WO1993024285A1

WO1993024285A1 - Small pass machining apparatus

Info

Publication number: WO1993024285A1
Application number: PCT/JP1993/000584
Authority: WO
Inventors: Ryo Nihei; Akihiro Terada; Yasuo Sasaki
Original assignee: Fanuc Ltd
Priority date: 1992-05-22
Filing date: 1993-04-30
Publication date: 1993-12-09
Also published as: EP0598912A1; EP0598912B1; EP0598912A4; DE69308747D1; JPH05318347A; JP2722295B2; US5549018A; DE69308747T2

Description

明細書

小軌跡加工装置

技術分野

本発明は、産業用口ポットの手首に取り付けられて小軌跡加工用ツールの軌跡制御を行う装置に関する。

背景技術

近年、自動車ボディへのオプションホールの加工など, 曲げ加工後の対象物に後行程で小孔加工を施す要望が高まっている。さらに、この小孔加工は、特にロボヅトを用いてのライン内での加工であることが望まれている。

このようなロボヅトによる小孔加工やアーク溶接のゥィ一ビング軌跡加工あるいはマーキング作業などの小軌跡加工では、ツールの軌跡精度が問題となる。しかし、産業用ロボットを用いてこの種の加工を行うには種々の問題がある。例えば、ツールを取り付けるロボットのァーム先端は、通常、惯性が大きく、一方、剛性が低いため、アーム先端を制御してツールを所望の軌跡に沿って移動させるのが困難であること、また、特に多軸、例えば 6軸のロボットでは、移動が移動指令を補間演算することによって与えられるので、補間周期が長いと、小さな軌跡の場合、軌跡の長さに対する補間の間隔は耝くなつて、必要とする軌跡通りの移動を実現することが困難になる。

そこで、従来より、ロボットの手首先端に、駆動制御装 gを備えた小軌跡加工装置を取り付けて、ロボットの手首の運動よりも細かなツール運動を得られるようにして高い軌跡精度を確保することで上記問題を解決している。このような小軌跡加工装置の例を図 7乃至図 1 0 に示す。

図 7 は、ロボヅト 1 のアーム先端にアーク溶接のウイ一ビング軌跡を制御する小軌跡加工装置 3 を取り付けたところを示した図である。この小軌跡加工装置 3 における、ツールを軌跡に沿って移動させるための各軸は、口ボット本体 1 とは独立して、補間演算されて制御される, 図 8 に示す小軌跡加工装置 3 は、ロボット本体 1 の作動とは独立して、移動指令を直交 2軸に関して補間され、ツール（マーカ 2 ) を移動してマーキングを行う制御が行われている。

しかし、このように直交軸を用いた小軌跡加工装置には以下の様な欠点がある。

まず、口ポット本体と小軌跡加工装置を合わせたものが大型化して、周囲との干渉領域が大きくなると共に、ロボット本体 1 への負荷も大きくなつてしまう。また、直交軸を構成する直進軸は潤滑部のシールが難しい。さらに、直交する第一、第二の 2軸をそれぞれ駆動制御する第一、第二のモ一夕のうち、第二のモー夕は第一軸で駆動される可動部に設置される構造であるため、第一軸にかかる負荷が大きくなり、また、ケーブルの取り回しが難しくなる。

図 9 , 1 0 は、ロボット本体の作動と独立して、ツールを円運動させる軸 T l と、軸 T 1 を中心として形成される円の半径方向に移動させる軸 T 2 によって、円軌跡を描くコンパス機構である。勿論、この 2軸 T l， Τ 2 に対する移動指令により、ツールに円以外の軌跡を描かせることもできる。符号 M l は軸 T 1駆動用のサーボモ —夕、同 M 2 は軸 T 2駆動用のサーボ乇一夕である。

しかし、このようなコンパス機構は、一般に次のような欠点を持っている。

軸 T l , T 2 に動力を伝達する最終減速段に、図 9 でギア 4 に示すように、歯車を用いている。そのため、円軌跡以外の形状を描かせるときは、パックラシの影饔が出て、所定の精度が確保できなくなる場合もある。

このバックラヅシを除去しょうとすると、装置が複雑になり大形化、コスト高を招いてしまう。

ギアによる一段の減速のため、減速比が取れず、そのため出力の大きなモータになってしまい、装置の大形化, コスト高、消费電力の増大を招く。また、ギヤビヅチが大きく補間精度の劣化を招いていた。

