JPH08304777A - 排気装置及びプラズマ表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 チップ管２を固定するように接続して排気処
理を可能とする排気ポート３と、排気ポート３にチップ
管２を固定接続したプラズマパネル１の複数の位置を直
接的に支持する複数のスプリング３２と、この複数のス
プリング３２を設置してプラズマパネル１を間接的に支
持する例えば金属製の支持プレート３０とを備える。 【効果】 破損を防止すると共に、温度分布を均一と
し、かつ速い冷却を可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、排気用のガラス管が接
続されたガス放電パネルの排気を該ガラス管を介して行
う排気装置、及びプラズマガス中でのプラズマ放電によ
り二次画像を表示するプラズマ表示パネルの製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶を駆動する画像表示装置とし
て、プラズマアドレス液晶表示装置が知られている。こ
のプラズマアドレス液晶表示装置は、プラズマパネルと
電気光学表示パネルとを薄板状の誘電シートを介して積
層してなり、プラズマパネルでの放電プラズマを利用し
て電気光学表示パネルの液晶を駆動し、二次元画像の表
示を行う。

【０００３】このプラズマアドレス液晶表示装置の具体
例について図４及び５を参照しながら説明する。先ず、
電気光学表示パネル２０は、上側のガラス基板（以下、
上側基板という。）２１を用いて構成される。上側基板
２１の内側主面には、透明導電膜材料からなると共に行
方向に延びる複数本のデータ電極２２が所定の間隔を保
持して列方向に並列的に形成される。上側基板２１は、
スペーサ２４によって所定の間隔を保持した状態で薄板
状の誘電シート１２に接合される。上側基板２１及び誘
電シート１２の間隙には、電気光学材料としての液晶が
充填されて液晶層２３が形成される。ここで、上側基板
２１及び誘電シート１２の間隙の寸法は、例えば４〜１
０μｍとされ、表示面全体にわたって均一に保たれる。
なお、電気光学材料としては液晶以外のものを使用する
こともできる。

【０００４】一方、プラズマパネル１０は下側のガラス
基板であるプラズマ基板１１を用いて構成される。プラ
ズマ基板１１の内側主面には、プラズマ電極を構成する
列方向に延びる複数のアノード電極１４Ａ及びカソード
電極１４Ｋが交互に所定の間隔を保持して行方向に並列
的に形成される。また、アノード電極１４Ａ及びカソー
ド電極１４Ｋの各上面のほぼ中央部には、それぞれ電極
に沿って延在するように所定幅の隔壁１３が形成され
る。そして、各隔壁１３の頂部は誘電シート１２の下面
に当接され、プラズマ基板１１及び誘電シート１２の間
隙の寸法が一定に保持される。

【０００５】また、プラズマ基板１１の周辺部にはその
周辺部に沿って低融点ガラス等を使用したフリット材１
５が配設され、プラズマ基板１１と誘電シート１２とが
気密的に接合される。プラズマ基板１１及び誘電シート
１２の間隙には、イオン化可能なガス（以下、プラズマ
ガスという。）が封入される。プラズマガスとしては、
例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあるいはこれらの混
合気体等が使用される。

【０００６】プラズマ基板１１及び誘電シート１２の間
隙には、各隔壁１３で分離された列方向に延びる複数の
放電チャネル（空間）１６が行方向に並列的に形成され
る。すなわち、放電チャネル１６はデータ電極２２と直
行するように形成される。各データ電極２２は列駆動単
位となると共に、各放電チャネル１６は行駆動単位とな
り、両者の交差部にはそれぞれ図５に示すように画素２
５が規定される。

【０００７】以上の構成において、所定の放電チャネル
１６に対応するアノード電極１４Ａとカソード電極１４
Ｋとの間に所定電圧が印加されると、その放電チャネル
１６の部分のプラズマガスが選択的にイオン化されてプ
ラズマ放電が発生し、その内部は略アノード電位に維持
される。この状態で、データ電極２２にデータ電圧が印
加されると、その放電チャネル１６に対応して列方向に
並ぶ複数の画素２５の液晶層２３に誘電シート１２を介
してデータ電位が書き込まれる。

【０００８】プラズマ放電が終了すると、放電チャネル
１６に対応して列方向に並ぶ複数の画素２５の液晶層２
３に誘電シート１２を介してデータ電位が書き込まれ
る。また、プラズマ放電が終了すると、放電チャネル１
６は浮遊電位となり、各画素２５の液晶層２３に書き込
まれたデータ電圧は、次の書き込み期間（例えば１フィ
ールド後あるいは１フレーム後）まで保持される。この
場合、放電チャネル１６はサンプリングスイッチとして
機能すると共に、各画素２５の液晶層２３はサンプリン
グキャパシタとして機能する。

