JP2005042670A - ターボ形ガス圧縮機およびガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 レーザ出力の変更を励起電圧で行うことによる不要な動力の発生をなくすることができるターボ形ガス圧縮機を提供する。
【解決手段】 ターボ形ガス圧縮機の流入口1Kの内方に流入するガスの圧力損失を可変に制御できる手段としての流量制御弁FVを介在させる。この流量制御弁FVは、流入口1Kの内径と同径のバタフライ弁15と、このバタフライ弁15を保持する弁軸16と、この弁軸16をハウジング1に対して回転自在に保持する軸受17、18および弁軸16を回転駆動する駆動装置19とより構成されている。このバタフライ弁15の調節によって流入口1Kにおけるガスの流入量を制御し、ガス圧の圧力損失を可変に調整できる。したがってバタフライ弁15が必要とする角度傾動することで流入口1Kの流路断面積が調整される。この調整によってガスの流入口1Kのガス圧と排出口1Hのガス圧との比、すなわち圧力比が調整できる。
【選択図】 図1
【解決手段】 ターボ形ガス圧縮機の流入口1Kの内方に流入するガスの圧力損失を可変に制御できる手段としての流量制御弁FVを介在させる。この流量制御弁FVは、流入口1Kの内径と同径のバタフライ弁15と、このバタフライ弁15を保持する弁軸16と、この弁軸16をハウジング1に対して回転自在に保持する軸受17、18および弁軸16を回転駆動する駆動装置19とより構成されている。このバタフライ弁15の調節によって流入口1Kにおけるガスの流入量を制御し、ガス圧の圧力損失を可変に調整できる。したがってバタフライ弁15が必要とする角度傾動することで流入口1Kの流路断面積が調整される。この調整によってガスの流入口1Kのガス圧と排出口1Hのガス圧との比、すなわち圧力比が調整できる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、たとえばガスレーザ発振器装置(以下単にレーザ発振器装置という)におけるガス循環用の電動コンプレッサとしてのブロワ等に適用できるターボ形ガス圧縮機およびガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置に関する。
この種のターボ形ガス圧縮機は、ハウジング内の上方にターボ翼を回転可能に配設して、ガスを圧縮し排出する機構を設けるとともに、下方にはこのターボ翼を高速に回転駆動させるモータを配設している。そして、このモータの回転子とターボ翼ならびに回転軸等からなる高速回転体は、機械的な軸受方式で軸受けされ、オイルによる潤滑手段が併設されている(特許文献1参照)。
また、このようなガス圧縮機は、レーザ発振器装置に好適に使用される。すなわち、フロー型二酸化炭素ガスレーザ発振器装置の場合、炭酸ガスと他のガスの混合ガスを流しながら圧縮し、レーザ発振器に供給して共振させるようになっており、装置内にガス循環路が構成されている。この循環路の構成における一要素のブロワとして、ターボ翼を高速で回転させてガスを圧縮し、レーザ発振器に供給するターボ形ガス圧縮機が使用されている(特許文献1参照)。
このレーザ発振器は、通常共振器をなす鏡体と、気体を入れたレーザ管と、ポンピング源によって構成されており、他のレーザ発振器と比べて連続的な発振が容易に行われ、発振光のコヒーレンスの度合も優れている。しかし、粒子の密度が非常に小さいため単位長さあたりの増幅利得は固体レーザに比べて一般的には小さい。そのためこのレーザ発振器装置は、ある程度の長さを有する長いレーザ管を必要とし、ポンピングは放電によって行わせるようになっている。
フロー型の二酸化炭素ガスレーザ発振器では、その効率が5〜15%で、50ワットから15キロワットの連続出力(発振波長=10.6μm)が得られる。このフロー型のレーザ発振器では、炭酸ガスと他のガスの混合ガスを流して共振させるが、この時ガスの温度が上昇するので、ガス循環回路に熱交換器を備えて冷却している。レーザ共振器のレーザ管から低圧のガスを吸引し熱交換器に送り込むためのガス圧縮機をその中間に介設し、熱交換器で冷却されたガスが再び共振器のレーザ管に供給される。なお、ガスの補充および更新のために、ガスボンベと真空ポンプを具備している。
