JPS58154914A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS58154914A JPS58154914A JP3636282A JP3636282A JPS58154914A JP S58154914 A JPS58154914 A JP S58154914A JP 3636282 A JP3636282 A JP 3636282A JP 3636282 A JP3636282 A JP 3636282A JP S58154914 A JPS58154914 A JP S58154914A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- lambda
- electrode width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、弾性表面波装置に関するものである。
第１図に１弾性表面波装置における従来例を示す。第１
図中、１及び２はそれぞれすだれ状電極を示し、又同図
中、６及びＷはそれぞれすだれ状電極幅、すだれ状電極
の開口長を示す。
図中、１及び２はそれぞれすだれ状電極を示し、又同図
中、６及びＷはそれぞれすだれ状電極幅、すだれ状電極
の開口長を示す。
而して、この様な弾性表面波装置に於けるその放射アド
ンツタンスＧａは８がＣ５ｆｏＮ’Ｗと表されることが
知られている（ Ｃ，８，Ｈａｒｔｍａｎｎ ａｔ 、
ａｌ、。
ンツタンスＧａは８がＣ５ｆｏＮ’Ｗと表されることが
知られている（ Ｃ，８，Ｈａｒｔｍａｎｎ ａｔ 、
ａｌ、。
１１１ｍ Ｔｒａｍｓ 、ＭＴ？−２１，４，１６２（
ＨＦ７５））ここで、が、Ｃｍ、ｔｏ、Ｈ，Ｗは、それ
ぞれ、電気機械結倉係数、１対で単位長当りの電気容量
、中心周液数、すだれ状電極対数、すだれ状電極の開口
長である。
ＨＦ７５））ここで、が、Ｃｍ、ｔｏ、Ｈ，Ｗは、それ
ぞれ、電気機械結倉係数、１対で単位長当りの電気容量
、中心周液数、すだれ状電極対数、すだれ状電極の開口
長である。
ところが、弾性表面波装置の中心周波数（ｆＯ）が低ｉ
時を九は、当該装置の振幅周波数特性において、比帯域
幅が大きい場合には、上記放射アドオツタンス（Ｇｏが
小さくなりすぎるため、を極の開口長を大きくせざるを
得なかった。その為、装置全体が大きくなシ、高価なデ
バイスとなるという不具合を有していた。
時を九は、当該装置の振幅周波数特性において、比帯域
幅が大きい場合には、上記放射アドオツタンス（Ｇｏが
小さくなりすぎるため、を極の開口長を大きくせざるを
得なかった。その為、装置全体が大きくなシ、高価なデ
バイスとなるという不具合を有していた。
また、菖１図の従来例では、すだれ状電極の有無によシ
生じる弾性表面波の特性インピーダンスの不連続に起因
する電極内反耐波を抑圧することが出来ないという不具
合もあった。かかる不要反射波を抑圧する手段として良
く知られている方法を、第２図の従来例で示す。
生じる弾性表面波の特性インピーダンスの不連続に起因
する電極内反耐波を抑圧することが出来ないという不具
合もあった。かかる不要反射波を抑圧する手段として良
く知られている方法を、第２図の従来例で示す。
１、 λＯ
同図中すは電極幅を示し、一般に１１．Ｗ−１−８
と選ばれることが多い。ここでλＯは、弾性表面波の波
長を表わし、又ａは前記に同じである。
長を表わし、又ａは前記に同じである。
この第２図に示す従来例によると、電極内反射は、相殺
され良好な周波数特性を得られるが、前述の放射アドミ
ッタンスは、第１図の従来例よりも、さらに小さくなる
という不具合があった。
され良好な周波数特性を得られるが、前述の放射アドミ
ッタンスは、第１図の従来例よりも、さらに小さくなる
という不具合があった。
それ故、電極内反耐波を発生しなくて、かつ放射アドミ
ッタンスを大きく出来るすだれ状電極構造が、渇望され
ていた。
ッタンスを大きく出来るすだれ状電極構造が、渇望され
ていた。
本発明の目的は、前述した従来の不具合を改善した弾性
表面波装置を提供することにある。
表面波装置を提供することにある。
本発明の弾性表面波装置の特徴は、電気信号を弾性表回
波Ｋｉ換する第１のすだれ状電極と当蚊電極により生じ
る弾性表面波を伝帳せしめる物質と、弾性表面波を再び
電気信号に変換する第２のすだれ状電極とを同一圧電性
基板上に形成した構造を有する弾性表面波装置において
上記すだれ状電極の少なくとも一つの電極幅ｊが０．４
９５λ以上０．５λ未満（λ二弾性表面波の波長）であ
ることに存し、この様な電極内反耐波を発生させないで
、かつ、放射アドミッタンスを大きくする。構造のすだ
れ状電極により前記目的を達成したものである。その原
理説明を、以下第５図乃至第７図をもちいて行う。ここ
に第５図は、本発明による電極配備図を第４図はその断
面図及び電極内反耐波の機構を、第５図は、反射波の位
相関係を、又第６．７図は、すだれ状電極幅と反射波レ
ベルとの関係をそれぞ・れ示している。又第５図中、仁
２はそれぞれすだれ状電極を示し５、この実施例では
１′は電気信号を弾性表面波に変換する第１のすだれ状
電極を、又ｉは弾性表面波を再び電気信号に変換・する
第２のすだれ状電極を示している。
波Ｋｉ換する第１のすだれ状電極と当蚊電極により生じ
