WO1998032148A1

WO1998032148A1 - Procede de fabrication d'un afficheur

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Publication number: WO1998032148A1
Application number: PCT/JP1998/000118
Authority: WO
Inventors: Akira Nakayama
Original assignee: Sony Corporation
Priority date: 1997-01-16
Filing date: 1998-01-14
Publication date: 1998-07-23
Also published as: US6257945B1; KR100489317B1; KR20000064633A; DE69812497T2; EP0895269B1; TW358195B; EP0895269A4; EP0895269A1; DE69812497D1

Description

- 明細書画像表示装置の製造方法技術分野本発明は、一対の基板が所定の間隔を有して配され、これらの間にガスが封入されてなる画像表示装置の製造方法に関し、特にガスが大気圧程度の圧力で封入されていても、生産性が良好で、信頼性も良好な画像表示装置の製造を可能とする画像表示装置の製造方法に係わるものである。背景技術陰極線管ディスプレイ装置と異なり、偏平形状を有するフラットディスプレイ装置と称される画像表示装置が、近年盛んに開発されている。このような画像表示装置としては、放電に伴う紫外線放射による蛍光体からの発光を利用したプラズマディスプレイ（以下、

P D Pと称する。）が挙げられる。

この P D Pは、一対の基板が対向するように配置され、これらの間にイオン化可能なガスが封入され、一対の基板のうちの一方の内面側に蛍光体が配されてなるものであり、イオン化可能なガス中において放電を行い、この放電に伴う紫外線放射による蛍光体からの発光により画像表示を行うものである。

そして、この P D Pは、放電を行う放電電極が蛍光体が配される基板と他方の基板の両者に相対向するように形成されて厚さ方向に放電がなされるいわゆる D C型 P D Pと、放電電極が蛍光体が配されない基板にのみ形成されており、且つ放電電極が誘電体層に覆われて面内方向に放電がなされるいわゆる A C型 P D Pに大きく分類される。

また、フラットディスプレイ装置としては、上記 P D Pの他に、各表示画素毎にトランジスタ等の能動素子を設け、これを駆動する方法、いわゆるアクティブマトリクスアドレス方式を適用して液晶が封入された液晶層を駆動させる画像表示装置（以下、 T F T液晶ディスプレイと称する。）が注目されている。

しかしながら、この T F T液晶ディスプレイにおいては、薄膜トランジス夕のような半導体素子を多数設ける必要があることから、特に大画面を形成するべくディスプレイを大面積化した場合に歩留まりの問題が懸念され、製造コス卜が高価となるといつた不都合が生じる。

そこで、これらの問題を解決するべく、能動素子として M O S トランジス夕や薄膜トランジス夕等の半導体素子ではなく、放電ブラズマを利用する方式を適用した画像表示装置が提案されている。このような画像表示装置としては、複数の放電電極を有し、ブラズマ放電がなされるプラズマセルと、上記放電電極と略直交する電極を有する第 2の基板が電気光学材料である液晶よりなる液晶層を介して重ね合わされて構成される表示パネルを有するものが挙げられる。

上記プラズマセルは、一主面上に互いに略平行な複数の放電電極が形成された第 1の基板上に、所定の間隔を持って誘電体薄板が配置され、上記第 1の基板ど誘電体薄板間の間隙にイオン化可能なガスが充填され、周囲をシール部で封止してなるものである。なお、このプラズマセルは隔壁によりライン状のプラズマ室に分割されて、各プラズマ室においてプラズマ放電が可能となされている。

また、上記第 2の基板は一主面上にプラズマセルの放電電極と略直交する電極が形成されたものであり、この第 2の基板は電極形成面を対向面として、プラズマセルの誘電体簿板上に液晶層を介して重ね合わされる。

そして、この表示パネルにおいては、プラズマセルの各プラズマ室を順次切り替え走査するとともに、液晶層を挟んで対向する第 2 の基板の電極にこれと同期して信号電圧を印加することにより液晶が駆動され、各プラズマ室と第 2の基板の電極の交差する部分が画素として規定される。

上述したような P D P或いは放電プラズマにより液晶層を駆動させる画像表示装置の何れにおいても、前述のように相対向する一対の基板間、或いは第 1の基板と誘電体薄板間にイオン化可能なガスを封入する必要がある。そこで、このガスの封入は基板に貫通孔を形成してこれにガラス管を接続し、このガラス管を介して真空排気した後、ガスを充填してガラス管を封止することにより行われる。このガラス管の封止は、ガラス管を加熱して大気による外圧により径方向に圧縮して焼き切って端部を自然に封止する、或いは棒状となるまで圧縮して切断するといつた方法により行われる。

ところで、近年、封入ガスの圧力の高圧化が進んでいる。すなわち、従来においては、真空又は 1気圧未満の低真空程度の圧力で封入されていたが、近年においては、 1気圧近傍或いはそれ以上の圧力で封入されるようになってきている。

このように高圧化されてくると、外圧である大気圧よりも高圧となってくるため、従来の方法ではガラス管の封止が困難となる。すなわち、ガラス管を封止するべく、加熱を行うと、ガラスが軟化または溶融し、その内部の圧力が外圧よりも高圧となることから、この部分が風船のように膨張し、破裂してしまい、封止が不可能となる虞れがある。

例えば、管球等の製造において、無酸素銅よりなる管を使用して排気及びガスの充填を行い、内部にガスを外圧と同等或いは高圧となるように充填し、これを挟み切って封止するようにしているが、この方法は、コストが高価となってしまう、無酸素銅よりなる管を取り付けることが困難であることから生産性が良好でなく好ましくない。

そこで、上記のような封入ガスの圧力が高圧化された画像表示装置のガラス管を封止する方法としては、外圧を 1気圧以上として見かけ上ガラス管内の圧力を低くしてガラス管を封止する、或いはガラス軟化点近傍まで昇温して挟み切る方法が考えられる。

しかしながら、前者の方法においては、ガラス管を封止する方法が電熱線による加熱封止や高周波加熱封止といった手段に限られてしまい、封止する箇所の周囲を密閉する必要があり、装置が大きくなってしまい、しかも個々に処理する必要があり、量産性が良好でなく、生産性が良好ではない。

一方、後者の方法においては、ガラス管の肉厚が薄いと膨らみを生じ易いため、肉厚を厚くする必要があり、徐々に加熱して徐々に圧縮し、最後に挟み切ることとなるが、この挟み切る工程により画像表示装置の信頼性が左右されてしまい、信頼性の確保が困難である。また、この挟み切る作業において、一対の基板或いは第 1の基板と誘電体薄板に衝撃が加わることが多く、ガラス管と基板のフリットシール材等よりなる接続部分に剥がれが発生し、信頼性を損なつてしまう。