一方、ギアを多段にして減速比を確保しょうとしても- 重量の増大、装 gの大形化、パックラッシの累積、コストの增加を招いてしまう。

このコンパス機構を小孔加工などのレーザ加工に適用した場合、図のようにツール 2 と光ファイノケーブル 5 の接続部が本体の、解体が容易でない回動機構の中になつてしまい、日常の、光学系の保守作業が困難になってしま。

同様にレーザ加工に適用した場合は、コンパス機構の二重回動する可動部の内側を光学系が通るが、この可動部の潤滑部を完全にシールするのは困難であり、したがつてこの光学系を澗滑部による汚染から保護するのが困難である。

コンパス機構であるため、円軌跡動作により、ツール 2が一回転し、ツール 2へのケーブル 5 が過剰に捩じれてしまうのを防止するため、ツール 2 をベアリング 6 などで支持し、回り止め 7 を設けなければならない。

なお、上記のコンパス機構など、小軌跡加工装置は通常、所定の軌跡を得るために移動量の検出、補間演算およびその結果を実行させる手段などから成る制御手段を備えている。

発明の開示

本発明の目的は、軽量でコンパクト、小軌跡加工を高精度に制御できると共に、ツールの汚染がなく、さらに, ケーブル、ワイヤあるいはホースなどのリード部材が物理的な破損から保護される構造を備えた小軌跡加工装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の小軌跡加工装置は. ベース；ベースに固定された第一及び第二の駆動装置；第一及び第二の駆動装置によりベースに関してそれぞれ固定の位置を中心に同一もしくは平行な面上を回転駆動される第一及び第二の回動アーム；第一及び第二の回動アーム間を 2本の連結リンクを介在させて連結して、回動アームと連結リンク及び連結リンクと連結リンクとを回動可能に連結する節を形成した、中間節を 3つ有する 5 節のリンク構造；リンク構造のリンクまたはその延長上の一所に設けたッ一ル取付のための部材；第一及び第二の回動アームの回動量を検出する検出装置；第一及び第二の回動アームの回動量を、目的とする所定量に制御する制御手段とから構成している。

好ましくは、上記第—及び第二の駆動装置は出力軸籙が互いに平行になるように上記べ一スに取り付けられて, それぞれ第一及び第二の回動アームを出力軸線に対して直交する面に回動する

好ましくは、上記第 —及び第二の駆動装置はそれぞれ第一及び第二の減速機を直結していて、これら第一及び第二の減速機のそれぞれの出力軸に上記第一及び第二のアームの基端が固定されている。

好ましくは、上記の 5節のリンク構造は、上記第一または第二の回動アームのいずれか—方は、そのアーム先端と連結リンクの一端とが連結している節が、その回動アームの回動中心とその連結リンクが別の連結リンクと連結している節とを結ぶ直線に対して、他方の回動ァ一ムの回動中心側か或いは他方の回動アームの回動中心とは反対の側のいずれかに常に位置するよう制御される。好ましくは、一方の連結リンクの一端に固定されるとともに他方の連結リンクの一端との間にはベアリングが介在することによって、これら両連結リンクが連結する節のところで取り付けられている。

好ましくは、ヅールは、リンク構造を構成する連結リンク上の任意位置に、あるいは連結リンクをその両端を規定している二つ節のうちの一方側に延長したところの延長リンク上の任意位置に固定されている。

以上のように、本発明によれば、

2つの駆動装置とリンク構造でツールの軌跡を制御するので、駆動装置側の構造にツール側の構造を入りこませるなどの必要がなく、構造が簡素で正確な制御を行える。また、ツールに対するリード部材が過度に捩じれたりすることがない。さらに、コンパス機構で必要となる回り止めも不要であり、回り止めによる干渉を避けることができる。

減速機を用いることができるため、出力の小さいモー夕で駆動することが可能となっている。また、駆動モー夕からの出力はギアなどを介さず、減速機に直結であるため、ノツクラヅシが小さく、剛性が高い。このため、高精度の小軌跡加工を行える。

市販の小型サ一ボモータを軸の制御に利用できることや減速機も市販のュニットを利用できるので安価に実現できる。

ツールは駆動部の潤滑部などの汚染源と離れているため、ツールがレーザ加工用のものであっても、光学系が汚染される心配がない。また、日常の光学系の保守作業についても光ファイバ一ケーブルや、ツールの脱着が容易な構造をとるこどができる。

