WO1998039570A1 - Vakuumpumpe - Google Patents

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WO1998039570A1
WO1998039570A1 PCT/EP1998/000288 EP9800288W WO9839570A1 WO 1998039570 A1 WO1998039570 A1 WO 1998039570A1 EP 9800288 W EP9800288 W EP 9800288W WO 9839570 A1 WO9839570 A1 WO 9839570A1
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Inventor
Hans Josef Burghard
Wolfgang Giebmanns
Rudolf Bahnen
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Leybold Vakuum Gmbh
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B25/00—Multi-stage pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/50—Pumps with means for introducing gas under pressure for ballasting

Definitions

  • the invention relates to a vacuum pump with at least one pumping chamber and at least one chamber adjacent to the pumping chamber, such as a motor, drive, transmission, crankshaft or the like chamber.
  • vacuum pumps of the type concerned here have to convey corrosive and / or toxic gases. These gases can get into the rooms adjacent to the pumping chambers of the vacuum pumps, which are usually separated from the pumping chambers by seals (elbow seals, labyrinth seals, etc.). Corrosive gases cause corrosion or abrasion in these rooms, which leads to premature wear of bearings or damage to other components located there. In addition, caustic and toxic gases can pass into neighboring atmospheres on the way above the scoops. In the semiconductor industry, the need for dry, i.e. oil-free vacuum pumps, at least in relation to the delivery space, is increasing.
  • the present invention is based on the object of designing a vacuum pump of the type mentioned at the outset in such a way that the dangers of damage arising in the rooms adjacent to the pumping spaces and of the emergence of caustic or toxic gases from the vacuum pump are largely eliminated.
  • this object is achieved in that the vacuum pump is equipped with a gas ballast device and in that the ballast gas is supplied via the space adjacent to the pumping chamber.
  • a vacuum pump according to this invention has an outer gas ballast or purge gas inlet and a gas inlet located directly on the pump chamber housing. Between the gas inlet and the gas inlet are the rooms to be flushed, which are adjacent to the pump room. In the case of a pump designed in the manner specified, the gas entering via the gas ballast inlet has the effect of flushing the space or spaces adjacent to the pumping space.
  • caustic or toxic gases penetrate into the space adjacent to the pumping chamber through seals that do not or no longer fulfill their sealing function, then they are conveyed back into the pump together with the ballast or flushing gas before they cause damage or into the Atmosphere.
  • Another advantage of the invention is that the designer has more options with regard to the choice of the location of the gas ballast or purge gas inlet.
  • the gas inlet located on the pump chamber can be kept open at all times, so that a negative pressure is established in the chamber adjacent to the pump chamber. The risk that toxic or leaking gases through leaks in the outer housing is further reduced.
  • FIGS. 1 and 2 Show it
  • Figure 1 shows a two-stage rotary vane vacuum pump and Figure 2 shows a four-stage piston vacuum pump.
  • the rotary vane vacuum pump shown in Figure 1 comprises a pump chamber housing 1 and a drive motor 2.