そこで、このような画像表示装置の製造方法においては、封入ガスが高圧化された画像表示装置に対応可能で、量産性が良好で生産性が高く、信頼性の高い画像表示装置の製造を可能とすることが課題となっている。発明の閧示すなわち、本発明は、封入ガスが高圧化された画像表示装置に対応可能で、量産性が良好で生産性が高く、信頼性の高い画像表示装置の製造を可能とする画像表示装置の製造方法を提供しょうとするものである。

上述の目的を達成するために本発明の画像表示装置の製造方法は、所定の位置に貫通孔を有する第 1の基板上に、所定の間隔を持って板材が配置されて周囲がシール部で封止された密閉部材の貫通孔の板材との対向面となる主面とは反対側の主面の開口部に、ガラス管を接続する第 1の工程と、ガラス管内の貫通孔との接続部近傍に保持部材により保持された仮焼固形フリットを配置する第 2の工程と、ガラス管を介して第 1の基板と板材間の間隙を排気する第 3の工程と、ガラス管の所定の部分を径方向に圧縮してくびれ部を形成し、このくびれ部と貫通孔の開口部間に仮焼固形フリットを残存させる第 3の工程と、仮焼固形フリットをガラス管のくびれ部に移動させる第 4の工程と、ガラス管を介して第 1の基板と板材間の間隙にガスを充填する第 5の工程と、ガラス管のくびれ部の仮焼固形フリットを溶融固化させてくびれ部を密封する第 6の工程を有することを特徴とするものである。

なお、上記本発明の画像表示装置の製造方法においては、仮焼固形フリッ卜の保持部材を、仮焼固形フリット内に挿入される金属板とこれをガラス管内に保持するパネ部により構成し、金属板を高周波加熱することで仮焼固形フリットを保持部材ょり取り外してくびれ部に移動させるようにしても良い。

また、上記本発明の画像表示装置の製造方法においては、仮焼固形フリッ卜の保持部材を、仮焼固形フリヅト内に挿入される強磁性体板とこれをガラス管内に保持するパネ部により構成し、強磁性体板に電磁石により振動を与えて全体の自重により保持部材ごと仮焼固形フリットをくびれ部に移動させるようにしても良い。

さらに、本発明の画像表示装置の製造方法においては、第 1の基板に放電電極として複数の放電電極が互いに略平行に形成されており、板材として誘電体簿板が配置されて、密閉部材としてプラズマセルを形成し、第 6の工程よりも後に、プラズマセルの誘電体簿板上に電気光学材料層を介して、対向面にプラズマセルの第 1の基板の放電電極と略直交する電極が形成された第 2の基板を積層するェ程を有するようにしても良い。

さらにまた、本発明の画像表示装置の製造方法においては、第 1 の基板或いは板材の一方が対向面に放電電極として複数の放電電極が互いに略平行に形成されてなるものであり、残りの一方が対向面に上記放電電極と略直交するァドレス電極が形成されるとともに蛍光体が被着されてなるものであっても良い。

さらには、本発明の画像表示装置の製造方法においては、第 1の基板或いは板材の一方が対向面に放電電極として複数の放電電極が互いに略平行に形成されてなるものであり、残りの一方が対向面に蛍光体が被着されてなるものであり、且つ密閉部材が第 1の基板と板材間に上記放電電極と略直交するァドレス電極が形成されてなるものであっても良い。

また、本発明の画像表示装置においては、第 1の基板或いは板材の一方が対向面に複数の第 1の電極が互いに略平行に形成されてなるものであり、残りの一方が対向面に上記第 1の電極と略直交する第 2の電極が形成されるとともに蛍光体が被着されてなるものであつても良い。

すなわち、本発明の画像表示装置の製造方法においては、所定の位置に貫通孔を有する第 1の基板上に、所定の間隔を持って板材が配置されて周囲がシール部で封止された密閉部材の貫通孔の開口部にガラス管を接続し、ガラス管内の貫通孔との接続部近傍に保持部材により保持された仮焼固形フリットを配置し、ガラス管を介して密閉部材内を排気し、ガラス管の所定の部分を径方向に圧縮してくびれ部を形成し、このくびれ部と貫通孔の開口部間に仮焼固形フリットを残存させ、仮焼固形フリットをガラス管のくびれ部に移動させ、ガラス管を介して第 1の基板と板材間の間隙にガスを充填した後、ガラス管のくびれ部の仮焼固形フリットを溶融固化させてくびれ部を密封するようにしており、ガラス管は実質上、フリット材により蓋されて封止されることとなり、ガラス管自体を封止する必要がなくなり、密閉部材内のガスの内圧が 1気圧前後と高圧化されても、十分対応可能である。さらには、このようにして封止すれば、信頼性良好に封止される。なお、上記本発明の画像表示装置の製造方法によれば、ガラス管が容易に封止され、量産性も良好である。また、本発明の画像表示装置の製造方法によれば、上記のように仮焼固形フリットを溶融固化させてくびれ部を密封した後に、ガラス管の不要部分を切断する場合においても、密閉部材内部に影響を及ぼすことがなく、信頼性が確保される。図面の簡単な説明図 1は本発明を適用した画像表示装置の製造方法を示すフローチヤートである。

図 2はプラズマセルにガラス管を接続する工程を示す断面図である

図 3は保持部材に保持された仮焼固形フリッ卜の一例を示す斜視図である。

図 4はガラス管を拡大して示す斜視図である。

図 5はガラス管内に仮焼固形フリットを配する工程を模式的に示す要部拡大側面図である。

図 6は仮焼固形フリッ卜の製造方法を示すフローチヤ一トである _c 図 7はガラス管の圧縮工程を模式的に示す要部拡大側面図である ₍ 図 8は仮焼固形フリッ卜がガラス管のくびれ部に保持されている状態の一例を模式的に示す側面図である。

図 9は仮焼固形フリッ卜の溶融固化工程を模式的に示す要部拡大側面図である。

図 1 0はガラス管を切断する工程を示す断面図である。

図 1 1は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置の一例を示す要部概略断面図である。

図 1 2は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置を拡大して示す要部概略斜視図である。

図 1 3は画像表示装置のデ一夕電極、プラズマ電極、放電チャンネルを示す模式図である。

図 1 4は保持部材に保持された仮焼固形フリツ卜の他の例を示す斜視図である。

図 1 5は仮焼固形フリッ卜がガラス管のくびれ部に保持されている状態の他の例を模式的に示す側面図である。

図 1 6は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置の他の例を示す要部概略断面図である。

図 1 7は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置の他の例を示す要部分解斜視図である。

図 1 8は画像表示装置の表示電極、アドレス電極、画素を示す模式図である。

図 1 9は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置のさらに他の例を示す要部概略断面図である。図 2 0は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置のさらに他の例を示す要部概略断面図である。図 2 1は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置のさらに他の例を示す要部分解斜視図である。図 2 2は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置のざらに他の例を示す要部概略断面図である。図 2 3は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置のさらに他の例を示す要部概略断面図である。図 2 4は本発明を適用した画像表示装置の製造方法により製造された画像表示装置のさらに他の例を示す要部分解斜視図である。図 2 5はガラス管の内径及び外径、くびれ部の外径の関係を示す側面図である。発明を実施するための最良の形態以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。

