JP2596534B2 - 表面弾性波素子 - Google Patents

表面弾性波素子

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JP2596534B2
JP2596534B2 JP59004812A JP481284A JP2596534B2 JP 2596534 B2 JP2596534 B2 JP 2596534B2 JP 59004812 A JP59004812 A JP 59004812A JP 481284 A JP481284 A JP 481284A JP 2596534 B2 JP2596534 B2 JP 2596534B2
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acoustic wave
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surface acoustic
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は表面弾性波素子に関するもので、特に高出力
用の素子に好適な電極を有する表面弾性波素子に関する
ものである。
〔発明の背景〕
表面弾性波素子の電極の劣化を抑制するためにアルミ
ニウムの中に数％の銅を添加するのが有効であることが
知られている。この方法で、純アルミニウム電極に比べ
約10倍の出力が可能なことが報告されている。しかしな
がら出力レベルはまだ不十分である。また劣化の最終段
階では電極間に放電が起き素子が破壊されるが、この原
因は明確でなかった。
〔発明の目的〕
本発明は表面弾性波素子の電極間の放電を抑制して、
破壊に至るまでの寿命を引き伸ばすことにより、素子を
高出力に耐えるようにすることを目的としてなされたも
のである。
〔発明の概要〕
素子を動作させると電極上に、穴と突起が形成される
ことは周知であるが、それ以外に相対する電極に向って
電極間に突起が形成され、これが破壊につながる放電を
誘起することが、劣化過程の詳細な観察により明らかに
なった。本発明は、電極としてアルミニウムもしくはア
ルミニウム合金を含む膜の少なくとも側面をタングステ
ン膜で覆った電極を用いることにより、このような電極
側方への突起発生を抑制し、それにより、電極の劣化を
防止して、電極の寿命を長くするものである。なお、タ
ングステン膜は電極間で連続していない。これは、電極
間に短絡を生じさせないためである。
〔発明の実施例〕
第１図に示したように、LiTaO3基板２上に約1000Å厚
のアルミニウム膜または銅を２％添加したアルミニウム
膜を形成した後、このアルミニウム膜の不要部分を、通
常のフォトエッチング法によって除去して、アルミニウ
ム電極１を形成し、中心周波数610MHzの表面弾性波フイ
ルターを作製した。これは従来の構造と同じである。そ
の後、表面被覆のために、選択化学気相成長法により電
極１の表面上だけにタングステン層４を被着したもの
（第２図）を作製した。タングステン層４の厚さは約20
0Åであり、電極１の側面上にも一様に形成されてい
る。このタングステン層４を被着した試料は被着後、熱
処理（400℃×１時間、水素雰囲気中）したものおよび
この熱処理を行なわないものとを作製した。熱処理した
ものでは、第３図に示したように、タングステンとアル
ミニウムとの化合物層５が形成されていた。
このようにして準備した素子を各々５ケずつ室温で6W
入力条件において寿命を測定した。得られた結果を第１
表に示す。タングステン層３を表面に被着したもので
は、損失も増加したが、平均寿命が４〜５倍に伸びた。
これを熱処理すると、平均寿命の延びと損失の増加とい
う傾向が更に著しくなった。
第１表から明らかなように、アルミニウム電極の表面
を、Ｗ膜によって覆った場合の平均寿命の延びは顕著で
あるのに対し、損失の増加は少なく、十分許容し得る範
囲内である。
このような効果は、アルミニウムやアルミニウム・銅合
金からなる電極の表面に設けたタングステン層が電極表
面での原子移動を抑制し、また電極表面からの原子の盛
り上がりを押え込んで、突起などの発生を防止したため
に得られたものと思われる。
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したように、本発明によれば、表面弾
性波素子の高出力化、長寿命化を容易に達成することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の表面弾性波素子の配線部の構造を示す断
面図、第２図乃至第３図はそれぞれ本発明の実施例を示
す断面図である。 １……アルミニウムまたはアルミニウム・銅合金層、２
……LiTaO3基板、４……タングステン層、５……Al−Ｗ
化合物層。
フロントページの続き (72)発明者 小嶋 弘臣 国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式 会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭57−115011（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−58341（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−27758（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−169623（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−158527（ＪＰ，Ｕ)

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板と、当該基板上に形成された所定の形
    状を有する第１の電極および第２の電極を具備する表面
    弾性波素子において、上記第１の電極および第２の電極
    は、アルミニウム若しくはアルミニウム合金を含む膜
    と、当該膜の少なくとも側面上に形成されたタングステ
    ン膜を有し、当該タングステン膜は、上記第１の電極と
    第２の電極の間で連続していないことを特徴とする表面
    弾性波素子。
  2. 【請求項２】上記アルミニウム若しくはアルミニウム合
    金を含む膜と上記タングステン膜の間には、アルミニウ
    ムとタングステンの合金層が介在していることを特徴と
    する特許請求の範囲第１項記載の表面弾性波素子。
  3. 【請求項３】上記基板はLiTaO3基板であることを特徴と
    する特許請求の範囲第１項若しくは第２項記載の表面弾
    性波素子。
  4. 【請求項４】上記表面弾性波素子は表面弾性波フイルタ
    ーであることを特徴とする特許請求の範囲第１項から第
    ３項のいずれか一に記載の表面弾性波素子。
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