  • the pump chamber housing 1 is located in the pump chamber 3, formed by the outer housing 4, the motor in the motor chamber 5, formed by the motor housing 6, which is flanged to the outer pump housing 4.
  • the scoops 7 and 8 with their rotors are located in the scoop chamber 1
  • the rotors 9 and 10 are fastened on the motor shaft 11, which is mounted and sealed several times in the pump chamber housing 2.
  • the larger stage 7, 9 of the pump is the inlet stage and is connected to the inlet 12.
  • the outlet 13 is at the outlet stage 8,
  • Inlet stages 7, 9 and outlet stages 8, 10 are connected to one another via the bore 14.
  • the bore 15 opens into this bore 14. It is connected to the pump chamber 3 and is hereinafter referred to as gas ballast or purge gas inlet close to the pump chamber.
  • the gas ballast or purge gas inlet located outside the pump is designated 16. It comprises the valve 17 and the throttle 18.
  • the gas inlet 16 is attached to the motor housing 6 in an area remote from the pump housing 4. With the valve 17 open, that is to say with a gas ballast or Flushing operation, the gas flows through the engine compartment 5 and through the pump compartment 3 to the entrance of the bore 15, the gas inlet located directly on the pump chamber. Gases entering the pump or engine compartment through leaky shaft seals are flushed back into outlet stage 8, 10. If necessary, baffles and / or a plurality of inlet connections 16 can be present in order to ensure complete flushing of the spaces adjacent to the scooping spaces 7, 8.
  • An inert gas storage container can also be connected to the inlet connection 16 if an inert gas, for example N2, is to be flushed or gas ballast is to be generated.
  • the ballast gas or purge gas inlet 15 close to the pumping chamber is constantly open to the pump chamber 3. If the valve 17 is closed, a vacuum is established in the pump chamber 3 and in the motor chamber 5. Gases entering the pump chamber 3 and the motor chamber 5 can therefore not escape to the outside due to leaks in the housings 4, 6. When the valve 16 is open, the throttle 18 ensures that a negative pressure is maintained in the housings 4 and 6.
  • FIG. 2 shows a four-stage dry piston vacuum pump with its pump chamber parts 21 and 22, in which the cylindrical pump chambers 23 to 26 are located.
  • the crankshaft chamber 27, the housing of which is designated 28, is located between the housing parts 21, 22.
  • the pistons 31 to 34 are each stepped and form eight pump chambers, some of which are connected in parallel, so that the pump shown has four pump stages. Its inlet is designated 35, its outlet 36.
  • a vacuum pump of this type is described in detail.
  • the last annular pump chamber forms the last stage of the vacuum pump shown. Their inlet is 37 and their outlet is 38.
  • the inlet 37 of the last stage of the pump is connected to the crankshaft chamber 27 via the line 39.
  • crankshaft space 27 can be flushed through gas flowing in via the gas inlet 16 and a negative pressure can be maintained therein.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpe mit mindestens einem Schöpfraum (7, 8, 23 bis 26) und mindestens einem dem Schöpfraum benachbarten Raum (3, 5, 27); um Schäden in den benachbarten Räumen, verursacht durch die geförderten Gase, zu vermeiden, wird vorgeschlagen, dass sie mit einer Gasballasteinrichtung ausgerüstet ist und dass die Zufuhr des Ballastgases über den dem Schöpfraum benachbarten Raum erfolgt.

