KR100489317B1 - 화상표시장치의제조방법 - Google Patents

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Abstract

봉입 가스가 고압화된 화상 표시 장치에 대응 가능하게 하고, 양산성이 양호하고 생산성이 높고, 신뢰성이 높은 화상 표시 장치의 제조를 가능하게 한다.
소정의 위치에 관통 구멍을 갖는 제1 기판 상에, 소정 간격을 두고 판재가 배치되고 주위가 실부로 밀봉된 밀폐 부재의 관통 구멍의 개구부에 유리관을 접속하고, 유리관 내의 관통 구멍과의 접속부 근방에 보유 부재에 의해 보유된 하소 고형 프릿을 배치하고, 유리관을 통해 밀폐 부재 내를 배기하고, 유리관의 소정 부분을 지름 방향으로 압축하여 잘록부를 형성하고, 이 잘록부와 관통 구멍의 개구부 사이에 하소 고형 프릿을 잔존시켜 하소 고형 프릿을 유리관의 잘록부로 이동시켜, 유리관을 통해 제1 기판과 판재 사이의 간극에 가스를 충전한 후 유리관의 잘록부의 하소 고형 프릿을 용융 고형화시켜 잘록부를 밀봉시킨다.

Description

화상 표시 장치의 제조 방법{METHOD OF MANUFACTURING IMAGE DISPLAY}
본 발명은 한 쌍의 기판이 소정의 간격을 두고 배치되며, 이들 간에 가스가 봉입되어 이루어진 화상 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 가스가 대기압 정도의 압력으로 봉입되어 있어도 생산성이 양호하며 신뢰성도 양호한 화상 표시 장치의 제조를 가능하게 하는 화상 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
음극선관 디스플레이 장치와 달리, 편평한 형상을 갖는 플랫(flat) 디스플레이 장치라 칭하는 화상 표시 장치가 최근 활발하게 개발되고 있다. 이러한 화상 표시 장치로서는 방전에 따른 자외선 방사에 의한 형광체로부터의 발광을 이용한 플라즈마 디스플레이(이하, PDP로 칭함)를 들 수 있다.
이 PDP는 한 쌍의 기판이 대향하도록 배치되며 이들 간에 이온화 가능한 가스가 봉입되며, 한 쌍의 기판 중 한 쪽 내면측에 형광체가 배치되어 이루어진 것으로, 이온화 가능한 가스 중에서 방전을 행하고, 이 방전에 따른 자외선 방사에 의한 형광체로부터의 발광에 의해 화상 표시를 행하는 것이다.
그리고, 이 PDP는 방전을 행하는 방전 전극이 형광체가 배치되는 기판과 다른 쪽 기판의 양자에 서로 대향하도록 형성되어 두께 방향으로 방전이 이루어지는 소위, DC형 PDP와, 방전 전극이 형광체가 배치되지 않은 기판에만 형성되어 있으며 또한 방전 전극이 유전체층으로 덮어져서 면내 방향으로 방전이 이루어지는 소위, AC형 PDP로 크게 분류된다.
또한, 플랫 디스플레이 장치로서는 상기 PDP 외에 각 표시 화소마다 트랜지스터 등의 능동 소자를 설치하고 이것을 구동하는 방법, 소위 액티브 매트릭스 어드레스 방식을 적용해서 액정이 봉입된 액정층을 구동시키는 화상 표시 장치(이하, TFT 액정 디스플레이라 칭함)가 주목받고 있다.
그러나, 이 TFT 액정 디스플레이에서는, 박막 트랜지스터와 같은 반도체 소자를 다수 설치할 필요가 있기 때문에, 특히 대화면을 형성하기 위해 디스플레이를 대면적화한 경우에는 수율의 문제가 우려되며 제조 비용이 고가가 된다고 하는 문제점이 생긴다.
그래서, 이들의 문제를 해결하기 위해 능동 소자로서 MOS 트랜지스터나 박막 트랜지스터 등의 반도체 소자가 아닌 방전 플라즈마를 이용하는 방식을 적용한 화상 표시 장치가 제안되고 있다.
이러한 화상 표시 장치로서는 복수의 방전 전극을 갖으며 플라즈마 방전이 이루어지는 플라즈마 셀과, 상기 방전 전극과 거의 직교하는 전극을 갖는 제2 기판이 전기 광학 재료인 액정으로 이루어진 액정층을 통해 중첩되어 구성되는 표시 패널을 갖는 것을 들 수 있다.
상기 플라즈마 셀은 일 주면 상에 서로 거의 평행한 복수의 방전 전극이 형성된 제1 기판 상에 소정의 간격을 두고 유전체 박판이 배치되고 상기 제1 기판과 유전체 박판 간의 간극에 이온화 가능한 가스가 충전되며 주위를 밀봉부로 밀봉하여 이루어진 것이다. 또, 이 플라즈마 셀은 격벽에 의해 라인형의 플라즈마실로 분할되어 각 플라즈마실에서 플라즈마 방전이 가능하게 이루어져 있다.
또한, 상기 제2 기판은 일 주면 상에 플라즈마 셀의 방전 전극과 거의 직교하는 전극이 형성된 것으로, 이 제2 기판은 전극 형성면을 대향면으로 하여 플라즈마 셀의 유전체 박판 상에 액정층을 통해 중첩된다.
그리고, 이 표시 패널에서는 플라즈마 셀의 각 플라즈마실을 순차 전환 주사함과 함께, 액정층을 끼워 대향하는 제2 기판의 전극에 이것과 동기하여 신호 전압을 인가함으로써 액정이 구동되며, 각 플라즈마실과 제2 기판의 전극이 교차하는 부분이 화소로서 규정된다.
상술한 바와 같은 PDP 또는 방전 플라즈마에 의해 액정층을 구동시키는 화상 표시 장치 중 어느 것에서도 상술한 바와 같이 서로 대향하는 한 쌍의 기판 사이 또는 제1 기판과 유전체 박판 사이에 이온화 가능한 가스를 봉입할 필요가 있다. 여기서, 이 가스의 봉입은 기판에 관통 구멍을 형성해서 이것에 유리관을 접속하고, 이 유리관을 통해 진공 배기시킨 후, 가스를 충전해서 유리관을 밀봉함으로써 행해진다.
이 유리관의 밀봉은 유리관을 가열하여 대기에 의한 외압에 의해 지름 방향으로 압축해서 달구어 절단하여 단부를 자연스럽게 밀봉하거나 또는 막대 형상이 될 때가지 압축하여 절단하는 방법에 의해 행해진다.
그런데, 최근 봉입 가스의 압력의 고압화가 진행되고 있다. 즉, 종래에는 진공 또는 1기압 미만의 저 진공 정도의 압력으로 봉입되고 있지만, 최근에는 1기압 근방 또는 그 이상의 압력으로 봉입되도록 되어 왔다.
이와 같이 고압화되면, 외압인 대기압보다도 고압이 되기 때문에, 종래의 방법으로는 유리관의 밀봉이 곤란해진다. 즉, 유리관을 밀봉하기 위해 가열을 행하면, 유리가 연화 또는 용융하고, 그 내부의 압력이 외압 보다도 고압이 되기 때문에 이 부분이 풍선과 같이 팽창하여 파열되어 버려서 밀봉이 불가능해질 우려가 있다.
예를 들면, 관구(管球) 등의 제조에서 무산소 동(無酸素 銅)으로 이루어지는 관을 사용해서 배기 및 가스의 충전을 행하고, 내부에 가스를 외압과 동등하게 또는 고압이 되도록 충전하고 이것을 절단하여 밀봉하도록 하고 있지만, 이 방법은 비용이 고가가 되며 무산소 동으로 이루어진 관을 부착하는 것이 곤란하기 때문에 생산성이 양호하지 않아서 바람직하지 못하다.
그래서, 상기한 바와 같은 봉입 가스의 압력이 고압화된 화상 표시 장치의 유리관을 밀봉하는 방법으로서는 외압을 1기압 이상으로 하여 외관 상 유리관 내의 압력을 낮게 해서 유리관을 밀봉하거나 또는 유리 연화점 근방까지 승온하여 절단하는 방법을 생각할 수 있다.
그러나, 전자의 방법에서는, 유리관을 밀봉하는 방법이 전열선에 의한 가열 밀봉이나 고주파 가열 밀봉이라고 하는 수단으로 한정되어 버려서 밀봉하는 개소의 주위를 밀폐할 필요가 있으며 장치가 커져 버리고, 더구나 개개로 처리할 필요가 있어 양산성이 양호하지 못하므로 생산성이 양호하지 못하다.
