JPS59143385A - ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は送風機と冷却路との連通口を改良したガスレー
ザ発生装置に関する。

〔従来技術〕

一般に、ガスレーザ発生装置は、細い放電管内に混合ガ
スたとえばＣＯ２、Ｎ２　、Ｈｅ’ｔ”供給すると共に
、電極を配置している。電極間でグロー放′１！を行な
い、混合ガスを励起して、反転分布状態にし、レーザ光
を発生する。レーザ光は放電管両端の出力鏡と全反射鏡
との間で増幅し、出力鏡よシ外部に取出す。レーザ光出
力を高めるには、放電管内に多くの混合ガスを送り込み
、励起状態を多くシ、レーザ光を多数発生させることで
あ□る。

そうすると、放電管内の温度は高くなり、レーザ光が吸
収されたシ、或いは膨張した混合ガスによって、新たな
混合ガスが放電管内に入るのを阻止したり、するので、
レーザ光出力は低下をする。

そこで、放電管と連通ずる冷却路を設けて、冷却路に熱
変換器、原動機送風機たとえば遠心プロアを設置し、原
動機を駆動して遠心ブロアを回転させて、冷却した混合
ガスを放電管内に送シ込み、放電管内の温度をある一定
幌度に維持して、多数のレーザ光を発生している。

レーザ光は、多少不規則性を有するので、ガウス分布特
性を有するレーザ光が一般に望ましい。

ガウス分布特性を有するレーザ光とは、放電管中心部で
レーザ光のエネルギーが一番強く、中心部より外周部に
行くに従いエネルギーが順次弱くなって行く、特性であ
る。この特性を持つレーザ光を得るには、対応する複数
本の放電管を直列接続し、レーザ光経路を長くすること
である。そうすると、ますます放電管の管抵抗が犬きく
なυ、混合ガスを放電管内に供給しにくくなる。このた
め、遠心プロアは高速度回軸になり、混合ガスの流速を
早めて、強制的に放電管に送り込むことになる。

そして、送風機と各冷却路とを接続する連絡口の設置個
所によっては、各放電管に供給する混合ガスの供給量が
異なシ、一方の放電管は十分冷却されて、他方の放電管
は冷却が不光分で、グロー放電からアーク放電に移行し
、レーザ光出力を低下する恐れがある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、レーザ光出力を向上したガスレーザ発
生装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

この目的を達成するために、本発明のガスレーザ発生装
置は、一方の送風機外周端に第１連絡口を設け、第１連
絡口と反対側の他方の送風機外周端に第１連絡口と対応
する第２連絡口を形成し、これらの連絡口と反対側の冷
却路と連通ずる連絡口は、第１連絡口側と第２連絡口側
の送風機の中心と外周端との間に形成した一方の第１半
径部と他方の第１半径部との間に設ければ、対応する放
電管の中心に連絡口を設けることができ、両数電管に等
しい混合ガスを供給し、両放電管内でグロー放電全維持
できるので、レーザ光出力を低下することがない。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図ないし第４図に示すガス
レーザ発生装置１により説明する。

互いに対応配置された２本の第１．２放電管２゜５Ｂと
陽極５Ａとの間に直流電力を印加して、両電極間でグロ
ー放電７を発生する。混合ガス４はグロー放電７によっ
て、励起されて、反転分布状態となって、レーザ光８を
発生する。レーザ光８は、第１放電管端部の出力鏡９よ
り、第１および第２放電管端部の折返鏡１０より反射さ
れ、第２放電管端部の全反射鏡１１に至る。全反射鏡１
１のレーザ光８は、再び出力鏡側方向に反射して、増幅
され、出力鏡９よシ外部に取出す。

吸入口１３は放電部間の第１，２放電管２，３の中間部
に形成している。両数電管２，３の両端部には１吸出口
１４を形成している。冷却路１５は吸入口１３と吸出口
１４との間に配設されている。一方の第１冷却路１５Ａ
の１端は、吸入口１３と接続し、他方端は絶縁管１６を
介して第１遠心プロア１７および第２遠心プロア１８に
接続している。他方の第２冷却路１５Ｂの１端は、吸出
口１４に接続し、他端は共通管１９に接続している。共
通管１９は内部に熱交換器２０を配設していると共に、
第１および第２遠心プロア１７゜１８に接続している。