さらに、駆動部の全体構造を従来よりもかなり小形に構成できる。

モー夕や減速機などの駆動装置は全て小軌跡加工装置のベースに固定されているため、駆動装置自身が他の駆動装置に対して負荷となることがない。この結果、小軌跡加工装置のリンクなど可動部の慣性を小さくすることができ、制御性が向上する。また、駆動装置自体は移動しないので、これらに対するケーブルなどの取り回しが容易である。

5節リンク構造を内側へ折り畳んだ格好でコンパクトに納めることができる。

部品の兼用化、省スペース化が達成され、小形化と共にコストダウンを図ることができる。

駆動部の潤滑部は 0 リング、オイルシールによる密封構造とすることが簡単でで、潤滑油などの洩れがなく、前記の作用効果に加え、ツールを汚染することがない。

図面の簡単な説明図 1 は、本発明の一実施例にかかる小軌跡加工装置を —部を断面図にして示した正面図、

図 2 は、図 1 の小軌跡加工装置をロボットアーム先端に取り付けた状態の平面図、

図 3 は、図 1 の小軌跡加工装置の機構を概略的に示した機構図、図 4 は、図 3 の小軌跡加工装置を構成する各要素の相互位置関係を説明するための図、

図 5 は、図 3 に示す小軌跡加工装置とは別の実施例の機搆を概略的に示した機構図、

図 6 は、図 3、図 5 に示す小軌跡加工装置とは別の実施例の機構を概略的に示した機構図、

図 7 は、従来の小軌跡加工装置がロボットアーム先端に取付られていることを示した図。

図 8 は、図 7 に示すものとは別の構造の従来の小軌跡加工装置が、ロボットのアーム先端に取付られていることを示した図、

図 9 は、従来の小軌跡加工装置のツール駆動を説明するための機構図、及び、

図 1 0 は、同じく、他の構造による従来の小軌跡加工装置のツール駆動を説明するための機構図である。

発明を実施するための最良の形態図 1 〜 3 は、本発明による小軌跡加工装置 3 の一実施例を示す。この小軌跡加工装置 3 はロボット本体 1 の手首先端に取り付けられる。小軌跡加工装 S 3 は、図 1 に示されるように、ベース 8、第 1 の駆動装置 9、第 2 の駆動装置 1 0、第 1 アーム 1 1、第 2 アーム 1 2、第 1 リンク 1 3、第 2 リンク 1 4 およびツール 2 を備えている。第 1 の駆動装置 9 と第 2 の駆動装置 1 0 はベース 8 にそれぞれの出力軸線 a 1， a 2 を平行に、かつ、構造上で可能な限り近接させて固定されている。第 1 の駆動装 S 9は第 1のサ一ボモ一夕 M 1 と第 1の減速機 D 1で構成され、第 2の駆動装置 1 0は第 2のサ一ボモータ M 2 と第 2の減速機 D 2で構成されている。これら第 1、第 2のサ一ボモ一夕 M l, M 2の出力軸にはそれぞれ第 1、第 2の減速機 D l, D 2の入力軸がそれぞれ接続されている。サーボモ一夕 M l, M 2は図示していないが、第 1アーム 1 1、第 2アーム 1 2の回動量を目的とする所定量とするための制御手段の管理下におかれてい。

第一の減速機 D 1の出力軸 1 5 には、図 2に示すように、第 1アーム 1 1の基部 1 1 aが固定され、第二の減速機 D 2の出力軸 1 6 には第 2アーム 1 2の基部 1 2 a が固定されている。これらアーム 1 1, 1 2は出力軸線 a 1, a 2に対して直交する面で回動されるようになつている。さらに、第 1アーム 1 1の他端 l i bには第 1 リンク 1 3の基部 1 3 aが同じく出力軸線 a l， a 2 に対して直交する面で回動自在に連結され、第 2アーム 1 2の他端 1 2 bには第 2 リンク 1 4の基部 1 4 aが回動自在に連結されている。そして、第 1 リンク 1 3の他端 1 3 b と第 2 リンク 1 4の他端 1 4 bとが回動自在に連結されている。以上の構成によって、ベース 8を含め全体として 5節のリンク構造が形成されている。

