WO1997006100A1 - Verfahren zur reinigung von inertgasen mittels sorbenzien - Google Patents

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WO1997006100A1
WO1997006100A1 PCT/DE1996/001416 DE9601416W WO9706100A1 WO 1997006100 A1 WO1997006100 A1 WO 1997006100A1 DE 9601416 W DE9601416 W DE 9601416W WO 9706100 A1 WO9706100 A1 WO 9706100A1
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Grete Bach
Gudrun KÖTTER
Sinaida Tichonova Dimitrieva
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    • C07F5/02—Boron compounds
    • C07F5/027—Organoboranes and organoborohydrides
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    • C07F5/00—Compounds containing elements of Groups 3 or 13 of the Periodic Table
    • C07F5/02—Boron compounds
    • C07F5/04—Esters of boric acids

Definitions

  • the invention relates to a method for cleaning inert gases by means of sorbents, which are capable of contaminating
  • High-purity inert gases such as nitrogen and the noble gases argon, helium, xenon and krypton are used for a wide variety of applications such as as protective gases in the chemical industry, in the
  • the impurities contained in the technical raw inert gases have to be removed, for which purpose mainly adsorption techniques are used.
  • Mainly metals or metal oxides are used to remove traces of oxygen.
  • Adsorbent described for the fine cleaning of nitrogen and noble gases require temperatures of several hundred degrees Celsius and high pressures in use.
  • Copper catalysts described in DE 1 021 829 cleaning compositions containing manganese oxide In both cases, however, the oxygen content cannot be reduced below 1 ppm.
  • DD 205 338 also recommends manganese oxide as an adsorbent for removing traces of oxygen, with particularly highly disperse material being used.
  • oxidic systems Metal content and the use of promoters to develop sufficient effectiveness and are therefore expensive.
  • Another disadvantage of oxidic systems is that during their regeneration, which is carried out either with hydrogen or with carbon monoxide, the sorbent systems are partly converted into the hydrate form and are also contaminated with reduction products.
  • molecular sieves have been used for inert gas purification for a long time (e.g. DE 3 632 995) or molecular sieve cokes (DE 3 433 058), which, however, are specially synthesized for each venin purification and must also be combined with other adsorbents to produce high-purity gases, which is expensive , multi-stage
  • DE 1 419 704 and DE 2 400 492 also use molecular sieves to remove
  • Impurities from inert gases described being a complicated Heat exchange system for cooling the gases to -40 to -140 ° C is coupled with the molecular sieve cleaning, which makes the cleaning process very expensive.
  • Regeneration phase from -150 to +100 ° C, which requires constant temperature changes; the desired cleaning effect of fractions of ppm is often not achieved.
  • the invention is based on the object of a less expensive and effective, technically feasible method for cleaning
  • organometallic coordination complexes containing boron and hthium are used as sorbents.
  • Suitable complex compounds include
  • Li [B (OR) 4 ] lithium tetraalkyl or tetraryl boranes of the general
  • the lithium tetraalkyl or tetraaryl borates and also the lithium alkyl or aryl boranes can be equipped as individual compounds with a defined alkyl or aryl substituent, but mixtures of lithium tetraalkyl or tetraaryl borates with different substituents and / or lithium tetraalkyl or tetraaryl boranes can also be used be used with the same or with different substituents, wherein alkyl substituents can be used with the same effect both in the n-form and in the iso-form. Show lithium borates and lithium boranes with aryl substituents
  • Lithium boron tetra-uoride has also proven to be a very effective sorbent for cleaning impurities from inert gases. It can be used as an individual complex and then shows a particularly high cleaning activity.
  • the lithium borate tetrafluoride can also be added to the lithium borates and / or boranes in any proportion and with any mixture composition and can thus control the adsorption capacity and the adsorption rate.
  • lithium borohydrides In addition to the described sorbent complexes of lithium borates, lithium boranes and lithium borofluorides, which can be used individually and in a mixture, lithium borohydrides also show pronounced sorbent properties, especially with regard to oxygen impurities. However, since the oxygen affinity of lithium boron tetrahydride is extreme and, in contrast to the other sorbents mentioned, there is no reversible chemosorption between sorbent and impurity, but a chemical reaction on the sorbent surface, it is not advisable to use lithium borohydrides in pure form as a sorbent for the purification of inert gases. Small additions of lithium borohydride to other sorbents are very suitable for increasing the
  • Lithium boranes or to lithium boron tetrafluorides increase the
  • Lithium boron tetrahydride concentrations> 3% are no longer advantageous for the cleaning process and should therefore not be used.