한편, 후자의 방법에서는 유리관의 두께가 얇으면 팽창을 일으키기 쉽기 때문에, 두께를 두텁게 할 필요가 있어 서서히 가열하여 서서히 압축하고, 마지막으로 절단하게 되지만, 이 절단 공정에 의해 화상 표시 장치의 신뢰성이 좌우되게 되어 신뢰성의 확보가 곤란하다. 또한, 이 절단 작업에서 한 쌍의 기판 또는 제1 기판과 유전체 박판에 충격이 가해지는 경우가 많으며 유리관과 기판의 프릿(frit) 밀봉재 등으로 이루어지는 접속 부분에 박리가 발생하여 신뢰성을 손상하게 된다.
그래서, 이와 같은 화상 표시 장치의 제조 방법에서는 봉입 가스가 고압화된 화상 표시 장치에 대응 가능하며, 양산성이 양호하여 생산성이 높으며 신뢰성이 높은 화상 표시 장치의 제조를 가능하게 하는 것이 과제로 되어 있다.
＜발명의 개시＞
즉, 본 발명은 봉입 가스가 고압화된 화상 표시 장치에 대응 가능하며 양산성이 양호하여 생산성이 높고, 신뢰성이 높은 화상 표시 장치의 제조를 가능하게 하는 화상 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 화상 표시 장치의 제조 방법은 소정의 위치에 관통 구멍을 갖는 제1 기판 상에 소정의 간격을 두고 판재가 배치되어 주위가 밀봉부로 밀봉된 밀폐 부재의 관통 구멍의 판재와의 대향면이 되는 주면과는 반대측의 주면의 개구부에 유리관을 접속하는 제1 공정과, 유리관 내의 관통 구멍과의 접속부 근방에 보유 부재에 의해 보유된 하소(calcination) 고형 프릿을 배치하는 제2 공정과, 유리관을 통해 제1 기판과 판재 간의 간극을 배기하는 제3 공정과, 유리관의 소정의 부분을 지름 방향으로 압축하여 잘록부를 형성하고, 이 잘록부와 관통 구멍의 개구부 간에 하소 고형 프릿을 잔존시키는 제4 공정과, 하소 고형 프릿을 유리관의 잘록부로 이동시키는 제5 공정과, 유리관을 통해 제1 기판과 판재 간의 간극에 가스를 충전하는 제6 공정과, 유리관의 잘록부의 하소 고형 프릿을 용융 고형화시켜서 잘록부를 밀봉하는 제7 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
또, 상기 본 발명의 화상 표시 장치의 제조 방법에서는 하소 고형 프릿의 보유 부재를 하소 고형 프릿 내에 삽입되는 금속판과 이것을 유리관 내에 보유하는 스프링부에 의해 구성하고, 금속판을 고주파 가열함으로써 하소 고형 프릿을 보유 부재에서 떼어내어 잘록부로 이동시키도록 해도 좋다.
또한, 상기 본 발명의 화상 표시 장치의 제조 방법에서는 하소 고형 프릿의 보유 부재를 하소 고형 프릿 내에 삽입되는 강자성체 판과 이것을 유리관 내에 보유하는 스프링부에 의해 구성하고, 강자성체 판에 전자석에 의해 진동을 제공하여 전체의 자체 중량에 의해 보유 부재째 하소 고형 프릿을 잘록부로 이동시키도록 해도 좋다.
또한, 본 발명의 화상 표시 장치의 제조 방법에서는 제1 기판에 방전 전극으로서 복수의 방전 전극이 서로 거의 평행하게 형성되어 있으며, 판재로서 유전체 박판이 배치되어 밀폐 부재로서 플라즈마 셀을 형성하고, 제6 공정 보다도 후에, 플라즈마 셀의 유전체 박판 상에 전기 광학 재료층을 통해 대향면에 플라즈마 셀의 제1 기판의 방전 전극과 거의 직교하는 전극이 형성된 제2 기판을 적층하는 공정을 갖도록 해도 좋다.
게다가 또한, 본 발명의 화상 표시 장치의 제조 방법에서는 제1 기판 또는 판재 중 한 쪽은 대향면에 방전 전극으로서 복수의 방전 전극이 서로 거의 평행하게 형성되어 이루어진 것이고, 나머지 한 쪽은 대향면에 상기 방전 전극과 거의 직교하는 어드레스 전극이 형성됨과 함께 형광체가 피착되어 이루어진 것이어도 좋다.
또한, 본 발명의 화상 표시 장치의 제조 방법에서는 제1 기판 또는 판재 중 한 쪽은 대향면에 방전 전극으로서 복수의 방전 전극이 서로 거의 평행하게 형성되어 이루어진 것이고, 나머지 한 쪽은 대향면에 형광체가 피착되어 이루어진 것이고, 또한 밀폐 부재는 제1 기판과 판재 간에 상기 방전 전극과 거의 직교하는 어드레스 전극이 형성되어 이루어진 것이어도 좋다.
또한, 본 발명의 화상 표시 장치에서는 제1 기판 또는 판재 중 한 쪽은 대향면에 복수의 제1 전극이 서로 거의 평행하게 형성되어 이루어진 것이고, 나머지 한 쪽은 대향면에 상기 제1 전극과 거의 직교하는 제2 전극이 형성됨과 함께 형광체가 피착되어 이루어진 것이어도 좋다.
즉, 본 발명의 화상 표시 장치의 제조 방법에서는 소정의 위치에 관통 구멍을 갖는 제1 기판 상에 소정의 간격을 두고 판재가 배치되어 주위가 밀봉부로 밀봉된 밀폐 부재의 관통 구멍의 개구부에 유리관을 접속하고 유리관 내의 관통 구멍과의 접속부 근방에 보유 부재에 의해 보유되는 하소 고형 프릿을 배치하고 유리관을 통해 밀폐 부재 내를 배기하고 유리관의 소정 부분을 지름 방향으로 압축하여 잘록부를 형성하고, 이 잘록부와 관통 구멍의 개구부 간에 하소 고형 프릿을 잔존시켜서 하소 고형 프릿을 유리관의 잘록부로 이동시켜 유리관을 통해 제1 기판과 판재 간의 간극에 가스를 충전한 후, 유리관의 잘록부의 하소 고형 프릿을 용융 고형화시켜 잘록부를 밀봉하도록 하고 있으며, 유리관은 실질 상 프릿재에 의해 덮여져 밀봉되게 되며 유리관 자체를 밀봉할 필요가 없어져 밀폐 부재 내의 가스의 내압이 1기압 전후로 고압화되어도 충분히 대응 가능하다. 더욱이, 이와 같이 해서 밀봉하면 신뢰성 양호하게 밀봉된다. 또, 상기 본 발명의 화상 표시 장치의 제조 방법에 의하면 유리관이 용이하게 밀봉되어 양산성도 양호하다.
또한, 본 발명의 화상 표시 장치의 제조 방법에 의하면 상기한 바와 같이 하소 고형 프릿을 용융 고형화시켜서 잘록부를 밀봉한 후에, 유리관의 불필요 부분을 절단하는 경우에서도 밀폐 부재 내부에 영향을 미치는 일이 없어 신뢰성이 확보된다.
＜도면의 간단한 설명＞
도 1은 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 플로우차트.
도 2는 플라즈마 셀에 유리관을 접속하는 공정을 나타낸 단면도.
도 3은 보유 부재에 보유되는 하소 고형 프릿의 일례를 나타낸 사시도.
도 4는 유리관을 확대하여 나타낸 사시도.
도 5는 유리관 내에 하소 고형 프릿을 배치하는 공정을 모식적으로 나타낸 주요부 확대 측면도.
도 6은 하소 고형 프릿의 제조 방법을 나타낸 플로우차트.
도 7은 유리관의 압축 공정을 모식적으로 나타낸 주요부 확대 측면도.
도 8은 하소 고형 프릿이 유리관의 잘록부에 보유되어 있는 상태의 일례를 모식적으로 나타낸 측면도.
도 9는 하소 고형 프릿의 용융 고형화 공정을 모식적으로 나타낸 주요부 확대 측면도.
도 10은 유리관을 절단하는 공정을 나타낸 단면도.
도 11은 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치의 일례를 나타낸 주요부의 개략 단면도.
도 12는 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치를 확대하여 나타낸 주요부의 개략 사시도.
도 13은 화상 표시 장치의 데이타 전극, 플라즈마 전극 및 방전 채널을 나타내는 모식도.
도 14는 보유 부재에 보유되는 하소 고형 프릿의 다른 예를 나타낸 사시도.
도 15는 하소 고형 프릿이 유리관의 잘록부에 보유되어 있는 상태의 다른 예를 모식적으로 나타낸 측면도.
도 16은 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치의 다른 예를 나타내는 주요부의 개략 단면도.
도 17은 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치의 다른 예를 나타내는 주요부의 분해 사시도.
도 18은 화상 표시 장치의 표시 전극, 어드레스 전극 및 화상을 나타내는 모식도.
도 19는 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치의 또 다른 예를 나타내는 주요부의 개략 단면도.
