WO1990004285A1 - Structure of surface acoustic wave transducer having small electrode gaps and method of producing the same - Google Patents

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WO1990004285A1
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acoustic wave
photoresist
surface acoustic
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Kazuhiko Yamanouchi
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Yamanochi Kazuhiko
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    • H03H9/14541—Multilayer finger or busbar electrode

Definitions

  • the present invention relates to a surface acoustic wave converter having a small gap between DT electrode fingers (including a floating electrode, meander line, or reflector strip), or a gear or sop width smaller than the width of the various electrode fingers.
  • the present invention relates to a structure for preventing a short circuit between electrode fingers and a method for manufacturing the same. Background art
  • an interdigital transducer (IDT) electrode is provided on the surface of a piezoelectric substrate, and an alternating electric field is applied to the electrode to excite or propagate a surface acoustic wave (AW) on the surface of the piezoelectric substrate.
  • AW surface acoustic wave
  • the center frequency of the converter is determined by the pitch of the IDT electrode fingers.
  • the center frequency of various devices using IDT has to be increased, so that the pitch between the pole fingers becomes narrower. It is obvious that both the line width and the gap between the electrode fingers are small.
  • the present inventors have proposed a surface acoustic wave converter in which the electrode finger line width is sufficiently large as compared with the gap, particularly in the field of "directional surface acoustic wave filters". (See Japanese Patent Application No. 63-222,800).
  • the present invention solves the defects of the inter-electrode-finger gear and the small surface acoustic wave transducer as described above, prevents short-circuit between the electrode fingers, and is easy to manufacture, and therefore has an elastic surface with a good production yield.
  • An object of the present invention is to provide a structure of a wave transformer and a method of manufacturing the same.
  • a surface acoustic wave converter according to the present invention has electrode fingers ⁇ adjacent to each other via a metal oxide serving as a dielectric, and the metal oxide is elastically formed. This is selectively performed only on the electrode finger side edges during the manufacturing process of the surface acoustic wave converter. Therefore, according to the present invention, a resonator that requires a high resonance frequency or a one-way converter that intentionally expands the electrode finger width, narrows the inter-electrode-finger gear, and narrows the sop to facilitate manufacture is provided. The effect of preventing a short circuit between electrode fingers is remarkable.
  • the manufacturing method according to the present invention when manufacturing these, if the manufacturing method according to the present invention is used, not only can a dielectric partition be formed between the electrode fingers in the process of forming the electrode fingers and the like, but also the IDT electrode fingers can be integrally formed. Most of the cases are connected, so if the anodic oxidation method is used-it is possible to make the required parts dielectric, and the converter according to the present invention can be manufactured simply and inexpensively. I do.
  • FIGS. 1 (a) and 1), (c) and (d), (e) and) and (g) and (h) are plan views showing different embodiments of the surface acoustic wave converter to which the present invention is applied.
  • FIGS. 2 (a) to 2 (g) are process diagrams showing a manufacturing process of the converter shown in FIG. 1, and
  • FIG. 3 is a unidirectional surface acoustic wave converter to which the present invention is applied.
  • FIGS. 4 (a) to 4 (h) are cross-sectional views showing another example, and are process diagrams showing steps of manufacturing the converter shown in FIG.
  • FIG. 1 (a) to 1 (h) are a plan view and a cross-sectional view, respectively, showing the structure of four typical surface acoustic wave devises to which the present invention is applied.
  • (a) and (b) are ordinary surface acoustic wave resonators, and a pair of DTDT electrodes 2, 3 electrode fingers 4, 4,.
  • the reflection strip along the propagation direction of the surface acoustic waves (SAWs) excited by them and the reflection strips 6, 6 and ⁇ are basically no 4 (the wavelength of the excited SAW).
