JPS6239083A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6239083A JPS6239083A JP17911585A JP17911585A JPS6239083A JP S6239083 A JPS6239083 A JP S6239083A JP 17911585 A JP17911585 A JP 17911585A JP 17911585 A JP17911585 A JP 17911585A JP S6239083 A JPS6239083 A JP S6239083A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge tube
- water
- discharge
- gas
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はガスレーザ装置、42Fに無声放電式の軸流
形ガスレーザ装置における放電管の冷却機構に関するも
のである。
形ガスレーザ装置における放電管の冷却機構に関するも
のである。
従来、この種の代表的な装置として軸流形CO□レーザ
装置が挙げられ、これを例に説明する。
装置が挙げられ、これを例に説明する。
第3図(&)(b)は各々従来のCO2レーザ装置の構
造を示す縦断面及び横断面構成図であり2図においテ、
Il+はパイレックスガラスや酸化チタン等の誘電体よ
りなる放電管、 euのは放電管の外壁に密着させた一
対の給電電極、(3)は給電電極e;ID匈に交流高電
圧を印加する電源2(4)は放電空間、(5)は部分反
射鏡、(6)は全反射陣、(7)Fiレーザ光、(8)
は水冷ジャケラ) 、 (5)t)は冷却水入口、 (
92)は冷却水出口である。
造を示す縦断面及び横断面構成図であり2図においテ、
Il+はパイレックスガラスや酸化チタン等の誘電体よ
りなる放電管、 euのは放電管の外壁に密着させた一
対の給電電極、(3)は給電電極e;ID匈に交流高電
圧を印加する電源2(4)は放電空間、(5)は部分反
射鏡、(6)は全反射陣、(7)Fiレーザ光、(8)
は水冷ジャケラ) 、 (5)t)は冷却水入口、 (
92)は冷却水出口である。
次に動作について説明する。一対の給電電極12Ilの
に電源(3)から交流電圧が印加されると、放電空間(
4)に無声放電と呼ばれるおだやかな放電が生じる。こ
の放電は誘電体よりなる放電管11Jを逆じて起るので
誘電体のキャパシティブ バラスト(Capaciti
ve ballast)効果により、極めて安定したグ
ロー状の放電となっている。CO2レーザ装置の場合1
例えばCo□−N2− H,−8: 60:32の割合
で混合されたレーザガスが放電空間(4)に数十Tor
rの圧力で充填されており、無声放電により、CO2分
子が励起され2部分反射璋(5)と全反射* (61で
構成される光共振器内でレーザ発振が起る。
に電源(3)から交流電圧が印加されると、放電空間(
4)に無声放電と呼ばれるおだやかな放電が生じる。こ
の放電は誘電体よりなる放電管11Jを逆じて起るので
誘電体のキャパシティブ バラスト(Capaciti
ve ballast)効果により、極めて安定したグ
ロー状の放電となっている。CO2レーザ装置の場合1
例えばCo□−N2− H,−8: 60:32の割合
で混合されたレーザガスが放電空間(4)に数十Tor
rの圧力で充填されており、無声放電により、CO2分
子が励起され2部分反射璋(5)と全反射* (61で
構成される光共振器内でレーザ発振が起る。
レーザ光の一部は矢印(7)で示されるように部分反射
鏡(6)より外部に取り出される。レーザ発振は以上の
ように行なわれるが、レーザの発振効率(レーザ出力/
放電電力)は放電空間(4)のガス温度が高くなると低
くなるため、水冷ジャケット(8)内に冷却水を流して
、放電管(1)の全周を冷却することにより、ガス温度
の上昇を抑えている。
鏡(6)より外部に取り出される。レーザ発振は以上の
ように行なわれるが、レーザの発振効率(レーザ出力/
放電電力)は放電空間(4)のガス温度が高くなると低
くなるため、水冷ジャケット(8)内に冷却水を流して
、放電管(1)の全周を冷却することにより、ガス温度
の上昇を抑えている。
従来の装置は以上のように構成されているため。
例えば放電管(1:が機械的おるいは電気的に破壊した
場合、冷却水が放電空間(4)に流入し、装置の内部が
水びたしになる。C02レーザ装置の場合、光共振用鏡
としてはZS やG が使われており。
場合、冷却水が放電空間(4)に流入し、装置の内部が
水びたしになる。C02レーザ装置の場合、光共振用鏡
としてはZS やG が使われており。
n e e
水が直接にこのような鏡に触れるとこれらの材料は耐水
性が無いため、再度使用できない状態になる。さらに第
3図に示した軸流形ガスレーザ装置の他に放電管の部分
は同じで、放電空間のレーザガスを高速で流すことによ
り、放電により発熱した熱の一部を取り去るための循項
