JPH08304778A

JPH08304778A - ガス放電パネルの製造方法

Info

Publication number: JPH08304778A
Application number: JP10640895A
Authority: JP
Inventors: Kazuyuki Endo; 和之遠藤
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1995-04-28
Filing date: 1995-04-28
Publication date: 1996-11-22

Abstract

(57)【要約】【構成】プラズマパネル１に例えばヘリウム、ネオ
ン、アルゴンあるいはこれらの混合気体等のようなイオ
ン化可能なプラズマガスを封入する前にプラズマパネル
１に接着されたガラス製のチップ管２を介して行う排気
処理の際、プラズマパネル１を加熱すると共に、該チッ
プ管２も電気封止治具８により加熱して、プラズマパネ
ル１を製造する。【効果】ガスの純度を保ち、放電を均一に安定して行
うことができるガス放電パネルを製造できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、封入されたガス中で放
電を行うガス放電パネルを製造するガス放電パネルの製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶を駆動する画像表示装置とし
て、プラズマアドレス液晶表示装置が知られている。こ
のプラズマアドレス液晶表示装置は、プラズマパネルと
電気光学表示パネルとを薄板状の誘電シートを介して積
層してなり、プラズマパネルでの放電プラズマを利用し
て電気光学表示パネルの液晶を駆動し、二次元画像の表
示を行う。

【０００３】このプラズマアドレス液晶表示装置の具体
例について図３及び４を参照しながら説明する。先ず、
電気光学表示パネル２０は、上側のガラス基板（以下、
上側基板という。）２１を用いて構成される。上側基板
２１の内側主面には、透明導電膜材料からなると共に行
方向に延びる複数本のデータ電極２２が所定の間隔を保
持して列方向に並列的に形成される。上側基板２１は、
スペーサ２４によって所定の間隔を保持した状態で薄板
状の誘電シート１２に接合される。上側基板２１及び誘
電シート１２の間隙には、電気光学材料としての液晶が
充填されて液晶層２３が形成される。ここで、上側基板
２１及び誘電シート１２の間隙の寸法は、例えば４〜１
０μｍとされ、表示面全体にわたって均一に保たれる。
なお、電気光学材料としては液晶以外のものを使用する
こともできる。

【０００４】一方、プラズマパネル１０は下側のガラス
基板であるプラズマ基板１１を用いて構成される。プラ
ズマ基板１１の内側主面には、プラズマ電極を構成する
列方向に延びる複数のアノード電極１４Ａ及びカソード
電極１４Ｋが交互に所定の間隔を保持して行方向に並列
的に形成される。また、アノード電極１４Ａ及びカソー
ド電極１４Ｋの各上面のほぼ中央部には、それぞれ電極
に沿って延在するように所定幅の隔壁１３が形成され
る。そして、各隔壁１３の頂部は誘電シート１２の下面
に当接され、プラズマ基板１１及び誘電シート１２の間
隙の寸法が一定に保持される。

【０００５】また、プラズマ基板１１の周辺部にはその
周辺部に沿って低融点ガラス等を使用したフリット材１
５が配設され、プラズマ基板１１と誘電シート１２とが
気密的に接合される。プラズマ基板１１及び誘電シート
１２の間隙には、イオン化可能なガス（以下、プラズマ
ガスという。）が封入される。プラズマガスとしては、
例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあるいはこれらの混
合気体等が使用される。

【０００６】プラズマ基板１１及び誘電シート１２の間
隙には、各隔壁１３で分離された列方向に延びる複数の
放電チャネル（空間）１６が行方向に並列的に形成され
る。すなわち、放電チャネル１６はデータ電極２２と直
行するように形成される。各データ電極２２は列駆動単
位となると共に、各放電チャネル１６は行駆動単位とな
り、両者の交差部にはそれぞれ図４に示すように画素２
５が規定される。

【０００７】以上の構成において、所定の放電チャネル
１６に対応するアノード電極１４Ａとカソード電極１４
Ｋとの間に所定電圧が印加されると、その放電チャネル
１６の部分のプラズマガスが選択的にイオン化されてプ
ラズマ放電が発生し、その内部は略アノード電位に維持
される。この状態で、データ電極２２にデータ電圧が印
加されると、その放電チャネル１６に対応して列方向に
並ぶ複数の画素２５の液晶層２３に誘電シート１２を介
してデータ電位が書き込まれる。

【０００８】プラズマ放電が終了すると、放電チャネル
１６に対応して列方向に並ぶ複数の画素２５の液晶層２
３に誘電シート１２を介してデータ電位が書き込まれ
る。また、プラズマ放電が終了すると、放電チャネル１
６は浮遊電位となり、各画素２５の液晶層２３に書き込
まれたデータ電圧は、次の書き込み期間（例えば１フィ
ールド後あるいは１フレーム後）まで保持される。この
場合、放電チャネル１６はサンプリングスイッチとして
機能すると共に、各画素２５の液晶層２３はサンプリン
グキャパシタとして機能する。