る弾性表面波を伝帳せしめる物質と、弾性表面波を再び
電気信号に変換する第２のすだれ状電極とを同一圧電性
基板上に形成した構造を有する弾性表面波装置において
上記すだれ状電極の少なくとも一つの電極幅ｊが０．４
９５λ以上０．５λ未満（λ二弾性表面波の波長）であ
ることに存し、この様な電極内反耐波を発生させないで
、かつ、放射アドミッタンスを大きくする。構造のすだ
れ状電極により前記目的を達成したものである。その原
理説明を、以下第５図乃至第７図をもちいて行う。ここ
に第５図は、本発明による電極配備図を第４図はその断
面図及び電極内反耐波の機構を、第５図は、反射波の位
相関係を、又第６．７図は、すだれ状電極幅と反射波レ
ベルとの関係をそれぞ・れ示している。又第５図中、仁
２はそれぞれすだれ状電極を示し５、この実施例では
１′は電気信号を弾性表面波に変換する第１のすだれ状
電極を、又ｉは弾性表面波を再び電気信号に変換・する
第２のすだれ状電極を示している。
而して、４５図乃至第７図は、第１図の従来例の電極幅
番を、だんだん大きくしてゆき、その大きさが、限シな
くλ／２但し、λは電極周期即ち弾性表面波の波長に近
ずくと、弾性表面波の進行方向に対して、上記電極の前
部と後部における反射波のベクトル和は、非常に、小さ
くなり、実効的に反射波が発生しなくなることを表わし
ている。
番を、だんだん大きくしてゆき、その大きさが、限シな
くλ／２但し、λは電極周期即ち弾性表面波の波長に近
ずくと、弾性表面波の進行方向に対して、上記電極の前
部と後部における反射波のベクトル和は、非常に、小さ
くなり、実効的に反射波が発生しなくなることを表わし
ている。
１波長内での電極反射は、＄４図に示すように■〜■反
射波の４種類となる。このうち、■と■の関係と■と■
の関係は、位相が２に異なっているだけで、その他は、
同じなので、以下■と■の関係のみを考慮すればよい。
射波の４種類となる。このうち、■と■の関係と■と■
の関係は、位相が２に異なっているだけで、その他は、
同じなので、以下■と■の関係のみを考慮すればよい。
いま、すだれ状電極の電極幅を、第４図に示す如＜、１
とすると、■の反射波の位相θは、■の反射波を基準に
すると、 ｗｉ ２− “と１・故′・合盛反射波は １＋６”となる。
とすると、■の反射波の位相θは、■の反射波を基準に
すると、 ｗｉ ２− “と１・故′・合盛反射波は １＋６”となる。
第５図に、■の反射波と、■の反射波の位相関係を示す
。同図中Φは反射波間の位相を示す。
。同図中Φは反射波間の位相を示す。
また、第６．７図に、電極幅１を変化させた時の上記合
成反射波レベルを表わす。これら邑より萌らかなように
、電極幅がλ／４の時に、番犬反射波レベルを示し、０
およびλ／２ Ｋ近ずくにつれ、反射波レベルは小さく
なる。
成反射波レベルを表わす。これら邑より萌らかなように
、電極幅がλ／４の時に、番犬反射波レベルを示し、０
およびλ／２ Ｋ近ずくにつれ、反射波レベルは小さく
なる。
電極幅０．１５＾以下および０，４９５λから０，５λ
の間で、反射波レベルが、 −５ＱａＢとなる。
の間で、反射波レベルが、 −５ＱａＢとなる。
ζこでは、放射コンダクタンスを大きくする目的から、
Ｃ６（電気容量）は大きい方が喪いので、上記範囲のう
ち、後者を採用するのが適゛尚である。
Ｃ６（電気容量）は大きい方が喪いので、上記範囲のう
ち、後者を採用するのが適゛尚である。
即ち、電ｉｉｓを、充分λ／２に近づけることによシ、
放射コンダクタンスを大きくすることが出来るとともに
１電極内反射をも発生させようにすることが、可能とな
った。
放射コンダクタンスを大きくすることが出来るとともに
１電極内反射をも発生させようにすることが、可能とな
った。
次に１本発明の実施例として、ビデオ周波数。
帯で使用する弾性表面波装置について説明するら圧電性
基板としては、厚さ方向に分極処理をし九ｐｚテ系圧電
磁器を用い友。試料形状は、長さＳＯＳ、幅１０−１厚
さ０．１−とした。上記形状の圧電性基板上に、すだれ
状電極の電極周期９７８ Ｊａｎ。
基板としては、厚さ方向に分極処理をし九ｐｚテ系圧電
磁器を用い友。試料形状は、長さＳＯＳ、幅１０−１厚
さ０．１−とした。上記形状の圧電性基板上に、すだれ
状電極の電極周期９７８ Ｊａｎ。
電極開口長°５周期の電極を２組形成した。また。
電極幅は、４８４μ墓とし、電極間スペースは、４ ＋
＋ ９−〇μｍとした。また上記電極はすだれ状電極に
よシ生じる弾性表面波を伝帳せしめる物質として１．（
１μｍのアルミニウム蒸着膜を、フォトリングラフィ技
術によ如形成した。その結果、零次対称ツム波のみが、
きわめて効率よく励起され、出力電圧の周波数特性は５
．５８ＭＨｓのフィルタ特性をしめした。
＋ ９−〇μｍとした。また上記電極はすだれ状電極に
よシ生じる弾性表面波を伝帳せしめる物質として１．（
１μｍのアルミニウム蒸着膜を、フォトリングラフィ技
術によ如形成した。その結果、零次対称ツム波のみが、
きわめて効率よく励起され、出力電圧の周波数特性は５
．５８ＭＨｓのフィルタ特性をしめした。
また、他の実施例としては、レーレ波で本発明を用いて
も良いことは、明らかである。
も良いことは、明らかである。
本発明の弾性表面波装置によれば、放射アドミッタンス