도 20은 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치의 또 다른 예를 나타내는 주요부의 개략 단면도.
도 21은 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치의 또 다른 예를 나타내는 주요부의 분해 사시도.
도 22는 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치의 또 다른 예를 나타내는 주요부의 개략 단면도.
도 23은 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치의 또 다른 예를 나타내는 주요부의 개략 단면도.
도 24는 본 발명을 적용한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 화상 표시 장치의 또 다른 예를 나타내는 주요부의 분해 사시도.
도 25는 유리관의 내지름 및 외지름, 잘록부의 외지름의 관계를 나타낸 측면도.
＜발명을 실시하기 위한 바람직한 형태＞
이하, 본 발명을 적용한 구체적인 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 상세하게 설명하기로 한다.
우선, 본 발명을 방전 플라즈마를 이용해서 액정층을 구동하는 화상 표시 장치의 제조 방법에 적용한 예에 대해 설명하기로 한다.
본 예의 화상 표시 장치의 제조 방법에서는 도 1에 도시한 바와 같이 우선 플라즈마 셀을 형성한다(ST1). 즉, 도 2에 도시한 바와 같이 소정의 위치에 관통 구멍(14)를 갖으며 일 주면(8a) 상에 복수의 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K)이 형성된 제1 기판(8) 상에 격벽(10)에 의해 소정의 간격을 두고 유전체 박판(3)이 배치되며, 주위가 프릿 밀봉재(11)로 밀봉된 플라즈마 셀(2)을 준비한다.
상기 플라즈마 셀(2)에서는 상술된 바와 같이 제1 기판(8)의 내측이 되는 일 주면(8a)에는 플라즈마 전극(방전 전극)을 구성하고, 서로 평행한 라인형으로 형성되는 복수의 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K)이 교대로 소정의 간격을 두고 소정의 방향으로 병렬로 형성되어 있어 방전 전극군을 구성하고 있다.
또한, 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K)의 각 상면의 거의 중앙부에는 각각 전극을 따라 연재하도록 한 소정폭의 격벽(10)이 형성되어 있으며, 인접하는 격벽(10) 사이가 각 방전 채널(12)이 된다. 그리고, 각 격벽(10)의 꼭대기부는 유전체 박판(3)의 하면에 접촉되며 제1 기판(8)과 유전체 박판(3)의 간극의 치수가 일정하게 유지된다.
이 유전체 박판(3)은 박판 유리 등으로 구성되며 그 자신이 캐패시터로서 기능한다. 따라서, 후술의 전기 광학 표시 셀과 플라즈마 셀(2)과의 전기적 결합을 충분하게 확보하고 또한 전하의 2차원적인 퍼짐을 억제하기 위해서 이 유전체 박판(3)은 가능한 한 얇게 할 필요가 있으며, 구체적으로는 예를 들면 50㎛ 정도로 하는 것이 바람직하다.
또한, 제1 기판(8)의 주변부에는 그 주변부를 따라 저 융점 유리 등을 사용한 프릿 밀봉재(11)가 배치되고, 제1 기판(8)과 유전체 박판(3)이 기밀적으로 접합되어 있어 플라즈마 셀(2)이 밀폐 공간으로서 구성되어 있다. 제1 기판(8)과 유전체 박판(3)의 간극인 밀폐 공간에는 후속 공정에서 이온화 가능한 가스가 봉입된다. 봉입되는 가스로서는 예를 들면 불활성 가스 또는 불활성 가스의 혼합 기체 등이 사용된다.
다음에, 도 1 중에 도시한 바와 같이 유리관을 접속한다(ST2). 즉, 도 2 중에 도시한 바와 같이, 상기 플라즈마 셀(2)의 제1 기판(8)의 관통 구멍(14)의 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K)이 형성되는 주면(8a)과 반대측의 주면(8b)의 개구부에 유리관(15)을 접속한다. 또, 이 때, 유리관(15)은 제1 기판(8)에 대해 프릿재로 이루어지는 접착부(22)에 의해 고정된다. 이 시점에서는 유리관(15)은 양끝 모두 개방단으로 이루어져 있다. 또한, 이 유리관(15)은 관통 구멍(14)의 개구 지름 이상의 안지름을 갖는 것으로 한다.
또한, 도 1 중에 도시한 바와 같이 유리관(15) 내에 하소 고형 프릿을 배치하는 유리관 내 하소 고형 프릿 배치를 행한다(ST3). 이 하소 고형 프릿은 도 3에 일례를 도시한 바와 같이, 거의 원주형의 하소 고형 프릿(16)이 보유 부재(17)에 의해 보유되어 이루어진 것이다. 하소 고형 프릿의 형상은 유리관(15) 내에 삽입 가능하면 어떠한 형상이라도 좋지만 소형으로 충분한 양을 확보할 수 있는 형상이 바람직하다.
상기 보유 부재(17)는 하소 고형 프릿(16) 내에 그 일부가 삽입되어 하소 고형 프릿(16)을 보유하는 금속판(18)과, 이 금속판(18)과 접속되어 이것을 유리관 내에 보유하기 위한 고정용 스프링부(19)에 의해 구성된다. 이 고정용 스프링부(19)는 유리관의 내벽에 거의 끼워맞추어지는 거의 반(半)원형의 스프링부(19a)와 이 스프링부(19a)의 거의 중심에 접속되는 거의 コ형의 프레임부(19b)로 이루어지며, 프레임부(19b)의 선단에 금속판(18)이 배치되게 된다. 즉, 이 고정용 스프링부(19)에서는 스프링부(19a)의 굴곡부의 탄성에 의해 프레임부(19b)와 금속판(18)과 하소 고형 프릿(16)을 유리관의 내벽에 보유하는 힘이 작용하게 된다.
즉, 도 4에 모식적으로 도시한 바와 같이 제1 기판(8)의 주면(8b)의 관통 구멍(14)의 개구부에 접속되는 유리관(15) 내에 상기 하소 고형 프릿(16)을 배치하면, 도 5에 도시한 바와 같이, 스프링부(19a)의 굴곡부의 탄성에 의한 프레임부(19b)의 선단에 배치된 금속판(18)에 보유된 하소 고형 프릿(16)이 유리관(15)의 내벽(15a)을 따라 보유되어 하소 고형 프릿(16)이 유리관(15) 내에 보유되게 된다.
이 하소 고형 프릿(16)은 이하와 같이 하여 제조된다. 즉, 도 6에 도시한 바와 같이, 프릿을 성형한다(ST11). 즉, 프릿 분말에 결합제(binder)를 함유하는 용제를 소량 혼합하여 프릿 분말을 제조하고, 이것을 소정의 형상의 금형 등에 채우고 가압하여 소정 형상으로 가공한다. 다음에, 도 6 중에 도시한 바와 같이 하소(calcine)를 행한다(ST12). 즉, 상기한 바와 같이 성형된 프릿을 예를 들면 390℃×10분의 조건에서 하소하여 하소 고형 프릿을 얻는다. 또한, 도 6 중에 도시한 바와 같이, 보유 부재의 부착을 행한다(ST13). 즉, 미리 형성해 둔 보유 부재(17)의 금속판(18)을 작은 버너 등의 가열 수단에 의해 가열해 두고, 이것을 하소 고형 프릿(16)에 접촉시켜서 접촉 부분을 용융시켜서 접착하고 고형화시켜 보유함으로써 완성한다.
계속해서, 도 1 중에 도시한 바와 같이 플라즈마 셀(2) 내를 진공 배기하는 진공 배기를 행한다(ST4). 즉, 상기 유리관(15)을 통해 도 2 중 화살표 A로 도시한 바와 같이 플라즈마 셀(2)의 방전 채널(12) 내의 배기를 행한다. 단, 도 2 중에서는 하소 고형 프릿의 도시를 생략하는 것으로 한다.
다음에, 도 1 중에 도시한 바와 같이 유리관의 압축을 행한다(ST5). 즉, 도 7에 도시한 바와 같이, 유리관(15)의 보유 부재(17)에 보유된 하소 고형 프릿(16) 보다도 하측의 소정의 위치 즉, 도시하지 않은 관통 구멍의 개구부와 소정의 위치 사이에 하소 고형 프릿(16)이 배치되도록 한 소정의 위치에서 유리관(15)의 외주부를 전열선 등으로 이루어진 히터(20)로 둘러싸서 가열한다. 그렇게 하면, 유리관(15)의 가열된 부분은 연화하여, 유리관(15)이 진공 상태인 것으로부터 외부의 대기에 의해 유리관(15)은 도 7 중에 도시한 바와 같이 지름 방향으로 압축되어 잘록부(21)가 형성되게 된다.