【０００９】各画素２５の液晶層２３に書き込まれたデ
ータ電圧によって液晶が動作することから画素単位で表
示が行われる。したがって、上述したようにプラズマ放
電を発生させて列方向に並ぶ複数の画素２５の液晶層２
３にデータ電圧を書き込む放電チャネル１６を行方向に
順次走査していくことで、二次元画像の表示を行うこと
ができる。

【００１０】このプラズマパネル１０のプラズマ基板１
１及び誘電シート１２の間隙、すなわち放電チャネル１
６には、上述したようなプラズマガスが封入されてお
り、プラズマパネル１０は、封入されたガス中で放電を
行うガス放電パネルの一種と呼ぶことができる。

【００１１】このプラズマパネル１０は、図５に示すよ
うに、金属の定盤上２６に載置された誘電シート１２上
に、既に隔壁１３とアノード電極とカソード電極が形成
されたプラズマ基板１１をフリット材１５で支持した状
態で載置し、さらに、このプラズマ基板１１上に、重り
２７を載置してから、上記フリット材１５を焼成して形
成されている。ここで、プラズマ基板１１には、誘電シ
ート１２とプラズマ基板１１との間に隔壁１３で仕切ら
れて形成される放電チャネル１６内から排気を行うため
にガラス製のチップ管２が接着されている。さらに、こ
のチップ管２は、上記排気処理の後に、放電チャネル１
６内に上記プラズマガスを封入する際にも使われる。最
終的に、このチップ管２は、電気封止治具により封止さ
れる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記放電チ
ャネル１６内でのプラズマ放電は、上記プラズマガスの
不純物の濃度に大きく影響を受ける。つまり、上記プラ
ズマガスへの不純物ガスの混入は、放電動作や放電の寿
命に悪影響を与える。不純物ガスとしては、Ｈ₂Ｏ、Ｃ
Ｏ、Ｎ₂、Ａｒ、ＣＯ₂等がある。特に、Ｈ₂Ｏの影響が
大きく、プラズマ放電時に放電を不安定にしてしまう。

【００１３】したがって、排気処理の際には、上記プラ
ズマパネル１０を約３００℃まで加熱し、パネルを形成
しているガラス製のプラズマ基板１１等の表面等、パネ
ルの内壁表面に吸着した吸着物質を取り除いている。こ
れは、加熱をしないと上記プラズム基板１１等の表面に
吸着した水分等の吸着物質が排気後に徐々に該プラズマ
基板１１から離れて上記放電ガスに不純物ガスとして混
ざってしまうのを防ぐためである。

【００１４】しかし、プラズマパネル１０に接着された
ガラス製のチップ管２の表面に吸着している吸着物質に
ついては、従来、特に対策が取られていなかった。この
ため、上記放電ガスが封入された後、電気封止治具によ
り封止される際、チップ管２に吸着した吸着物質により
不純物ガスが発生し、上記放電ガスに混入してしまって
いた。

【００１５】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であり、上記放電ガスの純度を保ち、放電を均一に安定
して行うことができるガス放電パネルの製造方法の提供
を目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明に係るガス放電パ
ネルの製造方法は、上記ガスを封入する前に上記ガス放
電パネルに接着されたガラス管を介して行う排気処理の
際、上記ガス放電パネルを加熱すると共に、該ガラス管
も加熱することにより上記課題を解決する。

【００１７】

【作用】排気処理の際、上記ガラス管を加熱することに
よって、上記ガラス管に吸着した吸着物質によって発生
する不純物ガスの上記ガスへの混入を防ぐことが出来
る。

【００１８】

【実施例】以下、本発明に係るガス放電パネルの製造方
法の実施例について図面を参照しながら説明する。この
実施例は、プラズマアドレス液晶表示装置に使用される
プラズマパネルを製造する方法である。

【００１９】この実施例は、図１に示すように、プラズ
マパネル１に例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあるい
はこれらの混合気体等のようなイオン化可能なガス（以
下、プラズマガスという。）を封入する前にプラズマパ
ネル１に接着されたガラス製のチップ管を介して行う排
気処理の際、プラズマパネル１を加熱すると共に、該チ
ップ管２も加熱して、プラズマパネル１を製造するよう
な方法である。

【００２０】ここで、プラズマパネル１は、ガラスより
なるプラズマ基板１ａ及び薄板状の誘電シート１ｂと、
図示しない隔壁及びプラズマ電極とからなり、図示しな
い放電チャネルを内部に形成している。この放電チャネ
ルに排気及びガス封入が行われる。

【００２１】チップ管２は、プラズマパネル１に開けら
れた孔１ｃを介して排気を行うように、フリット９でプ
ラズマパネル１に接着される。このチップ管２は、排気
ポート３を介して排気装置の排気管４に接続される。

【００２２】排気ポート３は、排気管４の先端部に設け
られたネジ部４ａと、このネジ部４ａに導かれてチップ
管２と排気管４の締め付けを行う締め付けキャップ５と
を備えている。また、排気ポート３には、チップ管２と
排気管４と締め付けキャップ５との空間内でチップ管２
及び排気管４が外気に触れずに完全に密閉されるよう
に、スペーサ６とＯリング７とが備えられる。