が、従来装置と比べ、約２倍とな夛そのため、デバイス
の入出力インピーダンスの低下を生じ、工Ｃ１ディスク
リートトランジスタ等の周辺デバイスとの整合性が良く
なり九、ｔた、放射アドミッタンスを一定とする場合に
は本発明の装置を用いることで、圧電性基板の縦方向寸
法が約半分となる為デバイスの価格面での効果は、非常
に大きい。
が、従来装置と比べ、約２倍とな夛そのため、デバイス
の入出力インピーダンスの低下を生じ、工Ｃ１ディスク
リートトランジスタ等の周辺デバイスとの整合性が良く
なり九、ｔた、放射アドミッタンスを一定とする場合に
は本発明の装置を用いることで、圧電性基板の縦方向寸
法が約半分となる為デバイスの価格面での効果は、非常
に大きい。
その上、電極内反射を、充分抑圧されてお〉曳好な周波
数特性をも得られる。
数特性をも得られる。
第１図及び第２図は、従来の弾性表面波装置の要部平面
図、第５図は本発明弾性表面波装置の要部平面図、第４
図は、本発明弾性表面波装置の断面図、第５図は、反射
波の位相関係を示すグラフ、第６図及び第７図は、電極
幅と反射波レベルとの関係を示すグラフである。 １．２．１．２・・・すだれ状電極 ！・・・電極幅 λ・・・弾性表面波の波長 ！′ Ｊ 図 才 ＋ 図 才 Ｓ 図 才 ６ 図 ｔ 独Ｖ蟲 （１７入） 才 ７ 図
図、第５図は本発明弾性表面波装置の要部平面図、第４
図は、本発明弾性表面波装置の断面図、第５図は、反射
波の位相関係を示すグラフ、第６図及び第７図は、電極
幅と反射波レベルとの関係を示すグラフである。 １．２．１．２・・・すだれ状電極 ！・・・電極幅 λ・・・弾性表面波の波長 ！′ Ｊ 図 才 ＋ 図 才 Ｓ 図 才 ６ 図 ｔ 独Ｖ蟲 （１７入） 才 ７ 図
Claims (1)
- 電気信号を弾性表面波に変換する第１のすだれ状電極と
、当該電極によシ生じる弾性表面波を伝帳せしめる物質
と、弾性表面波を再び電気信号に変換する第２のすだれ
状電極とを同一圧電性基板上に形成した構造を有する弾
性表面波装置において、上記すだれ状電極の少なくとも
一つの電極幅ｌが０．４９５λ以上０．５λ未満（ここ
で、λは弾性表面波の波長）であることを４！敵とする
弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3636282A JPS58154914A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3636282A JPS58154914A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58154914A true JPS58154914A (ja) | 1983-09-14 |
Family
ID=12467717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3636282A Pending JPS58154914A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58154914A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6077509A (ja) * | 1983-10-05 | 1985-05-02 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
| JPH03219716A (ja) * | 1988-10-16 | 1991-09-27 | Kazuhiko Yamanouchi | 電極指間ギャップ微小な弾性表面波変換器の構造及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5435759A (en) * | 1977-08-25 | 1979-03-16 | Fujitsu Ltd | Measuring method of numerical aperture of optical fibers |
-
1982
- 1982-03-10 JP JP3636282A patent/JPS58154914A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5435759A (en) * | 1977-08-25 | 1979-03-16 | Fujitsu Ltd | Measuring method of numerical aperture of optical fibers |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6077509A (ja) * | 1983-10-05 | 1985-05-02 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
| JPH03219716A (ja) * | 1988-10-16 | 1991-09-27 | Kazuhiko Yamanouchi | 電極指間ギャップ微小な弾性表面波変換器の構造及びその製造方法 |
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