또한, 도 1 중에 도시한 바와 같이 하소 고형 프릿의 이동을 행한다(ST6). 즉, 하소 고형 프릿(16)을 보유하는 보유 부재(17)의 금속판(18)에 대해 고주파 가열을 행하여, 이 금속판(18)의 하소 고형 프릿(16)과의 접속 부분만을 용융시켜서 하소 고형 프릿(16)을 금속판(18)에서 떼어낸다. 그렇게 하면, 도 8 중에 도시한 바와 같이 보유 부재(17)에서 떨어진 하소 고형 프릿(16)은 유리관(15) 내를 낙하하고, 잘록부(21)에 걸려서 여기서 보유된다.
또한, 도 1 중에 도시한 바와 같이 플라즈마 셀(2) 내에 이온화 가능한 가스의 충전을 행하는 가스 도입을 행한다(ST7). 즉, 도 2 중 화살표 B로 나타낸 바와 같이 방전 채널(12) 내에 충전해야 할 이온화 가능한 가스의 충전을 행한다. 다만, 도 2 중에서는 하소 고형 프릿의 도시를 생략하는 것으로 한다.
계속해서, 도 1 중에 도시한 바와 같이 하소 고형 프릿(16)을 용융 고형화시켜서 유리관(15)을 밀봉하는 하소 고형 프릿 용융 고형화·유리관 밀봉을 행한다(ST8). 즉, 도 9에 모식적으로 도시한 바와 같이 유리관(15)의 잘록부(21)의 외주부에 전열선 등으로 이루어진 히터(22)를 배치하여, 이 잘록부(21)를 가열한다. 이 가열은 430℃ ∼ 450℃ 정도에서 2분간 정도 행하면 좋다. 그렇게 하면, 도 9 중에 도시한 바와 같이 잘록부(21)에 걸려서 보유되어 있던 하소 고형 프릿(16)이 용융하여 잘록부(21)를 봉쇄한다. 그리고, 이 상태에서 하소 고형 프릿(16)을 고형화시키면, 유리관(15)의 잘록부(21)가 하소 고형 프릿(16)에 의해 밀봉되게 된다.
그리고, 도 1 중에 도시한 바와 같이 유리관(15)이 불필요한 부분을 절삭하는 불필요한 유리관의 절삭을 행한다(ST9). 즉, 도 10에 도시한 바와 같이 유리관(15)을 잘록부(21)에서 도면 중 X-Y로 도시한 바와 같이 절단한다.
그리고 마지막으로, 도 1 중에 도시한 바와 같이 플라즈마 셀(2)의 유전체 박판(3) 상에 액정층을 통해 제2 기판을 적층하는 제2 기판의 적층을 행한다(ST10). 즉, 도 11에 도시한 바와 같이 대향면이 되는 일 주면(4a)에 제1 기판(8)의 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K)과 거의 직교하는 데이타 전극(5)이 형성된 제2 기판(4)을 액정층(7)을 통해 적층하고, 전기 광학 표시 셀(1)과 플라즈마 셀(2)이 액정층(7)을 통해 적층된 플랫 패널 구조의 화상 표시 장치를 완성한다.
상기 전기 광학 표시 셀(1)은 도 11 및 도 12에 도시한 바와 같이, 제2 기판(4)으로 구성되며, 제2 기판(4)의 내측이 되는 일 주면(4a)에는 투명 도전 재료로 이루어지며 서로 평행한 라인형으로 형성되는 복수의 데이타 전극(5)이 소정의 간격을 두고 소정의 방향으로 병렬로 형성되어 있다. 또, 여기서는 이 형성 방향을 열 방향으로 한다.
한편, 플라즈마 셀(2)에서는 상술한 바와 같이 제1 기판(8)의 내측이 되는 일 주면(8a)에 플라즈마 전극(방전 전극)을 구성하고 서로 평행한 라인형으로 형성되는 복수의 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K)이 교대로 소정의 간격을 두고 소정의 방향으로 병렬로 형성되어 있어 방전 전극군을 구성하고 있다. 또, 여기서는 이 형성 방향을 행 방향으로 한다.
또한, 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K)의 각 상면의 거의 중앙부에는 각각 전극을 따라 연재하도록 한 소정폭의 격벽(10)이 형성되어 있다.
또, 전기 광학 표시 셀(1)의 제2 기판(4)은 스페이서(6)를 통해 유전체 박판(3)에 접합되어 있으며 상기 제2 기판(4)과 유전체 박판(3) 사이에는 전기 광학 재료로서 액정이 충전되어 액정층(7)으로 이루어져 있다. 이 때, 상기 전기 광학 재료로서는 액정 이외의 것을 사용하는 것도 가능하다. 상기 제2 기판(4)과 유전체 박판(3) 사이의 간극의 치수는 예를 들면 4 ∼ 10㎛가 되며 표면 전체에 걸쳐서 거의 균일하게 유지되고 있다.
즉, 플라즈마 셀(2) 상에 전기 광학 재료층인 액정층(7)을 통해 제2 기판(4)이 적층되게 된다.
그 결과, 제1 기판(8)과 유전체 박판(3)의 간극에는 각 격벽(10)으로 분리된 복수의 공간인 방전 채널(12 ; 플라즈마실)이 행 방향으로 병렬로 형성된다. 즉, 방전 채널(12)은 데이타 전극(5)과 직교하도록 형성된다.
따라서, 각 데이타 전극(5)은 열 구동 단위로 됨과 함께 각 방전 채널(12)은 행 구동 단위로 되며, 도 13에 도시한 바와 같이 양자의 교차부가 각각 화소(13)에 대응하고 있다.
이상과 같은 구성의 화상 표시 장치에서 소정의 방전 채널(12)에 대응하는 애노드 전극(9A)과 캐소드 전극(9K)과의 사이에 소정 전압이 인가되면, 그 방전 채널(12) 내에서 봉입된 가스가 이온화되어 플라즈마 방전이 일어나 애노드 전위로 유지된다.
이 상태에서 데이타 전극(5)에 데이타 전압이 인가되면 상기 플라즈마 방전이 발생한 방전 채널(12)에 대응해서 열 방향으로 배치된 복수의 화소(13)에 대응한 액정층(7)에 데이타 전압이 기록된다.
플라즈마 방전이 종료하면 방전 채널(12)은 부유 전위로 되어, 각 화소(13)에 대응한 액정층(7)에 기록된 데이타 전압은 다음 기록 기간(예를 들면 1필드 후 또는 1 프레임 후)까지 유지된다. 이 경우, 방전 채널(12)은 샘플링 스위치로서 기능하고 각 화소(13)의 액정층(7)은 샘플링 캐패시터로서 기능한다.
상기 액정층(7)에 기록된 데이타 전압에 의해 액정이 동작하고 화소 단위로 표시가 행해진다. 따라서, 상술한 바와 같이 플라즈마 방전을 발생시키는 방전 채널(12)을 순차 주사함과 함께 이것에 동기해서 각 데이타 전극(5)에 데이타 전압을 인가함으로써, 액티브 매트릭스 어드레스 방식과 동일하게 액정층(7)이 구동되어 2차원 화상의 표시를 행할 수 있다.
본 예의 화상 표시 장치의 제조 방법에서는 플라즈마 셀(2) 내의 진공 배기 및 가스 충전을 행하기 위한 유리관(15) 내에 보유 부재(17)에 의해 보유된 하소 고형 프릿(16)을 배치하고, 유리관(15)을 통해 플라즈마 셀(2) 내를 진공 배기하고 유리관(15)의 소정의 부분을 지름 방향으로 압축하여 잘록부(21)를 형성하고 이 잘록부(21)와 플라즈마 셀(2)의 제1 기판(8)의 관통 구멍(14)의 개구부 사이에 하소 고형 프릿(16)을 잔존시켜서, 하소 고형 프릿(16)을 보유 부재(17)에서 떼어내 유리관(15)의 잘록부(21)로 이동시켜 유리관(15)을 통해 플라즈마 셀(2) 내에 가스를 충전한 후, 유리관(15)의 잘록부(21)의 하소 고형 프릿(16)을 용융 고형화시켜서 잘록부(21)를 밀봉하도록 하고 있으며 유리관(15)은 실질 상 프릿재에 의해 덮어져 밀봉되게 되며 유리관(15) 자체를 밀봉할 필요가 없어져 플라즈마 셀(2) 내의 가스의 내압이 1기압 전후로 고압화되어도 충분히 대응 가능하다. 또한, 이 제조 방법에 따르면 유리관(15)이 강도를 갖는 한, 플라즈마 셀(2) 내의 가스의 내압을 고압화하는 것이 가능하다. 게다가, 이와 같이 해서 밀봉하면 신뢰성 양호하게 밀봉되어 신뢰성이 양호한 화상 표시 장치가 제조된다. 또, 상기 본 예의 화상 표시 장치의 제조 방법에 따르면, 유리관(15)이 용이하게 밀봉되며 양산성도 양호하여 생산성도 양호하다.