最初に、本発明を放電プラズマを利用して液晶層を駆動する画像表示装置の製造方法に適用した例について説明する。

本例の画像表示装置の製造方法においては、図 1に示すように、先ずプラズマセル形成 S T 1を行う。すなわち、図 2に示すように、所定の位置に貫通孔 1 4を有し、一主面 8 a上に複数のアノード電極 9 A及びカソ一ド電極 9 Kが形成された第 1の基板 8上に、隔壁 1 0により所定の間隔を持って誘電体薄板 3が配置され、周囲がフリットシール材 1 1で封止されたプラズマセル 2を用意する。

上記プラズマセル 2においては、上述のように第 1の基板 8の内側となる一主面 8 aにはプラズマ電極（放電電極）を構成し、互いに平行なライン状に形成される複数のァノ一ド電極 9 A及びカソ一ド電極 9 Kが交互に所定の間隔を有して所定の方向に並列に形成されており、放電電極群を構成している。また、ァノ一ド電極- 9 A及び力ソード電極 9 Kの各上面の略中央部には、それぞれ電極に沿って延在するような所定幅の隔壁 1 0が形成されており、隣り合う隔壁 1 0の間が各放電チャンネル 1 2となる。そして、各隔壁 1 0の頂部は誘電体薄板 3の下面に当接され、第 1の基板 8及び誘電体薄板 3の間隙の寸法が一定に保たれる。この誘電体薄板 3は薄板ガラス等で構成され、それ自身キャパシ夕として機能する。従って、後述の電気光学表示セルとプラズマセル 2との電気的結合を十分に確保し、且つ電荷の二次元的な広がりを抑えるために、この誘電体薄板 3はできるだけ薄くする必要があり、具体的には例えば 5 0 m程度とするのが好ましい。

また、第 1の基板 8の周辺部にはその周辺部に沿って低融点ガラス等を使用したフリットシール材 1 1が配設され、第 1の基板 8と誘電体薄板 3とが気密的に接合されており、プラズマセル 2が密閉空間として構成されている。第 1の基板 8及び誘電体簿板 3の間隙である密閉空間には後工程においてイオン化可能なガスが封入される。封入されるガスとしては例えば不活性ガス或いは不活性ガスの混合気体等が使用される。

次に、図 1中に示すように、ガラス管接続 S T 2を行う。すなわち、図 2中に示すように、上記プラズマセル 2の第 1の基板 8の貫通孔 1 4のァノ一ド電極 9 A及びカソ一ド電極 9 Kが形成される主面 8 aとは反対側の主面 8 bの開口部に、ガラス管 1 5を接続する _c なお、このとき、ガラス管 1 5は第 1の基板 8に対してフリット材よりなる接着部 2 2により固定する。この時点においては、ガラス管 1 5は両端とも解放端となされている。また、このガラス管 1 5 は貫通孔 1 4の閧口径以上の内径を有するものとする。さらに、図 1中に示すように、ガラス管 1 5内に仮焼固形フリツトを配置するガラス管内仮焼固形フリット配置 S T 3を行う。この仮焼固形フリットは、図 3に一例を示すように、略円柱状の仮焼固形フリット 1 6が保持部材 1 7により保持されてなるものである。仮焼固形フリツ卜の形状は、ガラス管 1 5内に挿入可能であればどのような形状でも良いが、小型で十分な量を確保できる形状が好ましい。

上記保持部材 1 7は仮焼固形フリット 1 6内にその一部が挿入されて仮焼固形フリット 1 6を保持する金属板 1 8とこの金属板 1 8 と接続され、これをガラス管内に保持するための固定用スプリング部 1 9により構成される。この固定用スプリング部 1 9はガラス管の内壁に略嵌合する略半円状のパネ部 1 9 aとこのパネ部 1 9 aの略中心に接続される略コ字状の枠部 1 9 bよりなり、枠部 1 9 bの先端に金属板 1 8が配置されることとなる。すなわち、この固定用スプリング部 1 9においては、パネ部 1 9 aの屈曲部の弾性により枠部 1 9 bと金属板 1 8と仮焼固形フリット 1 6をガラス管の内壁に保持する力が働くこととなる。

すなわち、図 4に模式的に示すように、第 1の基板 8の主面 8 b の貫通孔 1 4の開口部に接続されるガラス管 1 5内に上記仮焼固形フリット 1 6を配すると、図 5に示すように、パネ部 1 9 aの屈曲部の弾性によって枠部 1 9 bの先端に配置された金属板 1 8に保持される仮焼固形フリット 1 6がガラス管 1 5の内壁 1 5 aに沿って保持され、仮焼固形フリット 1 6がガラス管 1 5内に保持されることとなる。

この仮焼固形フリット 1 6は、以下のようにして製造される。すなわち、図 6に示すように、フリヅト成形 S T 1 1を行う。すなわち、フリツト粉末にバインダ一を含有する溶剤を少量混合してフリット粉体を作成し、これを所定の形状の金型等に詰め、加圧して所定形状に加工する。次に、図 6中に示すように仮焼 S T 1 2を行う ( すなわち、上記のように成形されたフリットを例えば 3 9 0 °C X 1 0分の条件で仮焼成して仮焼固形フリットを得る。さらに、図 6中に示すように、保持部材取り付け S T 1 3を行う。すなわち、予め形成しておいた保持部材 1 7の金属板 1 8を小さなバーナー等の加熱手段により加熱しておき、これを仮焼固形フリット 1 6に接触させ、接触部分を溶融させて接着し、固化させて保持させて完成する ₍ 続いて、図 1中に示すように、プラズマセル 2内を真空排気する真空排気 S T 4を行う。すなわち、上記ガラス管 1 5を介して図 2 中矢印 Aで示すようにプラズマセル 2の放電チャンネル 1 2内の排気を行う。ただし、図 2中においては仮焼固形フリッ卜の図示を省略することとする。

次に、図 1中に示すようにガラス管の圧縮 S T 5を行う。すなわち、図 7に示すように、ガラス管 1 5の保持部材 1 7に保持された仮焼固形フリット 1 6よりも下側の所定の位置、すなわち図示しない貫通孔の開口部と所定の位置間に仮焼固形フリット 1 6が配されるような所定の位置においてガラス管 1 5の外周部を電熱線等よりなるヒ一夕一 2 0により囲み、加熱する。すると、ガラス管 1 5の加熱された部分は軟化し、ガラス管 1 5が真空状態であることから、外部の大気によりガラス管 1 5は図 7中に示すように径方向に圧縮されて、くびれ部 2 1が形成されることとなる。