Description

Vakuumpumpe
Die Erfindung betrifft eine Va uumpumpe mit mindestens einem Schöpfraum und mindestens einem dem Schöpfraum benachbarten Raum, wie Motor- Antriebs-, Getriebe-, Kurbelwellen- oder dergleichen -Raum.
In vielen Industriezweigen müssen Vakuumpumpen der hier betroffenen Art ätzende und/oder toxische Gase fördern. Diese Gase können in die den Schöpfräumen der Vakuumpumpen benachbarten Räume gelangen, die in aller Regel durch Dichtungen ( ellendicht-ringe, Labyrinthdichtungen usw.) von den Schöpfräumen getrennt sind. Ätzende Gase verursachen in diesen Räumen Korrosionen oder Abrasionen, die zu einem vorzeitigen Verschleiß von Lagern oder zu Schäden an anderen dort befindlichen Bauteilen führen. Darüber hinaus können ätzende und toxische Gase auf dem Weg über den Schöpfräumen benachbarte Räume in die Atmosphäre gelangen. In der Halbleiterindustrie, wird der Bedarf an trockenen, das heißt zumindest in Bezug auf den Schöpfräum ölfreien Vakuumpumpen immer größer. Der Grund dafür liegt darin, dass die Prozesse, die in den an die Vakuumpumpen angeschlossenen Vakuumkammern ablaufen, vor störenden Kohlenwasserstoffen geschützt sind. Die in der Halbleiterindustrie eingesetzten oder entstehenden, von der Vakuumpumpe zu fördernden Gase haben häufig die Eigenschaft, während ihrer Kompression auf Atmosphärendruck Feststoffe zu bilden. Auch Ablagerungen dieser Art können in den dem Schöpfraum benachbarten Räumen schädlich sein.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vakuumpumpe der eingangs erwähnten Art derart auszubilden, dass die Gefahren der Entstehung von Schäden in den den Schöpfräumen benachbarten Räumen sowie des Austretens von ätzenden oder toxischen Gasen aus der Vakuumpumpe weitestgehend beseitigt sind.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass die Vakuumpumpe mit einer Gasballasteinrichtung ausgerüstet ist und dass die Zufuhr des Ballastgases über den dem Schöpfräum benachbarten Raum erfolgt. Eine Vakuumpumpe gemäß dieser Erfindung hat einen äußeren Gasballast- oder Spülgaseinlass und einen unmittelbar am Schöpfraumgehäuse gelegenen Gaseintritt. Zwischen Ga- seinlass und Gaseintritt befinden sich der oder die zu spülenden, dem Schöpfräum benachbarten Räume. Bei einer in der angegebenen Weise ausgebildeten Pumpe hat das über den Gasballasteinlass eintretende Gas die Wirkung, den oder die dem Schöpfraum benachbarten Räume zu spülen. Dringen ätzende oder toxische Gase durch Dichtungen, die ihre Dichtfunktion nicht oder nicht mehr vollständig erfüllen, in den dem Schöpfraum benachbarten Raum ein, dann werden sie zusammen mit dem Ballast- bzw. Spülgas zurück in die Pumpe gefördert, bevor sie Schäden anrichten oder in die Atmosphäre gelangen können. Ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt darin, dass dem Konstrukteur in Bezug auf die Wahl des Ortes des Gasballast- bzw. Spülgaseinlasses mehr Möglichkeiten zur Verfügung stehen. Schließlich kann der am Schöpfraumgehäuse gelegene Gaseintritt ständig offen gehalten werden, so dass sich in dem dem Schöpfraum benachbarten Raum ein Unterdruck einstellt. Die Gefahr, dass toxische oder ät- zende Gase durch Undichtigkeiten im äußeren Gehäuse nach außen dringen, ist dadurch weiter vermindert.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 und 2 schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen
Figur 1 eine zweistufige Drehschiebervakuumpumpe und Figur 2 eine vierstufige Kolbenvakuumpumpe.