또한, 본 예의 화상 표시 장치의 제조 방법에 따르면 상기한 바와 같이 하소 고형 프릿(16)을 용융 고형화시켜 잘록부(21)를 밀봉한 후에 유리관(15)의 불필요한 부분을 절단하는 경우에도 플라즈마 셀(2) 내부에 영향을 미치게 하는 일이 없어, 신뢰성이 확보되어 신뢰성이 양호한 화상 표시 장치가 제조된다. 또, 하소 프릿(16)을 용융하는 온도는 전열선에 의한 가열로 충분하게 확보할 수 있기 때문에, 일정하며 이에 의한 내부 가스압의 변동은 계산으로도 보정할 수 있다.
상술한 예에서는 하소 고형 프릿을 보유하는 보유 부재로서, 금속판과 고정용 스프링부로 이루어진 보유 부재를 사용하는 예에 대해 기술했지만, 이러한 보유 부재로서는 도 14에 도시한 바와 같이 선단의 돌기부(37a)가 하소 고형 프릿(36) 내에 삽입되는 강자성체 판(38)과 거의 コ형의 고정용 스프링부(39)로 이루어진 보유 부재(37)도 들 수 있다. 이 보유 부재(37)에서는 고정용 스프링부(39)의 일단(39a)측에 강자성체 판(38)이 부착되며 타단(39b)측의 선단부 강자성체 판(38)측을 향해 만곡되어 있다. 즉, 이 고정용 스프링부(39)의 굴곡부의 탄성에 의해 강자성체 판(38)과 타단(39b)을 각각 분리시키는 방향의 힘이 작용하게 된다.
이 하소 고형 프릿(36)을 유리관 내에 배치한 경우에서도 고정용 스프링부(39)의 탄성에 의한 강자성체 판(38)과 타단(39b)을 각각 분리시키는 방향의 힘에 의해 유리관의 내벽면에 강자성체 판(38)과 타단(39b)이 각각 꽉 눌려져 유리관 내에 이들이 보유된다.
또한, 하소 고형 프릿(36)을 유리관의 잘록부로 이동시키기 위해서는 강자성체 판(38)에 전자석 등에 의해 진동을 제공하여 전체의 자체 중량에 의해 도 15에 도시한 바와 같이 보유 부재(37)째 하소 고형 프릿(36)을 유리관(35)의 잘록부(41)로 이동시키도록 하면 좋다.
이러한 보유 부재(37)에 의해 보유되는 하소 고형 프릿(36)을 사용해서 상술한 화상 표시 장치의 제조 방법에 의해 화상 표시 장치를 제조해도 동일한 효과를 얻을 수 있는 것은 물론이다.
게다가, 상술한 예에서는 방전 플라즈마를 이용해서 액정층을 구동하는 화상 표시 장치의 제조 방법에 대해 상술했지만 본 발명이 PDP의 제조에도 적용 가능한 것은 물론이다.
이하에, 본 발명을 PDP의 제조에 적용한 예에 대해 도면을 참조하면서 설명하기로 한다. 우선, 본 발명을 AC형의 PDP의 제조에 적용한 예에 대해 설명하기로 한다.
PDP의 제조 방법은 이미 기술한 방전 플라즈마를 이용해서 액정층을 구동하는 화상 표시 장치의 제조 방법과 거의 동일하다. 크게 다른 점은 제1 기판 및 판재로서 사용되는 부재가 다르다는 것이다.
즉, 도 16 및 도 17에 도시한 바와 같이, AC형의 PDP에서는 제1 기판으로서 대향면이 되는 일 주면(58a)에 서로 평행한 라인형을 이루는 복수의 어드레스 전극(59)이 소정의 간격을 두고 소정의 방향으로 병렬로 형성되어 있는 제1 기판(58)을 사용하고 있다. 또한, 상기 제1 기판(58)에서는 이들과 인접하는 어드레스 전극(59) 사이에 어드레스 전극(59)을 따르도록 한 라인형의 격벽(60)이 형성되어 있으며, 각 어드레스 전극(59)에 따라 격벽(60)에 의해 구획된 공간이 형성되어 있다. 또한, 상기 제1 기판(58)에서는 각 어드레스 전극(59)을 덮도록 형광체(56a, 56b, 56c)가 순차 반복 배치되어 있다. 이들 형광체(56a, 56b, 56c)로서는 예를 들면 적, 녹, 청과 같은 색의 형광체가 사용되고 있다. 그리고, 이 때 상기 제1 기판(58)에서는 어드레스 전극(59)이나 격벽(60)이 형성되지 않은 개소에 관통 구멍(64)이 형성되어 있다.
한편, 판재로서 대향면이 되는 일 주면(54a)에 서로 평행한 라인형을 이루어 투명 도전 재료에 의해 형성되는 복수의 표시 전극(55)이 방전 전극으로서 형성되는 제2 기판(54)을 사용하고 있다. 이 제2 기판(54)에는 상기 표시 전극(55)의 일부에 적층하도록 한 버스 전극(53 ; 단, 도 16에서는 도시를 생략함)도 형성되어 있다. 또한, 이 제2 기판(54) 상의 표시 전극(55) 및 버스 전극(53)을 덮도록 유전체층(61) 및 보호층(62)이 순차 적층 형성되어 있다.
그리고, AC형의 PDP를 제조하기 위해서는 이들 제1 기판(58)과 제2 기판(54)을 일 주면(58a, 54a)이 대향하도록 배치하고 격벽(60)의 선단이 보호막(62)의 표면에 접촉하도록 적층하고, 도 16 중에 도시한 바와 같이 이들 주위를 프릿 밀봉재(51)에 의해 밀봉하여 밀폐 부재(71)로 한다. 상기 밀폐 부재(71)에서는 제1 기판(58)의 각 어드레스 전극(59)에 따라 격벽(60)과 제2 기판(54)의 보호층(62)으로 둘러싼 공간(52)이 형성되게 된다.
다음에, 이미 기술한 제조 방법과 마찬가지로 제1 기판(58)의 관통 구멍(64)의 대향면이 되는 일 주면(58a)과는 반대측의 주면(58b)의 개구부에 프릿재로 이루어진 접착부(72)로 유리관(65)을 접속한다.
계속해서, 이미 기술한 제조 방법과 동일하게 하여 유리관(65) 내에 하소 고형 프릿을 배치한다. 상기 하소 고형 프릿으로서는 이미 기술한 바와 같은 것이 사용된다.
그리고, 이미 기술한 제조 방법과 동일하게 밀폐 부재(71) 내를 유리관(65)을 통해 진공 배기한 후, 유리관(65)의 소정 위치의 압축을 행하고, 하소 고형 프릿의 소정 위치로의 이동을 행하고, 밀폐 부재(71) 내로의 가스의 충전을 행한다.
이 후, 이미 기술한 제조 방법과 동일하게 하여 하소 고형 프릿을 용융 고형화시켜 유리관(65)을 밀봉함과 함께, 유리관(65)의 불필요 부분을 절단하여 도 16에 도시한 바와 같은 AC형 PDP를 완성한다.
상기 AC형 PDP에서는 도 16 및 도 17에 도시한 바와 같이, 제2 기판(54)에 방전 전극이 되는 표시 전극(55)이 서로 평행한 라인형을 이루어 소정의 간격을 두고 소정의 방향으로 병렬로 형성되어 있고, 방전은 인접하는 표시 전극(55) 사이에서 행해지며, 면 방향으로 행해지게 된다. 또, 여기서는 이 형성 방향을 열 방향으로 한다. 그리고, 도 16 및 도 17에 도시한 바와 같이 한 쪽이 제1 기판(58)에는 어드레스 전극(59)이 서로 평행한 라인형을 이루어 소정의 간격을 두고 소정의 방향으로 병렬로 형성되어 있다. 또, 여기서는 이 형성 방향을 행 방향으로 한다.
따라서, 각 표시 전극(55)은 열 구동 단위로 됨과 함께, 각 어드레스 전극(59)은 행 구동 단위로 되며, 도 18에 도시한 바와 같이 양자의 교차부가 각각 화소(57)에 대응하고, 이 화소에 대응한 부분의 공간(52)에 배치된 형광체(26a, 26b, 26c)가 여기하여 화상이 형성되게 된다.