  • SAWs surface acoustic waves
  • a resonator having such an electrode arrangement is required to have a high resonance frequency, so that the line widths of the electrode fingers 4 and 5 and the reflection story and the sink 6 and the gap between them are reduced, so that a short circuit between the electrode fingers is made. Is increased as described above.
  • the surface acoustic wave transducer (resonator in this case) according to the present invention is composed of ⁇ DT2 electrode fingers 4, 4,... And DT2 as shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b). Oxidation or anodic oxidation is performed on half of the side of the reflective strips B6,... To form metal oxides 7, 7,.
  • Figures (c) and (d) show a slightly modified reflector strip configuration to increase the Q of the resonator.
  • a so-called "positive / negative reflection type surface acoustic wave resonator" in which an 8-strand Au strip 9 and a / 8 gear and a gear are provided and arranged alternately.
  • the metal oxide 7 may be used only on the sides of the strips 8, 8,.
  • FIGS. 1 (e) and 1 (f) show an internal reflection type-directional IDT having a floating electrode which has already been disclosed by the inventor of the present invention, wherein IDTs 10 and 11 are asymmetric electrode fingers. 1 2, 1, 2, and 1, 3, 1 4, and floating electrodes 5, 15, * are arranged between them, due to the asymmetry of the electrode finger arrangement as described above. Most of the excited SAW energy propagates in the direction. Therefore, if two such converters are opposed to each other in the direction in which the excited SAW propagates (this is called the forward direction), a SAW filter with little insertion loss and ripple in the pass band can be constructed. If a high center frequency is required for the surface acoustic wave transducer to be applied, the electrode finger line width is reduced.
  • the surface acoustic wave converter according to the present invention (in this case, a unidirectional IDT) is arranged along the outer periphery of each electrode finger of one of the IDTIs as shown in FIGS.
  • the edge is a metal oxide 7 obtained by oxidation or anodic oxidation.
  • 1 (g) and 1 (h) are a plan view and a cross-sectional view, respectively, showing a converter referred to as a group type one-way IDT to which the present invention is applied, wherein a pair of IDTs # 6 and # 7 are shown. sew arranged conductor lines called Mian Darain 1 8, and as configured to ground it, before [pi 3 ⁇ 4- pairs
  • the SAW excited by applying signals with 90 ° out of phase to 1 DT ⁇ 6 and 17 becomes in-phase on the forward side and opposite phase on the backward side. Is what you do.
  • the outer edge of the IDT electrode finger facing the meander line 18 is oxidized or anodized to form a metal oxide 7 to prevent a short circuit between the electrode finger and the meander line. It is assumed that.
  • a metal film 9 is deposited on the entire required surface of the surface of the piezoelectric substrate (a), and the surface is further covered with a photoresist 20 (b), and this is covered with a mask 21 having a slit of a required width. (C), and after development, the exposed surface of the metal film 19 is removed by etching (d). Thereafter, the end of the metal film 19 under the remaining photoresist 20 is removed. After oxidation or anodic acid treatment to form metal oxide 7 (e), a metal film 22 is entirely adhered using the remaining photoresist 20 as a mask (f), and finally the remaining photoresist is deposited. Metal film with 20 attached to its surface
  • A is generally used for the metal films 9 and 22 to be adhered, but other metals may be used. Also, a reflective strip using a dissimilar metal as shown in FIGS. In the case of the configuration, the metal film 22 to be attached later may be made A Li.
  • the anode In the case of oxidizing A6, it is common to treat with sulfuric acid.
  • the anode In order to perform anodic oxidation, as is well known, the anode is oxidized in an acid such as sulfuric acid, for example, to IDT.
  • the cathode may be connected to an insoluble electrode (Pb, Pt, etc.) to energize.
  • FIG. 3 is a diagram showing a cross section of another one-way converter to which the present invention is applied, which is also the same as that of FIGS. 1 (a) and 1 (b) described above, and the conversion proposed by the inventor of the present invention. If the electrode fingers 23, 23, ... are arranged at the same pitch, a -directional converter can be obtained without necessarily using the asymmetry of the IDT electrode finger arrangement. That is.