このような従来のレーザ発振器装置、すなわちレーザ共振器とガス供給循環路の組み合わせからなる装置は、具体的には図10に示すとおり、レーザ発振器10とガスをこのレーザ発振器10に供給するガス圧縮機GCと、レーザ発振器10からのガスを冷却する熱交換器11で構成されている。熱交換器11はレーザ発振器10とガス圧縮機GCとを接続する流路R1に介在されている。レーザ発振器10の内部はレーザガスが供給される機構を有し、ポンピングによってレーザ光が発射される。熱交換器13はガス圧縮機GCから送り出されたガスを冷却し、再びレーザ発振器10に送り込む。このようにガスを循環してレーザ発振器10を安定させる。
なお、図10に示すようにレーザ発振器10とガス圧縮機GCとは流路R1で接続され、またガス圧縮機GCのガス排出口1Hとレーザ発振器10とは流路R2、R3を介して接続されていてガス循環路が構成されている。
また、ガス圧縮機GCは後述するとおり、内部に回転体を保持する必要からその保持部を油潤滑する機構を有し、これによるオイルミストがレーザ発振器10へ流入しないように、回転駆動部側のモータ室Mを流路R4を介して真空ポンプ12にて排気している。
また、ガス圧縮機GCは後述するとおり、内部に回転体を保持する必要からその保持部を油潤滑する機構を有し、これによるオイルミストがレーザ発振器10へ流入しないように、回転駆動部側のモータ室Mを流路R4を介して真空ポンプ12にて排気している。
さらに、レーザ発振器10は、その内方のガスを入れ替える場合もあり、そのために流路R3に流路R5が接続されて真空ポンプ12と接続されている。さらにガスの入れ替えのためにガスボンベ14が準備されていて、流路R6を介してガスボンベ14からのガスがレーザ発振器10に補充できるようになっている。V1〜V3は各流路R1〜R6の開閉を行わせるための開閉弁である。
他方、ターボ形のガス圧縮機GCの具体的な構成は、図9に示すとおりで、ハウジング1の内方でその上方にターボ翼2が回転可能に配設され、同じく下方にはこのターボ翼2を高速に回転駆動させるモータ6が配設され、両者が回転軸3にて連結されている。このモータ6はハウジング1の側に固設された電極コイル6Kと、この電極コイル6Kに対応して回転軸3に固設された回転子6Mで構成され、電極コイル6Kにはインバータ7から電気エネルギーが供給される。
回転軸3は上部転がり軸受4と下部転がり軸受5を介してハウジング1に対し、回転可能に保持されているが、この回転軸3の上方にターボ翼2が固設されている。前記モータ6および回転軸3を保持する上部転がり軸受4と下部転がり軸受5はモータ室M内に配設されている。
ターボ翼2がモータ6によって高速に回転駆動されると、ガスは流入口1Kから流入され、圧縮されて排出口1Hより排出される。この流入口1Kから排出口1Hまでがガス圧縮室Cを形成する。この排出口1Hからのガスは上記したようにガス循環回路(図示せず)を経てレーザ発振器(図示せず)に供給される。
ターボ翼2がモータ6によって高速に回転駆動されると、ガスは流入口1Kから流入され、圧縮されて排出口1Hより排出される。この流入口1Kから排出口1Hまでがガス圧縮室Cを形成する。この排出口1Hからのガスは上記したようにガス循環回路(図示せず)を経てレーザ発振器(図示せず)に供給される。
ところで、回転軸3には図9に示すとおり、軸芯上に中空孔3Hが形成されているが、この中空孔3Hの下方部は内孔が上方拡がりのテーパ状をなし、これらの下方部位が潤滑用のオイルL内に浸漬されている。したがって、中空孔3Hの下方域に侵入している潤滑用のオイルLは、回転軸3の回転による遠心力の作用を受けて中空孔3Hの内方を上方に移動し、この作用で中空孔3Hはポンプ機能を発揮する。こうして潤滑用のオイルLは順次上方へ送り出され、射出孔3Jと3Pより外方に放出されてモータ6の冷却や上部転がり軸受4と下部転がり軸受5の潤滑を行なう。潤滑や冷却を終えた潤滑用のオイルLは再び下方のオイル槽9に溜められ、再び吸い上げられて循環することになる。
このことからガス圧縮室Cとモータ室Mとは、シール部8で遮断されるようになっている。具体的には、ハウジング1は上部転がり軸受4の上方位置において回転軸3が非接触で貫通できる範囲の最小径の貫通孔が穿設され、回転軸3と協働してシール部8が形成されている。このシール部8にはたとえばラビリンスシール等が適用される。
