WO1989012921A1 - Laser oscillator - Google Patents

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WO1989012921A1
WO1989012921A1 PCT/JP1989/000527 JP8900527W WO8912921A1 WO 1989012921 A1 WO1989012921 A1 WO 1989012921A1 JP 8900527 W JP8900527 W JP 8900527W WO 8912921 A1 WO8912921 A1 WO 8912921A1
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laser
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blower
turbo
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PCT/JP1989/000527
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Inventor
Norio Karube
Tsutomu Funakubo
Original Assignee
Fanuc Ltd
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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube

Definitions

  • the present invention relates to a high-power laser such as a processing CO 2 laser, and more particularly to an improvement in a turbo blower used for a C ⁇ ⁇ 2 laser.
  • Circulating in the yard The purpose is to cool the laser gas.
  • the laser oscillation gain is proportional to the temperature of the absolute temperature (3Z2).
  • Roots Pro II is a low-speed rotating positive displacement blower.
  • the pulsating air flow also affected the laser output.
  • the present invention has been made in view of such a point.
  • a laser oscillation device including a discharge tube that excites laser by gas discharge, an optical resonator that causes laser oscillation, a gas circulator that forcibly cools the laser gas by a blower, and a cooler
  • the blower is in the laser gas.
  • the turbo wing drive motor is constituted by a rotating turbine blade, and the stator of the turbo wing drive motor is brought into thermal contact with a water-cooled or air-cooled object.
  • a laser oscillation device characterized in that the laser oscillation device is cooled by contact with the gas flowing between the stator and the stator.
  • blower Since the blower is a turbo-bob, the shape and weight are reduced and there is no pulsating flow of the blower.
  • the stator of the turbo wing drive motor is cooled by thermal contact
  • the laser gas is guided between the rotor and the stator to cool the rotor
  • the rotor is cooled by the flow of the laser gas to limit the heat generated by the motor.
  • FIG. 1 is an overall configuration diagram of one embodiment of a laser oscillation device of the present invention
  • FIG. 2 is a structural diagram of a turbo blower
  • Figure 3 is fit in the block diagram of a laser oscillator of the conventional C ⁇ 2 laser. The best form to carry out fortune
  • FIG. 1 shows an overall configuration diagram of an embodiment of the laser oscillation device of the present invention.
  • the same components as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the structure of the discharge tube 1, the high-frequency power supply 6 for gas excitation, the supply of fresh gas from one gas cylinder, etc. are the same as those in Fig. 3, and the explanation is omitted, and only the special parts are explained.
  • a feature of the present invention is that a turbo blower 15 is used instead of the roots blow 9 in FIG. Since the efficiency of the turbo blower port 15 is much higher than that of the roots blower 9, the heat of compression can be ignored, and the cooler 7 in the latter stage of FIG. 3 can be omitted. In FIG. 1, there is no cooler ⁇ , but it can be provided in some cases.
  • Fig. 2 shows the structure of the turbo blower.
  • the turbo wing Here is the turbo wing
  • the damper blade 16 is attached to the shaft 17 and is a mouthpiece 19 and a stator 2 constituting a motor installed in a body 18 different from the laser gas body. By 0, it is rotated at a high speed of about 100,000 R ⁇ ⁇ . As a result, the volume is smaller in inverse proportion to the rotation speed compared to the low-speed root opening ⁇ .
  • the bearings 21 and 22 are grease lubricated rolling bearings. In the present invention, heat generation of the electric motor becomes a problem. Is motor efficiency normal for high-speed rotation of 100,000 R ⁇ ?
  • a motor with an output of 2 KW has a loss of 500 W and a rotor of 19 And the heater 20 generates heat.
  • the indirect cooling is possible when the stator 20 is brought into close contact with the wall of the body 18 as shown in the figure and the wall is cooled by a water cooling tube 25.
  • the rotor 19 since the rotor 19 is rotating at a high speed in a laser gas which is more dilute than the atmosphere, it is difficult to cool it.
  • the heat generated by the rotor 19 is transmitted to the shaft 17, so that the expansion of the shaft 17 causes a disturbance in the blade clearance, damages the bearing, evaporates the grease, reduces the motor efficiency, and reduces the motor efficiency. Make causes such as damage.
  • the cooling of the rotor is performed by forced cooling by passing a part of the laser gas.
  • a C ⁇ ⁇ 2 laser with an output of 1 KW has a heat loss of 4 KW when the oscillation efficiency is 20%, which is carried by the entire laser gas flow moved by the turbo blade 16. .
  • the loss generated in the rotor 19 is about 12% of the total loss of the motor, and the flow rate flowing through the body 18 may be about 1Z10.
  • the gas used for cooling the rotor is returned to the inlet 26 of the port ⁇ again, but the filter 23 for removing the grease component and the flow control valve 24 for controlling the flow rate are also provided. Let go. At this time, contamination of the optical component due to the oil component can be prevented.
  • the parts other than the blower blower 15 are the same as those in FIG. 3, but the efficiency of the blower is increased from about 35% in the case of the roots blower to about 80% by using a turbo blower. As a result, the heat of compression is reduced accordingly, and the subsequent cooler can be omitted. Or, it can be much smaller than when using a Rootsblower.
  • the cooler 8 can be omitted, and the cooler 8 is located at the subsequent stage (the position of the cooler 7 in Fig. 3). What is necessary is just to install the thing of the capacity.
  • the present invention is particularly useful for a high frequency discharge pumped C 0 2 laser.
  • a turbulence is required to be generated in the gas flow to obtain a uniform discharge. Therefore, a high compression ratio is required for the blower, and a lubricator is optimal for this purpose.
  • turbulence is not required for high-frequency discharge excitation, and the characteristics of a turbo blower such as a low compression ratio and a large airflow capacity become prominent.
  • the blower is a turbo blower
  • the blower can be downsized, the weight can be reduced, and the entire apparatus can be downsized.
  • the reduction in the number of parts makes it possible to reduce equipment costs.
  • blower efficiency is increased, operating costs are reduced, gas replacement is reduced, operating costs are reduced, gas pulsations are eliminated, and laser power fluctuations are eliminated.
  • the turbo wing drive motor since the turbo wing drive motor is cooled, the turbo wing can be rotated at high speed, the laser gas can be sufficiently cooled, and the oscillation efficiency of the laser oscillator can be increased.

