KR20000075898A

KR20000075898A - 진공 펌프

Info

Publication number: KR20000075898A
Application number: KR1019997007977A
Authority: KR
Inventors: 한스 요제프 부르하르트; 볼프강 지브만즈; 루돌프 바흐넨
Original assignee: 레이볼드 바큠 게엠베하
Priority date: 1997-03-06
Filing date: 1998-01-20
Publication date: 2000-12-26
Also published as: WO1998039570A1; KR100592161B1; JP4067572B2; JP2001513862A; CN1243563A; US6123516A; DE59805694D1; EP0964999B1; EP0964999A1; CN1133813C; DE19709206A1

Abstract

본 발명은 적어도 하나의 펌프실(7,8,23 내지 26) 및 상기 펌프실에 인접한 적어도 하나의 챔버(3,5,27)를 포함하는 진공펌프에 관한 것이다. 상기 진공펌프는 인접챔버내로 가스가 펌핑됨으로 인한 손상을 방지하기 위한 가스 안정장치를 갖추고 있으며, 안정가스는 펌프실에 인접한 챔버를 경유하여 분배된다.

Description

진공 펌프 {VACUUM PUMP}

본 발명은 적어도 하나의 펌프실 및 상기 펌프실에 인접한 모터, 구동장치, 기어, 크랭크축 등을 위한 적어도 하나의 챔버를 갖춘 진공펌프에 관한 것이다.

다수의 산업분야에서, 진공펌프들은 에칭 및/또는 독가스를 펌핑해야 할 필요가 있다. 이들 가스는 펌프실에 인접한 상기 챔버들로 진입할 가능성이 있다. 따라서, 상기 챔버들은 일반적으로 밀봉제[샤프트 밀봉제, 래비린드 박스(labyrinth boxes) 등]에 의해 상기 펌프실과 분리되어야 한다. 에칭가스는 상기 챔버들의 부식 또는 마모를 유발하여 베어링의 마모들 쉽게하거나 챔버내의 다른 부품들을 손상시키게 한다. 게다가, 에칭가스 또는 독가스는 펌프실에 인접한 챔버들을 통하여 대기로 누출될 수도 있다. 반도체 산업에 있어서, 건식 진공펌프, 즉 적어도 펌프실에는 오일이 필요없는 진공펌프에 대한 필요성이 더욱 증대되고 있다. 그 이유는 진공펌프가 연결되어 있는 진공실 내부에서 수행되는 공정들이 탄화수소와의 접촉으로부터 보호되어야 하기 때문이다. 진공실에서 펌핑되는, 반도체 산업에서 사용되거나 발생되는 가스들은 종종 대기압에 의해 압축되는 동안에 고체상태로 변화되는 특성을 갖는데, 이러한 고상상태의 침전물도 또한 펌프실에 인접한 챔버에 유해하다.

본 발명의 목적은 전술한 형태, 즉 펌프실에 인접한 챔버들의 손상 위험 및 진공펌프로부터의 에칭가스 또는 독가스의 누출 가능성을 현저히 줄일 수 있는 진공펌프를 제공하는 것이다.

이러한 목적은 본 발명에 따라 가스 안정장치를 진공펌프에 제공하고 안정가스를 펌프실에 인접한 챔버들에 공급함으로써 해결된다. 본 발명에 따른 진공펌프는 외부 가스 안정장치 또는 퍼지가스 입구, 및 펌프실의 케이스에 직접 장착되는 가스 입구를 가진다. 외부 가스 입구와 가스 입구 사이에는 펌프실에 인접한 정화에 필요한 챔버들이 위치되어 있다. 전술한 바와같은 펌프에 있어서, 가스 안정장치 장치의 입구를 통해 진입한 가스는 펌프에 인접한 챔버(들)를 정화하는 효과를 가진다. 에칭가스 또는 독가스가 더 이상 밀봉기능을 완전히 수행할 수 없는 밀봉제를 통해 펌프실에 인접한 챔버로 진입하더라도, 이들 가스는 안정장치 또는 퍼지가스와 함께, 손상을 끼치거나 대기로 누출되기 이전에 펌프로 펌핑된다. 본 발명의 다른 장점은 설계공학상 가스 안정장치 또는 정화가스용 입구의 위치선정과 관련하여 다수의 선택가능성이 있다는 점이다. 결국, 펌프실의 케이스에 있는 가스 입구는 항상 개방상태를 유지하여, 펌프실에 인접한 챔버내에 낮은 압력을 형성한다. 따라서, 외부 케이스의 틈새를 통해 독가스 또는 에칭가스가 누출될 위험이 더욱 더 감소될 수 있다.