  • the operating temperatures should not exceed 10 ° C
  • the sorbents can also be used in a wider temperature range from -150 ° C to +120 ° C
  • All the sorbents mentioned can be easily regenerated by heating them to 250 ° C. If the thermal desorption is carried out in a vacuum at 0.02 - 0.05 Pa, the desorption temperature can be reduced to 150 - 180 ° C. The lithium borate and lithium borane complexes retain their adsorption capacity over 12 - 15 use / regeneration cycles.
  • Li [BF 4 ] has a practically unlimited service life and achieves a high adsorption capacity without any thermal preactivation.
  • Example 1 The invention will be explained below using examples: Example 1:
  • the filtration rate was 500 l / h.
  • the degree of purification of the argon after the individual filter runs was determined by gas chromatography.
  • the amounts of oxygen and ethane sorbed on the filter material were determined gravimetrically or by gas chromatography after desorption at 220-240 ° C. After completing the first
  • the sorbent was then slowly heated to 240 ° C. in order to desorb the impurities that had been taken up. After one hour, the sorbent was again charged with raw argon at room temperature.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung von Inertgasen mittels Sorbenzien, welche in der Lage sind, Verunreinigungen aus technischen Gasen und Gasgemischen zu entfernen. Das Ziel besteht in der Entwicklung eines kostengünstigen und effektiven, technisch realisierbaren Verfahrens zur Reinigung von Inertgasen unter Einsatz von Sorbenten, welche in der Lage sind, Inertgase soweit von Fremdgasen zu reinigen, daß sie für den Einsatz in der Laser- und Kryotechnik geeignet sind. Die Aufgabe wird gelöst, indem man als Sorbenzien metallorganische Koordinationskomplexe einsetzt, welche Lithium und Bor enthalten. Als geeignete Sorbenzien habensich Lithiumtetraalkyl- oder -arylborate und Lithiumtetraalkyl- oder -arylborane, Lithiumtetrafluorid und Lithiumbortetrahydrid erwiesen, welche einzeln oder in Gemischen von beliebiger Zusammensetzung als Sorbenzien eingesetzt werden können. Besonders gute Sorptionseigenschaften zeigen Lithiumborate und Lithiumborane mit Aryl- oder Benzylsubstituenten sowie Gemische aus Lithiumboraten und/oder Lithiumboranen mit Alkyl- u./o. Arylsubstituenten unterschiedlicher C-Zahl. Das Reinigungsverfahren ist in einem breiten Temperaturintervall von -150 bis +120 °C anwendbar.

Description

Verfahren zur Reinigung von Inertgasen mittels Sorbenzien
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung von Inertgasen mittels Sorbenzien, welche in der Lage sind Verunreinigungen von
Sauerstoff, Kohlenwasserstoffen, Halogeniden, Kohlendioxid und Wasserdampf aus technischen Gasen und Gasgemischen zu entfernen.
Hochreine Inertgase wie Stickstoff und die Edelgase Argon, Helium, Xenon und Krypton werden für unterschiedlichste Anwendungsgebiete wie z.B. als Schutzgase in der chemischen Industrie, in der
Glühlampenindustrie und in der Metallurgie, als Trägergas in der
Chromatographie und Spektralanalytik, aber auch zunehmend in der
Elektronikindustrie angewandt. Dafür müssen die in den technischen Roh-Inertgasen enthaltenen Verunreinigungen entfernt werden, wozu hauptsächlich Adsorptionstechniken eingesetzt werden.
Aus DE 3 716 899 ist bekannt, daß zur Herstellung von Helium von hoher Reinheit zunächst höhere Kohlenwasserstoffe mit Aktivkohle abgetrennt werden, danach trennt man Stickstoff und Methan mittels
Molekularsieben ab. Nachteil dieser Reinigungsmethode ist, daß die Technologie mehrere miteinander kombinierte Adsorber und somit eine aufwendige technische Ausführung erfordert. Der Reinigungseffekt von Aktivkohle und auch vieler Molsiebe ist außerdem nur mäßig und gestattet nicht die Restgasgehalte an Verunreinigungen weit unter 1 ppm zu senken, wie das für die Anwendung von Inertgasen im Bereich der Hochtechnologien erforderlich ist.