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Description

明 細
レーザ発振装置 技 術 分 野
本発明は加工用 C 0 2 レーザなどの高出力レーザに関し、 詳細には C 〇 2 レーザに用いられるタ一ボブロ ワの改良に関 する。 背 景 技 術
第 3図に従来の C 0 2 レーザのレーザ発振装置の構成図 を示す。 図において、 放電管 1 の両端には出力結合鏡 2 と全 反射鏡 3が設置されている。 又放電管 1 の外側には 2枚の金 属電極 4および 5が取り付けられており、 その間に高周波電 圧が高周波電源 6 によって印加され、 放電管 1 内に高周波グ 口一放電が発生してレーザ励起が行われる。 放電管 1 内のレ —ザビーム光軸を 1 3で、 また出力結合鏡 2から外部に取り 出される同ビー厶光軸を 1 4でそれぞれ示す。
レーザ発振装置起動時には先ず最初に真空ポンプ 1 2 によ つて装置内部全体が排気される。 ついでバルブ 1 1が開放に なり所定流量のレーザガスがボンべ 1 0から導かれ装置内の ガス圧は規定値に達し、 その後は真空ポ ンプ 1 2の排気と補 給ガス導入が続き、 ガス圧は規定値に保たれたまま、 レーザ ガスの一部は継続して新鮮ガスに置換されることになりガス 汚染を防止する。 さらに第 3図ではルーツブロワ 9によってレーザガスを装
置内で循環している。 この目的はレ一ザガスの冷却にある。
Ύ
C 0 2 レーザでは注入電気エネルギーの約 2 0 %がレーザ光
に変換され、 他はガス加熱に消費される。 ところが理論によ
ればレーザ発振利得は絶对温度丁の— （ 3 Z 2 ) 乗に比例す
るので発振効率を上昇させるためにレーザガスの強制冷却が
必要である。 レーザガスは約 1 0 0 m Z s e cの流速で放電
管内を通過し矢印で示す方向に流れ冷却器 8に導かれる。 こ
こでは主として放電による加熱エネルギーが除去される。 ル
—ッブ口ヮ 9では圧縮熱が発生するのでガスは放電管 1 に再
度導かれる前に冷却器 7を通過する。 これらの冷却器 7及び
8は周知であるので詳細な説明は省略する。 - 第 3図に示す従来のレーザ発振装置では以下のような課題
がある。
第一はルーツプロヮが低速回転の容積型送風機であるので
大きさ、 重量ともに大きく、 レーザ発振器そのものが大きな
ものになる。
第二は同じく送風に脈流があり レーザ出力がその影響を受
ける。
第三はルーツブ σヮ 9からは、 相当量の振動が発生し、 レ
—ザビームのポィ ンテングスタビリテ一に悪影響を及ぼす。 発 明 の 開 示
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、 タ
一ボブ口ヮを使用したレーザ発振装置を提供することを目的 .とする。
本発明では上記課題を解決するために、
気体放電によってレーザ励起をする放電管、 レーザ発振を 行わせる光共.振器、 送風機及び冷却機によってレーザガスを 強制冷却させるガス循環装置などから構成されるレーザ発振 装置において、 前記送風機がレーザガス中で回転するタ一ボ 翼から構成され、 かつ、 前記ターボ翼駆動用電動機のステ一 タが水冷あるいは空冷された物体との熱接触によって、 前記 タ一ボ翼駆動用電動機の口 -タが該口一タ及び前記ステ一タ 間を流れるガスとの接触によつて冷却されることを特徴とす るレーザ発振装置が、
提供される。
送風機がタ—ボブ口ヮであるので、 形状及び重量が減少し、 送風機の脈流がない。
また、 ターボ翼駆動用電動機のステータを熱接触によって 冷却し、 ロータを冷却するためにレーザガスをロータとステ ータ間に導き、 ロ ータをレーザガスの流れで冷却し、 電動機 の発熱を制限している。 図 面 の 簡 単 な 説 明
第 1図は本発明のレーザ発振装置の一実施例の全体構成図、 第 2図はタ一ボブロワの構造図、
第 3図は従来の C 〇 2 レーザのレーザ発振装置の構成図で め 。 発朋を実施するための最良の形態
以下、 本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第 1図に本発明のレーザ発振装置の一実施例の全钵構成図 を示す。 第 3図と同一の構成要素には同一の符合が付してあ り、 その詳細な説明は省略する。 放電管 1の構造、 ガス励起 ，用の高周波電源 6、 ガスボンベ 1 ひからの新鮮ガスの供給等 は第 3図の場合と同様であり、 その説明は省略し、 特徵的な 部分のみ説明する。
本発明の特徵は、 第 3図におけるルーツブロヮ 9の代わり にターボブロワ 1 5が使用されていることである。 ターボブ 口ヮ 1 5はルーツブロヮ 9 に比べ效率が格段に高いので圧縮 熱は無視できて、 第 3図の後段の冷却器 7は省略することが できる。 第 1図では冷却器 Ίはないが、'場合によっては設け ることもできる。
第 2図にターボブロ ワの構造図を示す。 こ こではターボ翼