用のブロアをそなえた高速軸流形ガス1ノ−ザ装置と呼
ばれるものがある。第4図はこのような従来の高速軸流
形ガスレーザ装置を示す断面僕成図であり2図において
、011はレーザガス循環用ブロア、dυはレーザガス
冷却用の熱交換器であり、他の番号は第3図と同一部材
である。このような高速軸流形カスレーザ装置において
、放電管(1)が破壊すると、光共振用の鏡がダメージ
を受けるだけでなく、冷却水がブロアa1.熱交換器α
υにも流入するため、ブロアの軸受けが腐食したり、ブ
ロアのモーターのコイル間で水により型筒絶縁破壊が起
ったり、また。
性が無いため、再度使用できない状態になる。さらに第
3図に示した軸流形ガスレーザ装置の他に放電管の部分
は同じで、放電空間のレーザガスを高速で流すことによ
り、放電により発熱した熱の一部を取り去るための循項
用のブロアをそなえた高速軸流形ガス1ノ−ザ装置と呼
ばれるものがある。第4図はこのような従来の高速軸流
形ガスレーザ装置を示す断面僕成図であり2図において
、011はレーザガス循環用ブロア、dυはレーザガス
冷却用の熱交換器であり、他の番号は第3図と同一部材
である。このような高速軸流形カスレーザ装置において
、放電管(1)が破壊すると、光共振用の鏡がダメージ
を受けるだけでなく、冷却水がブロアa1.熱交換器α
υにも流入するため、ブロアの軸受けが腐食したり、ブ
ロアのモーターのコイル間で水により型筒絶縁破壊が起
ったり、また。
熱交換器αυの表面に水分が付着して、レーザ装置内の
水分が除去できず、装置の修復に和尚の時間がかかるな
どのさらに大きなトラブルが発生する。
水分が除去できず、装置の修復に和尚の時間がかかるな
どのさらに大きなトラブルが発生する。
この発明は上記のような従来のものの問題点を除去する
ためになされたもので、万一、放電’ffflillが
破壊しても、水が放厄部にもれ出ない構造とし。
ためになされたもので、万一、放電’ffflillが
破壊しても、水が放厄部にもれ出ない構造とし。
かつ、レーザガスの冷却効果を従来と同じ程度にして、
レーザ発振の低下が起らないガスレーザ装置を提供する
ことを目的としている。
レーザ発振の低下が起らないガスレーザ装置を提供する
ことを目的としている。
この発明に係るガスレーザ装置は、給電電極が内部で強
制冷却された金属ブロックにより構成されるものである
。
制冷却された金属ブロックにより構成されるものである
。
この発明におけるガスレーザ装置は、金属ブロックを強
制冷却し放電管を給電電極を兼ねたこの金属ブロックで
冷却しており、放電管の破壊と水もれ等が無関係となる
。また、放電管の発熱は電極部分が主であるので上記の
ような構成においても冷却効果は従来のものと同じ程度
になる。
制冷却し放電管を給電電極を兼ねたこの金属ブロックで
冷却しており、放電管の破壊と水もれ等が無関係となる
。また、放電管の発熱は電極部分が主であるので上記の
ような構成においても冷却効果は従来のものと同じ程度
になる。
第5図にこの発明を見い出すにあたり行った基本的な実
験結果を示す。第5図は高速軸流形ガスレーザ装置にお
ける放電電力・とレーザガス放電管出口温度との関係を
示す特性図であり、第4図に示すガスレーザ装置を使い
実験した結果である。
験結果を示す。第5図は高速軸流形ガスレーザ装置にお
ける放電電力・とレーザガス放電管出口温度との関係を
示す特性図であり、第4図に示すガスレーザ装置を使い
実験した結果である。
放電管fi+の構造は第3図(b)に示すものと同様の
もので、冷却水を流した時(直線A)と、流さない時(
直線B)のレーザガスの放電管出口温度T8(℃)を各
放電電力Wd(KW)について調べたものである。第5
図から、@極の周囲を水7で冷却することにより、T
が約30%、低下していることから、放電管(1)を通
じて約30チの熱エネルギーが持ち出されていることが
実験により判明した。
もので、冷却水を流した時(直線A)と、流さない時(
直線B)のレーザガスの放電管出口温度T8(℃)を各
放電電力Wd(KW)について調べたものである。第5
図から、@極の周囲を水7で冷却することにより、T
が約30%、低下していることから、放電管(1)を通
じて約30チの熱エネルギーが持ち出されていることが
実験により判明した。
次に、この30%のエネルギーが、放電管のどの部分か
ら持ち出されているかを調べるために電極表面温度を測
定した結果を示す。
ら持ち出されているかを調べるために電極表面温度を測
定した結果を示す。
第6図は第4図の実験で使用したのと同じ装置を用いて
、放電管の水冷を行なわないときの、放電管出口部Jv
t極表面温度(直線C)と前記レーザガス温度(直線B
)との関係を、各放電電力について求めた特性図である
。第6図より、電極表面温度は、レーザガス温度よりも
高くなっているのがわかる。これは、この発明の対象と
している無声放電式の軸流形ガスレーザ装置特有の現象
である。すなわち放電管(1)の表面の一部が、電極を
兼ねているため、放電の粒子(1!E子やイオン)が電