Für die Entfernung von Sauerstoffspuren werden vorwiegend Metalle oder Metalloxide eingesetzt. So sind beispielsweise in DE 3 926 015
Legierungen von Zirkon, Vanadium, Aluminium und Eisen als
Adsorptionsmittel zur Feinreinigung von Stickstoff und Edelgasen beschrieben. Sie erfordern aber Temperaturen von mehreren hundert Grad Celsius und hohe Drücke in der Anwendung. In DE 869 052 werden Kupferkatalysatoren beschrieben, in DE 1 021 829 manganoxidhaltige Reinigungsmassen. In beiden Fällen kann jedoch der Sauerstoffgehalt nicht unter 1 ppm abgesenkt werden. In DD 205 338 wird ebenfalls Manganoxid als Adsorptionsmittel zur Entfernung von Sauerstoffspuren empfohlen, wobei besonders hochdisperses Material eingesetzt wird.
Dabei wird zwar ein besserer Reinigungseffekt erreicht, für die
Anwendung im Bereich der modernen Hochtechnologien, wie z.B. der Laser- und Kryotechnik, ist die erzielte Reinheit jedoch ebenfalls nicht ausreichend. Auch andere Metalloxide wie Kupferoxid (DE 1 544 007) und Nickeloxid (DE 1 217 348) wurden zur Sorption von
Sauerstoffspuren eingesetzt. Die metallischen Systeme haben aber den großen Nachteil, daß sie nur eine vergleichsweise geringe Menge an Sauerstoff adsorbieren und andere Spurenverunreinigung in den Rohinertgasen mit ihrer Hilfe überhaupt nicht beseitigt werden können. Sie erfordern außerdem den Einsatz von Sorbenten mit hohem
Metallgehalt sowie die Anwendung von Promotoren , um eine ausreichende Wirksamkeit zu entfalten und sind deshalb kostenaufwendig. Ein weiterer Nachteil oxidischer Systeme besteht darin, daß bei ihrer Regeneration, die entweder mit Wasserstoff oder mit Kohlenmonoxid vorgenommen wird, die Sorbenziensysteme zum Teil in die Hydratform umgewandelt und außerdem mit Reduktionsprodukten verunreinigt werden.
Diese klassischen älteren Reinigungsverfahren sind außerdem für die Erzeugung von Inertgasen mit den für moderne Hochtechnologieanwendungen erforderlichen Reinheitsgraden nichtausreichend effektiv.
Deshalb werden schon seit längerem Molsiebe zur Inertgasreinigung eingesetzt (z.B. DE 3 632 995) oder auch Molsiebkokse (DE 3 433 058), welche jedoch für jede Veninreinigung speziell synthetisiert werden und außerdem zur Erzeugung hochreiner Gase mit anderen Adsorbentien kombiniert werden müssen, was eine aufwendige, mehrstufige
Reinigungstechnik erforderlich macht. Auch in DE 1 419 704 und in DE 2 400 492 ist die Verwendung von Molsieben zur Entfernung von
Verunreinigungen aus Inertgasen beschrieben, wobei ein kompliziertes Wärmetauschsystem zur Abkühlung der Gase auf -40 bis -140 °C mit der Molsiebreinigung gekoppelt ist, wodurch das Reinigungs-verfahren sehr teuer wird.
Die dargelegten Beispiele zeigen anschaulich, daß nach dem bekannten Stand der Technik die Reinigung von Inertgasen mit Mehrfach- verunreinigung nach komplizierten Technologien in Anlagen mit meist mehreren Adsorbern mit unterschiedlichen Adsorptionsmitteln erfolgen muß, die bei unterschiedlichem Temperatur- und Druckniveau nach einer komplizierten Technologie betrieben werden müssen.
Dabei reicht der Temperaturbereich zwischen Adsorptions- und
Regenerations-phase von -150 bis +100 °C, was ständige Temperaturänderungen erforderlich macht; häufig wird der angestrebte Reinigungseffekt auf Bruchteile von ppm nicht erreicht .
Der Erfindung hegt die Aufgabe zugrunde, ein kostengünstigeres und effektives, technisch realisierbares Verfahren zur Reinigung von
Inertgasen unter Einsatz von hochwirksamen Sorbenzien zu entwickeln, welches in der Lage ist, in einem breiten Temperaturbereich von -150 °C bis zu Normaltemperaturen hocheffektiv Verunreinigungen von
Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenwasserstoff, Halogeniden, Kohlendioxid und Wasserdampf bis auf Restgehalte zu reinigen, die niedriger sind als bei den bekannte Verfahren, so daß Inertgase von solcher Reinheit erzeugt werden können, wie sie für den Einsatz in der Laser- und Kryotechnik erforderlich ist.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß als Sorbenzien bor- und Hthiumhaltige metallorganische Koordinationskomplexe verwendet werden. Geeignete Komplexverbindungen sind u.a.