Die in Figur 1 dargestellte Drehschiebervakuumpumpe umfaßt ein Schöpfraumgehäuse 1 und einen Antriebsmotor 2. Das Schöpfraumgehäuse 1 befindet sich im Pumpenraum 3, gebildet vom äußeren Gehäuse 4, der Motor im Motorraum 5, gebildet vom Motorgehäuse 6, das an das äußere Pumpengehäuse 4 angeflanscht ist. Im Schöpfraumgehäuse 1 befinden sich die Schöpfräume 7 und 8 mit ihren Rotoren
9 und 10. Die Rotoren 9 und 10 sind auf der Motorwelle 11 befestigt, welche mehrfach im Schöpfraumgehäuse 2 gelagert und abgedichtet ist. Die größere Stufe 7, 9 der Pumpe ist die Einlassstufe und steht mit dem Einlass 12 in Verbindung. Der Auslass 13 ist an die Auslassstufe 8,
10 angeschlossen. Einlassstufe 7, 9 und Auslassstufe 8, 10 sind über die Bohrung 14 miteinander verbunden. In diese Bohrung 14 mündet die Bohrung 15. Sie steht mit dem Pumpenraum 3 in Verbindung und wird im weiteren als schöpfraumnaher Gasballast- oder Spülgaseintritt bezeichnet. Der außerhalb der Pumpe befindliche Gasballast- oder Spülgaseinlass ist mit 16 bezeichnet. Er um- fasst das Ventil 17 und die Drossel 18.
Bei dem in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Gaseinlass 16 in einem vom Pumpengehäuse 4 entfernt liegenden Bereich am Motorgehäuse 6 angebracht. Bei geöffnetem Ventil 17, also bei einem Gasballast- bzw. Spülbetrieb, strömt das Gas durch den Motorraum 5 und durch den Pumpenraum 3 zum Eintritt der Bohrung 15, dem unmittelbar am Schöpfraumgehäuse gelegenen Gaseintritt. Durch undichte Wellendichtungen in den Pumpen- oder Motorraum gelangende Gase werden in die Auslassstufe 8, 10 zurückgespült. Bei Bedarf können Schikanen und/oder mehrere Einlassstutzen 16 vorhanden sein, um eine vollständige Spülung der den Schöpfräumen 7, 8 benachbarten Räume sicherzustellen. An den Einlassstutzen 16 kann außerdem ein Inertgas-Vorratsbehälter angeschlossen sein, wenn mit einem Inertgas, z.B. N2 gespült oder Gasballast erzeugt werden soll.
Der schöpfraumnahe Ballastgas- oder Spülgaseintritt 15 ist zum Pumpenraum 3 ständig offen. Ist das Ventil 17 geschlossen, stellt sich im Pumpenraum 3 und im Motorraum 5 ein Vakuum ein. In den Pumpenraum 3 und den Motorraum 5 gelangende Gase können deshalb durch Lecks in den Gehäusen 4, 6 nicht nach außen dringen. Bei offenem Ventil 16 sorgt die Drossel 18 für die Aufrechterhaltung eines Unterdruckes in den Gehäusen 4 und 6.
Figur 2 zeigt eine vierstufige trockene Kolbenvakuumpumpe mit ihren Schöpfraumgehäuseteilen 21 und 22, in denen sich die zylindrischen Schöpfräume 23 bis 26 befinden. Zwischen den Gehäuseteilen 21, 22 befindet sich der Kurbelwellenraum 27, dessen Gehäuse mit 28 bezeichnet ist. Die Kolben 31 bis 34 sind jeweils gestuft und bilden acht Pumpenkammern, die zum Teil parallel geschaltet sind, so dass die dargestellte Pumpe vier Pumpstufen hat. Ihr Einlass ist mit 35, ihr Auslass mit 36 bezeichnet. In der älteren deutschen Patentanmeldung 196 34 519.7 ist eine Vakuumpumpe dieser Art im einzelnen beschrieben. Die letzte ringförmige Pumpkammer bildet die letzte Stufe der dargestellten Vakuumpumpe. Ihr Einlass ist mit 37, ihr Auslass mit 38 bezeichnet. Der Einlass 37 der letzten Stufe der Pumpe steht über die Leitung 39 mit dem Kurbelwellenraum 27 in Verbindung. Ihre Mündung bildet den schöpfraumnahen Gaseintritt 41. Sie liegt in der Nähe der einen Stirnseite des Kurbelwellengehäuses 28. Im Bereich der gegenüberliegenden Seite des Kurbelwellengehäuses 28 befindet sich der Gasballast- oder Spülgaseinlass 16 mit Ventil 17 und Drossel 18. In der bereits zu Figur 1 beschriebenen Weise kann durch über den Gaseinlass 16 einströmendes Gas der Kurbelwellenraum 27 gespült und darin ein Unterdruck aufrechterhalten werden.

