JPS6245188A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6245188A JPS6245188A JP18534885A JP18534885A JPS6245188A JP S6245188 A JPS6245188 A JP S6245188A JP 18534885 A JP18534885 A JP 18534885A JP 18534885 A JP18534885 A JP 18534885A JP S6245188 A JPS6245188 A JP S6245188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser gas
- discharge tube
- temperature sensor
- cooling water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
０の発明は、レーザ発振器における各種構成機器の損傷
の保護に関するものである。
の保護に関するものである。
第２図は従来のレーザ発振器を示す概略購成図−第３図
は、第２図のレーザ発県器における放電“２部の断面図
である。各図において、１は放電・庁。
は、第２図のレーザ発県器における放電“２部の断面図
である。各図において、１は放電・庁。
２は部分反射鈍、３は全反射鏡−４は交流１ル源。
５は第１の熱交換器、６は第２の熱交換器、７はブロア
ー ８はガス供給装置に２けるガスボンベ−９は真空ポ
ンプ＋ １０ａ、１０ｂは金’ｉＫ 成極、１１はウ
ォータ・ジャケットである。
ー ８はガス供給装置に２けるガスボンベ−９は真空ポ
ンプ＋ １０ａ、１０ｂは金’ｉＫ 成極、１１はウ
ォータ・ジャケットである。
上記し７たような構成の従来のレーザ発振器では６放ｔ
ｆｌの外側にはウォータ・ジャケット１１が設けられて
おり、このウォータ・ジャケット】１中を流れる水（純
水）によって放電管１は冷却でれる。放電Ｗ１は誘屯体
からなり、対向する一対の金属成極］Ｏａ、１０ｂの部
分で放電をさせ。
ｆｌの外側にはウォータ・ジャケット１１が設けられて
おり、このウォータ・ジャケット】１中を流れる水（純
水）によって放電管１は冷却でれる。放電Ｗ１は誘屯体
からなり、対向する一対の金属成極］Ｏａ、１０ｂの部
分で放電をさせ。
レーザガスであるＣＯ２ガスを励起してレーザ光を発生
石せる。
石せる。
上記のような従来のレーザ発振器は以上のように構成さ
れているので、放電管ｌにおける対向する一対の金ｇｔ
ｆｆ、極１０ａ、１０ｂの部分で放電が生成されている
時、一対の金ｇＡ電極１０ａ、ＪＯｂを冷却するための
冷却水をウォータ・ジャケット１１を通して流さないと
、短時間で放に管１が破損してしまう。このように、放
電管１が破損して冷却水がレーザガス循環系路に入ると
１部分反射鏡２．全反射鏡３を始めプロ７７等の１成殴
器を損傷する度合が大になるという問題点があった。
れているので、放電管ｌにおける対向する一対の金ｇｔ
ｆｆ、極１０ａ、１０ｂの部分で放電が生成されている
時、一対の金ｇＡ電極１０ａ、ＪＯｂを冷却するための
冷却水をウォータ・ジャケット１１を通して流さないと
、短時間で放に管１が破損してしまう。このように、放
電管１が破損して冷却水がレーザガス循環系路に入ると
１部分反射鏡２．全反射鏡３を始めプロ７７等の１成殴
器を損傷する度合が大になるという問題点があった。
この発明は、かかる問題点を＃決するためにな石れたも
ので、放電管の破損時における各種構成機器の損傷を最
小限に抑えることができるレーザ発振器を得ることを目
的とする。
ので、放電管の破損時における各種構成機器の損傷を最
小限に抑えることができるレーザ発振器を得ることを目
的とする。
この発明に係るレーザ発振器は、レーザガス循環系路の
配管中に温度センサを設け、そのレーザガス循環系路に
水が入った時、冷却水系路を“α磁弁で閉鎖するように
したものである。
配管中に温度センサを設け、そのレーザガス循環系路に
水が入った時、冷却水系路を“α磁弁で閉鎖するように
したものである。
この発明のレーザ発掘器においては、レーザガス循環系
路の配管中に設置ブた温度センサにより。
路の配管中に設置ブた温度センサにより。
そのレーザガス循環系ｌｈ中に水が入った時、同系路中
の露点を検出し、電磁弁にて冷却水系路を閉鎖すること
で、他の各踵４簿成醐器の損傷度を最小限に抑えるよう
にする。
の露点を検出し、電磁弁にて冷却水系路を閉鎖すること
で、他の各踵４簿成醐器の損傷度を最小限に抑えるよう
にする。
第１図はＣの発明の一実施例であるレーザ発掘器を示す
概略構成図で、各符号１〜１１は上記第２図に示す従来
例と同一のものである。図において、 １２ａ、１２
ｂはウォータ・ジャケット１１ 。
概略構成図で、各符号１〜１１は上記第２図に示す従来
例と同一のものである。図において、 １２ａ、１２
ｂはウォータ・ジャケット１１ 。
の冷却水の入口及び出口にそれぞれ設けた電磁弁、
１３はレーザガス循ねミ系路に設けた山皮センサであ
る。
１３はレーザガス循ねミ系路に設けた山皮センサであ
る。
上記したような構成のこの発明の一実施例であるレーザ
発振器では、温度センサ１３を放ｆＬ曹ｌの近くのレー
ザガス循環系路に取り付けであるので一一刻も早く放４
ｆｌの破損を検出することができ、これにより、ウォー
タ・ジャケット１１を流れる冷却水を停止させ、各種構
成機器の損傷を最小限に防ぐことができる。
発振器では、温度センサ１３を放ｆＬ曹ｌの近くのレー
ザガス循環系路に取り付けであるので一一刻も早く放４
ｆｌの破損を検出することができ、これにより、ウォー
タ・ジャケット１１を流れる冷却水を停止させ、各種構