Lithiumtetraalkyl- oder -tetraarylborate der allgemeinen Formel
Li[B(OR)4] , Lithiumtetraalkyl- oder -tetrarylborane der allgemeinen
Formel Li[BR4], Lithiumbortetra-fluorid Li[BF4] und
Lithiumbortetrahydrid Li[BH4] sein. Dabei können die Lithiumtetraalkyl- oder -tetraarylborate und auch die Lithiumalkyl- oder arylborane als individuelle Verbindungen mit einem definierten Alkyl- oder Arylsubstituenten ausgestattet sein, es können aber auch Gemische aus Lithiumtetraalkyl- oder -tetraarylboraten mit unterschiedlichen Substituenten und/oder Lithiumtetraalkyl- oder - tetraarylboranen mit denselben oder mit unterschiedlichen Substituenten verwendet werden, wobei Alkylsubstituenten sowohl in der n-Form als auch in der iso-Form mit gleichem Effekt eingesetzt werden können. Lithiumborate und Lithiumborane mit Arylsubstituenten zeigen
überraschend eine höhere Sorptionseffektivität als solche mit normal- und iso- Alkylsubstituenten.
Ebenfalls überraschend wurde gefunden, daß bei Verwendung von Gemischen von Lithiumtetraalkyl- oder -tetraarylboraten und Lithiumtetraalkyl- oder -tetraarylboranen mit Alkyl- und/oder Arylsubstituenten unterschiedlicher C-Zahl ein synergistischer Effekt auftritt. Solche
Gemische zeigen eine weitaus höhere Adsorptionskapazität und eine sehr viel höhere Adsorptionsgeschwindigkeit als die einfachen
Komplexverbindungen mit nur einem definierten Alkyl- oder Arylsubstituenten. Mit den beschriebenen Sorbenzien kann man einen hohen Reinigungseffekt bei Inertgasen erzielen, die Restverunreinigungen nach der Reinigung können ohne Schwierigkeiten auf 10-5 bis 10-7 Gew.-% reduziert werden, was z.B. für ihren Einsatz in der Lasertechnik
Voraussetzung ist, was aber mit klassischen Sorbenzien nur schwer gelingt.
Auch Lithiumbortetraf-uorid hat sich als ein sehr effektives Sorbens für die Reinigung von Inertgasen von Verunreinigungen erwiesen. Es kann als individueller Komplex eingesetzt werden und zeigt dann eine besonders hohe Reinigungsaktivität. Man kann das Lithiumbortetrafluorid aber auch den Lithiumboraten und/oder -boranen in beliebigem Anteil und bei beliebiger Gemischzusammensetzung zugeben und kann damit die Adsorptionskapazität und die Adsorptionsgeschwindigkeit steuern. Bei der Austestung der Sorbenzien auf der Basis von Lithiumboraten und Lithiumboranen wurde auch überraschend gefunden, daß es einen
Zusammenhang zwischen der C-Zahl der Alkylsubstituenten und der Asorptionseigenschaften der Sorbentkomplexe gibt, und zwar nimmt mit sinkender C-Zahl der Alkylkette die Effektivität der Aufnahme von
Verunreinigungen stark zu, mit steigender C-Zahl dagegen ab; die Verwendung von Lithium-Bor-Komplexen mit n-Alkylsubstituenten > C8H17 ist aus diesem Grunde nicht zweckmäßig.
Neben den beschriebenen Sorbentkomplexen aus Lithiumboraten, Lithiumboranen und Lithiumborfluoriden, die einzeln und im Gemisch eingesetzt werden können, zeigen auch Lithiumborhydride ausgeprägte sorbierende Eigenschaften vor allem im Bezug auf Sauerstoffverunreinigungen. Da jedoch die Sauerstoffaffinität von Lithiumbortetrahydrid extrem ist und im Gegensatz zu den anderen genannten Sorbenzien keine reversible Chemosorption zwischen Sorbent und Verunreinigung erfolgt, sondern eine chemische Reaktion an der Sorbentoberfläche, empfiehlt es sich nicht, Lithiumborhydride in reiner Form als Sorbent zur Reinigung von Inertgasen einzusetzen. Geringe Zusätze von Lithiumborhydrid zu anderen Sorbenten sind jedoch sehr geeignet zur Erhöhung der
Sorptionsge-schwindigkeit. Schon sehr geringe Zumischungen von 0,05
Gew.-% Lithiumbortetrahydrid zu Lithiumboraten und/oder
Lithiumboranen oder zu Lithiumbor-tetrafluoriden erhöhen die
Adsorptionsgeschwindigkeit der Sorbenzien beträchtlich.