Claims

VakuumpumpePATENTANSPRÜCHE
1. Vakuumpumpe mit mindestens einem Schöpfräum (7, 8, 23 bis 26) und mindestens einem dem Schöpfraum benachbarten Raum (3, 5, 27) , dadurch gekennzeichnet, dass sie mit einer Gasballasteinrichtung ausgerüstet ist und dass die Zufuhr des Ballastgases über den dem Schöpfräum benachbarten Raum erfolgt.
2. Vakuumpumpe mit mindestens einem Schöpfräum (7, 8, 23 bis 26) und mindestens einem dem Schöpfraum benachbarten Raum (3, 5, 27) , dadurch gekennzeichnet, dass sie einen äußeren Gasballast- oder Spülgasein- lass (16) und einen unmittelbar am Gehäuse (3, 22) gelegenen Gaseintritt (15, 41) aufweist und dass sich der dem Schöpfraum benachbarte Raum zumindest teilweise zwischen Gaseinlass (16) und Gaseintritt
(15, 41) befindet.
3. Pumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaseinlass (16) ein Ventil (17) und eine Drossel (18) umfasst.
4. Pumpe nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Gaseinlässe (16) an verschiedenen Stellen der Pumpe vorgesehen sind.
5. Pumpe nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der oder die Gaseinlässe (16) mit einem Inertgas-Vorratsbehälter in Verbindung stehen.
6. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie als Drehschiebervakuumpumpe ausgebildet ist.
7. Pumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass sie zweistufig ausgebildet ist, dass sie einen Pumpenraum (3) und einen Motorraum (5) aufweist, und dass eine Bohrung (15) vorhanden ist, welche eine Verbindungsbohrung (14) zwischen den beiden Stufen
(7, 9 und 8, 10) mit dem Pumpenraum (3) verbindet.
8. Pumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaseinlass (16) am Motorgehäuse (6) angeordnet ist .
9. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass sie als mehrstufige Kolbenvakuumpumpe ausgebildet ist.
10. Pumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Einlass (37) der letzten Pumpenstufe mit einem Kurbelwellenraum (27) in Verbindung steht.
11. Pumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Mündung (41) der Leitung (39) in den Kurbelwellenraum (27) und der Gaseinlass (16) in den Bereichen einander gegenüberliegender Stirnseiten des Kurbelwellengehäuses (28) angeordnet sind.
12. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine trockene Vakuumpumpe ist .
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US09/355,222 US6123516A (en) 1997-03-06 1998-01-20 Vacuum pump
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10021454A1 (de) * 2000-05-03 2001-11-22 Knf Neuberger Gmbh Vorrichtung zum Fördern feuchter Gase
JP2003518228A (ja) * 1999-12-22 2003-06-03 ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ガスバラストを備えた乾式圧縮型真空ポンプ

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000170680A (ja) * 1998-09-30 2000-06-20 Aisin Seiki Co Ltd 真空ポンプ
DE19921711A1 (de) * 1999-05-12 2000-11-16 Leybold Vakuum Gmbh Kolbenvakuumpumpe
DE19945241A1 (de) * 1999-09-21 2001-04-05 Messer Griesheim Gmbh Verfahren zur schonenden Verdichtung von hochreinen Gasen
DE10127082A1 (de) * 2001-06-02 2002-12-05 Leybold Vakuum Gmbh Mehrstufige Kolbenvakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb dieser Pumpe
JP2005163713A (ja) * 2003-12-04 2005-06-23 Toyota Industries Corp 流体圧縮機
US20070020115A1 (en) * 2005-07-01 2007-01-25 The Boc Group, Inc. Integrated pump apparatus for semiconductor processing
DE102006011577A1 (de) * 2006-03-10 2007-09-13 Linde Ag Verdichteranlage mit einem Pufferbehälter
JP2008088912A (ja) * 2006-10-03 2008-04-17 Tohoku Univ メカニカルポンプおよびその製造方法
US11692533B2 (en) * 2007-08-09 2023-07-04 Optimum Power Technology, L.P. Apparatuses, systems, and methods for improved performance of a pressurized system
GB0922564D0 (en) * 2009-12-24 2010-02-10 Edwards Ltd Pump
JP6129483B2 (ja) * 2012-04-19 2017-05-17 株式会社ミクニ オイルポンプ
AT513836B1 (de) * 2013-09-23 2014-08-15 Hoerbiger Kompressortech Hold Kompressor mit und Verfahren zur Spülung des Kompressorgehäuses mit Spülgas
PT3161318T (pt) * 2014-06-27 2020-03-06 Ateliers Busch S A Método de bombagem num sistema de bombas de vácuo e sistema de bombas de vácuo
US10041495B2 (en) * 2015-12-04 2018-08-07 Clay Valley Holdings Inc. High volume vacuum pump for continuous operation
DE202016001950U1 (de) * 2016-03-30 2017-07-03 Leybold Gmbh Vakuumpumpe
DE102016005216A1 (de) * 2016-04-28 2017-11-02 Linde Aktiengesellschaft Fluidenergiemaschine
DE102018203992A1 (de) * 2018-03-15 2019-09-19 Gardner Denver Schopfheim Gmbh Drehkolbenmaschine
KR102631131B1 (ko) * 2019-04-23 2024-01-29 아틀라스 캅코 에어파워, 남로체 벤누트삽 압축기 또는 진공 펌프 장치, 이러한 압축기 또는 진공 펌프 장치를 위한 액체 회수 시스템 및 이러한 압축기 또는 진공 펌프 장치의 기어박스로부터 액체를 배출하는 방법
US20230114036A1 (en) * 2020-02-28 2023-04-13 Desktop Metal, Inc. Low-Cost High-Purity Vacuum Pumps and Systems
CN219262678U (zh) * 2020-06-18 2023-06-27 米沃奇电动工具公司 具有电磁阀的真空泵

