 この B P F 1 2 1から の出力信号を整流し直流電圧を得る全波整流回路 1 2 2と、 この全波 整流回路 1 2 2からの出力信号の値に応じて前記 B P F 1 2 1からの 出力信号に対する増幅度が変化する自動利得制御回路 （以下、 AGC と略す） 1 2 3と、 この AG C 1 2 3からの出力信号の値に応じて振 動板 1 0 4上に貼付された圧電素子 1 0 6を駆動するためのドライバ 1 2 4 と、 角速度に応じて生ずるコ リオリカを検出する圧電素子 1 1 0， 1 1 1からの出力信号を入力し増幅するためのチャージアン プ 1 2 5と、 このチヤ一ジアンプ 1 2 5の出力信号を B P F 1 2 6に 入力し、 この B P F 1 2 6からの出力信号を検波するための同期検波 回路 1 2 7と、 この同期検波回路 1 2 7からの出力信号をローバスフ ィル夕 （以下、 L P Fと略す） 1 2 8に入力し、 この L P F 1 2 8か らの出力信号が出力されるセンサ出力端子 1 2 9と、 前記全波整流回 路 1 2 2からの出力信号 （A点の信号振幅） と前記チャージアンプ
1 2 5により増幅された後の出力信号 （B点の信号振幅） を入力し、 異常の診断をするための判定回路 1 3 0と、 異常と判定された場合は 判定回路 1 3 0より外部へ異常を知らせるための異常診断端子 1 3 1 とを備えている。 1 3 2は電源電圧供給端子、 1 3 3はグランド端子 である。 以上により、 駆動回路 1 34が構成される。
上記音又構造振動型角速度センサ素子ブロック 1 1 2 と駆動回路
1 3 4により、 角速度センサが完成する。
また、 駆動回路 1 3 4の電源電圧供給端子 1 3 2に電源 1 3 5より 電圧 Eが供給され、 さらにセンサ出力端子 1 2 9には負荷抵抗 1 3 6 が接続され、 コントローラ （図示せず） 側へ出力信号 Cが供給される。 同様に異常診断端子 1 3 1には負荷抵抗 1 3 7が接続され、 コント口 ーラ （図示せず） 側へ出力信号 Dが供給される。
この角速度センサにおいて、 例えば駆動回路 1 3 4のグランド端子 1 3 3とグランド間のァ点で断線が発生した場合の出力信号（：、 出力 信号 D、 グランド端子 1 3 3の電圧の変化を第 5図に示す。
上記従来技術では、 グランド端子 1 3 3とグランド間のァ点で断線 が発生した場合、 異常診断端子 1 3 1の出力信号 Dは第 5図に示すよ うに高い電圧レベルから低い電圧レベルに速やかに変化するため、 こ れにより断線が発生したと判断できる。
しかし、 センサ出力端子 1 2 9の出力信号 Cは駆動回路 1 3 4と各 負荷抵抗 1 3 6， 1 3 7との合成インピーダンスにより、 第 5図に示 す破線のように電源電圧 Eのレベルに向かって徐々に増加する挙動を 呈し、 この出力信号 Cのみでは角速度センサが正常であるのか異常で あるのか判断できない。
また、 グランド端子 1 3 3の電圧も電源電圧 Eのレベルに向かって 徐々に増加する挙動を呈するのみであるため、 この信号をもって瞬時 にセンサが正常であるのか異常であるのかを区別することはできない, ところが、 コントローラの種類によっては入力信号数の制限により 異常診断端子 1 3 1の出力信号 Dを入力できないものやセンサ出力端 子 1 2 9の出力信号 Cのみを分配して複数のコントローラへ入力し、 それぞれ制御に供する場合がある。 これらのシステムにあっては、 セ ンサ出力端子 1 2 9の出力信号 Cのみから角速度センサが正常である のか異常であるのかを瞬時に判断したい。 発明の開示
本発明はこのような課題を解決するものであり、 センサ出力信号の みから角速度センサが正常であるのか異常であるのか瞬時に判断でき る角速度センサを提供することを目的とする。
この課題を解決するために本発明の角速度センサは、 振動体に振動 を与える励振部と、 振動体の振動レベルを検出する手段と、 角速度に 応じて生ずるコリオリカを検出する検出手段と、 前記振動レベルを検 出する手段の出力信号を増幅するカレントアンプと、 このカレントァ ンプの出力信号をバンドパスフィル夕に入力し、 このバンドバスフィ ルタからの出力信号を整流し直流電圧を得る全波整流回路と、 この全 波整流回路からの出力信号の値に応じて前記バンドパスフィル夕から の出力信号に対する増幅度が変化する自動利得制御回路と、 この自動 利得制御回路からの出力信号の値に応じて前記励振部を駆動するため のドライバと、 