このリンク構造を図 3の機構図によって表すと、第 1 の減速機 D 1の出力軸 1 5 と第 1アーム 1 1の基部 1 1 aとの連結点を第 1の節 J 1、第 2の減速機 D 2の出力軸 1 6 と第 2アーム 1 2の基部 1 2 aとの連結点を第 2 の節 J 2、第 1 アーム 1 1の他端 1 1 b と第 1 リンク 1 3の基部 1 3 aとの連結点を第 3の節 J 3、第 2アーム 1 2の他端 1 2 b と第 2 リンク 1 4の基部 1 4 aとの連結点を第 4の節 J 4、および第 1 リンク 1 3の他端 1 3 b と第 2 リンク 1 4の他端 1 4 b との連結点を第 5の節 J 5 となる。

第 3〜第 5の節 J 3〜 J 5は作動中に位置が変動する中間節であり、それぞれラジアルベアリング 1 7 (図 1 参照）を介して軽く、かつ、ガ夕なく回動できるように関連するリンクが結合されている。なお、第 4の中間節 J 4は、節 J 2 と節 J 5を結ぶ線の内側に、すなわち、節 J 1側に、常に位置するように、前記アーム 1 1, 1 2 とリンク 1 3， 1 4の長さ及び動作範囲が設定されている。

ツール 2はレーザ加工用へヅドであって、これにはリ一ド部材としての光ファイバ一ケーブル 1 8が接続されている。ツール 2、第 5の節 J 5 にその部品の一部を中間節側構造の部品に兼用して取り付けられている。

すなわち、ツール 2の器体 1 9は上端で中間節 J 5 において第 2 リンク 1 4の他端 1 4 bにボルト 2 0で固定的に取り付けられている。この取付に際しては、図 1 に示すように、節 J 5 における第 1 リンク 1 3の他端と第 2 リンク 1 4の他端 1 4 bに介在されるラジアルベアリング 1 7の内輪 2 1 を器体 1 9の上端に設けたフランジ 2 2で押さえ付けて固定している。なお、ベアリング 1 7の外輪 2 3 は外部から第 2 リンク 1 3の他端 1 3 b に嵌めこまれて固定されるベアリング押さえ 2 4 によって固定される。

上記の 5節リンク構造に関する諸データを図 4 に示すとおり、節 J 1 と節 J 2 との間隔を L 0, 第 1 アーム 1 1 の長さ（節 J 1 と J 3 との間隔）を L 1, 第 2 アーム 1 2 の長さ（節 J 2 と J 4 との間隔）を L 2，第 1 リンク 1 3 の長さ（節 J 3 と J 5 との間隔）を L 3, 第 2 リンク 1 4 の長さ（節 J 4 と J 5 との間隔）を L 4とする。さらに、節 J 1と節 J 2とを結ぶ直線に対する、第 1 アーム 1 1、第 2アーム 1 2、第 1 リンク 1 3、第 2 リンク 1 4の角度を、それぞれ 01， Θ 2, Θ 3, 04とする（ただし、 0 ≤ θ 1, Θ 2, Θ 3, 04≤ ΤΓ ) 。そこで、これらアーム、リンクは直交する X， Υ平面に存在し、しかも Υ軸を節 J 1 と節 J 2 とを結ぶ線に平行な方向にとり、かつ節 J 1 を X， Y座標の原点にとれば、第 5節 J 5 に取り付けられたツール 2の位置（ x， y ) は次の式で表わせる。

X = L 1 sin θ 1 + L 3 sin θ 3 …（ 1 ) y = - L 1 cos Θ 1 + L 3 cos Θ Z 〜（2) したがって、ツール 2の座標値 x, yは変数 01、 Θ 3 によって決まる。ただし、節 J 1 は固定点であるため角度 01は検出可能であるが、節 J 3は遊動する点であるため角度 03 は直接には検出できない。ところが角度 03 は、以下に示すように、上記角度 01 のほかに、検出できるもう一つの角度 02 (節 J 2が固定点であるため検出できる）とを用いて求めることができる。したがって、図 4 に示すリンク構造を用いて節 J 5 の位茧、すなわちツール 2の位置（ X， y ) を知るには、固定点である節 J 1と節 J 2とを結ぶ線に対する第 1, 第 2のアームの回動角度 01, 02を測定すればよい。

そこで、以下に、 03 = f ( θ 1 , 02 ) であることを説明する。なお、第 1 アーム 1 1、第 2アーム 1 2、第 1 リンク 1 3、第 2 リンク 1 4の長さをそれぞれ、 L 1, L 2, L 3, L 4の既定値とする。