Eine Erhöhung der Lithiumbortetrahydrid-konzentration im Sorbentkomplex auf 1,5 -3 % wirkt sich weiterhin günstig auf die Verbesserung der
Sorptionseigenschaften aus. Lithiumbortetrahydridkonzentrationen > 3 % sind nicht mehr vorteilhaft für den Reinigungsprozess und sollten folglich nicht verwendet werden. Beim Einsatz von Sorbenzien mit Lithiumbor-tetrahydridzusätzen sollten die Einsatztemperaturen 10 °C nicht über
schreiten, da sich bei höheren Temperaturen der Sorptionsprozess aufgrund der hohen Sorptionsaktivität des Lithiumbortetrahydrids schlecht steuern läßt. Bei Einsatz von Sorbenzien ohne Lithiumbortetrahydridzusätze ist es vorteilhaft die Sorption bei Temperaturen um 50 °C vorzunehmen, weil bei dieser Temperatur eine hohe Sorptionsgeschwindigkeit erreicht wird ohne die Sorptionseffektivität und -Selektivität einzuschränken. Wenn es die Technologie erfordert können die Sorbenzien aber auch in einem breiteren Temperaturintervall von -150 °C bis +120 °C zur
Anwendung kommen, ohne daß ihre Sorptionsfahigkeit und der
Reinigungeffekt eingeschränkt werden.
Es ist zweckmäßig die Sorbenzien vor dem Einsatz zur Gasreinigung einige Zeit unter Vakuum zu halten, was ihre Sorptionskapazität erhöht und ihre Laufzeit verlängert.
Alle genannten Sorbenten lassen sich leicht regenerieren, indem man sie auf 250 °C erhitzt. Führt man die Thermodesorption im Vakuum bei 0,02 - 0,05 Pa aus, läßt sich die Desorptionstemperatur auf 150 - 180 °C absenken. Die Lithiumborat- und Lithiumborankomplexe behalten ihre Adsorptionsfahigkeit über 12 - 15 Nutzungs-/Regenerationszyklen.
Li[BF4] weist eine praktisch unbegrenzte Nutzungsdauer auf und erreicht ohne jegliche thermische Voraktivierung eine hohe Adsorptionsfahigkeit.
Der Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht vor allem in der hohen Sorptionswirkung der eingesetzten Sorbenzien, welche die
Sorptionseigenschaften bisher bekannter Sorbenzien für die Gasreinigung weit übertrifft. Es ist weiterhin vorteilhaft, daß mit dem
erfindungsgemäßen Verfahren durch geeignete Mischung von
verschiedenen Sorbenzien eine gewünschte Sorptionsgeschwindigkeit einstellbar ist und große Reinigungs-tiefen erreicht werden können. Die Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens erlaubt somit die
Herstellung von Inertgasen mit sehr niedrigen Restverunreinigungen von 10-5 bis 10-7 Gew.-%, wie sie für die Anwendung in der Kryo- und Laser-technik erforderlich sind.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand von Beispielen erläutert werden: Beispiel 1:
Auf einen Gasreinigungsfilter wurden 0,0284 g (0,0002 Mole) des Sorbentkomplexes Li[B(OCH3)4] aufgebracht, welcher vorher kurze Zeit im Vakuum gehalten wurde. Danach wurden durch das Filter bei
Zimmertemperatur im Kreislauf 10 m3 Argon geleitet, das mit Sauerstoff
(0,00128 g O2/m3 und mit Ethan (0,0024 g C2H6 /m3) verunreinigt war.