본 발명의 또다른 장점과 세부사항들은 다음 도면에 개략적으로 도시된 실시예들을 참조하여 설명한다.

도 1은 2단 회전날개를 갖는 진공펌프를 도시하며,

도 2는 4단 피스톤을 갖는 진공펌프를 도시한다.

도 1에 도시된 회전날개를 갖춘 진공펌프는 진공실 케이스(1) 및 구동모터(2)를 포함한다. 상기 펌프실 케이스(1)는 외부 펌프케이스(4)에 의해 형성된 펌프실(3)내에 위치되며, 상기 외부 펌프케이스(4)에 플랜지 연결된 모터 케이스(6)에 의해 형성된 모터실(5)내에 모터가 위치된다. 펌프실 케이스(1) 내부에는 회전자(9,10)를 갖는 펌프실(7,8)이 위치되어 있다. 상기 회전자(9,10)는 펌프실 케이스(2) 내부에 있는 다수의 베어링에 의해 지지되어 있고 밀봉되어 있는 모터축(11)에 연결되어 있다. 입구(12)는 펌프의 입구단(7,9)에, 출구(13)는 출구단(8,10)에 연결되어 있다. 입구단(7,9)과 출구단(8,10)은 보어(14)를 통해 서로 연결되어 있다. 보어(15)는 보어의 내측으로 개방되어 있다. 보어(15)는 펌프실(3)에 연결되어 있으며, 또한 상기 보어는 펌프실에 의해 한정되어 있는 가스 안정장치 또는 정화가스 입구로서 도시되어 있다. 펌프의 외부에 위치된 가스 안정장치 또는 퍼지가스 입구는 도면부호 16으로 도시되어 있으며 밸브(17) 및 수축장치(18)를 갖추고 있다.

도 1에 도시된 실시예에서, 가스 입구(16)는 펌프 케이스(4)에서 멀리 떨어진 모터 케이스(6) 영역에 위치되어 있다. 가스 안정장치 또는 정화가스의 작동중에 밸브(17)가 개방되면, 가스는 모터실(5) 및 펌프실(3)을 통해 펌프실 케이스에 바로 위치된 가스 입구인 보어(15)의 입구로 흐른다. 샤프트 밀봉제의 누설로 인해 펌프실 또는 모터실로 진입하는 가스는 출력단(8,10)으로 다시 공급된다. 필요하다면, 배플 및/또는 여러 입구포트(16)를 제공함으로써 펌프실(7,8)에 인접한 챔버의 완전한 정화를 보장하게 할 수 있다. 게다가, 예를들어, 질소와 같은 불활성 가스로 정화할 필요가 있거나 가스 안정장치를 제공해야 할 필요가 있으면, 입구가스 저장용기가 입구포트(16)에 연결될 수 있다.

펌프실에 의해 폐쇄된 안정가스 또는 정화가스 입구(15)는 펌프실(3)의 방향으로 항상 개방되어 있다. 밸브(17)가 폐쇄되면, 펌프실(3)과 모터실(5)내에 진공이 형성된다. 그러므로, 케이스(4,6)의 누출에 의해 펌프실(3) 및 모터실(5)로 진입하는 가스는 외부로 누출되지 않는다. 밸브(17)가 개방되면 상기 수축장치(18)는 케이스(4,6)내에 저압이 유지될 수 있게 한다.