他方、モータ室Mは流路1Sを介して図10に示す真空ポンプ12にて真空に排気される。これは上記したように、モータ室Mが潤滑用のオイルLのミストが充満しており、シール部8の小さい隙間からガス圧縮室Cに漏洩するのを確実に防止すためである。
ところで、このようなレーザ発振器10は、たとえばガスレーザ加工機等に実用されるが、たとえば炭酸ガスレーザ加工機においては、レーザ発振器10に対して炭酸ガスの混合ガスを循環させ、循環路中に介在させたガス励起部にて高電圧を与えることで、ガスレーザを発生させ、レーザを外部に出力するようになっている。そして加工用途に応じたレーザ出力を変更する場合には、励起電圧を変更することで調整するようにしている。
特開2000−22243号公報
ところで、このようなレーザ発振器10は、たとえばガスレーザ加工機等に実用されるが、たとえば炭酸ガスレーザ加工機においては、レーザ発振器10に対して炭酸ガスの混合ガスを循環させ、循環路中に介在させたガス励起部にて高電圧を与えることで、ガスレーザを発生させ、レーザを外部に出力するようになっている。そして加工用途に応じたレーザ出力を変更する場合には、励起電圧を変更することで調整するようにしている。
ガスレーザ加工機等に実用されるレーザ発振器装置におけるガス圧縮機GCは、要求されるガス圧縮能力すなわちガス流量の最適値がレーザ出力の値に対応している。このことからガスレーザ加工機を実際に使用する場合において、レーザ出力値(パワー)を変更する場合は、上記したように励起電圧を変更することにより行っている。励起電圧の調整によってガス圧縮機GCにおけるターボ翼2の回転数が制御され、ガス圧が変更される。したがって、ターボ翼2の回転に必要な動力は変更されないため、本来なら不要な動力が入力されていた。すなわち、ターボ翼2の起動力による無駄なエネルギーが費やされていることになる。このためガスレーザ加工によるコストが大きくなり、不経済となっている。
本発明はこのような問題を解決するターボ形ガス圧縮機を提供することを目的とする。
本発明はこのような問題を解決するターボ形ガス圧縮機を提供することを目的とする。
本発明が提供するターボ形ガス圧縮機は、上記課題を解決するために、ガス圧縮を行なうターボ翼とこのターボ翼を高速に回転駆動するためのモータと、前記ターボ翼が内方に配設されるとともにガスを流入させる流入口と圧縮したガスを排出する排出口を有するガス圧縮室とを備えたガス圧縮機において、前記流入口に流入させるガスの圧力損失を可変に制御できる制御手段を設置したものである。この制御手段としてはたとえば流量制御弁が適用され、この流量制御弁がガス流入口に設置される。
さらに本発明が提供するターボ形ガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置は、レーザ発振器から出されるガスをガス圧縮機に導くまでの循環流路にガスの圧力損失を可変に制御できる制御手段を介設したものである。
さらに本発明が提供するターボ形ガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置は、レーザ発振器から出されるガスをガス圧縮機に導くまでの循環流路にガスの圧力損失を可変に制御できる制御手段を介設したものである。
したがって、レーザ発振器からガス圧縮機までの循環流路における圧力を損失させガス流量が低下される。この流量低下によってガス圧縮機の流入口圧力を低下させることができる。
本発明が提供するターボ形ガス圧縮機は以上詳述したとおりであるから、レーザ出力に対応して容易にガス圧縮機の負荷を低減することができ、しかも運転中も変更ができる。さらに見かけ上のガス圧縮機の流入口の圧力を変化させることなしで圧力損失を調整することができ、翼車にかかる負荷を調整することができる。またこの場合、レーザ発振に関与するレーザ励起部圧力への影響も少ない。以上から弁を調整するだけでレーザ発振能力に応じたガス圧縮機の負荷調整が容易に可能となる。
本発明は、第1にレーザ発振器へのガス供給装置として最適なターボ形ガス圧縮機を提供するものであり、第2にレーザ発振器へガスを最適に供給するガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置を提供するものである。