熱交換器１９は矢印方向に冷却媒体（水、油）等が流れ
ている。

遠心プロア１７，１８は、駆動モータ２１の出力軸２２
にファ／２３を設け、これらは遠心プロアケース２４．
２５内に収納している。両遠心プロアケニス２４．２５
の外周端２６に形成した第１連絡口２７と第２連絡口２
８とは、互いに対応する方向に延びていると共に、第１
冷却路１５Ａに接続している。両連絡口と反対側には、
連絡口２９．３０を形成し、これらの連絡口２９．３０
は共通管１９の連通管３１に接続している。

連通管３１．３２は、両遠心プロアケースの中心Ｏと第
１および第２連絡口２７．２８側の外周部２６との間に
第１半径部Ａｌ＋　Ｌ１２を形成する。

第２半径部ｔ２，１１は第１半径部１．．１（と反対側
の中心Ｏと外周端２６との間に形成している。したがっ
て、一方の第１半径部ｔ１と他方の第２半径部ｔ２′と
、一方の第２半径部ｔ２と他方の第１半径部ｔ！′とが
対応している。

このように、本発明では、連絡口２９．３０は一方の第
１半径部ｔ１　と他方の第１半径部ｔ１／との間に設け
たので、第１放電管２と第２放電管３との中心Ｏに設け
たことになる。このため、第１放電管２と第２放電管３
には、等しい量の混合ガス４が連通管３１．３２を介し
て矢印方向に循環し、両遠心プロア２４，２５に吸引さ
れるので、両数電管２．３に等しい混合ガス４が供給さ
れる。

したがって、両数電管２，３はグロー放電を維持するこ
とができ、レーザ光出力を低下することがない。

また、第１半径部ｔ、　、　ｔｌ’と第２半径部ｔ２゜
ｔ、／とは、対応配置している。このため、両遠心プロ
アケース２４．２５の中心Ｏがずれた時、たとえば第１
遠心プロアケース２４の中心Ｏより、第２遠心プロアケ
ース２５の中心Ｏが第１半径部ｔｌ／の側にずれている
時には、第２半径部ｔｌの側は、第１半径部ｔ１の空間
内で自由に中心位置を調整できるっこれとは、逆に、第
２遠心プロアケース２５の中心０が第１半径部ｔ２′の
側にずれている時には、第１遠心プロアケース２４を対
象的に第２半径部ｔ２側の空間内で中心位置を調整して
も良いし、部品製作あるいは組立時の誤差を第１半径部
１．．１（基準にすることで作業が容易になる。

更に、対応配置によるグロー放電が対象的で均一化でき
ることから、熱膨張や振動に対してバランスがとれるの
でレーザ光出力を安定化できる。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明のガスレーザ発生装置によれば、
レーザ光出力を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

３図は遠心ブロア近傍の平面図、第４図は第１遠心プロ
ア附近の側断面図である。 ２．３・・・放電管、４・・・混合ガス、６Ａ、６Ｂ・
・・放電部、８・・・レーザ光、１５・・・冷却路、１
７．１８・・・遠心プロア、２６・・・外周端、２７お
よび２８・・・￥　１　口 躬　２回

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、少なくとも２個以上の放電部を有し、放電部からの
   レーザ光により連絡している少なくとも２個以上の放電
   管を対応配置し、放電部間の放電管中間部と放電管両端
   部との間に冷却路を設け、各冷却路と連絡口金弁して接
   続し、かつ混合ガスを各冷却路と放電管との間で循環冷
   却する送風機と、から成るものにおいて、一方の送風機
   外周端に第１連絡口を設け、第１連絡口と反対側の他方
   の送風機外周端に第１連絡口と対応する第２連絡口を形
   成し、これらの第１および第２連絡口と反対側の連絡口
   は、第１連絡口側と第２連絡口側の送風機の中心と外周
   端との間に形成した１方の第１半径部と他方の第１半径
   部との間に形成することを特徴とするガスレーザ発生装
   置。 ２、上記連絡口は、各放電管端部に設けた２本の冷却路
   を共通にする共通管に連通ずることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載のガスレーザ発生装置。