まず、図 4 においては次の 2式が成立する。

L 0 + L 1 cos θ 1 - L 2 cos θ 2 - L 3 cos Θ 3

- L 4 cos Θ = 0 ··· (3)

L 1 sin Θ 1 - L 2 sin Θ 2 + L 3 sin Θ 3

- L 4 sin Θ 4 = 0 …（4) ただし、中間節 J 4は節 J 2 と節 J 5 とを結ぶ線に対して常に節 J 1側に存在するとする。

そこで、 04 関係を左辺に移動して、

L 4 cos Θ 4 = L 0 + L 1 cos θ 1 - L 2 cos θ 2 - L 3 cos Θ Z …（5)

L 4 sin Θ 4 = L 1 sin Θ 1 - L 2 sin Θ 2

+ L 3 sin ^ 3 - ( 6) 次に（5)及び（6)式の左辺、右辺をそれぞれ 2乗して加えると次の式を得る。

cos Θ 3 ( 2 L 1 · L 3 cos β 1 - 2 L 2 · L 3 cos ^ 2+ 2 L 0 · L 3 )

+ sin Θ Z ( - 2 L 1 · L 3 sin Θ 1

+ 2 L 2 · L 3 sin Θ 2 )

= L 0² + L l² + L 2² - L 4² + L 3²

+ 2 L 0 - L I cos Θ 1 - 2 L 0 · L 2 cos ^ 2 - 2 L 1 - L 2 cos( Θ 1 - Θ 2) …（ 7 ) 上記（7)式の左辺における cos θ 3, sin θ 3 の係数および右辺は既知の値または測定可能値で構成されているから、ここで、

定数 A = 2 L 1 · L 3 cos θ 1

- 2 L 2 • L 3 cos θ 2 + 2 L 0 · L 3 、定数 B = - 2 L 1 • L 3 sin β 1

+ 2 L 2 • L 3 sin Θ 2 とおき、さらに

定数 C =右辺

とおくと、次の式が得られる。

θ 3 = cos"¹ [ C （ A ² + B ² ) ^1/2 ]

+ tan"¹ ( B / A ) …（9) 以上のように、回動角度 03 は第 1 アーム 1 1、第 2 アーム 1 2、第 1 リンク 1 3、第 2 リンク 1 4のそれぞれの長さ（既定値）と、この第 1，第 2 アーム 1 1， 1 2のそれぞれの回動角度（測定値）とによって、求めることができる。以上の 5節リンク構造を有する小軌跡加工装置 3は口ボット本体 1 とは独立して作動される。まず、ロボット本体 1 によって加工対象物に対し手首位置が定められ、ついで小軌跡加工装置が駆動される。

制御装置によって第 1 モータ M l、第 2 乇一夕 M 2が駆動されると第 1減速機 D 1、第 2減速機 D 2 を介して第 1 アーム 1 1、第 2アーム 1 2が 01、 02だけ回動される。すると、第 1 アーム 1 1 と第 2アーム 1 2 にそれそれ結合された第 1 リンク 1 3、第 2 リンク 1 4 を介してツール 2の位置が前記の（1)，（2)式による位置（ X , ) に定められる。この作動が連続して行われ、小軌跡加工が行われる。

この際、第 1 アーム 1 1、第 2アーム 1 2は減速機 D 1, D 2 を介して回動されるため、モータの回転角度に対し、減速機における出力軸の回転角度が非常に小さくなるので、小軌跡加工における補間間隔を精密に設定することができる。第 1、第 2のモータ 1 1 , 1 2 は巿販の量産品であり、減速機 1 3, 1 4 も市販の量産品である。また、駆動部に二重回動となる部分がないので、通常の 0 リング、オイルシールにより密封構造を達成することができる。

図 5 は、 5節リンク構造に関する他の実施例を示す図で、中間節 J 4 を第 2節 J 2 と第 5節 J 5 を結ぶ線 L よりも常に節 J 1 と反対の側、すなわち外側になるよう配置した例である。節 J 1 と節 J 2 とを結ぶ鎳に対する第 1 リンク 1 3 の回動角度は、図 4 に関して説明したのと同様にして求めることができる。なお、この図 5 の実施例では、中間節 J 4が外側に張り出るため、この 5節のリンク構造は図 4 に示したものより少し大形になる。