前者については、上記課題を解決するための手段の項目において明示したように、ターボ形ガス圧縮機におけるガス流入口部にガス圧力損失を可変に制御するための制御手段を設けたものである。この制御手段としてはガス流路の断面積を可変にする種々の工夫を挙げられるが、最良の手段としてはガス流量を制御する流量制御弁を挙げることができる。この流量制御弁であれば、簡略な弁機構を採用でき全体の構成も簡略となり経済的にも有利である。さらに、流量制御弁の中でもバタフライ弁(蝶形弁)がより簡略でかつ操作性がよく優れている。また取り付けも容易であり、自動制御化も容易である。この自動化はより好ましい実施例で、流路中のガス圧力をセンサで検出し、その検出信号でガスの圧力損失を自動的に所望の値に制御するものである。この流量制御弁あるいは自動化のためのセンサの設置はガス圧縮機のハウジングに一定のスペースを有するが、ガス圧縮機の大型化にはならない。
前者については、上記課題を解決するための手段の項目において明示したように、ターボ形ガス圧縮機におけるガス流入口部にガス圧力損失を可変に制御するための制御手段を設けたものである。この制御手段としてはガス流路の断面積を可変にする種々の工夫を挙げられるが、最良の手段としてはガス流量を制御する流量制御弁を挙げることができる。この流量制御弁であれば、簡略な弁機構を採用でき全体の構成も簡略となり経済的にも有利である。さらに、流量制御弁の中でもバタフライ弁(蝶形弁)がより簡略でかつ操作性がよく優れている。また取り付けも容易であり、自動制御化も容易である。この自動化はより好ましい実施例で、流路中のガス圧力をセンサで検出し、その検出信号でガスの圧力損失を自動的に所望の値に制御するものである。この流量制御弁あるいは自動化のためのセンサの設置はガス圧縮機のハウジングに一定のスペースを有するが、ガス圧縮機の大型化にはならない。
さらに本発明における後者の発明すなわちターボ形ガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置は、レーザ発振器とガス圧縮機を連結するガスの流路にガス圧力損失を可変に制御する手段を介設した点に特徴を有するものである。この制御手段として最良のものは、流路の流量を制御する制御弁の介設である。さらにはガス圧力をセンサで検知してセンサからの出力信号により制御弁を自動的に作動させ圧力損失を制御させるようにすることである。
ところで、レーザ発振器装置の動作特性とガス圧縮機の圧力比との間にはつぎのような関係がある。すなわち、図9に示すガス圧縮機GCにおいて流入口1Kの圧力値で排出口1Hの圧力値を割った値を圧力比とした場合、この圧力比を生じさせるに必要なガス圧縮機GCの駆動力すなわち動力との間には図7で示すような関係がある。
図7は横軸にガス流量値をとり、左方の目盛は圧力比の値を示し、右方の目盛は動力値を示しているが、太い鎖線Pがガス圧縮機GCのガス流量性能特性を示す曲線である。他方、細い実線Tはガス圧縮機を駆動するに必要な動力をガス流量との関係で示す曲線を示し、ガス流量が多くなるにしたがって増加する関係にある。なお、流量は1時間あたりの立方メートル値である。
図7は横軸にガス流量値をとり、左方の目盛は圧力比の値を示し、右方の目盛は動力値を示しているが、太い鎖線Pがガス圧縮機GCのガス流量性能特性を示す曲線である。他方、細い実線Tはガス圧縮機を駆動するに必要な動力をガス流量との関係で示す曲線を示し、ガス流量が多くなるにしたがって増加する関係にある。なお、流量は1時間あたりの立方メートル値である。
この図7にはガス圧縮機GCをA点での駆動とB点での駆動を対比する形で示しているが、A点での圧力比による駆動からB点での駆動に変動し、圧力損失を若干大きくすると、ガス圧縮機GCの駆動のための動力が低下することがわかる。他方、図8は縦軸に圧力比をとり、横軸にガス流量を示すグラフで、太い鎖線Pが図7と同様にガス圧縮機GCにおけるガス流量性能特性の曲線を示し、細い実線Rがレーザ発振器10におけるガス圧力の損失特性を示す曲線である。
まず、本発明が第1に提供するターボ形ガス圧縮機について説明する。