さらに、図 1中に示すように仮焼固形フリッ卜の移動 S T 6を行う。すなわち、仮焼固形フリット 1 6を保持する保持部材 1 7の金属板 1 8に対し高周波加熱を行い、この金属板 1 8の仮焼固形フリット 1 6との接続部分のみを溶融させて仮焼固形フリット 1 6を金属板 1 8より取り外す。すると、図 8中に示すように保持部材 1 7 から外れた仮焼固形フリット 1 6はガラス管 1 5内を落下し、くびれ部 2 1に引つかかってここに保持される。

さらに、図 1中に示すようにプラズマセル 2内にイオン化可能なガスの充填を行うガス導入 S T 7を行う。すなわち、図 2中矢印 B で示すように放電チャンネル 1 2内に充填すべきイオン化可能なガスの充填を行う。ただし、図 2中においては仮焼固形フリットの図示を省略することとする。

続いて、図 1中に示すように仮焼固形フリット 1 6を溶融固化させ、ガラス管 1 5を封止する仮焼固形フリット溶融固化 · ガラス管封止 S T 8を行う。すなわち、図 9に模式的に示すようにガラス管 1 5のくびれ部 2 1の外周部に電熱線等よりなるヒーター 2 2を配し、このくびれ部 2 1を加熱する。この加熱は、 4 3 0 °C〜 4 5 0 °C程度で 2分間程度行えば良い。すると、図 9中に示すようにくびれ部 2 1に引つかかって保持されていた仮焼固形フリット 1 6が溶融してくびれ部 2 1を塞ぐ。そしてこの状態で仮焼固形フリット 1 6を固化させれば、ガラス管 1 5のくびれ部 2 1が仮焼固形フリット 1 6により密封されることとなる。

そして、図 1中に示すように、ガラス管 1 5の不要な部分を切除する不要ガラス管切除 S T 9を行う。すなわち、図 1 0に示すように、ガラス管 1 5をくびれ部 2 1において図中 X— Yで示すように切断する。そして最後に、図 1·中に示すように、プラズマセル 2の誘電体薄板 3上に液晶層を介して第 2の基板を積層する第 2の基板積層 S Τ 1 0を行う。すなわち、図 1 1に示すように対向面となる一主面 4 aに第 1の基板 8のァノ一ド電極 9 A及びカソ一ド電極 9 Kと略直交するデータ電極 5が形成された第 2の基板 4を液晶層 7を介して積層し、電気光学表示セル 1と、プラズマセル 2とが液晶層 7を介して積層されたフラットパネル構造の画像表示装置を完成する。上記電気光学表示セル 1は、図 1 1及び図 1 2に示すように、第 2の基板 4により構成され、第 2の基板 4の内側となる一主面 4 a には、透明導電材料よりなり、互いに平行なライン状に形成される複数のデ一夕電極 5が所定の間隔を有して所定の方向に並列に形成されている。なお、ここではこの形成方向を列方向とする。

—方、プラズマセル 2においては、前述のように、第 1の基板 8 の内側となる一主面 8 aにプラズマ電極（放電電極）を構成し、互いに平行なライン状に形成される複数のァノード電極 9 A及びカソ一ド電極 9 Kが交互に所定の間隔を有して所定の方向に並列に形成されており、放電電極群を構成している。なお、ここでは、この形成方向を行方向とする。

また、ァノ一ド電極 9 A及びカソ一ド電極 9 Kの各上面の略中央部には、それぞれ電極に沿って延在するような所定幅の隔壁 1 0が形成されている。

なお、電気光学表示セル 1の第 2の基板 4はスぺ一サー 6を介して誘電体薄板 3に接合されており、上記第 2の基板 4と誘電体薄板 3の間には電気光学材料として液晶が充填されて、液晶層 7となされている。このとき、上記電気光学材料としては、液晶以外のものを使用することも可能である。上記第 2の基板 4と誘電体簿板 3間の間隙の寸法は、例えば 4〜 1 0 /z mとされ、表面全体に亘つてほぽ均一に保たれている。

すなわち、プラズマセル 2上に電気光学材料層である液晶層 7を介して第 2の基板 4が積層されることとなる。

この結果、第 1の基板 8及び誘電体薄板 3の間隙には、各隔壁 1 0で分離された複数の空間である放電チャンネル 1 2 (プラズマ室）が行方向に並列に形成される。すなわち、放電チャンネル 1 2 はデ一夕電極 5と直交するように形成される。

従って、各デ一夕電極 5は列駆動単位となると共に各放電チャンネル 1 2は行駆動単位となり、図 1 3に示すように両者の交差部がそれぞれ画素 1 3に対応している。

以上の構成の画像表示装置において、所定の放電チャンネル 1 2 に対応するァノ一ド電極 9 Aとカソ一ド電極 9 Kとの間に所定電圧が印加されると、その放電チャンネル 1 2内において封入されたガスがイオン化されてプラズマ放電が起こり、ァノ一ド電位に維持される。

この状態で、デ一夕電極 5にデータ電圧が印加されると、上記プラズマ放電が発生した放電チャンネル 1 2に対応して、列方向に並ぶ複数の画素 1 3に対応した液晶層 7にデータ電圧が書き込まれる ( プラズマ放電が終了すると、放電チャンネル 1 2は浮遊電位となり、各画素 1 3に対応した液晶層 7に書き込まれたデータ電圧は、次の書き込み期間（例えば 1フィールド後或いは 1フレーム後）まで保持される。この場合、放電チャンネル 1 2はサンプリングスィツチとして機能し、各画素 1 3の液晶層 Ίはサンプリングキャパシ夕として機能する。 - 上記液晶層 7に書き込まれたデ一夕電圧によって液晶が動作し、画素単位で表示が行われる。従って、上述したようにプラズマ放電を発生させる放電チャンネル 1 2を順次走査するとともに、各デ一夕電極 5にこれに同期してデ一夕電圧を印加することにより、ァクティブマトリクスァドレス方式と同様に液晶層 7が駆動され、二次元画像の表示を行うことができる。