なお、この図 5 に示したリンク構造では、ヅ—ル 2 を，図 3 に示したように、第 1 , 第 2 リンク 1 3 , 1 4の連結点（節 J 5 ) 上ではなく、節 J 5 に連結されているいずれかのリンク（例えば第 1 リンク）を延長したその延長リンク上の任意位置に配置している。こうすれば、ヅール 2 は小軌跡加工装置のベースに対して（すなわち、ロボヅトアーム先端に対して）シフトされた位置範囲で移動されることになる。勿論、図 3 に示したリンク構造においても、ツール 2 を、第 1 リンク 1 3 を節 J 5 と反対の方に節 J 3 を越えて延長したその延長リンクの任意位置に配置することができる。こうした例を図 6 に示す < 以上のように、ツール 2 を取り付ける位置は、中間節 J 5上に限らず、リンクを連結する節を越えた当該リンクの延長部上の任意位置であっても良い。また、ツール 2 を節に取り付ける場合でも、図 3 に示したよな特定の節 J 5 でなければならないことはない。

なお、第 1 節 J 1と第 2節 J 2とを同一軸線上に配して. 第 4 図における L 0 距離を 0 にすると前記の 5節リンク構造は 4節のリンク構造となるが、作動上で格別の差異はなく、本発明の作用効果を発揮することができる。しかし、第 1、第 2の駆動装置 9 , 1 0 を同一軸線上に配置するための構造が複雑になり構造が少し大形になる。以上は、本発明にかかる小軌跡加工装 Sの実施例を口ボットの手首先端に取り付けた場合の例であるが、これに限らず、この小軌跡加工装置を単体として加工に使用することもできる。

Claims

請求の範囲

1 . 下記の構成を含む小軌跡加工装置：

ベース；

上記ベースに固定された第一及び第二の駆動装置、上記第一及び第二の駆動装置によりべ一スに関してそれぞれ固定の位置を中心に同一もしくは平行な面上を回転駆動される第一及び第二の回動アーム；

上記第一及び第二の回動アーム間を 2本の連結リンクを介在させて連結して、回動アームと連結リンク及び連結リンクと連結リンクとを回動可能に連結する節を形成した、中間節を 3つ有する 5節のリンク構造；

上記リンク構造のリンクまたはその延長上の一所に設けたヅール取付のための部材；

上記第一及び第二の回動アームの回動量を検出する検出装置；及び、

上記第一及び第二の回動アームの回動量を目的とする所定量に制御する制御手段。

2 . 上記第一及び第二の駆動装置は出力軸線が互いに平行になるように上記ベースに取り付けられて、それぞれ第一及び第二の回動アームを出力軸線に対して直交する面に回動する、請求の範囲第 1項記載の小軌跡加工装置,

3 . 上記第一及び第二の駆動装置はそれぞれ第一及び第二の減速機を直結していて、これら第一及び第二の減速機のそれぞれの出力軸に上記第一及び第二のアームの基端が固定されている、請求の範囲第 1 項または 2項に記載の小軌跡加工 4置

4 . 上記の 5 節のリンク構造は、上記第一または第二の回動アームのいずれか一方は、そのアーム先端と連結リンクの一端とが連結している節が、その回動アームの回動中心とその連結リンクが別の連結リンクと連結している節とを結ぶ直線に対して、常に他方の回動アームの回動中心側に位置するよう制御される、請求の範囲第 1 項乃至 3項いずれかに記載の小軌跡加工装置。

5 . 上記の 5 節のリンク構造は、上記第一または第二の回動アームのいずれか一方は、そのアーム先端と連結リンクの一端とが連結している節が、その回動アームの回動中心とその連結リンクが別の連結リンクと連結している節とを結ぶ直線に対して、常に他方の回動アームの回動中心とは反対の側に位置するよう制御される、請求の範囲第 1 項乃至 3項いずれかに記載の小軌跡加工装置。

6 . ツールは、一方の連結リンクの一端に固定されるとともに他方の連結リンクの一端との間にはべァリングが介在することによつて、これら両連結リンクが連結する節のところで取り付けられている、請求の範囲第 1項乃至 5項いずれかに記載の小軌跡加工装置。

7 . ツールは、リンク構造を構成する連結リンク上の任意位置に、あるいは連結リンクをその両端を規定している二つ節のうちの一方側に延長したところの延長リンク上の任意位置に固定されている、請求の範囲第 1 項乃至 5項いずれかに記載の小軌跡加工装置。