도 2에는 원통형 펌프실(23 내지 26)을 구비한 펌프실 케이스(21,22)를 포함하고 있는 4단 건식 압축 피스톤 진공펌프가 도시되어 있다. 케이스(21,22) 사이에는 크랭크축 챔버(27)가 위치되어 있으며, 상기 챔버의 케이스는 도면부호 28로 표시되어 있다. 상기 피스톤(31 내지 34)은 차별화되어 있으며 도시된 펌프가 4개의 펌프단을 갖도록 일부분이 병렬로 연결된 8개의 펌프실을 형성한다. 상기 펌프실의 입구는 도면부호 35로서, 출구는 도면부호 36으로서 표시되어 있다. 독일 특허출원 제 196 34 519.7호에는 이러한 종류의 진공펌프가 설명되어 있다. 마지막 환형 펌프실은 진공펌프의 마지막 단을 형성한다. 상기 펌프실의 입구는 도면부호 37로, 출구는 38로 표시되어 있다.

상기 펌프의 마지막 단의 입구(37)는 라인(39)을 경유하여 크랭크축 챔버(27)에 연결된다. 상기 개구는 펌프실에 의해 폐쇄된 가스 입구(41)를 형성한다. 상기 가스입구는 크랭크축 챔버(28)의 근처에 위치된다. 크랭크축 케이스(28)의 개방측 영역에 위치된 것은 밸브(17)와 수축장치(18)를 갖춘 가스 안정장치 또는 정화가스 입구(16)이다. 도 1과 관련하여 이미 설명한 수단을 통하여 가스 입구(16)로 흐르는 가스는 크랭크축 챔버(27)를 정화하고 그 내부를 저압으로 유지한다.

Claims

적어도 하나의 펌프실(7,8,23 내지 26) 및 상기 펌프실에 인접한 적어도 하나의 챔버(3,5,27)를 갖춘 진공펌프로서, 가스 안정장치를 포함하며, 안정가스가 상기 펌프실에 인접한 챔버를 통해 진입하는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
적어도 하나의 펌프실(7,8,23 내지 26) 및 상기 펌프실에 인접한 적어도 하나의 챔버(3,5,27)를 갖춘 진공펌프로서, 외부 가스 안정장치 또는 정화가스 입구(16) 및 케이스(1,22)에 직접 장착된 가스 입구(15,41)를 포함하며, 상기 펌프실에 인접한 챔버가 가스 입구(16)와 가스 입구(15,41) 사이에 적어도 일부분이 위치되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 2항에 있어서, 상기 가스 입구(16)는 밸브(17) 및 수축장치(18)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 2항 또는 제 3항에 있어서, 여러개의 가스 입구(16)가 펌프상의 여러 위치에 제공되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 2항 내지 제 4항중 어느 한 항에 있어서, 하나 또는 여러개의 가스 입구(16)가 입구가스 저장용기에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 1항 내지 제 5항중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공펌프는 회전날개를 갖춘 진공펌프인 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 6항에 있어서, 상기 진공펌프는 2단 진공펌프이며, 펌프실(3) 및 모터실(5)을 가지며 상기 2단(7,9 및 8,10) 사이의 연결보어(14)를 펌프실(3)에 연결하는 보어(15)가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 7항에 있어서, 상기 가스 입구(16)는 모터 케이스(6)에 배열되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 1항 내지 제 5항중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공펌프는 다단 피스톤 진공펌프인 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 9항에 있어서, 마지막 펌핑단의 입구(37)는 크랭크축 챔버(27)에 연결되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 10항에 있어서, 크랭크축 챔버(27)의 라인(39)에 있는 개구(41) 및 가스 입구(16)는 크랭크축 케이스(28)의 대향 측면에 있는 구역에 배열되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
제 1항 내지 제 11항중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공펌프는 건식 압축 진공펌프인 것을 특징으로 하는 진공펌프.