前記コリオリカを検出する検出手段により検出された 信号を入力し増幅するためのチヤ一ジアンプと、 このチャージアンプ の出力信号をバンドパスフィル夕に入力し、 このバンドパスフィル夕 からの出力信号を検波するための同期検波回路と、 この同期検波回路 からの出力信号をローパスフィル夕に入力し、 この口一パスフィルタ からの出力信号が出力されるセンサ出力端子と、 前記全波整流回路か らの出力信号と前記チャージアンプにより増幅された後の出力信号と を入力し異常の診断をするための判定回路と、 異常と判定された場合 は前記判定回路の出力信号によって作動し、 前記センサ出力端子の出 力信号を電源電圧近傍またはグランド電圧近傍にクランプするための 出力クランプ回路とを備えた構成とするものである。この構成により、 センサ出力信号のみから角速度センサが正常であるのか異常であるの かを瞬時に判断できる角速度センサを実現できる。 図面の簡単な説明
第 1図は本発明の角速度センサの実施例を説明するブロック図、 第 2図は同駆動回路の主要部を説明するためのブロック図、 第 3図は同 角速度センサの異常時の出力信号図、 第 4図は従来の角速度センサを 説明するプロック図、 第 5図は同角速度センサの異常時の出力信号図 である。 発明を実施するための最良の形態
(実施例 1 )
以下、 本発明の実施例 1について、 第 1図から第 3図を用いて説明 する。
第 1図は本発明の角速度センサの実施例 1を説明するためのブロッ ク図である。 第 2図は第 1図における駆動回路の主要部を説明するた めのブロック図である。 第 3図は本実施例における異常時の出力信号 図である
第 1図において、 金属製の支持ピン 1がウェイ ト板 （図示せず） に 垂直に圧入され固定されており、 この支持ピン 1に対して直交する方 向に金属製の支持ピン 2の一端が圧入され固定されている。 この支持 ピン 2の他端に金属製のプロック 3が半田により固定されている。 こ の金属製のブロック 3の両端には振動板 4， 5が固定されている。 振 動板 4には圧電素子 6が貼付され励振部 5 0が構成され、 振動板 5に は圧電素子 7が貼付され振動レベルを検出する手段 6 0が構成されて いる。 振動板 4の先は圧電素子 6と直交するように振動板 4が延長さ れ検知板 8となり、 振動板 5の先は圧電素子 7と直交するように振動 板 5が延長され検知板 9となる。 検知板 8 , 9にはそれぞれ圧電素子 1 0 , 1 1が貼付され角速度に応じて生ずるコリオリカを検出する検 出手段 7 0 , 8 0が構成されている。 以上により、 音叉構造振動型角 速度センサ素子ブロック 1 2が完成する。
振動板 4の振動により音又振動する振動板 5上の振動レベルを検出 する圧電素子 7からの出力信号を増幅する力レントアンプ 2 0と、 こ のカレントアンプ 2 0の出力信号をバンドバスフィルタ（以下、 B P F と略す） 2 1に入力し、 この B P F 2 1からの出力信号を整流し直流 電圧を得る全波整流回路 2 2と、 この全波整流回路 2 2からの出力信 号の値に応じて B P F 2 1からの出力信号に対する増幅度が変化する 自動利得制御回路 （以下、 AG Cと略す） 2 3と、 この AGC 2 3か らの出力信号の値に応じて振動板 4上に貼付された圧電素子 6を駆動 するためのドライバ 2 4と、 角速度に応じて生ずるコリオリカを検出 する圧電素子 1 0 , 1 1からの出力信号を入力し増幅するためのチヤ —ジアンプ 2 5と、 このチャージアンプ 2 5の出力信号を B P F 2 6 に入力し、 この B P F 2 6からの出力信号を検波するための同期検波 回路 2 7と、 この同期検波回路 2 7からの出力信号を口一パスフィル 夕 （以下、 L P Fと略す） 2 8に入力し、 この L P F 2 8からの出力 信号が出力されるセンサ出力端子 2 9と、 全波整流回路 2 2からの出 力信号 （G点の信号振幅） とチャージアンプ 2 5により増幅された後 の出力信号 （H点の信号振幅） を入力し、 異常の診断をするための判 定回路 3 0と、 異常と判定された場合は判定回路 3 0より外部へ異常 を知らせるための異常診断端子 3 1 とを備えている。 また、 判定回路 3 0により異常と判定された場合は判定回路 3 0の出力信号により作 動し、 センサ出力端子 2 9の出力信号を電源電圧近傍またはグランド 電圧近傍にクランプするための出力クランプ回路 3 2を備えている。
3 3は電源電圧供給端子、 3 4はグランド端子である。 以上により、 駆動回路 3 5が構成される。