상술한 예에서는 유리관(65)으로서 직선형의 것을 사용한 예에 대해 기술했지만, 유리관으로서는 예를 들면 도 19에 도시한 바와 같은 L자형을 이루는 유리관(75)도 사용 가능하다. 도 19에 도시한 AC형 PDP에서는 먼저 도 16에 도시한 AC형 PDP와 거의 동일한 구성을 갖기 때문에 동일 개소에는 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략하기로 한다. 이와 같이, 유리관(75)을 L자형으로 하면 유리관(75) 부분의 형성에 필요한 두께를 작게 하는 것이 가능해져 PDP 전체의 두께를 얇게 하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명에 의한 화상 표시 장치의 대량 생산 시에는 여러개 내지 수십개의 화상 표시 장치의 유리관을 병렬로 나열하고, 이들을 병렬로 접속한 후, 동시에 진공 배기 공정과 가스 도입 공정을 행하면 제조 효율이 향상되지만, 유리관이 표시 장치로부터 수직으로 돌출한 채로 유리관을 병렬로 접속하므로 표시 장치 본체(기판)의 크기가 방해가 되어 병행으로 나열되는 유리관끼리의 간격이 넓어져 제조 장치도 대형화 되어진다. 그래서, 상술한 바와 같이 유리관(75)을 L자형으로 하면 표시 장치 전체(기판)가 얇아지므로, 유리관을 병렬로 접속하는 경우에서도 표시 장치 본체끼리의 간격을 좁게 할 수 있어 제조 장치도 소형화할 수 있으므로 제조 효율이 향상된다.
이와 같이 유리관(75)을 L자형으로 함으로써 완성된 두께가 얇아진다고 하는 것뿐만 아니라 효율적인 제조와 비용 삭감이 가능해진다. 물론, 유리관의 굴곡 각도는 거의 90도에 한하지 않고, 본 발명을 적용할 수 있는 구조로 되어 있으면, 굴곡 각도가 90도 보다 크거나 작아도 좋고 또한 굴곡 부분이 여러개 되어도 좋다.
또한, 상술한 예에서는 제1 기판으로서 대향면에 어드레스 전극이 서로 거의 평행하게 형성됨과 함께 형광체가 피착되어 이루어진 것을 사용하고, 판재로서 대향면에 복수의 방전 전극이 서로 거의 평행하게 형성되어 이루어진 것을 사용한 예에 대해 기술했지만, 제1 기판으로서 대향면에 복수의 방전 전극이 서로 거의 평행하게 형성되어 이루어진 것을 사용하고 판재로서 대향면에 어드레스 전극이 형성됨과 함께 형광체가 피착되어 이루어진 것을 사용해도 좋다.
또한, 제1 기판으로서 대향면에 형광체가 피착되는 것을 사용하고 판재로서 대향면에 복수의 방전 전극이 서로 거의 평행하게 형성되어 이루어진 것을 사용하고 밀폐 부재 내의 제1 기판과 판재의 사이에 어드레스 전극이 서로 거의 평행하게 형성되도록 해도 좋다.
즉, 도 20 및 도 21에 도시한 바와 같이, 제1 기판으로서 대향면이 되는 일 주면(78a)에 서로 평행한 라인형을 이루는 격벽(80)이 소정의 간극을 두고 소정의 방향으로 병렬로 형성되어 있으며, 이들과 인접하는 격벽(80) 사이에 형성되는 공간 내에 형광체(76a, 76b, 76c)가 순차 반복 배치되어 있는 제1 기판(78)을 사용하고 있다. 이들 형광체(76a, 76b, 76c)로서는 예를 들면 적, 녹, 청과 같은 색의 형광체가 사용되고 있다. 그리고, 상기 인접하는 격벽(80) 간에 형성되는 공간 내에 서로 평행한 라인형을 이루는 복수의 어드레스 전극(79)이 형성되어 있으며, 여기서는 형광체(76a, 76b, 76c) 상에 적층되도록 형성되고 있다. 즉, 이들 어드레스 전극(79)도 소정의 간격을 두고 소정의 방향으로 병렬로 형성되게 된다. 그리고, 이 때, 상기 제1 기판(78)에서는 어드레스 전극(79)이나 격벽(80)이 형성되지 않은 개소에 관통 구멍(74)이 형성되어 있다.
한 쪽의 판재로서는 이미 기술한 AC형의 PDP의 제조에서 사용한 제2 기판(54)을 사용하고 있다. 따라서, 여기서는 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략하는 것으로 한다.
그리고, 이들 제1 기판(78)과 제2 기판(54)을 일 주면(78a, 54a)이 대향하도록 배치되고 격벽(80)의 선단이 보호막(62)의 표면에 접촉하도록 적층하고 도 20 중에 도시한 바와 같이 이들의 주위를 프릿 밀봉재(81)에 의해 밀봉하여 밀폐 부재(91)로 한다. 상기 밀폐 부재(91)에서는 제1 기판(78)의 각 어드레스 전극(79)에 따라 격벽(80)과 제2 기판(54)의 보호층(62)으로 둘러싸인 공간(82)이 형성되게 된다. 또한, 상기 어드레스 전극은 밀폐 부재(91)의 제1 기판(78)과 제2 기판(54) 사이에 형성되는 것이다.
다음에, 이미 기술한 제조 방법과 마찬가지로, 제1 기판(78)의 관통 구멍(74)의 대향면이 되는 일 주면(78a)과는 반대측의 주면(78b)의 개구부에 프릿재로 이루어진 접착부(72)로 유리관(65)을 접속한다.
계속해서, 이미 기술한 제조 방법과 동일하게 하여 유리관(65) 내에 하소 고형 프릿을 배치한다. 상기 하소 고형 프릿으로서는 먼저 도시한 것과 같은 것이 사용된다.
그리고, 이미 기술한 제조 방법과 마찬가지로 밀폐 부재(91) 내를 유리관(65)을 통해 진공 배기한 후, 유리관(65)의 소정의 위치의 압축을 행하고 하소 고형 프릿의 소정의 위치로의 이동을 행하고 밀폐 부재(91) 내로의 가스의 충전을 행한다.
이 후, 이미 기술한 제조 방법과 동일하게 하여 하소 고형 프릿을 용융 고화시켜 유리관(65)을 밀봉함과 함께, 유리관(65)의 불필요 부분을 절단해서 도 20에 도시한 바와 같은 AC형 PDP를 완성한다.
상기 AC형 PDP에서도 이미 기술한 AC형 PDP와 마찬가지로, 각 표시 전극(55)은 열 구동 단위로 함과 동시에, 각 어드레스 전극(79)은 행 구동 단위로 되며 양자의 교차부가 각각 화소에 대응해서 이 화소에 대응한 부분의 공간(82)에 배치된 형광체(76a, 76b, 76c)가 여기서 화상이 형성되게 된다.
상술의 예에서는 유리관(65)으로서 직선형의 것을 사용한 예에 대해 기술했지만, 유리관으로서는 예를 들면 도 22에 도시한 바와 같은 L자형을 이루는 유리관(75)도 사용 가능하다. 상기 도 22에서는 먼저 도 20에 도시한 AC형 PDP와 거의 동일한 구성을 갖기 때문에 동일 개소에는 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략하는 것으로 한다. 이와 같이 유리관(75)을 L 자형으로 하면, 유리관(75) 부분의 형성에 요하는 두께를 작게 하는 것이 가능해지며 PDP 전체의 두께를 얇게 하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명에 의한 화상 표시 장치의 대량 생산 시에는 여러개 내지 수십개의 화상 표시 장치의 유리관을 병행하게 나열해서 이들을 병렬로 접속한 뒤에 동시에 진공 배기 공정과 가스 도입 공정을 행하면, 제조 효율이 향상되지만, 유리관이 표시 장치로부터 수직으로 돌출한채로 유리관을 병렬로 접속하므로 표시 장치 본체(기판)의 크기가 방해가 되어 병행하게 나열된 유리관끼리의 간격이 넓어져 제조 장치도 대형화되게 된다. 그래서, 상술한 바와 같이 유리관(75)을 L자형으로 하면 표시 장치 전체(기판)가 얇아지므로 유리관을 병렬로 접속하는 경우에서도 표시 장치 본체끼리의 간격을 좁게 할 수 있어 제조 장치도 소형화할 수 있으므로 제조 효율이 향상된다.
이와 같이 유리관(75)을 L자형으로 함으로써 완성된 두께가 얇아지는 것 뿐만아니라, 효율적인 제조와 비용 삭감이 가능해진다. 물론, 유리관의 굴곡 각도는 거의 90도에 한하지 않고 본 발명을 적용할 수 있는 구조로 되어 있으면 굴곡 각도가 90도 보다 크거나 작아도 좋고 또한 굴곡 부분이 여러개라도 좋다.
다음에, 본 발명을 DC형의 PDP의 제조에 적용한 예에 대해 설명하기로 한다. 이 DC형의 PDP의 제조 방법은 기술한 AC형의 PDP의 제조 방법과 거의 동일하다. 크게 다른 점은 제1 기판 및 판재로서 사용되는 부재가 다르다는 것이다.