  • FIGS. 4 (a) to 4 (h) may be used. That is, after depositing and depositing a gold film 19 and a photo resist 20 on the entire required surface of the piezoelectric substrate I, the photo resist 20 is passed through a mask 21 having a required slot and software. Exposure is performed (a), the part is developed and removed (b), and then a material that cannot be etched or is difficult to etch with an etching solution for the metal film 19 from an oblique direction with respect to the surface of the piezoelectric substrate 1 is formed as a thin film 25.
  • the exposed portion of the metal film 19 which was first adhered was removed by etching (d), and the thin film 25 obliquely adhered later was removed by etching (e).
  • the metal film ⁇ 9 slightly protrudes from the end of the age register 20.
  • the exposed portion of the metal film 19 is oxidized or anodized to form the metal oxide 7, and then the metal film 22 is adhered to the entire surface using the remaining photoresist 20 as a mask (g). If the photoresist 20 is removed from the metal film 22 attached to the surface, a one-way surface acoustic wave converter as shown in FIG. 3 can be manufactured relatively easily.
  • the material of the thin film 25 obliquely adhering to the piezoelectric substrate 1 described above is most likely to be Cr if the first metal film 9 adhered is A. Also, it will generally be easier to deposit these metal films by vapor deposition.
  • the angle of the oblique deposition of the residual amount such as Cr described above depends on the height and width of the residual photoresist 20 and the amount of protrusion of the metal film 19 projecting from the end of the residual photoresist 20. It depends, but it is about 10 ° to 80 °.
  • the minute surface acoustic wave converter according to the present invention is configured as described above, a high resonance frequency is required, or the width of the electrode finger is intentionally expanded and the electrode finger is expanded.