音叉構造振動型角速度センサ素子ブロック 1 2と駆動回路 3 5によ り角速度センサが完成する。
第 2図において、 グランドとグランド端子 3 4の間のィ点で断線が 発生した場合 G点の信号により音叉構造振動型角速度センサ素子プロ ック 1 2の振動振幅の異常を検出して判定回路 3 0の出力トランジス 夕 4 0がオフし、 電源 4 2から電源電圧供給端子 3 3を通して電流が 流れなくなり異常診断端子 3 1の電圧は負荷抵抗 4 3によりグランド 電圧近傍に向かって降下しょうとするが、 出力クランプ回路 3 2のト ランジス夕 4 1が順バイアスされオンとなり電源 4 2からセンサ出力 端子 2 9へ電流が流れる。 従って、 センサ出力端子 2 9の電圧は負荷 抵抗 4 4により瞬時に電源電圧近傍にクランプされる （第 3図の出力 信号 I を参照）。 この出力信号 I はコント口一ラ （図示せず） 側へ送 られる。
また、 第 3図に示すように本角速度センサが正常に動作している場 合のセンサ出力端子 2 9からの出力電圧の上限電圧および下限電圧は 予め設定されている。 このように正常時と異常時の判別が、 センサ出 力端子 2 9の出力信号 Iのみにより瞬時に可能となる。 これにより、 本角速度センサの信頼性が高まるばかりかコントローラ側での異常判 定システム設計が確実に行える。
本実施例においては、 本角速度センサの異常時にセンサ出力端子 2 9の出力信号 Iが電源電圧近傍にクランプされる例について説明し たが、 当然グランド電圧近傍にクランプさせることも可能である。 なお、 本実施例では、 音又構造振動型角速度センサ素子ブロックと して振動板に圧電素子を貼付した構成の例のみについて説明したが、 必ずしもこれに限定されるものではなく水晶等の単結晶圧電材料から なる音叉振動体であっても構わない。 また、 振動体としては必ずしも 従来のような音叉構造振動型に限定されるものでもない。 産業上の利用可能性
以上のように本発明は、 全波整流回路からの出力信号とチャージァ ンプにより増幅された後の出力信号とを入力し異常の診断をするため の判定回路と、 異常と判定された場合は判定回路の出力信号によって 作動し、 センサ出力端子の出力信号を電源電圧近傍またはグランド電 圧近傍にクランプするための出力クランプ回路とを備えることにより . センサ出力信号のみから角速度センサが正常であるのか異常であるの かを瞬時に判断できる角速度センサを提供可能である。

Claims

5冃 求 の 範 囲 振動体に振動を与える励振部と、 振動体の振動レベルを検出する 手段と、角速度に応じて生ずるコリオリカを検出する検出手段と、 前記振動レベルを検出する手段の出力信号を増幅するカレントァ ンプと、 このカレントアンプの出力信号をバンドパスフィル夕に 入力し、 このバンドバスフィル夕からの出力信号を整流し直流電 圧を得る全波整流回路と、 この全波整流回路からの出力信号の値 に応じて前記バンドバスフィル夕からの出力信号に対する増幅度 が変化する自動利得制御回路と、 この自動利得制御回路からの出 力信号の値に応じて前記励振部を駆動するためのドライバと、 前 記コリオリカを検出する検出手段により検出された信号を入力し 増幅するためのチャージアンプと、 このチャージアンプの出力信 号をバンドパスフィル夕に入力し、 このバンドパスフィル夕から の出力信号を検波するための同期検波回路と、 この同期検波回路 からの出力信号を口一パスフィル夕に入力し、 この口一パスフィ ル夕からの出力信号が出力されるセンサ出力端子と、 前記全波整 流回路からの出力信号と前記チャージアンプにより増幅された後 の出力信号とを入力し異常の診断をするための判定回路と、 異常 と判定された場合は前記判定回路の出力信号によって作動し、 前 記センサ出力端子の出力信号を電源電圧近傍またはグランド電圧 近傍にクランプするための出力クランプ回路とを備えた角速度セ ンサ。
PCT/JP1999/003152 1998-06-15 1999-06-11 Detecteur de vitesse angulaire WO1999066289A1 (fr)

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JP16662398A JP4019504B2 (ja) 1998-06-15 1998-06-15 角速度センサ
JP10/166623 1998-06-15

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