1 6は遠心翼が示されているが、 斜流翼であっても、 軸流翼 であってもよい。 ダ一ボ翼 1 6 はシャ フ ド 1 7に取り付けら れておりレーザガスき よう体とは別のきよ う体 1 8中に設置 された電動機を構成する口一タ 1 9及びステ一タ 2 0 によつ て約 1 0万 R Ρ Μの高速回転数で回転される。 そのため低速 のルーツブ口ヮに比較して回転数に逆比例して体積が小さく なっている。 軸受 2 1、 2 2はグリース潤滑の転がり軸受な どである。 本発明では電動機の発熱が問題となる。 1 0万 R Ρ Μの高速回転では電動機效率は通常？ 5 %程度であるの で出力 2 K Wの電動機では 5 0 0 Wの損失がありロータ 1 9 及びステ一タ 2 0の発熱の原因になる。 ステ一タ 2 0 は図に 示すようにきよ う体 1 8の壁に密着させ、 その壁を水冷管 2 5 によつて冷却すれば間接冷却が可能である。
これに対してロータ 1 9は大気よりも希薄なレーザガス中 でしかも高速回転しているので冷却が困難である。 ロータ 1 9の発熱はシャ フ ト 1 7 に伝わるので、 シャ フ ト 1 7の膨張 による翼ク リ アラ ンスの狂い、 ベア リ ングの破損、 グリ ース の蒸発、 電動機効率の低下、 電動機の破損などの原因を作る。 本発明ではロータの冷却をレーザガスの一部を通過せしめ て強制冷却によって行わせている。 出力 1 K Wの C 〇 2 レー ザでは発振効率が 2 0 %の時にはレーザ装置と しては 4 K W の熱損失があり、 これはターボ翼 1 6 によって移動される全 レーザガス流によって運ばれている。 従って全ガス流の 1 0 %をこの電動機冷却に用いてやれば発熱量 4 0 0 W程度の冷 却は可能である。 実際にはロータ 1 9 に発生する損失は電動 機全損失の約 1 2 %程度であるのできょ う体 1 8に流す流量 はさ らにこの 1 Z 1 0程度でよい。 ロータ冷却に用いたガス は再度ブ口ヮの入り口 2 6 にもどすが途中グリ ース成分を除 去するフ ィ ルタ 一 2 3 と流量をコ ン ト 口一ルする流量制御バ ルブ 2 4を経由させる。 この時オ イ ル成分による光学部品の 汚染を防止することが出来る。
本発明では、 タ一ボブロワ 1 5以外の部分は第 3図の構成 と同じであるが、 ブロワの効率はルーツブロワの場合の約 3 5 %から、 ターボブロ ワにすることにより約 8 0 %に増大す るので圧縮熱はそれだけ低下し、 後段の冷却器は省略できる か、 あるいはルーツブロヮを使用したときよりはるかに小型 のものでよい。
もし、 タ一ボブ口ヮのターボ翼の材料をセラ ミ ック等の耐 熱材料にすれば冷却器 8は省略でき、 後段 （第 3図の冷却器 7の位置） に冷却器 8と同容量のものを設置すればよい。 本発明は特に高周波放電励起 C 0 2 レーザに有用である。 直流放電励起の場合は一様放電を得るためにガス流に乱流の 発生を必要とするので送風機には高い圧縮比が要求されルー ッブロヮがこの目的には最適である。 一方高周波放電励起で は乱流は不必要であり、 低圧縮比、 大送風容量と云うターボ ブロワの特徴が有勃になる。
以上説明したように本発明では、 送風機をターボブロワと したので、 送風機を小型化でき、 重量も減少し、 装置全体が 小型化できる。 また、 部品点数の減少により、 装置のコス ト ダウンが可能になる。 さらに、 ブロワ効率が増大し、 運転費 が低減され、 ガス置換量を低減し運転費用を低減し、 ガスの 脈流がなくなり、 レーザ出力の変動がなくなる。
また、 ターボ翼駆動甩電動機を冷却するようにしたので、 ターボ翼を高速回転でき、 レーザガスを十分冷却でき、 レー ザ発振装器の発振効率を上げることができる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 気体放電によってレーザ励起をする放電管、 レーザ発 振を行わせる光共振器 w 送風機及び冷却機によってレーザガ スを強制冷却させるガス循環装置などから構成されるレーザ 発振装置において、
前記送風機がレーザガス中で回転するタ一ボ翼から構成さ れ、 かつ、 前記ターボ翼駆動用電動機のステ一夕が水冷ある いは空冷された物 との熱接触によって、 前記タ一ボ翼駆動 用電動機の口一タが該口一タ及び前記ステ一タ間を流れるガ スとの接触によって冷却されることを特徵とするレーザ発振
2 . 前記ステータ及び前記ロータを冷却するガスの配管に グリ ース成分を除去するフ ィ ルタ ーを設けたことを特徴とす る特許請求の範囲第 1項記載のレーザ発振装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1991005384A1 (fr) * 1989-10-04 1991-04-18 Fanuc Ltd Turbosoufflante pour laser et oscillateur laser l'utilisant