【０００９】各画素２５の液晶層２３に書き込まれたデ
ータ電圧によって液晶が動作することから画素単位で表
示が行われる。したがって、上述したようにプラズマ放
電を発生させて列方向に並ぶ複数の画素２５の液晶層２
３にデータ電圧を書き込む放電チャネル１６を行方向に
順次走査していくことで、二次元画像の表示を行うこと
ができる。

【００１０】このプラズマパネル１０のプラズマ基板１
１及び誘電シート１２の間隙、すなわち放電チャネル１
６には、上述したようなプラズマガスが封入されてお
り、プラズマパネル１０は、封入されたガス中で放電を
行うガス放電パネルの一種と呼ぶことができる。

【００１１】このプラズマパネル１０は、図６に示すよ
うに、金属の定盤上２６に載置された誘電シート１２上
に、既に隔壁１３とアノード電極とカソード電極が形成
されたプラズマ基板１１をフリット材１５で支持した状
態で載置し、さらに、このプラズマ基板１１上に、重り
２７を載置してから、上記フリット材１５を焼成して形
成されている。ここで、プラズマ基板１１には、誘電シ
ート１２とプラズマ基板１１との間に隔壁１３で仕切ら
れて形成される放電チャネル１６内から排気を行うため
にガラス製のチップ管２が接着されている。さらに、こ
のチップ管２は、上記排気処理の後に、放電チャネル１
６内に上記プラズマガスを封入する際にも使われる。最
終的に、このチップ管２は、電気封止治具により封止さ
れる。

【００１２】ところで、上記放電チャネル１６内でのプ
ラズマ放電は、上記プラズマガスの不純物の濃度に大き
く影響を受ける。つまり、上記プラズマガスへの不純物
ガスの混入は、放電動作や放電の寿命に悪影響を与え
る。不純物ガスとしては、Ｈ₂Ｏ、ＣＯ、Ｎ₂、Ａｒ、Ｃ
Ｏ₂等がある。特に、Ｈ₂Ｏの影響が大きく、プラズマ放
電時に放電を不安定にしてしまう。

【００１３】したがって、排気処理の際には、上記プラ
ズマパネル１０を約３００℃まで加熱し、パネルを形成
しているガラス製のプラズマ基板１１等の表面等、パネ
ルの内壁表面に吸着した吸着物質を取り除いている。こ
れは、加熱をしないと上記プラズム基板１１等の表面に
吸着した水分等の吸着物質が排気後に徐々に該プラズマ
基板１１から離れて上記放電ガスに不純物ガスとして混
ざってしまうのを防ぐためである。

【００１４】この加熱は、図７に示すように、排気ポー
ト３に固定接続されたチップ管２から離れた位置を例え
ば金属製の支持プレート３０で支持した状態でプラズマ
パネル１を加熱炉３１に挿入して行われる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、チップ管２と
プラズマパネル１の接合部は、ストレスに弱く割れ易
い。特に、図７に示すようにチップ管２が排気ポート３
に固定接続された状態で、支持プレート３０によりプラ
ズマパネル１が支持されて加熱された場合には、支持プ
レート３０及びプラズマパネル１の熱変形によって上記
接合部にストレスが発生しプラズマパネル１が破損して
しまう。また、支持プレート３０とプラズマパネル１の
熱容量の差により、プラズマパネル１の温度分布が不均
一となる。さらに、加熱炉３１から出してプラズマパネ
ル１を冷却する場合にも、支持プレート３０とプラズマ
パネル１の熱容量の差により冷却に時間を要する。

【００１６】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であり、ガス放電パネルの破損を防止すると共に、上記
パネルの温度分布を均一とし、かつ上記パネルの速い冷
却を可能とする排気装置の提供を目的とする。

【００１７】また、本発明は、上記実情に鑑みてなされ
たものであり、破損を防止すると共に、温度分布を均一
とし、かつ速い冷却が可能であるプラズマ表示パネルを
製造するプラズマ表示パネルの製造方法の提供を目的と
する。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る排気装置
は、上記課題を解決するために、上記ガラス管を固定す
るように接続して排気処理を可能とする排気ポートと、
上記排気ポートにガラス管を固定接続した上記ガス放電
パネルの複数の位置を支持する複数のスプリングと、上
記複数のスプリングを設置して上記ガス放電パネルを間
接的に支持するプレートと、上記ガス放電パネルを上記
プレート上に設置した上記複数のスプリングで支持した
状態で加熱する加熱炉とを備える。