  • the inter-gear and sop are narrowed to form a unidirectional converter that is easy to manufacture.]: Has a remarkable effect of preventing a short circuit between the electrode fingers.
  • the manufacturing method according to the present invention is used for manufacturing these, not only it is possible to form a dielectric partition between the electrode fingers in the process of forming the electrode fingers, etc.
  • a structure for preventing a short circuit between electrode fingers and a method of manufacturing the same include a method for manufacturing a small or small gap between IDT electrode fingers (including a floating electrode, meander line, or reflector strip).
  • a short circuit between the electrode fingers can be prevented, and the production can be facilitated to improve the production yield.

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Description

曰月 糸田
電極指間ギヤッブ微小な弾性表面波変換器の構造及びその製造方法
技術分野
本発明は ί D T電極指 （浮き電極、 ミアンダライン或は反射器ス卜リッブ等を含 む） 間ギヤップの小さい或は前記各種電極指幅に比してギヤ、ソプ幅が小さい弾性表面 波変換器において、 電極指間短絡を防止するための構造及びその製造方法に関する。 背景技術
周知の如く、 圧電基板表面にインタディジタル · 卜ランスジュ一サ （ I D T ) 電極 を設け、 当該電極に交番電界を印加することにより前記圧電基板表面に弾性表面波 （ A W ) を励起する、 或は伝播して来た弾性表面波信号を受信しこれを電気信号に変 換する所謂弾性表面波変換器においては、 当該変換器の中心周波数は I D T電極指の ピッチによって決定される。 また、 I D Tを用いる各種デバイスにおいては種々の理 由から電極指線幅と電極指間ギヤップとをほぼ等しく設定するのが -般的であった。 然るに、 各種電子機器の高周波化が進行している昨今においては、 I D Tを用いた 各種デパイスの中心周波数も高くならざるを得ないため、 極指間ピッチが狭くなり 、 これに対応して電極指線幅も電極指間ギャップも小となることは自明である。
従って、 フ才 トリソグラフィの手法を用いて I D T電極を形成する以上、 極めて幅 の狭いスリ 卜を有するフ才 卜マスクを用いる必要があるが、 その製作は極めて困難 であり、 高価なものとなると云う問題があつた。
このような問題を解決する- -手段として本願発明者は電極指線幅をギヤップに比し て充分大とする弾性表面波変換器を殊に" 方向性弾性表面波フィルタ" の分野で提 案している （特願昭 6 3— 2 2 3 8 0号参照） 。
しかしながら、 このような電極指間ギヤ、ソブ微小な I D T電極を用いる弾性表面波 変換器はいずれにせよ電極間短絡がその製造工程において発生し易いため、 製造不能 或は製品歩留りが極めて低いという欠陥があつた。 従って、 本発明は上述した如き電極指間ギヤ、ソプ微小な弾性表面波変換器の有する 欠陥を解決して、 電極指間短絡を防止し、 しかも製造の容易、 従って製造歩留りの良 い弾性表面波変器の構造及びその製造方法を提供することを目的としている。
発明の開示