本例の画像表示装置の製造方法においては、プラズマセル 2内の真空排気及びガス充填を行うためのガラス管 1 5内に保持部材 1 7 により保持された仮焼固形フリット 1 6を配置し、ガラス管 1 5を介してプラズマセル 2内を真空排気し、ガラス管 1 5の所定の部分を径方向に圧縮してくびれ部 2 1を形成し、このくびれ部 2 1 とプラズマセル 2の第 1の基板 8の貫通孔 1 4の開口部問に仮焼固形フリット 1 6を残存させ、仮焼固形フリット 1 6を保持部材 1 7より取り外し、ガラス管 1 5のくびれ部 2 1に移動させ、ガラス管 1 5 を介してプラズマセル 2内にガスを充填した後、ガラス管 1 5のくびれ部 2 1の仮焼固形フリット 1 6を溶融固化させてくびれ部 2 1 を密封するようにしており、ガラス管 1 5は実質上、フリット材により蓋されて封止されることとなり、ガラス管 1 5自体を封止する必要がなくなり、プラズマセル 2内のガスの内圧が 1気圧前後と高圧化されても、十分対応可能である。また、この製造方法によればガラス管 1 5の強度がもつ限り、プラズマセル 2内のガスの内圧を高圧化することが可能である。さらには、このようにして封止すれば、信頼性良好に封止され、信頼性の良好な画像表示装置が製造される。なお、上記本例の画像表示装置の製造方法によれば、ガラス管 1 5が容易に封止され、量産性も良好であり、生産性も良好であ ο

また、本例の画像表示装置の製造方法によれば、上記のように仮焼固形フリット 1 6を溶融固化させてくびれ部 2 1を密封した後に、ガラス管 1 5の不要部分を切断する場合にも、プラズマセル 2内部に影響を及ぼすことがなく、信頼性が確保され、信頼性の良好な画像表示装置が製造される。なお、仮焼フリット 1 6を溶融する温度は、電熱線による加熱で十分確保できるため、一定であり、これによる内部ガス圧の変動は計算でも補正できる。

上述の例においては、仮焼固形フリットを保持する保持部材として金属板と固定用スプリング部よりなる保持部材を使用する例について述べたが、このような保持部材としては、図 1 4に示すように、先端の突起部 3 7 aが仮焼固形フリット 3 6内に挿入される強磁性体板 3 8と略コ字状の固定用スプリング部 3 9よりなる保持部材 3 7も挙げられる。この保持部材 3 7においては、固定用スプリング部 3 9の一端 3 9 a側に強磁性体板 3 8が取り付けられ、他端 3 9 b側の先端部強磁性体板 3 8側に向かって湾曲している。すなわち、この固定用スプリング部 3 9の屈曲部の弾性により強磁性体板 3 8 と他端 3 9 bをそれぞれ離す方向の力が働くこととなる。

この仮焼固形フリット 3 6をガラス管内に配した場合においても、固定用スプリング部 3 9の弾性による強磁性体板 3 8と他端 3 9 b をそれぞれ離す方向の力によりガラス管の内壁面に強磁性体板 3 8 と他端 3 9 bがそれぞれ押し付けられ、ガラス管内にこれらが保持される。

また、仮焼固形フリット 3 6をガラス管のくびれ部に移動させるには、強磁性体板 3 8に電磁石等により振動を与えて全体の自重により、図 1 5に示すように保持部材 3 7ごと仮焼固形フリット 3 6 をガラス管 3 5のくびれ部 4 1に移動させるようにすれば良い。このような保持部材 3 7により保持される仮焼固形フリット 3 6 を使用して前述の画像表示装置の製造方法により画像表示装置を製造しても同様の効果が得られることは言うまでもない。

さらには、上述の例においては、放電プラズマを利用して液晶層を駆動する画像表示装置の製造方法について述べたが、本発明が P D Pの製造にも適用可能であることは言うまでもない。

以下に、本発明を P D Pの製造に適用した例について図面を参照しながら説明する。先ず、本発明を A C型の P D Pの製造に適用した例について説明する。

P D Pの製造方法は、先に述べた放電プラズマを利用して液晶層を駆動する画像表示装置の製造方法と略同様である。大きく異なる点は第 1の基板及び板材として使用される部材が異なることである ₍ すなわち、図 1 6及び図 1 7に示すように、 A C型の P D Pにおいては、第 1の基板として、対向面となる一主面 5 8 aに互いに平行なライン状をなす複数のァドレス電極 5 9が所定の間隔を有して所定の方向に並列に形成されている第 1の基板 5 8を使用している ( さらに、上記第 1の基板 5 8においては、これら隣り合うアドレス電極 5 9の間にァドレス電極 5 9に沿うようなライン状の膈壁 6 0 が形成されており、各アドレス電極 5 9に応じて隔壁 6 0により仕切られた空間が形成されている。さらにまた、上記第 1の基板 5 8 においては、各アドレス電極 5 9を覆うように蛍光体 5 6 a , 5 6 b， 5 6 cが順次繰り返し配されている。これら蛍光体 5 6 a , 5 6 b， 5 6 cとしては-、例えば赤，緑，青といった色の蛍光体が使用されている。そして、このとき、上記第 1の基板 5 8においてはァドレス電極 5 9や隔壁 6 0が形成されない箇所に貫通孔 6 4が形成されている。

一方、板材として、対向面となる一主面 5 4 aに互いに平行なラィン状をなし透明導電材料により形成される複数の表示電極 5 5が放電電極として形成される第 2の基板 5 4を使用している。この第 2の基板 5 4には、上記表示電極 5 5の一部に積層するようなバス電極 5 3 (ただし、図 1 6においては図示を省略する。）も形成されている。さらに、この第 2の基板 5 4上の表示電極 5 5及びバス電極 5 3を覆うように誘電体層 6 1及び保護層 6 2が順次積層形成されている。

そして、 A C型の P D Pを製造するには、これら第 1の基板 5 8 と第 2の基板 5 4を一主面 5 8 a , 5 4 aが対向するように向かい合わせ、隔壁 6 0の先端が保護膜 6 2の表面に当接するように積層し、図 1 6中に示すようにこれらの周囲をフリットシ一ル材 5 1により封止して密閉部材 7 1 とする。上記密閉部材 7 1においては、第 1の基板 5 8の各アドレス電極 5 9に応じて隔壁 6 0と第 2の基板 5 4の保護層 6 2に囲まれた空間 5 2が形成されることとなる。次に、先に述べた製造方法と同様に、第 1の基板 5 8の貫通孔 6 4の対向面となる一主面 5 8 aとは反対側の主面 5 8 bの開口部にフリット材ょりなる接着部 7 2にてガラス管 6 5を接続する。続いて、先に述べた製造方法と同様にして、ガラス管 6 5内に仮焼固形フリットを配置する。上記仮焼固形フリットとしては先に示したようなものが使用される。そして、先に述べた製造方法と同様に、密閉部材 7 1内をガラス管 6 5を介して真空排気した後、ガラス管 6 5の所定の位置の圧縮を行い、仮焼固形フリッ卜の所定の位置への移動を行い、密閉部材 7 1内へのガスの充填を行う。