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63105294A (ja) * 1986-10-20 1988-05-10 Hitachi Ltd スクロ−ル形真空ポンプ
WO1992015786A1 (de) * 1991-03-04 1992-09-17 Leybold Aktiengesellschaft Einrichtung zur inertgasversorgung einer mehrstufigen trockenlaufenden vakuumpumpe
JPH05231369A (ja) * 1991-07-09 1993-09-07 Ebara Corp 多段スクリュー真空ポンプ
EP0597730A1 (de) * 1992-11-13 1994-05-18 The BOC Group plc Zweistufige Vakuumpumpe
EP0731274A2 (de) * 1992-12-21 1996-09-11 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Mehrstufige Vakuumpumpe

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5231369B1 (de) * 1968-12-23 1977-08-15
JPH0223216Y2 (de) * 1985-03-13 1990-06-25
DE3520634A1 (de) * 1985-06-08 1986-12-18 OFRU-Recycling GmbH & Co KG, 6113 Babenhausen Vorrichtung zum rueckgewinnen von loesungsmittel aus verschmutztem loesungsmittel
US4725204A (en) * 1986-11-05 1988-02-16 Pennwalt Corporation Vacuum manifold pumping system
DE3710782A1 (de) * 1987-03-31 1988-10-20 Vacuubrand Gmbh & Co Verfahren und vorrichtung zum abpumpen von daempfen und/oder dampfhaltigen gemischen und/oder gas-dampf-gemischen oder dgl. medien
JPH01277698A (ja) * 1988-04-30 1989-11-08 Nippon Ferrofluidics Kk 複合型真空ポンプ
DE4325281A1 (de) * 1993-07-28 1995-02-02 Leybold Ag Vakuumpumpe mit einer Gasballasteinrichtung
DE4327583A1 (de) * 1993-08-17 1995-02-23 Leybold Ag Vakuumpumpe mit Ölabscheider
DE4442174A1 (de) * 1994-11-26 1996-05-30 Leybold Ag Lecksuchgerät mit Vakuumpumpen und Betriebsverfahren dazu
US5547347A (en) * 1995-09-21 1996-08-20 The Boc Group, Inc. Gas injection apparatus and method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63105294A (ja) * 1986-10-20 1988-05-10 Hitachi Ltd スクロ−ル形真空ポンプ
WO1992015786A1 (de) * 1991-03-04 1992-09-17 Leybold Aktiengesellschaft Einrichtung zur inertgasversorgung einer mehrstufigen trockenlaufenden vakuumpumpe
JPH05231369A (ja) * 1991-07-09 1993-09-07 Ebara Corp 多段スクリュー真空ポンプ
EP0597730A1 (de) * 1992-11-13 1994-05-18 The BOC Group plc Zweistufige Vakuumpumpe
EP0731274A2 (de) * 1992-12-21 1996-09-11 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Mehrstufige Vakuumpumpe

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 012, no. 346 (M - 742) 16 September 1988 (1988-09-16) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 017, no. 686 (M - 1529) 15 December 1993 (1993-12-15) *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003518228A (ja) * 1999-12-22 2003-06-03 ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ガスバラストを備えた乾式圧縮型真空ポンプ
DE10021454A1 (de) * 2000-05-03 2001-11-22 Knf Neuberger Gmbh Vorrichtung zum Fördern feuchter Gase
DE10021454C2 (de) * 2000-05-03 2002-03-14 Knf Neuberger Gmbh Vorrichtung zum Fördern feuchter Gase

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