本発明のターボ形ガス圧縮機の構成は図1に示すとおりである。図1においては、機器全体をガス圧縮機GCと表現してその構成が縦断面して示されている。ハウジング1の中央部内方に回転軸3が垂直に配置され、この回転軸3の上方にターボ翼2が軸着されている。この回転軸3はモータ6によって高速に回転駆動されるが、ハウジング1に架設されモータ室M内に配置された上部転がり軸受4と下部転がり軸受5にて支承される。なお、このモータ室M内は、オイルミストの発生があるため、後述するとおり流路1Sを介して真空ポンプによって排気されるように構成されている。
本発明のターボ形ガス圧縮機の構成は図1に示すとおりである。図1においては、機器全体をガス圧縮機GCと表現してその構成が縦断面して示されている。ハウジング1の中央部内方に回転軸3が垂直に配置され、この回転軸3の上方にターボ翼2が軸着されている。この回転軸3はモータ6によって高速に回転駆動されるが、ハウジング1に架設されモータ室M内に配置された上部転がり軸受4と下部転がり軸受5にて支承される。なお、このモータ室M内は、オイルミストの発生があるため、後述するとおり流路1Sを介して真空ポンプによって排気されるように構成されている。
回転軸3が高速に回転駆動されることにより、この上端に取り付けられたターボ翼2がガス圧縮室C内にて高速回転され、流入口1Kからのガスが圧縮されて、排出口1Hより排出される。なお、図1において、図9と同一の符号で示めされる部品は図9と同一の部品、機構であり、詳細な説明は省略する。
さて、本発明が提供するターボ形ガス圧縮機は以上の構成において、流入口1Kを延長し、その内方に流入するガスの圧力損失を可変に制御できる制御手段を介在した点に特徴を有している。この制御手段としては弁が有益であり、具体的には流量制御弁FVが好適に適用される。この流量制御弁FVは、流入口1Kの内径と同径のバタフライ弁15と、このバタフライ弁15を保持する弁軸16と、この弁軸16をハウジング1に対して回転自在に保持する軸受17、18およびこのバタフライ弁15を回転駆動する駆動装置19とより構成されている。
このバタフライ弁15は駆動装置19によって90度の範囲で回転駆動され、流入口1Kにおける流路断面積を調整しガスの流入量を制御する。すなわち、ガス圧の圧力損失を可変に調整できるようになっている。なお、図1ではこの流量制御弁FVは簡略に示されているが、実際においてはガスが弁軸16に沿ってハウジング1の外方に漏れることのないよう、シール手段が介設されることになる。また駆動装置19については、手動方式の場合はハンドルが装備され、また自動駆動装置の場合、電動機とその出力軸の回転を弁軸16に伝動する機構が内設される。
以上のような構成によって、駆動装置19を作動させることにより、バタフライ弁15が必要とする角度傾動することで、流入口1Kの流路断面積が調整される。この調整によってガスの流入口1Kのガス圧と排出口1Hのガス圧との比、すなわち圧力比が調整できる。したがってレーザ発振器装置のガス循環路に介設されることにより、後述するレーザ発振器の性能を向上する。
したがって、図1に示すガス圧縮機GCが、レーザ発振器装置の要素として使用されるとき、流量制御弁FVを作動させて圧力損失を生じさせると、図8における曲線Rは2点鎖線で示す位置へ変移し、圧力比の値はC点からD点へ移動する。したがって、ガス流量はE値からF値へと変化する。換言すればガス流量が低減されることになる。このガス圧力の損失すなわちガス流量を調整することで、動力を容易に変更することができるのである。図2は本発明によるガス圧縮機GCがレーザ発振器装置に組み込まれた実施例をブロック図的に示す図で、図1および図10と同一の符号で示される部品は図1および図10と同一ないし同様の機能を有するものであり、詳細な説明は省略する。
図3は、ガス圧縮機GCの流入口1Kに流入するガスの圧力を検出するセンサ20を設置し、圧力損失を自動的に制御する第2の実施例を示す。センサ20からの出力信号に基づいて駆動装置19が作動する。駆動装置19には小形モータなどが内設されバタフライ弁15を作動させる。