즉, 도 23 및 도 24에 도시한 바와 같이 DC형의 PDP에서는 제1 기판으로서 대향면이 되는 일 주면(98a)에 전극으로서 예를 들면 평면 사각 형태를 이루는 여러개의 표시 양극(99A)이 형성된 제1 기판(98)을 사용하고 있다. 이 표시 양극(99A)은 몇몇개가 소정의 방향으로 소정의 간격을 두고 병렬로 배치되어 있으며, 이들 간이 표시 양극 리드(100A ; 도 23에서는 도시를 생략한다.)에 의해 접속되어 실질적으로 소정의 방향으로 라인형을 이루어 서로 거의 평행하게 형성되는 표시 양극군을 형성하고 있다. 또, 이 표시 양극(99A)과 표시 양극 리드(100A) 사이는 저항(102A)을 통해 접속되어 있어, 방전 전류치를 작게 억제하고 있으므로, 제품 수명의 장기 수명화를 가능하게 하고 있다.
또한, 상기 제1 기판(98)의 일 주면(98a) 상에는 예를 들면 평면 사각 형태를 이루는 복수의 보조 양극(99B)도 형성되어 있으며, 이 보조 양극(99B)도 몇몇개가 소정의 방향으로 소정의 간격을 두고 병렬로 배치되고 있으며, 이들의 사이가 보조 양극 리드(100B)에 의해 접속되어 실질적으로 소정의 방향으로 라인형을 이루어 서로 거의 평행하게 형성되는 보조 양극군을 형성하고 있다. 또, 이 보조 양극(99B)과 보조 양극 리드(100B) 사이는 저항(102B)을 통해 접속되어 있어 방전 전류치를 작게 억제하고 있으므로, 제품 수명의 장기 수명화를 가능하게 하고 있다.
그리고, 예를 들면 이 표시 양극군을 2열 배치하고 이것에 인접하도록 보조 양극군을 1열 배치하고 또한 표시 양극군을 2열 배치하도록 하고 있다.
또한, 상기 제1 기판(98) 상에는 표시 양극(99A) 및 보조 양극(99B)이 형성되는 일 주면(98a)을 덮도록 해서 유전체막(103)이 배치되고 있다. 단, 이 유전체막(103)의 표시 양극(99A) 및 보조 양극(99B)에 대응하는 위치에는 구멍부(104)가 설치되어 있으며, 그 이외의 부분은 절연되게 된다. 또한, 이 유전체막(103)으로서는 형광체 발광을 반사하도록 백색의 것을 사용하고 있다. 그리고, 이 제1 기판(98)의 표시 양극군 및 보조 양극군이 형성되어 있지 않은 개소에 관통 구멍(124)이 형성되어 있다.
한 쪽 판재로서는 도 23 및 도 24에 도시한 바와 같이 대향면이 되는 일 주면(114a)에 기술한 표시 전극군의 형성 방향과 거의 직교하는 방향으로 서로 평행한 라인형을 이루도록 형성되는 복수의 음극(115 ; 도 23 및 도 24에서는 1개만 도시함)이 소정의 간격을 두고 소정의 방향으로 병렬로 형성되어 있는 제2 기판(114)을 사용하고 있다.
이 제2 기판(114)에서는 상기 음극(115)을 덮도록 해서 평면 사각형의 창부(105)를 복수개 갖는 프레임형의 격벽(110)이 형성되어 있다. 이 격벽(110)은 상기 제1 기판(98) 상에 형성되어 있는 표시 양극(99A)에 대응하는 위치에 창부(105)를 갖는 것으로, 표시 양극군의 각 표시 양극(99A)에 대응하는 위치에 창부(105)가 형성되게 된다. 또한, 보조 양극(99B)에 대응하는 위치에는 보조 양극군에 대응하도록 한 홈부(106)가 형성되어 있다. 그리고, 상기 음극(115)은 창부(105)로부터 일부 노출하도록 배치되고 있다.
즉, 제1 기판(98)과 제2 기판(114)을 대향시키면 창부(105)에 대응한 부분에서만 음극(115)과 표시 양극(99A)이 서로 대향하게 되어, 이 부분이 표시 셀(112A)로서 기능한다. 여기서는, 전후 좌우에 인접하는 표시 셀(112A)에 의해 1화소를 형성하는 것으로 하고, 이들 4개의 표시 셀(112A) 내의 격벽(115)의 측면과 표시 양극(99A) 부분을 제외하는 제1 기판(98)측에 형광체(116)를 배치하도록 하고 있다. 상기 형광체(116)는 예를 들면 2개의 표시 셀(112A)에 대응하는 것을 녹색으로 하고, 나머지의 표시 셀(112A)에 대응하는 것을 각각 청색과 적색이라고 하면 좋다.
또한, 홈부(106)에서는 음극(115)과 보조 양극(99B)이 서로 대향하게 되며 이 부분이 보조 셀(112B)로서 기능한다. 즉, 2개의 표시 셀(112A)에 대해 1개의 보조 셀(112B)이 있게 된다. 이 보조 셀(112B)은 상기 보조 셀(112B) 내의 방전으로 발생한 하전 입자나 준안정 입자가 좌우의 표시 셀(112A)로 들어와 방전 개시 전압을 감소시키도록 배치되는 것이다.
그리고, DC형 PDP을 제조하기 위해서는 이들 제1 기판(98)과 제2 기판(114)을 일 주면(98a, 114a)이 대향하도록 배치되고, 격벽(110)의 선단이 유전체막(103)의 표면에 접촉하도록 적층하고, 도 23 중에 도시한 바와 같이 이들의 주위를 프릿 밀봉재(101)에 의해 밀봉하여 밀폐 부재(121)로 한다.
다음에, 이미 기술한 제조 방법과 마찬가지로 제1 기판(98)의 관통 구멍(124)의 대향면이 되는 일 주면(98a)과는 반대측의 주면(98b)의 개구부에 프릿재로 이루어지는 접착부(72)로 유리관(65)을 접속한다.
계속해서, 이미 기술한 제조 방법과 동일하게 하여 유리관(65) 내에 하소 고형 프릿을 배치한다. 상기 하소 고형 프릿으로서는 먼저 도시한 것과 같은 것이 사용된다.
그리고, 이미 기술한 제조 방법과 마찬가지로 밀폐 부재(121) 내를 유리관(65)을 통해 진공 배기한 후, 유리관(65)의 소정의 위치의 압축을 행하고, 하소 고형 프릿의 소정의 위치로의 이동을 행하고 밀폐 부재(121) 내로의 가스 충전을 행한다.
이 후, 이미 기술한 제조 방법과 동일하게 하여 하소 고형 프릿을 용융 고형화시켜 유리관(65)을 밀봉함과 함께, 유리관(65)의 불필요 부분을 절단해서 도 23에 도시한 바와 같은 DC형 PDP을 완성한다.
이 DC형 PDP에서는 표시 셀(112A) 부분에서 형광체(116)가 여기서 화상이 형성되게 된다.
상술한 예에서는 유리관(65)으로서 직선형의 것을 사용한 예에 대해 기술했지만 유리관으로서는, 상술한 바와 같은 L자형을 이루는 유리관도 사용 가능하며 이와 같이 유리관을 L자형으로 하면, 유리관 부분의 형성에 요하는 두께를 작게 하는 것이 가능해지며 PDP 전체의 두께를 얇게 하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명에 의한 화상 표시 장치의 대량 생산 시에는 여러개 내지 수십개의 화상 표시 장치의 유리관을 병행하게 나열하여 이들을 병렬로 접속한 뒤에, 동시에 진공 배기 공정과 가스 도입 공정을 행하면, 제조 효율이 향상되지만 유리관이 표시 장치로부터 수직으로 돌출한채로 유리관을 병렬로 접속하므로 표시 장치 본체(기판)의 크기가 방해가 되어 병행하게 나열된 유리관끼리의 간격이 넓어져 제조 장치도 대형화하게 된다. 그래서, 상술한 바와 같이 유리관(75)을 L자형으로 하면, 표시 장치 전체(기판)가 얇아지므로, 유리관을 병렬로 접속하는 경우에서도 표시 장치 본체끼리의 간격을 좁게 할 수 있어 제조 장치도 소형화할 수 있으므로 제조 효율이 향상된다.
이와 같이 유리관(75)을 L자형으로 함으로써, 완성된 두께가 얇아진다고 하는 것뿐만이 아니라, 효율적인 제조와 비용 삭감이 가능해진다. 물론, 유리관의 굴곡 각도는 거의 90도에 한하지 않고 본 발명을 적용할 수 있는 구조로 되어 있으면 굴곡 각도가 90도 보다 크거나 작아도 또한 굴곡 부분이 여러개라도 좋다.