【００１９】また、本発明に係るプラズマ表示パネルの
製造方法は、上記課題を解決するために、上記プラズマ
ガスを封入する前に上記プラズマ表示パネルに接着され
たガラス管を固定接続して行う排気処理の際、上記プラ
ズマ表示パネルをプレート上に設置した複数のスプリン
グで支持して加熱する。

【００２０】

【作用】上記プラズマ表示パネルの排気処理の際、上記
パネルを複数のスプリングで支持して加熱するので、プ
レートと上記パネルとを不接触とし、熱変形の発生を抑
えると共に、熱容量の差の発生も抑える。

【００２１】

【実施例】以下、本発明に係る排気装置及びプラズマ表
示パネルの製造方法の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。

【００２２】この実施例は、プラズマアドレス液晶表示
装置に使用されるようなプラズマパネルの排気を行うプ
ラズマ真空排気装置であり、図１に示すようにプラズマ
パネル１に接着されたガラス製の排気用のチップ管２を
介して排気を行う。

【００２３】このプラズマ真空排気装置は、チップ管２
を固定するように接続して排気処理を可能とする排気ポ
ート３と、排気ポート３にチップ管２を固定接続したプ
ラズマパネル１の複数の位置を直接的に支持する複数の
スプリング３２と、この複数のスプリング３２を設置し
てプラズマパネル１を間接的に支持する例えば金属製の
支持プレート３０とを備える。

【００２４】このプラズマ真空排気装置は、支持プレー
ト３０上に設置した複数のスプリングで支持したプラズ
マパネル１を加熱炉３１中に挿入し、約３００℃まで加
熱しパネルを形成しているガラス製のプラズマ基板１
ａ、薄板状の誘電シート１ｂ等の表面等、パネルの内壁
表面に吸着した吸着物質を取り除く。これは、加熱をし
ないと上記プラズマ基板１ａ等の表面に吸着した水分等
の吸着物質が排気後に徐々に該プラズマ基板１ａから離
れて、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあるいはこれ
らの混合気体等のような放電ガスに不純物ガスとして混
ざってしまうのを防ぐためである。

【００２５】複数のスプリング３２は、支持プレート３
０上の任意の場所に、任意の数設置できるが、プラズマ
パネル１の安定性を考えると多い方が良い。ただし、少
なくとも３個あれば支持は可能となる。このスプリング
３２は、４００℃の熱に耐えられる材質で作られてい
る。弾性係数は、設置個数、パネル重量に依存する。ま
た、長さは温度分布、冷却効果を考えると支持プレート
３０から出来るだけ離れていた方が良く、３０ｍｍ以上
が適当である。

【００２６】具体的には、例えば、自由高さ４４．４ｍ
ｍ、ばね定数０．１１２ｋｇ／ｍｍ、材質はステンレ
ス、例えばＳＵＳ３０４であるようなスプリングが好ま
しい。プラズマパネル１の大きさが例えば６００ｍｍ×
３６０ｍｍ×１．９ｍｍであり、重量が約１ｋｇであれ
ば、設置個数は８個が適当である。

【００２７】チップ管２は、プラズマパネル１に開けら
れた孔１ｃを介して排気を行うように、図２に示すよう
にフリット９でプラズマパネル１に接着される。このチ
ップ管２は、排気ポート３を介して図示しない排気装置
の排気管４に接続される。

【００２８】排気ポート３は、排気管４の先端部に設け
られたネジ部４ａと、このネジ部４ａに導かれてチップ
管２と排気管４の締め付けを行う締め付けキャップ５と
を備えている。また、排気ポート３には、チップ管２と
排気管４と締め付けキャップ５との空間内でチップ管２
及び排気管４が外気に触れずに完全に密閉されるよう
に、スペーサ６とＯリング７とが備えられる。Ｏリング
７は、例えばフッ素ゴムを材料としており、弾性を有す
ると共に、不純物ガスを発生しにくい。このため、Ｏリ
ング７は、締め付けキャップ５の締め付けにより、スペ
ーサ６を介して押しつぶされるように変形し、スペーサ
６を保持する上記空間と排気管４内とを完全に遮断す
る。

【００２９】次に、本実施例のプラズマ真空排気装置の
操作手順について図３を参照しながら説明する。

【００３０】先ず、ステップＳ１に示すように、チップ
管２の付いたプラズマパネル１を複数のスプリング３２
の上に載せる。次に、ステップＳ２に示すように、チッ
プ管２が排気ポート３に入るように位置調整する。