この後、先に述べた製造方法と同様にして仮焼固形フリツトを熔融固化させてガラス管 6 5を封止するとともに、ガラス管 6 5の不要部分を切断して図 1 6に示すような A C型 P D Pを完成する。上記 A C型 P D Pにおいては、図 1 6及び図 1 7に示すように、第 2の基板 5 4に、放電電極となる表示電極 5 5が互いに平行なラィン状をなし、所定の間隔を有して所定の方向に並列に形成されており、放電は隣り合う表示電極 5 5間において行われ、面方向に行われることとなる。なお、ここでは、この形成方向を列方向とするそして、図 1 6及び図 1 7に示すように、一方の第 1の基板 5 8には、アドレス電極 5 9が互いに平行なライン状をなし、所定の間隔を有して所定の方向に並列に形成されている。なお、ここでは、この形成方向を行方向とする。

従って、各表示電極 5 5は列駆動単位となると共に各アドレス電極 5 9は行駆動単位となり、図 1 8に示すように両者の交差部がそれそれ画素 5 7に対応し、この画素に対応した部分の空間 5 2に配された蛍光体 2 6 a， 2 6 b , 2 6 cが励起して画像が形成されることとなる。

上述の例においては、ガラス管 6 5として直線状のものを使用した例について述べたが、ガラス管としては、例えば図 1 9に示すような L字状をなすガラス管 7 5も使用可能である。図 1 9に示す A C型 P D Pにおいては、先に図 1 6に示した A C型 P D Pと略同様の構成を有することかち同一箇所には同一の符号を付し、説明を省略することとする。このようにガラス管 7 5を L字状とすれば、ガラス管 7 5部分の形成に要する厚さを小さくすることが可能となり、 P D P全体の厚さを薄くすることが可能となる。

また、本発明による画像表示装置の大量生産時には、数個から数十個の画像表示装置のガラス管を並行に並べ、それらを並列に接続した上で、同時に真空排気行程とガス導入工程を行うと、製造効率が向上するわけであるが、ガラス管が表示装置から垂直に突き出たままではガラス管を並列に接続する上で表示装置本体（基板）の大きさが邪魔となって並行に並べられるガラス管同士の間隔が広くなり、製造装置も大型化してしまう。そこで、前述のようにガラス管 7 5を L字状とすれば、表示装置全体（基板）が薄くなるので、ガラス管を並列に接続する場合においても、表示装置本体同士の間隔を狭くすることができ、製造装置も小型化できて製造効率が向上する。

このようにガラス管 7 5を L字状とすることで、出来上がりの薄さが薄くなるというだけではなく、効率的な製造とコスト削減が可能となる。もちろん、ガラス管の曲げ角度は略 9 0度に限らず、本発明を適用できる構造となっていれば、曲げ角度が 9 0度より大であっても小であっても、また曲げ部分が複数であつても良い。

また、上述の例においては、第 1の基板として対向面にアドレス電極が互いに略平行に形成されるとともに蛍光体が被着されてなるものを使用し、板材として対向面に複数の放電電極が互いに略平行に形成されてなるものを使用した例について述べたが、第 1の基板として対向面に複数の放電電極が互いに略平行に形成されてなるものを使用し、板材として対向面にァドレス電極が形成されるとともに蛍光体が被着されてなるものを使用しても良い。

さらに、第 1の基板として対向面に蛍光体が被着されるものを使用し、板材として対向面に複数の放電電極が互いに略平行に形成されてなるものを使用し、密閉部材内の第 1の基板と板材の間にァドレス電極が互いに略平行に形成されるようにしても良い。

すなわち、図 2 0及び図 2 1に示すように、第 1の基板として、対向面となる一主面 7 8 aに互いに平行なライン状をなす隔壁 8 0 が所定の間隙を有して所定の方向に並列に形成されており、これら隣り合う隔壁 8 0の間に形成される空間内に蛍光体 7 6 a， 7 6 b :

7 6 cが順次繰り返し配されている第 1の基板 7 8を使用している ₍ これら蛍光体 7 6 a , 7 6 b , 7 6 cとしては、例えば赤，緑，青といった色の蛍光体が使用されている。そして、上記隣り合う隔壁

8 0の間に形成される空間内に互いに平行なライン状をなす複数のアドレス電極 7 9が形成されており、ここでは、蛍光体 7 6 a， 7 6 b , 7 6 cの上に積層されるようにして形成されている。すなわち、これらアドレス電極 7 9も所定の間隔を有して所定の方向に並列に形成されることとなる。そして、このとき、上記第 1の基板 7 8においてはァドレス電極 7 9や隔壁 8 0が形成されない箇所に貫通孔 7 4が形成されている。

一方の板材としては、先に述べた A C型の P D Pの製造において使用した第 2の基板 5 4を使用している。そこで、ここでは同一の符号を付し、説明を省略することとする。

そして、これら第 1の基板 7 8と第 2の基板 5 4を一主面 7 8 a 5 aが対向するように向かい合わせ、隔壁 8 0の先端が保護膜 6 2の表面に当接するように積層し、図 2 0中に示すようにこれらの周囲をフリットシール材 8 1により封止して密閉部材 9 1とする。上記密閉部材 9 1においては、第 1の基板 7 8の各ァドレス電極 7 9に応じて隔壁 8 0と第 2の基板 5 4の保護層 6 2に囲まれた空間 8 2が形成されることとなる。また、上記アドレス電極は密閉部材 9 1の第 1の基板 7 8と第 2の基板 5 4の間に形成されることとな次に、先に述べた製造方法と同様に、第 1の基板 7 8の貫通孔 7 4の対向面となる一主面 7 8 aとは反対側の主面 7 8 bの開口部にフリヅト材ょりなる接着部 7 2にてガラス管 6 5を接続する。

続いて、先に述べた製造方法と同様にして、ガラス管 6 5内に仮焼固形フリットを配置する。上記仮焼固形フリットとしては先に示したようなものが使用される。

そして、先に述べた製造方法と同様に、密閉部材 9 1内をガラス管 6 5を介して真空排気した後、ガラス管 6 5の所定の位置の圧縮を行い、仮焼固形フリッ卜の所定の位置への移動を行い、密閉部材 9 1内へのガスの充填を行う。

この後、先に述べた製造方法と同様にして仮焼固形フリットを熔融固化させてガラス管 6 5を封止するとともに、ガラス管 6 5の不要部分を切断して図 2 0に示すような A C型 P D Pを完成する。上記 A C型 P D Pにおいても、先に述べた A C型 P D Pと同様に、各表示電極 5 5は列駆動単位となると共に各ァドレス電極 7 9は行駆動単位となり、両者の交差部がそれぞれ画素に対応し、この画素に対応した部分の空間 8 2に配された蛍光体 7 6 a , 7 6 b , 7 6 cが励起して画像が形成されることとなる。上述の例においては、ガラス管 6 5として直線状のものを使用した例について述べたが、ガラス管としては、例えば図 2 2に示すような L字状をなすガラス管 7 5も使用可能である。上記図 2 2においては、先に図 2 0に示した A C型 P D Pと略同様の構成を有することから同一箇所には同一の符号を付し、説明を省略することとする。このようにガラス管 7 5を L字状とすれば、ガラス管 7 5部分の形成に要する厚さを小さくすることが可能となり、 P D P全体の厚さを薄くすることが可能となる。