또한, 기술한 예에서는 제1 기판으로서 대향면에 양극이 되는 복수의 전극이 서로 거의 평행하게 형성된 것을 사용하고, 제2 기판으로서 대향면에 상기 양극이 되는 전극과 거의 직교하여 음극이 되는 전극이 형성됨과 함께, 형광체가 피착된 것을 사용하는 예에 대해 기술했지만, 제1 기판으로서 대향면에 양극이 되는 전극과 거의 직교하여 음극이 되는 전극이 형성됨과 함께 형광체가 피착된 것을 사용하고, 제2 기판으로서 대향면에 양극이 되는 복수의 전극이 서로 거의 평행하게 형성된 것을 사용해도 좋다.
다음에, 본 발명의 효과를 확인하기 위해, 이하와 같은 실험을 행하였다. 즉, 한 쌍의 플로트(float) 병렬로 배열된 판 유리를 소정의 간격을 두고 배치하고, 주위를 프릿재에 의해 밀봉하여 밀폐 부재로 한다. 그리고, 이 밀폐 부재의 한 쌍의 플로트 병렬로 배열된 판 유리 내의 한 쪽에 관통 구멍을 설치해 두며 이 관통 구멍에 유리관을 접속한다. 또한, 이 유리관 내에 하소 고형 프릿을 배치하고 유리관을 통해 진공 배기한 후, 관통 구멍과의 사이에 하소 고형 프릿이 배치되도록 한 위치에서 유리관을 지름 방향으로 압축하여 잘록부를 형성한다. 계속해서, 하소 고형 프릿을 잘록부까지 이동시켜서 하소 고형 프릿을 용융 고형화시켜서 밀폐 부재의 파손, 유리관의 파손 유무의 확인, 밀폐 상태의 확인을 행하였다.
또, 밀폐 부재 내의 가스의 압력은 1kgf/㎠ ∼ 1.2kgf/㎠로 하고, 유리관으로서는 열 팽창 계수가 94×10-7㎝/㎝/℃에서 도 25에 도시한 바와 같이, 도면 중 D1으로 나타낸 외부 지름이 9. 2㎜, 도면 중 D2로 나타낸 안지름이 5.5㎜의 유리관(145)을 사용하였다. 또한, 하소 고형 프릿은 일본 전기 유리사 제품 LS-0206(상품명)을 사용해서 제조하는 것으로 하고, 안지름 5㎜의 금형을 이용해서 5kg/㎠의 압력으로 성형한 후, 390℃ ∼ 400℃에서 10분간 하소성하고 직경 5㎜에서 높이 5㎜ ∼ 6㎜의 원주형인 것으로서 형성하였다. 또한, 도 25에 도시한 바와 같이 유리관(145)의 소정의 위치의 지름 방향의 압축은 도면 중 D3로 나타낸 안지름이 3㎜가 될 때까지 행하여, 잘록부(151)를 형성하는 것으로 하였다. 게다가 또, 하소 고형 프릿의 용융은 430℃ ∼ 450℃에서 2분간 행하는 것으로 하였다.
이와 같이 한 결과, 밀폐 부재의 파손은 발생하고 있지 않고, 유리관의 파손도 발생하지 않으며 밀폐 상태도 양호하였다. 즉, 본 발명에 의해 화상 표시 장치의 제조를 행하면, 밀폐 부재 내의 가스의 압력이 1 기압 전후라도 신뢰성 양호하게 제조가 행해지는 것이 확인되었다.

Claims (7)

  1. 화상 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
    소정의 위치에 관통 구멍을 갖는 제1 기판 상에 소정의 간격을 두고 판재가 배치되고 주위가 밀봉부로 밀봉된 밀폐 부재의 상기 관통 구멍의, 상기 판재와 대향면이 되는 주면과 반대측의 주면의 개구부에 유리관을 접속하는 제1 공정과,
    상기 유리관 내의 관통 구멍과의 접속부 근방에 보유 부재에 의해 보유된 하소 고형 프릿을 배치하는 제2 공정과,
    상기 유리관을 통해 상기 제1 기판과 상기 판재 사이의 간극을 배기하는 제3 공정과,
    상기 유리관의 소정의 부분을 지름 방향으로 압축하여 잘록부를 형성하고 상기 잘록부와 상기 관통 구멍의 개구부 사이에 상기 하소 고형 프릿을 잔존시키는 제4 공정과,
    상기 하소 고형 프릿을 상기 유리관의 잘록부로 이동시키는 제5 공정과,
    상기 유리관을 통해 상기 제1 기판과 상기 판재 사이의 간극에 가스를 충전하는 제6 공정과,
    상기 유리관의 잘록부의 상기 하소 고형 프릿을 용융 고형화시켜서 상기 잘록부를 밀봉하는 제7 공정을 포함하는
    것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하소 고형 프릿의 보유 부재는 상기 하소 고형 프릿 내에 삽입되는 금속판과 상기 금속판을 상기 유리관 내에 보유하는 스프링부로 이루어지며,
    상기 금속판을 고주파 가열함으로써 상기 하소 고형 프릿을 상기 보유 부재에서 떼어내 상기 잘록부로 이동시키는
    것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 하소 고형 프릿의 보유 부재는 상기 하소 고형 프릿 내에 삽입되는 강자성체 판과 상기 강자성체 판을 상기 유리관 내에 보유하는 스프링부로 이루어지며,
    상기 강자성체 판에 전자석에 의해 진동을 제공하여 전체의 자체 중량에 의해 보유 부재 마다 상기 하소 고형 프릿을 상기 잘록부로 이동시키는
    것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판에 방전 전극으로서 복수의 방전 전극이 서로 평행하게 형성되어 있으며, 상기 판재로서 유전체 박판이 배치되며, 상기 밀폐 부재로서 플라즈마 셀을 형성하고,
    상기 제7 공정보다도 후에 상기 플라즈마 셀의 상기 유전체 박판 상에 전기 광학 재료층을 통해 대향면에 상기 플라즈마 셀의 상기 제1 기판의 방전 전극과 직교하는 전극이 형성된 제2 기판을 적층하는 공정을 더 포함하는
    것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판 또는 상기 판재 중 한 쪽은 대향면에 방전 전극으로서 복수의 방전 전극이 서로 평행하게 형성되어 이루어진 것이고,
    나머지 한 쪽은 대향면에 상기 방전 전극과 직교하는 어드레스 전극이 형성됨과 함께 형광체가 피착되어 이루어진
    것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판 또는 상기 판재 중 한 쪽은 대향면에 방전 전극으로서 복수의 방전 전극이 서로 평행하게 형성되어 이루어진 것이고,
    나머지 한 쪽은 대향면에 형광체가 피착되어 이루어진 것이며,
    또한, 상기 밀폐 부재는 상기 제1 기판과 상기 판재 사이에 상기 방전 전극과 직교하는 어드레스 전극이 형성되어 이루어진
    것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판 또는 상기 판재 중 한 쪽은 대향면에 복수의 제1 전극이 서로 평행하게 형성되어 이루어진 것이고,
    나머지 한 쪽은 대향면에 상기 제1 전극과 직교하는 제2 전극이 형성됨과 함께 형광체가 피착되어 이루어진
    것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2019038955A1 (ja) * 2017-08-25 2020-10-15 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 ディスプレイ製造装置および製造方法、ディスプレイ

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3440906B2 (ja) * 2000-01-07 2003-08-25 日本電気株式会社 プラズマディスプレイパネルの製造装置とその製造方法
JP2004014332A (ja) * 2002-06-07 2004-01-15 Pioneer Electronic Corp フラットディスプレイパネルおよびその製造方法
JP2004055480A (ja) * 2002-07-24 2004-02-19 Pioneer Electronic Corp フラットディスプレイパネル
JP2012032433A (ja) * 2010-07-28 2012-02-16 Sony Corp 液体デバイス、および表示装置
RU2638070C2 (ru) * 2011-09-13 2017-12-11 Ферро Корпорейшн Индукционная пайка неорганических подложек
CN113867019B (zh) * 2020-06-30 2024-05-07 成都天马微电子有限公司 液晶移相器以及制作方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4120752Y1 (ko) * 1964-06-13 1966-10-07
GB1428958A (en) 1972-12-08 1976-03-24 Thorn Electrical Ind Ltd Sealing of enclosures
US3914000A (en) 1973-04-16 1975-10-21 Ibm Method of making tubeless gas panel
JPS5118469A (en) * 1974-08-07 1976-02-14 Fujitsu Ltd Gasuhodensoshino seizoho
DE3016240A1 (de) * 1980-04-26 1981-10-29 Linde Ag, 6200 Wiesbaden Verfahren zum behandeln einer waessrigen alkalischen loesung von salzen der anthrachinondisulfonsaeure
US5797780A (en) * 1996-02-23 1998-08-25 Industrial Technology Research Institute Hybrid tubeless sealing process for flat panel displays

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2019038955A1 (ja) * 2017-08-25 2020-10-15 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 ディスプレイ製造装置および製造方法、ディスプレイ

Also Published As

Publication number Publication date
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