つぎに本発明が第2に提供するガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置の実施例を説明する。このガス供給装置は、図4に示されている。この発明によるガス供給装置の特徴は、この図4から明らかなように、レーザ発振器10からガス圧縮機GCまでのガス流路R1にガス圧力損失を可変に制御できる制御手段CVを介設した点にある。図4は本発明によるガス供給装置の基本的な構成を示すもので、CVは圧力損失を可変に制御する制御手段であり、具体的には図1に示す流量制御弁FVと同様の構成からなる流量制御弁21とこの流量制御弁21を駆動するための駆動装置22で構成されている。この駆動装置22は手動の場合はハンドルである。
図5は流路R1にセンサ23を接続し、このセンサ23にて、ガス圧縮機GCに流入するガスの圧力をモニタすることができる制御手段CVを設けた実施例を示している。このセンサ23からの出力信号にて駆動装置22が作動する自動方式の例を示している。すなわち、流量制御弁21が自動的に絞られて圧力を低下させることができ、センサ23の制御圧力設定値を変更することなく、ガス圧力を低下させることができる。この自動方式の場合、駆動装置22はパルスモータなどが利用される。センサ23からの出力信号によりパルスモータが回転駆動され、その回転量がウオーム歯車の伝動機構を介して弁軸を回転させるなどの自動化機構(図示せず)が採用される。
つぎに、流路R1を複数路に構成した実施例を図6に示す。すなわち、流路R1に対してバイパス流路BR1を設け、このバイパス流路BR1に流量制御弁24を介設したものである。この実施例では、たとえば流量制御弁24が全開の状態においても、サージ領域に入らないように各流路(図4に示すR2〜R6)の圧力損失を調整することでガス圧縮機GCの異常振動などに対する防止対策が容易になる利点がある。
本発明が提供する高速回転機器は以上詳述したとおりであるが、発明の構成は上記あるいは図示例に示される構成に限定されるものではなく、種々の変形例をも包含する。圧力損失を可変に制御する手段として最も効率よく簡便な手段は弁機構であるが、弁機構を使用しない手段も含まれる。たとえば、流路R1を柔軟性の富んだゴムパイプすなわち断面を楕円形の形に変形できるパイプで構成し、流路断面を可変にする機構を採用してもよい。また、流量制御弁を使用する例を示したが、仕切弁などの弁を利用することもでき弁の種類、構成も図示例には限定されない。さらに本発明ではガス圧縮機に流入する流路R1の圧力を検出する手段としてセンサを示し、その出力信号から駆動装置を作動させる例を示したが、センサに限定されずたとえば圧力検出をベローズなどの機械的な手段で検出し、そのベローズの変位を機械的に流量制御弁の弁軸に伝動する形式の機械的な変形例も含まれる。この場合、ベローズが圧力の検出手段であり、かつその変位が出力信号となる。
1 ハウジング
1H 排出口
1K 流入口
1S 流路
2 ターボ翼
3 回転軸
3H 中空孔
3J 射出孔
4 上部転がり軸受
5 下部転がり軸受
6 モータ
6K 電極コイル
6M 回転子
7 インバータ
8 シール部
9 オイル槽
15 バタフライ弁
16 弁軸
17、18 軸受
19、22 駆動装置
GC ガス圧縮機
C ガス圧縮室
L オイル
M モータ室
1H 排出口
1K 流入口
1S 流路
2 ターボ翼
3 回転軸
3H 中空孔
3J 射出孔
4 上部転がり軸受
5 下部転がり軸受
6 モータ
6K 電極コイル
6M 回転子
7 インバータ
8 シール部
9 オイル槽
15 バタフライ弁
16 弁軸
17、18 軸受
19、22 駆動装置
GC ガス圧縮機
C ガス圧縮室
L オイル
M モータ室
Claims (6)
- ガス圧縮を行なうターボ翼とこのターボ翼を回転駆動するためのモータと前記ターボ翼が内方に配設されるとともにガスを流入させる流入口と圧縮したガスを排出する排出口を有するガス圧縮室とを備えたガス圧縮機において、前記流入口に流入するガスの圧力損失を可変に制御する制御手段を設置したことを特徴とするターボ形ガス圧縮機。
- 制御手段が流量制御弁であることを特徴とする請求項1記載のターボ形ガス圧縮機。
- ガス圧縮を行なうターボ翼とこのターボ翼を回転駆動するためのモータと前記ターボ翼が内方に配設されるとともにガスを流入させる流入口と圧縮したガスを排出する排出口を有するガス圧縮室とを備えたガス圧縮機において、前記流入口に流入するガスの圧力を検出するガス圧力検出手段と、ガスの圧力損失を可変に制御できる制御手段を設け、ガス圧力検出手段からの出力信号により前記制御手段を作動させるようにしたことを特徴とするターボ形ガス圧縮機。