【００２３】Ｏリング７は、例えばフッ素ゴムを材料と
しており、弾性を有すると共に、不純物ガスを発生しに
くい。このため、Ｏリング７は、締め付けキャップ５の
締め付けにより、スペーサ６を介して押しつぶされるよ
うに変形し、スペーサ６を保持する上記空間と排気管４
内とを完全に遮断する。

【００２４】以上のように、チップ管２を排気ポート３
に接続してから排気を開始するが、本実施例では上述し
たように、プラズマパネル１を約３００℃まで加熱する
と共に、チップ管２を電気封止治具８により、約３００
℃以上で約４００℃以内の範囲で加熱する。

【００２５】プラズマパネル１の内壁に吸着した水分等
の吸着物質は、例えば２０℃前後のような室温で排気し
ただけでは取り除くことができない。このため、プラズ
マパネル１を約３００℃で加熱して上記吸着物質を取り
除いている。

【００２６】また、チップ管２もガラスであるため、パ
ラズマパネル１と同様に上記吸着物質を持っている。こ
のため、上記プラズマガスが封入された後、電気封止治
具８により封止される際、チップ管２に吸着された水分
等の吸着物質により不純物ガスが発生し、上記プラズマ
ガスに混入してしまう。

【００２７】そこで、本実施例では、チップ管２も排気
処理の際、電気封止治具８により、約３００℃以上で約
４００℃以内の範囲で加熱している。

【００２８】ここで、チップ管２の加熱温度をプラズマ
パネル１の加熱温度よりも高くするのは、プラズマパネ
ル１から排気された不純物ガスが再びチップ管２に吸着
するのを防ぐためである。ただし、チップ管２の加熱温
度の上限は、フリット９が軟化せず、かつプラズマパネ
ル１に熱ストレスをかけないように約４００℃以下であ
る必要がある。フリット９の軟化開始温度は約５４０℃
であり、チップ管２とプラズマパネル１の許容温度差は
２００℃以下であり、さらにマージンを考慮している。

【００２９】また、チップ管２の温度変化とプラズマパ
ネル１の温度変化は、図２に示すような特性である。す
なわち、チップ管２の加熱のヒートパターンとプラズマ
パネル１の加熱のヒートパターンは、２時間以内の同時
間で昇温し、１時間以内の同時間で保温し、２時間以内
の同時間で降温するように同一である。そして、降温さ
れてからしばらく冷却され、その後プラズマガスがチッ
プ管２を介して導入される。

【００３０】なお、チップ管２の温度変化とプラズマパ
ネル１の温度変化は少なくとも降温のパターンが同一で
あればよい。

【００３１】以上により、本実施例となるプラズマパネ
ルを製造する方法は、排気処理の際、プラズマパネル１
を加熱すると共に、チップ管２を加熱するので、チップ
管２に吸着した水分等の吸着物質による不純物ガスの発
生を抑えることができる。このため、本実施例によって
製造したプラズマパネル１によれば、上記プラズマガス
の純度を保ち、プラズマ放電を均一に安定して行うこと
ができる。

【００３２】なお、本発明に係るガス放電パネルの製造
方法は、上記プラズマパネルの製造のみに限定されず、
例えば冷陰極管や、プラズマアドレス液晶表示装置以外
に用いられるプラズマディスプレイの製造にも適用され
る。

【００３３】

【発明の効果】以上より本発明に係るガス放電パネルの
製造方法によれば、ガスを封入する前に上記ガス放電パ
ネルに接着されたガラス管を介して行う排気処理の際、
上記ガス放電パネルを加熱すると共に、該ガラス管も加
熱するので、上記ガスの純度を保ち、放電を均一に安定
して行うことができるガス放電パネルを製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るガス放電パネルの製造方法の実施
例を説明するための模式図である。

【図２】上記実施例におけるチップ管とプラズマパネル
の温度変化パターンを示す特性図である。

【図３】プラズマアドレス液晶表示装置の概略構成を示
す断面図である。

【図４】上記プラズマアドレス液晶表示装置のデータ電
極、プラズマ電極、放電チャネルの配列を示す図であ
る。

【図５】上記プラズマアドレス液晶表示装置に用いられ
るプラズマパネルの製造を説明するための分解図であ
る。

【符号の説明】

１プラズマパネル２チップ管３排気ポート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】封入されたガス中で放電を行うガス放電
パネルを製造するガス放電パネルの製造方法において、上記ガスを封入する前に上記ガス放電パネルに接着され
たガラス管を介して行う排気処理の際、上記ガス放電パ
ネルを加熱すると共に該ガラス管も加熱することを特徴
とするガス放電パネルの製造方法。
【請求項２】上記ガラス管の加熱温度は、上記ガス放
電パネルの加熱温度よりも、高いことを特徴とする請求
項１記載のガス放電パネルの製造方法。
【請求項３】上記ガラス管は、該ガラス管を電気封止
する電気封止治具により加熱されることを特徴とする請
求項１記載のガス放電パネルの製造方法。
【請求項４】上記ガラス管の温度変化と、上記ガス放
電パネルの温度変化は、少なくとも降温パターンが同一
であることを特徴とする請求項１記載のガス放電パネル
の製造方法。