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0590661A (ja) * 1991-04-26 1993-04-09 Fanuc Ltd ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式
DE4118786C2 (de) * 1991-06-07 1998-04-09 Becker Kg Gebr Gaslaser, insbesondere Axialstromgaslaser
JPH081972B2 (ja) * 1991-07-29 1996-01-10 株式会社東芝 ガスレーザ発振器
US5317579A (en) * 1992-08-07 1994-05-31 Litton Systems, Inc. Laser pump
US5369660A (en) * 1992-09-23 1994-11-29 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Repetitively pulsed, closed cycle, photolytic atomic iodine laser
US5461636A (en) * 1994-01-24 1995-10-24 Fanuc Ltd. Turbo blower for lasers
JP3427571B2 (ja) * 1995-06-14 2003-07-22 松下電器産業株式会社 高速軸流型ガスレーザ発振器
JP2966799B2 (ja) * 1996-11-07 1999-10-25 ファナック株式会社 空冷式モータ
US6609540B1 (en) * 1999-06-24 2003-08-26 Showa Denko Kabushiki Kaisha Method and apparatus for supplying fluorine gas
CN101793268B (zh) * 2005-06-06 2013-05-08 格布尔·贝克尔有限责任公司 离心鼓风机
JP6407841B2 (ja) * 2015-11-18 2018-10-17 ファナック株式会社 クーラントを循環させるための循環路を備えるレーザ加工ヘッド
CN111009818B (zh) * 2019-12-24 2020-11-17 安徽卓锐三维科技有限公司 一种激光冷却器的双冷却系统