Die Filtrationsgeschwindigkeit betrug 500 l/h. Der Reinigungsgrad des Argons nach den einzelnen Filterdurchläufen wurde gaschromato- graphisch ermittelt. Die auf dem Filtermaterial sorbierten Sauerstoff- und Ethanmengen wurden nach Desorption bei 220 - 240 °C gravimetrisch bzw. gaschromatographisch bestimmt. Nach Abschluß des ersten
Reinigungszyklus, der über einen Zeitraum von 2 h lief, wurden
Sauerstoffrestgehalte von 2,5• 10-5 g O2 / m3 und Ethanrestgehalte von 1,1•10-5 g C2Η6 /m3 im Argon erreicht. Stellt man die Filtrationsgeschwindigkeit auf einen geringeren Gasdurchsatz von 200 l/h ein so erreicht man im ersten Filterdurchgang bereits einen Sauerstoffrestgehalt von 0, 12• 10-7 g O2/m3 und einen Ethanrestgehalt von 0,08• 10-5 g C2H6 /m3.
Danach wurde der Sorbent auf 240 °C langsam aufgeheizt, um die aufgenommenen Verunreinigungen zu desorbieren. Nach einer Stunde wurde der Sorbent erneut mit Rohargon bei Zimmertemperatur beschickt.
Nach Abschluß des zweiten Reinigungszyklus, der ebenfalls über einen
Zeitraum von zwei Stunden lief, wurden Sauerstoffrestgehalte von 2,1• 10-5 g O2/ m3 und Ethanrestgehalte von 1 ,0• 10-5 g C2H6 /m3 im Argon erreicht.
Für die Reinigung von Stickstoff und anderen Inertgasen konnten ähnliche Reinigungsgrade erreicht werden wie für Argon.
Die Ergebnisse von weiteren Reinigungsversuchen, die methodisch analog mit anderen Sorbentkomplexen unternommen wurden, sind als
Beispiele in der Tabelle 1 zusammengefaßt.
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Claims

P a t e n t a n s p r ü c h e
1. Verfahren zur Reinigung von Inertgas unter Einsatz von
Sorbenzien, dadurch gekennzeichnet, daß als Sorbenzien bor- und lithiumhaltige metallorganische Koordinationskomplexe verwendet werden.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als bor-und Hthiumhaltige metallorganische Verbindungen
Lithiumtetraalkyl- oder -tetraarylborate der allgemeinen Formel Li[B(OR)4], Lithiumalkyl- oder -arylborane der allgemeinen Formel Li[BR4] und Lithiumbortetrafluorid Li[BF4] eingesetzt werden.
3. Verfahren gemäß den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Sorbenzien einzeln oder in Kombination miteinander in behebigen Anteilen eingesetzt werden.
4. Verfahren gemäß den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Substituenten R in den Lithiumboraten und
Lithiumboranen Alkylgruppen von Normal- oder Isostruktur oder Arylgruppen verwendet werden.
5. Verfahren gemäß den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die C-Zahl der Alkylsubstituenten 1 bis 8 beträgt.
6. Verfahren gemäß den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lithiumborat- und Lithiumborankomplexe als Gemisch von verschiedenen Lithiumalkyl- und/oder -arylboraten und/oder Lithiumalkyl- und/oder -arylboranen mit beliebigen Alkylsubstituenten und/oder Arylsubstituenten eingesetzt werden.
7. Verfahren gemäß den Ansprüchen 1 - 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Sorption bei max. Temperatur von +50 °C erfolgt.
8. Verfahren gemäß den Ansprüchen 1- 7, dadurch gekennzeichnet, daß den Lithiumborat-, Lithiumboran- und Lithiumbortetrafluorid- Komplexen geringe Mengen Lithiumbortetrahydrid Li[BH4] zugesetzt werden.
9. Verfahren gemäß dem Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lithiumbortetrahydriddotierung 0,05 - 3 Gew.%, vorzugsweise
1 -1 ,5 Gϊfieww. %%, h bpeftTräägott.
10. Verfahren gemäß dem Ansprach 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Sorption bei maximal +10 °C erfolgt.
11. Verfahren gemäß den Ansprüchen 1- 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Sorbenzien vor ihrem Einsatz zur Reinigung von
Inertgasen einige Zeit bei Normaltemperatur unter Vakuum gehalten werden.
12. Verfahren gemäß den Ansprüchen 1-11, dadurch gekennzeichnet, daß die verbrauchten Sorbentien durch Erhitzen auf Temperaturen größer 120 °C, aber nicht über 250 °C regeneriert werden.
PCT/DE1996/001416 1995-08-04 1996-07-30 Verfahren zur reinigung von inertgasen mittels sorbenzien WO1997006100A1 (de)

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