このようにガラス管 7 5を L字状とすることで、出来上がりの薄さが薄くなるというだけではなく、効率的な製造とコスト削減が可能となる。もちろん、ガラス管の曲げ角度は略 9 0度に限らず、本発明を適用できる構造となっていれば、曲げ角度が 9 0度より犬であっても小であっても、また曲げ部分が複数であっても良い。次に、本発明を D C型の P D Pの製造に適用した例について説明する。この D C型の P D Pの製造方法は、前述の A C型の P D Pの製造方法と略同様である。大きく異なる点は第 1の基板及び板材として使用される部材が異なることである。

すなわち、図 2 3及び図 2 4に示すように、 0〇型の 0 ?にぉいては、第 1の基板として、対向面となる一主面 9 8 aに電極として例えば平面四角形をなす複数の表示陽極 9 9 Aが形成された第 1 の基板 9 8を使用している。この表示陽極 9 9 Aは幾つかが所定の方向に所定の間隔を有して並列に配されており、これらの間が表示陽極リード 1 0 0 A (図 2 3においては図示を省略する。）により接続されて実質的に所定の方向にライン状をなし互いに略平行に形成される表示陽極群を形成している。なお、この表示陽極 9 9 Aと表示陽極リード 1 0 O A間は抵抗 1 0 2 Aを介して接続されており、放電電流値を小さく抑え、製品寿命の長寿命化を可能としている。

また、上記第 1の基板 9 8の一主面 9 8 a上には、例えば平面四角形をなす複数の補助陽極 9 9 Bも形成されており、この補助陽極 9 9 Bも幾つかが所定の方向に所定の間隔を有して並列に配されており、これらの間が補助陽極リード 1 0 0 Bにより接続されて実質的に所定の方向にライン状をなし互いに略平行に形成される補助陽極群を形成している。なお、この補助陽極 9 9 Bと補助陽極リード 1 0 0 B間は抵抗 1 0 2 Bを介して接続されており放電電流値を小さく抑え、製品寿命の長寿命化を可能としている。

そして、例えばこの表示陽極群を 2列配し、これに隣り合うように補助陽極群を 1列配し、また表示陽極群を 2列配するようにしている。

さらに、上記第 1の基板 9 8上には、表示陽極 9 9 A及び補助陽極 9 9 Bが形成される」主面 9 8 aを覆うようにして誘電体膜 1 0 3が配されている。ただし、この誘電体膜 1 0 3の表示陽極 9 9 A 及び補助陽極 9 9 Bに対応する位置には孔部 1 0 4が設けられており、それ以外の部分は絶縁されることとなる。また、この誘電体膜 1 0 3としては、蛍光体発光を反射するよう、白色のものを使用している。そして、この第 1の基板 9 8の表示陽極群及び補助陽極群が形成されていない箇所に貫通孔 1 2 が形成されている。

一方の板材としては、図 2 3及び図 2 4に示すように、対向面となる一主面 1 1 4 aに前述の表示電極群の形成方向と略直交する方向に互いに平行なライン状をなすように形成される複数の陰極 1 1 5 (図 2 3及び図 2 4においては 1本のみ示す。）が所定の間隔を有して所定の方向に並列に形成されている第 2の基板 1 1 4を使用している。

この第 2の基板 1 1 4においては、上記陰極 1 1 5を覆うようにして、平面四角形の窓部 1 0 5を複数有する枠状の隔壁 1 1 0が形成されている。この隔壁 1 1 0は上記第 1の基板 9 8上に形成されている表示陽極 9 9 Aに対応する位置に窓部 1 0 5を有するものであり、表示陽極群の各表示陽極 9 9 Aに対応する位置に窓部 1 0 5 が形成されることとなる。また、補助陽極 9 9 Bに対応する位置には補助陽極群に対応するような溝部 1 0 6が形成されている。そして、上記陰極 1 1 5は窓部 1 0 5から一部露呈するように配されている。

すなわち、第 1の基板 9 8と第 2の基板 1 1 4を対向させると、窓部 1 0 5に対応した部分のみにおいて陰極 1 1 5と表示陽極 9 9 Aが相対向することとなり、この部分が表示セル 1 1 2 Aとして機能する。ここでは、前後左右に隣り合う表示セル 1 1 2 Aにより 1 画素を形成することとし、これら 4個の表示セル 1 1 2 A内の隔壁 1 1 5の側面と表示陽極 9 9 A部分を除く第 1の基板 9 8側に蛍光体 1 1 6を配するようにしている。上記蛍光体 1 1 6は、例えば 2 個の表示セル 1 1 2 Aに対応するものを緑色とし、残りの表示セル 1 1 2 Aに対応するものをそれぞれ青色と赤色とすれば良い。

また、溝部 1 0 6においては、陰極 1 1 5と補助陽極 9 9 Bが相対向することとなり、この部分が補助セル 1 1 2 Bとして機能する, すなわち、 2個の表示セル 1 1 2 Aに対して 1個の補助セル 1 1 2 Bがあることとなる。この補助セル 1 1 2 Bは、当該補助セル 1 1 2 B内の放電で発生した荷電粒子や準安定粒子が左右の表示セル 1 1 2 Aに入って放電開始電圧を下げるように配されるものである。そして、 D C型 P D Pを製造するには、これら第 1の基板 9 8と第 2の基板 1 1 4を一主面 9 8 a , 1 1 4 aが対向するように向かい合わせ、隔壁 1 1 0の先端が誘電体膜 1 0 3の表面に当接するように積層し、図 2 3中に示すようにこれらの周囲をフリツトシール材 1◦ 1により封止して密閉部材 1 2 1 とする。

次に、先に述べた製造方法と同様に、第 1の基板 9 8の貫通孔 1 2 4の対向面となる一主面 9 8 aとは反対側の主面 9 8 bの開口部にフリット材よりなる接着部 7 2にてガラス管 6 5を接続する。続いて、先に述べた製造方法と同様にして、ガラス管 6 5内に仮焼固形フリットを配置する。上記仮焼固形フリットとしては先に示したようなものが使用される。

そして、先に述べた製造方法と同様に、密閉部材 1 2 1内をガラス管 6 5を介して真空排気した後、ガラス管 6 5の所定の位置の圧縮を行い、仮焼固形フリットの所定の位置への移動を行い、密閉部材 1 2 1内へのガスの充填を行う。