上述の目的を達成するため、 本発明に係る弾性表面波変換器は、 電極指側緣を誘電 体たる金属酸化物を介して相隣接せしめるものであって、 当該金属酸化物の形成は弾 性表面波変換器の製造工程中で電極指側縁に対してのみ選択的に行うものである。 従って、 本発明によれば高い共振周波数を要求される共振器或は故意に電極指幅を 拡張し電極指間ギヤ、ソプを狭くして製造を容易にした一方向性変換器を構成するヒで 電極指間短絡を防止する効果が著しい。
又、 これらを製造する際、 本発明に係る製造方法を用いれば、 電極指等を形成する 過程で電極指間に誘電体隔壁作り込むことが可能となるのみならず、 I D T電極指は 一体に連結している場合が大部分であるから、 陽極酸化法を用いれば -挙に所要部の 誘電体化が可能であり本発明に係る変換器を簡単安価に製造する hで著しい効果を発 揮する。
図面の簡単な説明
第 1図（a) と ） 、 (c) と（d) 、 (e) と ） 及び（g) と（h) は夫々本発明を適用した 弾性表面波変換器の異なった実施例を示す平面図及び断面図、 第 2図（a) 乃至（g) は 第 1図に示した変換器の製造工程を示す工程図、 第 3図は本発明を適用すべき一方向 性弾性表面波変換器の他の例を示す断面図、 第 4図（a) 乃至（h) は第 3図に示した変 換器を製造する工程を示す工程図である。
発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明を図面に示した実施例に基づいて詳細に説明する。
第 1図（a) 乃至（h) は夫々本発明を適用した典型的な 4種の弾性表面波デパイスの 構成を示す平面図及び断面図である。 本図において（a) 、 (b) は通常一般の弾性表面波共振器であって、 圧電基板 1表面 に一対の〗 DT電極 2、 3の電極指 4、 4 · · ·及び 5、 5 - · .並びにこれらが励 起した弾性表面波 （SAW) の伝搬方向に沿って反射ス卜リップ 6、 6 · ♦ ·をいず れも基本的には ノ 4 (んは励起した SAWの波長） の電極指幅及びギャップを以て 交互に配列したものである。
斯かる電極配列を有する共振器において共振周波数の高いものを要求されれば電極 指 4、 5及び反射ス卜リ、ソプ 6の線幅もこれら相互間のギヤツプも小さくなるから電 極指間短絡の発生する可能性が増大すること前述の通りである。
この問題を解決するため、 本発明に係る弾性表面波変換器 （この場合は共振器） は 第 1図（a) 及び（b) に示す如く 〗 DT2の電極指 4、 4、 · . ·及び反射ストリップ B 6、 · · ·の半数の側沿部に酸化或は陽極酸化を施して金属酸化物 7、 7、 · ♦ • とするものである。
乂、 同図（c) 、 (d) は共振器の Qを高めるため、 反射器ストリ ップの構成を少しく 変更し、 -般に線幅 ノ8の /\£ス卜リップ 8と同じく ぇノ8幅の A uス卜リッブ 9 とをん /8のギヤ、ソブを設けて交互に配列した所謂" 正負反射型弾性表面波共振器" と称するものであるが、 係る形式の反射器については前 ό¾Α ストリップ 8、 8、 · - ·の側緣のみを金属酸化物 7としてもよい。
更に、 第 1図（e) 及び（f) は本願発明者が従前既に開示した浮き電極を有する内部 反射型 -方向性 I DTであって、 I DT 1 0及び 1 1 は互いに非対称な電極指 1 2、 1 2、 · · ·及び 1 3、 1 4を有し、 その間に浮き電極】 5、 1 5、 * · ·を配列し たもので、 上述した如き電極指配列の非対称性に起因して励起した SAWエネルギー の大部分が 方向に伝搬するという性質を有する。 従って、 このような変換器 2個を 互いに励起した SAWの伝搬する方向 （これを順方向と称する） に対向せしめれば、 挿入損失と通過帯域内リップルの少ない SAWフィルタを構成することができる。 掛かる弾性表面波変換器においても高い中心周波数を要求されれば電極指線幅が減 少し、 フォトマスクの製造が困難となることは自明である故、 本願発明者はこれを回 避すべく電極指線幅 Lを大としてその分電極指間ギヤップ Sを減少せしめた、 即ち S / L < 1 , 場合によっては S Z L《】 とした変換器を提案しているが、 このような変 換器は電極指間短絡が生じゃすいこと前述の通りである。
この問題を解決するため、 本発明に係る弾性表面波変換器 （この場合は一方向性 I D T ) は同図（e) (f) に示す如く一方の I D T I 】の各電極指外周に沿った側縁を酸 化或は陽極酸化によって金属酸化物 7としたものである。