- レーザ発振器にガスを供給するガス循環路を有し、このガス循環路内にターボ翼をモータにて回転駆動させてガス圧縮を行うガス圧縮機を介在させるとともに、このガス圧縮機に流入するガスの圧力損失を可変に制御させるための制御手段を設けたことを特徴とするガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置。
- 制御手段が流量制御弁であることを特徴とする請求項4記載のガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置。
- レーザ発振器にガスを供給するガス循環路を有し、このガス循環路内にターボ翼をモータにて回転駆動させてガス圧縮を行うガス圧縮機を介在させるとともに、前記ガス圧縮機に流入するガスの圧力を検出するガス圧力検出手段と流入するガスの圧力損失を可変に制御させるための制御手段を設け、ガス圧力検出手段からの信号により制御手段を作動させるようにしたことを特徴とするガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003279722A JP2005042670A (ja) | 2003-07-25 | 2003-07-25 | ターボ形ガス圧縮機およびガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003279722A JP2005042670A (ja) | 2003-07-25 | 2003-07-25 | ターボ形ガス圧縮機およびガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005042670A true JP2005042670A (ja) | 2005-02-17 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003279722A Pending JP2005042670A (ja) | 2003-07-25 | 2003-07-25 | ターボ形ガス圧縮機およびガス圧縮機によるレーザ発振器へのガス供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005042670A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006088156A1 (ja) | 2005-02-18 | 2006-08-24 | Katayama Chemical, Inc. | 船舶バラスト水の処理方法 |
JP2007040115A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Shimadzu Corp | ターボ型回転機器 |
JP2007064139A (ja) * | 2005-09-01 | 2007-03-15 | Shimadzu Corp | 高速回転装置 |
JP2007198291A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Shimadzu Corp | 回転機器 |
-
2003
- 2003-07-25 JP JP2003279722A patent/JP2005042670A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007198291A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Shimadzu Corp | 回転機器 |
JP4742886B2 (ja) * | 2006-01-27 | 2011-08-10 | 株式会社島津製作所 | 回転機器 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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