この後、先に述べた製造方法と同様にして仮焼固形フリットを熔融固化させてガラス管 6 5を封止するとともに、ガラス管 6 5の不要部分を切断して図 2 3に示すような D C型 P D Pを完成する。この D C型 P D Pにおいては、表示セル 1 1 2 A部分において蛍光体 1 1 6が励起して画像が形成されることとなる。

上述の例においては、ガラス管 6 5として直線状のものを使用した例について述べたが、ガラス管としては、前述したような L字状をなすガラス管も使用可能であり、このようにガラス管を L字状とすれば、ガラス管部分の形成に要する厚さを小さくすることが可能となり、 P D P全体の厚さを薄くすることが可能となる。

このようにガラス管 7 5を L字状とすることで、出来上がりの薄さが簿くなるというだけではなく、効率的な製造とコスト削減が可能となる。もちろん、ガラス管の曲げ角度は略 90度に限らず、本発明を適用できる構造となっていれば、曲げ角度が 9 0度より大であっても小であっても、また曲げ部分が複数であっても良い。

また、上述の例においては、第 1の基板として対向面に陽極となる複数の電極が互いに略平行に形成されたものを使用し、第 2の基板として対向面に上記陽極となる電極と略直交して陰極となる電極が形成されるとともに蛍光体が被着されたものを使用する例について述べたが、第 1の基板として対向面に陽極となる電極と略直交して陰極となる電極が形成されるとともに蛍光体が被着されたものを使用し、第 2の基板として対向面に陽極となる複数の電極が互いに略平行に形成されたものを使用しても良い。

次に、本発明の効果を確認するべく、以下のような実験を行ったすなわち、一対のフロート並板ガラスを所定の間隔を有して配し、周囲をフリット材によりシールして密閉部材とする。そして、この密閉部材の一対のフロート並板ガラスの内の一方に貫通孔を設けておき、この貫通孔にガラス管を接続する。さらに、このガラス管内に仮焼固形フリットを配し、ガラス管を介して真空排気した後、貫通孔との間に仮焼固形フリッ卜が配置されるような位置においてガラス管を径方向に圧縮してくびれ部を形成する。続いて、仮焼固形フリットをくびれ部まで移動させて仮焼固形フリットを溶融固化させ、密閉部材の破損、ガラス管の破損の有無の確認、密閉状態の確認を行った。

なお、密閉部材内のガスの圧力は、 l k g f/cm² 〜 1. 2 k g f /cm² とし、ガラス管としては、熱膨張係数が 94 X 1 0一⁷ cm/cm/°Cで、図 2 5に示すように図中で示す外径が 9. 2 mm, 図中 D₂ で示す内径が 5. 5 mmのガラス管 145を使用した。また、仮焼固形フリットは日本電気硝子社製 L S— 020 6 (商品名）を使用して作成するものとし、内径 5mmの金型を用いて 5 kg/ cm² の圧力で成形した後、 390。C〜400 °Cで 1 0分間仮焼成し、直径 5 mmで高さ 5 mm〜 6 mmの円柱状のものとして形成した。さらに、図 25に示すようにガラス管 14 5の所定の位置の径方向の圧縮は図中 D ₃ で示す内径が 3 mmとなるまで行い、くびれ部 1 5 1を形成するものとした。さらにまた、仮焼固形フリヅトの溶融は 43 0°C〜450°Cで 2分間行うものとした。このようにした結果、密閉部材の破損は発生しておらず、ガラス管の破損も発生しておらず、密閉状態も良好であった。すなわち、本発明により画像表示装置の製造を行えば、密閉部材内のガスの圧力が 1気圧前後であっても、信頼性良好に製造が行われることが確認された。

Claims

請求の範囲

1 . 所定の位置に貫通孔を有する第 1の基板上に、所定の間隔を持つて板材が配置されて周囲がシール部で封止された密閉部材の貫通孔の板材との対向面となる主面とは反対側の主面の開口部に、ガラス管を接続する第 1の工程と、

ガラス管内の貫通孔との接続部近傍に保持部材により保持された仮焼固形フリットを配置する第 2の工程と、

ガラス管を介して第 1の基板と板材間の間隙を排気する第 3のェ程と、

ガラス管の所定の部分を怪方向に圧縮してくびれ部を形成し、このくびれ部と貫通孔の開口部間に仮焼固形フリットを残存させる第 3の工程と、

仮焼固形フリットをガラス管のくびれ部に移動させる第 4の工程と、

ガラス管を介して第 1の基板と板材間の間隙にガスを充填する第 5の工程と、

ガラス管のくびれ部の仮焼固形フリットを溶融固化させてくびれ部を密封する第 6の工程を有する

ことを特徴とする画像表示装置の製造方法。

2 . 仮焼固形フリッ卜の保持部材が、仮焼固形フリット内に挿入される金属板とこれをガラス管内に保持するパネ部よりなり、

金属板を高周波加熱することで仮焼固形フリットを保持部材ょり取り外してくびれ部に移動させる

ことを特徴とする請求の範囲第 1項記載の画像表示装置の製造方法 <

3 . 仮焼固形フリットの保持部材が、仮焼固形フリット内に挿入される強磁性体板とこれをガラス管内に保持するパネ部よりなり、強磁性体板に電磁石により振動を与えて全体の自重により保持部材ごと仮焼固形フリットをくびれ部に移動させる

ことを特徴とする請求の範囲第 1項記載の画像表示装置の製造方法 ₍

4 . 第 1の基板に放電電極として複数の放電電極が互いに略平行に形成されており、板材として誘電体薄板が配置されて、密閉部材としてプラズマセルを形成し、

第 6の工程よりも後に、プラズマセルの誘電体薄板上に電気光学材料層を介して、対向面にプラズマセルの第 1の基板の放電電極と略直交する電極が形成された第 2の基板を積層する工程を有することを特徴とする請求の範囲第 1項記載の画像表示装置の製造方法

5 . 第 1の基板或いは板材の一方が対向面に放電電極として複数の放電電極が互いに略平行に形成されてなるものであり、

残りの一方が対向面に上記放電電極と略直交するァドレス電極が形成されるとともに蛍光体が被着されてなるものである

6 . 第 1の基板或いは板材の一方が対向面に放電電極として複数の放電電極が互いに略平行に形成されてなるものであり、

残りの一方が対向面に蛍光体が被着されてなるものであり、且つ密閉部材が第 1の基板と板材間に上記放電電極と略直交するァドレス電極が形成されてなるものである

7 . 第 1の基板或いは板材の一方が対向面に複数の第 1の電極が互いに略平行に形成されてなるものであり、残りの一方が対向面に上記第 1の電極と略直交する第 2の電極が形成されるとともに蛍光体が被着されてなるものである

ことを特徴とする請求の範囲第 1項記載の画像表示装置の製造方法 (