第 1図（g) (h) も又同様本発明を適用したグループ型一方向性 I D Tと称する変換 器を示す平面図及び断面図であって、 一組の I D T〗 6及び〗 7の間を縫ってミアン ダライン 1 8と称する導体ラインを配置し、 これを接地する如く構成し、 前 π¾—組の
1 D T〗 6及び 1 7に互いに 9 0 ° 位相の異なった信号を印加することにより励起し た S A Wがその前進側では同相に、 後退側では逆相となるため、 S A Wエネルギーが —方向に伝搬するものである。
これについても上述したのと同様前記ミアンダライン 1 8と対面する -対の I D T 電極指外縁を酸化或は陽極酸化して金属酸化物 7とし、 電極指とミアンダラインとの 間の短絡を防止せんとするものである。
ところで以上述べた如き各種弾性表面波変換器は第 2図（a) 乃至（g) に示す如き方 法により製造することができる。
即ち、 圧電基板〗表面の所要面全面に金属膜〗 9を付着し（a) 、 更にその表面をフ オ トレジスト 2 0で覆い（b) 、 これを所要幅のスリッ トを有するマスク 2 1を介して 露光し（c) 、 現像した後前記金属膜 1 9の表面露出部をエッチングにより除去し（d) 、 然る後に残留フォ卜レジスト 2 0の下の金属膜 1 9側端緣に対し酸化或は陽極酸ィヒ を施し金属酸化物 7とし（e) た後残留フォ卜レジスト 2 0をマスクとして全面的に金 属膜 2 2を付着し（f) 、 最後に残留フォ卜レジス卜 2 0をその表面に付着した金属膜
2 2諸共除去すればよい。 尚、 付着する金属膜〗 9及び 2 2は A が一般的であるが、 他の金属でもよく、 又 、 前述した第〗図（c) (d) に示す如き異種金属を用いる反射型ストリップを構成する 場合には後から付着する金属膜 2 2を A Liとすればよい。
又、 A ·6を酸化する場合には硫酸にて処理するのが一般的であろうし、 陽極酸化を 施すためには周知の如く硫酸の如き酸中で陽極を被酸化物たる例えば I D Tに、 陰極 を不溶性の電極 （P b、 P t等） に接続して通電すればよい。
第 3図は本発明を適用した他の一方向性変換器の断面を示す図であるが、 これも前 述の第 1図（a) 、 (b) ものと同様本願発明者が提案した変換器であって段差を有する 電極指 2 3、 2 3 , · · ·を同 -ピッチにて配列すれば必ずしも I D T電極指配列の 非対称性を利用せずとも -方向性変換器を得ることができるというものである。 而して斯かる変換器を製造する際従来は各段差付電極指のオーバーハングした空洞 に S i 0 2 の如き誘電体 2 4をスパツ夕リングにより充塡する手法を用いていたため 、 S i 0 2 を所望の位置に正確に付着することが困難であり、 殊に電極指間ギャップ を微小なものにした場合には相隣接する電極指間短絡が生じ易いという欠陥があつて ¾用に供するには至っていなかった。
この問題を解決するには第 4図（a) 乃至（h) に示す如き手法を用いればよい。 即ち、 圧電基板 Iの所要面全面に金厲膜 1 9及びフォ 卜レジス卜 2 0を積層付着し た上で所要のスリ、ソ 卜を有するマスク 2 1を介して前記フオ トレジス卜 2 0を露光し (a) 、 該部を現像除去し（b) 、 次に圧電基板 1表面に対して斜め方向から前記金属膜 1 9に対するエッチング液ではエツチング不能或は困難な材質を薄膜 2 5として全面 に付着し（c) 、 前記最初に付着した金属膜 1 9の露出部をエッチングにより除去（d) した上で更に後から斜めに付着した薄膜 2 5をエッチングにより除去（e) して残留フ 才 卜レジス卜 2 0側端より金属膜〗 9が少しく突出した状態とする。
然る後に金属膜 1 9の露出部を酸化或は陽極酸化によって金属酸化物 7とした後残 留フォ トレジスト 2 0をマスクとして金属膜 2 2を全面付着し（g) 、 最後に残留フォ 卜レジス卜 2 0をその表面に付着した金属膜 2 2諸共除去すれば第 3図に示した如き 一方向性弾性表面波変換器を比較的容易に製造することができる。
尚、 前述した圧電基板 1に対し斜めに付着する薄膜 2 5の材質としては最初に付着 する金属膜〗 9が A であれば C rが最適であろう。 又、 これら金属膜の付着は一般 には蒸着により行うのが簡単であろう。
更に、 前述した C rの如き残量の斜め蒸着の角度は残留フォ卜レジス卜 2 0の高さ と幅、 残留フ才卜レジス卜 2 0側端より突出せしめる金属膜 1 9の突出量に依存する が概ね 1 0 ° 乃至 8 0 ° といったところである。