【００３１】次に、ステップＳ３に示すように、支持プ
レート３０を下げて、チップ管２を排気ポート３に挿入
する。ここで、本実施例では、複数のスプリング３２で
プラズマパネル１を支持しているので、挿入の際の上下
のクリアランスに２〜５ｍｍ程の余裕ができる。

【００３２】次に、ステップＳ４に示すように、排気ポ
ート３の締め付けキャップ５を締め付け、排気を開始す
る。この排気は、ステップＳ５に示すように、加熱炉３
１に支持プレート３０毎プラズマパネル１を挿入して、
例えば３００℃で２時間程加熱して行う。ここで、本実
施例では、支持プレート３０とプラズマパネル１との間
に複数のスプリング３２を設置して、この複数のスプリ
ング３２によりプラズマパネル１を直接支持している。
このため、プラズマパネル１は、支持プレート３０の熱
容量の影響を受けにくくなり、温度分布が良くなる。ま
た、支持プレート３０やプラズマパネル１の熱膨張によ
る反りを複数のスプリング３２で吸収できるので、加熱
工程でのプラズマパネル１の破損を防止できる。

【００３３】次に、ステップＳ６に示すように、加熱終
了後、支持プレート３０を加熱炉３１から取り出し冷却
する。ここでも、プラズマパネル１を複数のスプリング
３２で直接支持してプラズマパネル１と支持プレート３
０との接触を防いでいるので、冷却を速くすることがで
きる。

【００３４】また他にも、複数のスプリング３２を用い
ることにより、上記各ステップにおいて振動に強いとい
う特徴を生かすことができ、パネルセット時や加熱炉へ
の挿入時の衝撃からプラズマパネル１を守ることができ
る。

【００３５】

【発明の効果】本発明に係る排気装置は、排気ポートに
固定接続されたガラス管から離れたガス放電パネルの複
数の位置を複数のスプリングで直接支持し、上記ガス放
電パネルをプレート上に設置した上記複数のスプリング
で支持したまま加熱炉により加熱するので、ガス放電パ
ネルの破損を防止すると共に、上記パネルの温度分布を
均一とし、かつ上記パネルの速い冷却を可能とする。

【００３６】また、本発明に係るプラズマ表示パネルの
製造方法は、プラズマガスを封入する前に上記プラズマ
表示パネルに接着されたガラス管を固定接続して行う排
気処理の際、上記プラズマ表示パネルをプレート上に載
置した複数のスプリングで支持して加熱するので、破損
を防止すると共に、温度分布を均一とし、かつ速い冷却
が可能であるプラズマ表示パネルを製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る排気装置及びプラズマ表示パネル
の実施例となるプラズマ真空排気装置の概略構成を示す
断面図である。

【図２】上記プラズマ真空排気装置の排気ポートの詳細
を示す断面図である。

【図３】上記プラズマ真空排気装置の操作手順を示すフ
ローチャートである。

【図４】プラズマアドレス液晶表示装置の概略構成を示
す断面図である。

【図５】上記プラズマアドレス液晶表示装置のデータ電
極、プラズマ電極、放電チャネルの配列を示す図であ
る。

【図６】上記プラズマアドレス液晶表示装置に使われる
プラズマパネルの製造を説明するための分解図である。

【図７】従来の排気装置の概略構成を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１ プラズマパネル ２ チップ管 ３ 排気ポート ３０ 支持プレート ３１ 加熱炉 ３２ スプリング

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 排気用のガラス管が接続されたガス放電
   パネルの排気を該ガラス管を介して行う排気装置におい
   て、 上記ガラス管を固定するように接続して排気処理を可能
   とする排気ポートと、 上記排気ポートにガラス管を固定接続した上記ガス放電
   パネルの複数の位置を支持する複数のスプリングと、 上記複数のスプリングを設置して上記ガス放電パネルを
   間接的に支持するプレートと、 上記プレート上に設置した上記複数のスプリングで支持
   した上記ガス放電パネルを加熱する加熱炉とを備えるこ
   とを特徴とする排気装置。
2. 【請求項２】 上記複数のスプリングは、上記ガス放電
   パネルと上記プレートとの距離を３０ｍｍ以上とする程
   の長さであることを特徴とする請求項１記載の排気装
   置。
3. 【請求項３】 プラズマガス中でのプラズマ放電により
   二次画像を表示するプラズマ表示パネルの製造方法にお
   いて、 上記プラズマガスを封入する前に上記プラズマ表示パネ
   ルに接着されたガラス管を固定接続して行う排気処理の
   際、上記プラズマ表示パネルをプレート上に設置した複
   数のスプリングで支持して加熱することを特徴とするプ
   ラズマ表示パネルの製造方法。