成機器の損傷を最小限に防ぐことができる。
この発明は以上説明したとおり、レーザ発掘器において
一レーザガス循環系路に温度センナを設け、冷却水系路
を電磁弁で閉鎖するように構成したので、放電管の破損
をいちはやく検出して冷却水を停止させ、これにより、
各種構成機器の損傷を最小限に防ぐことができるという
優れた効果を奏するものである。
一レーザガス循環系路に温度センナを設け、冷却水系路
を電磁弁で閉鎖するように構成したので、放電管の破損
をいちはやく検出して冷却水を停止させ、これにより、
各種構成機器の損傷を最小限に防ぐことができるという
優れた効果を奏するものである。
第１図はこの発明の一実施例であるレーザ発振器を示す
概略構成図、第２図は従来のレーザ発振器を示す概略構
成図、第３図は、第２図のレーザ発掘器における放電管
部の断面図である。 図において、１・・・放電管、２・・・部分反射鏡、３
・−・全反射鏡、４・・・交流電源、５・・・第１の熱
交換器。 ６・・・第２の熱交換器、７・・・ブロア、８・・・ガ
スポン（，９・・・真空ポンプ＋ １０ａ、］Ｏｂ・
・・金属電極。 １１・・・ウォータ・ジャケット、１２ａ、１２ｂ・・
・電磁弁−１３・・・温度センナである。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
概略構成図、第２図は従来のレーザ発振器を示す概略構
成図、第３図は、第２図のレーザ発掘器における放電管
部の断面図である。 図において、１・・・放電管、２・・・部分反射鏡、３
・−・全反射鏡、４・・・交流電源、５・・・第１の熱
交換器。 ６・・・第２の熱交換器、７・・・ブロア、８・・・ガ
スポン（，９・・・真空ポンプ＋ １０ａ、］Ｏｂ・
・・金属電極。 １１・・・ウォータ・ジャケット、１２ａ、１２ｂ・・
・電磁弁−１３・・・温度センナである。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）誘電体よりなる管状の放電管の軸方向をレーザ光
軸方向とし、前記放電管の外側に径方向に対向して形成
された一対の金属電極を設け、この一対の金属電極の外
側にウォータ・ジャケットを備え、前記一対の金属電極
に交流交番電圧を印加して無声放電を生じさせてレーザ
励起を行う放電電極体と、レーザガスを循環するブロア
と、レーザガスを冷却する熱交換器と、レーザガスを供
給するガス供給装置と、及びレーザガス排気用の真空ポ
ンプとを備えるレーザ発振器において、レーザガス循環
系路の配管中に温度センサを設けたことを特徴とするレ
ーザ発振器。 - （２）前記放電電極体の冷却水の出入口に電極弁を設け
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ
発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18534885A JPS6245188A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18534885A JPS6245188A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6245188A true JPS6245188A (ja) | 1987-02-27 |
Family
ID=16169217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18534885A Pending JPS6245188A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6245188A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989012921A1 (en) * | 1988-06-24 | 1989-12-28 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
| JPH02223287A (ja) * | 1988-11-21 | 1990-09-05 | Hitachi Ltd | マトリクス形表示装置及びそれに用いる制御用集積回路 |
| WO2001069649A1 (fr) * | 2000-03-13 | 2001-09-20 | Toyama Prefecture | Source de lumiere a decharge ca de type a electrodes multiples a commande de phase |
-
1985
- 1985-08-23 JP JP18534885A patent/JPS6245188A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989012921A1 (en) * | 1988-06-24 | 1989-12-28 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
| JPH02223287A (ja) * | 1988-11-21 | 1990-09-05 | Hitachi Ltd | マトリクス形表示装置及びそれに用いる制御用集積回路 |
| WO2001069649A1 (fr) * | 2000-03-13 | 2001-09-20 | Toyama Prefecture | Source de lumiere a decharge ca de type a electrodes multiples a commande de phase |
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