本発明に係る電極指間ギヤツプ微小な弾性表面波変換器は以上説明した如く構成す るものであるから高い共振周波数を要求される¾«器或は故意に電極指幅を拡張し電 極指間ギヤ、ソプを狭くして製造を容易にした一方向性変換器を構成する.]:で電極指間 短絡を防止する効果が著しい。 又、 これらを製造する際本発明に係る製造方法を用い れば、 電極指等を形成する過程で電極指間に誘電体隔壁作り込むことが可能となるの みならず、 I D T電極指は-一体に連結している場合が大部分であるから、 陽極酸化法 を用いれば一挙に所要部の誘電体化が可能であり本発明に係る変換器を簡単安価に製 造する上で著しい効果を発揮する。
産業上の利用可能性
以上のように、 本発明に係る電極指間短絡を防止するための構造及びその製造方法 は、 I D T電極指 （浮き電極、 ミアンダライン或は反射器ストリップ等を含む） 間ギ ャッブの小さい或は前記各種電極指幅に比してギヤツプ幅が小さい弾性表面波変換器 において、 電極指間短絡を防止し、 しかも製造を容易化して製造歩留りを向上するこ とができる。

Claims

言胄求の範囲
(1) インタディジタル · 卜ランスジュ一サ （ I D T ) の相隣接する電極指若しくはこ れらの間に配置する浮き電極、 ミアンダライン又は反射器ストリップ等 （以下、 電極 指と称する） 相互間のギャップが微小である弾性表面波変換器において、 前記相隣接 する電極指の少なくとも一方の側端縁に酸化或は陽極酸化を施して誘電体化すること によって相隣接した電極指相互の短絡を防止するようにしたことを特徴とする電極指 間ギヤ ブ微小な弾性表面波変換器の構造。
(2) 相隣接する I D T電極指の少なくとも一側縁が、 これを付着した圧電基板表面と の問でほぼコ字状空洞を有する弾性表面波変換器において、 il記空洞を金属酸化物に よって充塡したことを特徴とする電極指間ギャ、ソブ微小な弾性表面波変換器の構造。
(3) 前記 I D Tの相隣接する電極指の幅員を L、 これら相互間のギャップを Sとした 場合、 SZ L <〗であることを特徴とする特許請求の範囲（1) 又は（2) 記載の電極指 間ギヤ プ微小な弾性表面波変換器の構造。
(4) (a) 圧電基板上に金属膜を付着し、
(b) 更に]:記金属膜表面にフォ トレジス卜を付着し、
(c) 所要の間隔を設けて前記フォ トレジス トを露光、 現像し、
(d) 残留したフォ 卜レジス卜問に表面が露出した前記金属膜をエッチングにより除 去し、
(e) 前記残留フォ 卜レジストの下に残留した金属膜の側端縁を酸化或は陽極酸化に より誘電体化し、
(f) 前記残留フォ 卜レジス卜表面及び露出した圧電基板表面に金属膜を付着し、
(g) 最後に、 前記残留フォ トレジストをその上に付着した金属膜諸共除去する ことによって相隣接する電極指間ギャップ微小な弾性表面波変換器を製造する 方法。
(5) (a) 圧電基板表面に金属膜を付着し、 (b) 更に、 上記金属膜表面にフォ トレジストを付着し、
(c) 所要の間隔を設けて前記フォトレジス卜を露光、 現像し、
(d) 前記金属膜のェ チング液ではェッチング不能或いは困難な材質の薄膜を前記 圧電基板表面に対し斜め方向から前記残留フォ卜レジス卜表面及び一側面に対 して付着し、
(e) 前記圧電基板表面に付着した金属膜の残留フオトレジス卜膜間露出部をエッチ ングにより除去し、
(f) 更に前記斜め付着した薄膜をェツチングによつて除去することによって前記残 留フォ卜レジス卜の下及び少なくともフォ卜レジストの一側端縁から少しく突 出した金属膜を残留せしめ、
(g) 前記金属膜の露出部を酸化或は陽極酸化によつて誘電体化し、
(h) 前記残留フォ トレジスト表面、 少なくともフォ トレジス卜 側端縁に突出した 前記誘電体部及び露出した圧電基板表面に金属膜を付着し、
( i ) 最後に前記残留フォ卜レジス卜をその表面に付着した金属膜諸共除去する ことによつて電極指の少なくとも一側縁がこれを付着した圧電基板表面との間でほ ぼコ字状空洞を有し、 当該空洞が誘電体にて満たされている電極指間ギヤップ微小な 弾性表面波変換器の製造方法。
(6) 前記圧電基板表面に最初に付着する金属膜と後から付着する金属膜とが異なつた 材贾であることを特徴とする請求項（1) (3) 及び（4) 記載の電極指間ギャップ微小な 弾性表面波変換器の構造及びその製造方法。
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