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4939009U (ja) * 1972-07-07 1974-04-06
JPS5439703U (ja) * 1977-08-25 1979-03-16
JPS5814589A (ja) * 1981-07-17 1983-01-27 Hitachi Ltd レ−ザ光発生装置用ブロア
JPS6245188A (ja) * 1985-08-23 1987-02-27 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ発振器
JPS62159794A (ja) * 1986-01-04 1987-07-15 フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン　フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− フアン
JPS62159795A (ja) * 1986-01-04 1987-07-15 フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン　フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− 送風機
WO1988002444A1 (en) * 1986-09-30 1988-04-07 Mitsui & Co., Ltd. Pump
JPS6361169U (ja) * 1986-10-09 1988-04-22
JPS6384970U (ja) * 1986-11-25 1988-06-03

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3789320A (en) * 1972-06-19 1974-01-29 Ferranti Ltd Gas laser circulation system
JPS55113391A (en) * 1979-02-21 1980-09-01 Hitachi Ltd Gas flow type laser device
JPS5725929A (en) * 1980-07-23 1982-02-10 Dainippon Printing Co Ltd Patterning simultaneous with injection molding
EP0065761B1 (de) * 1981-05-29 1985-11-27 Battelle-Institut e.V. Laseranordnung
JPS5879786A (ja) * 1981-11-06 1983-05-13 Hitachi Ltd 炭酸ガスレ−ザ装置
US4578792A (en) * 1982-09-30 1986-03-25 Metalworking Lasers International Ltd. High-power lasers
JPS59143385A (ja) * 1983-02-04 1984-08-16 Hitachi Ltd ガスレ−ザ発生装置
JPH06101596B2 (ja) * 1983-02-21 1994-12-12 株式会社小松製作所 クロスフロ−型レ−ザ装置
DE3344714A1 (de) * 1983-12-10 1985-06-20 Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt Gastransportlaser mit axialer gasstroemung
WO1987005750A1 (en) * 1986-03-12 1987-09-24 Weiss Hardy P Axial gas laser and process for stabilizing its operation
US4817111A (en) * 1987-03-20 1989-03-28 Prc Corp. Gas laser apparatus, method and turbine compressor therefor
US4923364A (en) * 1987-03-20 1990-05-08 Prc Corporation Gas laser apparatus, method and turbine compressor therefor

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4939009U (ja) * 1972-07-07 1974-04-06
JPS5439703U (ja) * 1977-08-25 1979-03-16
JPS5814589A (ja) * 1981-07-17 1983-01-27 Hitachi Ltd レ−ザ光発生装置用ブロア
JPS6245188A (ja) * 1985-08-23 1987-02-27 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ発振器
JPS62159794A (ja) * 1986-01-04 1987-07-15 フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン　フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− フアン
JPS62159795A (ja) * 1986-01-04 1987-07-15 フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン　フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− 送風機
WO1988002444A1 (en) * 1986-09-30 1988-04-07 Mitsui & Co., Ltd. Pump
JPS6361169U (ja) * 1986-10-09 1988-04-22
JPS6384970U (ja) * 1986-11-25 1988-06-03

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1991005384A1 (fr) * 1989-10-04 1991-04-18 Fanuc Ltd Turbosoufflante pour laser et oscillateur laser l'utilisant

Also Published As

Publication number Publication date
EP0393194B1 (en) 1993-09-15
DE68909215D1 (de) 1993-10-21
EP0393194A1 (en) 1990-10-24
JPH025585A (ja) 1990-01-10
EP0393194A4 (en) 1990-11-28
US5060238A (en) 1991-10-22
DE68909215T2 (de) 1994-01-13

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