極に衝突し、そこで発熱するため、レーザガス温度より
も電極表面温度が高くなるのである。
、放電管の水冷を行なわないときの、放電管出口部Jv
t極表面温度(直線C)と前記レーザガス温度(直線B
)との関係を、各放電電力について求めた特性図である
。第6図より、電極表面温度は、レーザガス温度よりも
高くなっているのがわかる。これは、この発明の対象と
している無声放電式の軸流形ガスレーザ装置特有の現象
である。すなわち放電管(1)の表面の一部が、電極を
兼ねているため、放電の粒子(1!E子やイオン)が電
極に衝突し、そこで発熱するため、レーザガス温度より
も電極表面温度が高くなるのである。
この発明はこのような無声放電式軸流形ガスレ−ザ装置
の熱に関する基礎的実験とその考察から生まれたもので
ある。
の熱に関する基礎的実験とその考察から生まれたもので
ある。
即ち、放電管(1)の給電電極011(ハ)の部分での
発熱が大きく、それ故に電極011Eから水冷により約
30%もの熱が持ち出されると考察される。
発熱が大きく、それ故に電極011Eから水冷により約
30%もの熱が持ち出されると考察される。
このことから、放電管を水冷するには、放電管の全周を
冷却する必要はなく、給電電極部のみを冷却すればよい
ことが発案された。
冷却する必要はなく、給電電極部のみを冷却すればよい
ことが発案された。
第1図(a)(blは各々この発明の一実施例によるガ
スレーザ装置を示す縦断面構成図及び横断面構成図であ
る。図においてellffJは放電管(1)に密着した
給電電極であり、アルミ等よりなる金属ブロックよりな
る。この給電電極Qυのは各々冷却水入口(91)及び
冷却水出口(92)を有しており、内部から水により強
制冷却されている。このような冷却構造を有するガスレ
ーザ装置において、先に示した実験と同様の実験を行い
、その冷却性能を調べた。第2図はその結果を示す特性
図であり、■印は従来の装置において水冷を行った場合
のレーザガスの放71出ロ温度の実験結果、・印はこの
発明の装置に訃いて水冷を行った場合のレーザガスの放
電管出口温度の実験結果を示す。
スレーザ装置を示す縦断面構成図及び横断面構成図であ
る。図においてellffJは放電管(1)に密着した
給電電極であり、アルミ等よりなる金属ブロックよりな
る。この給電電極Qυのは各々冷却水入口(91)及び
冷却水出口(92)を有しており、内部から水により強
制冷却されている。このような冷却構造を有するガスレ
ーザ装置において、先に示した実験と同様の実験を行い
、その冷却性能を調べた。第2図はその結果を示す特性
図であり、■印は従来の装置において水冷を行った場合
のレーザガスの放71出ロ温度の実験結果、・印はこの
発明の装置に訃いて水冷を行った場合のレーザガスの放
電管出口温度の実験結果を示す。
第2図より明らかなようにこの発明のガスレーザ装置に
おいても、従来と全く同様の冷却効果が得られる。これ
は放電電極への熱入力が給電電極部であるためであり、
この発明の考案のもとになった考察が正しいことを示し
ている。
おいても、従来と全く同様の冷却効果が得られる。これ
は放電電極への熱入力が給電電極部であるためであり、
この発明の考案のもとになった考察が正しいことを示し
ている。
このように、第1図に示す構成により従来と同一の冷却
効果が得られることから、レーザ発振も従来と同じ見損
効率で得られるのに加えて2次のような特徴が生まれる
。それは、従来の冷却構造では放電管(1)が万一破壊
した場合には、冷却水がレーザガス流路にもれ出て、信
成部品に大きなダメージを与えるが、この発明のもので
は金属ブロックを用いているので、放電管fi+の破壊
と水もれは無関係になるため修復も簡単にできる。
効果が得られることから、レーザ発振も従来と同じ見損
効率で得られるのに加えて2次のような特徴が生まれる
。それは、従来の冷却構造では放電管(1)が万一破壊
した場合には、冷却水がレーザガス流路にもれ出て、信
成部品に大きなダメージを与えるが、この発明のもので
は金属ブロックを用いているので、放電管fi+の破壊
と水もれは無関係になるため修復も簡単にできる。
また水冷ジャケット(8)が不要となるため、装置がコ
ンパクトになり、かつ安価に作成できる特徴を有する。
ンパクトになり、かつ安価に作成できる特徴を有する。
さらに、従来のものでは給電電極QD四が比較的接近(
例えば10m111程度)しており、これらは冷却水で
電気的な絶縁をしなければならないため。
例えば10m111程度)しており、これらは冷却水で
電気的な絶縁をしなければならないため。
冷却水の純水度(電気導電率)を相当上げる必要がある
。具体的には、実験では5QMg−α以上の電気導電率
にしなければならなかったが、この発明の構成では、給
電電極h(22閾は空気絶縁されるため、冷却水に高度
な純水を必要としないという長所も生まれる。
。具体的には、実験では5QMg−α以上の電気導電率
にしなければならなかったが、この発明の構成では、給
電電極h(22閾は空気絶縁されるため、冷却水に高度
な純水を必要としないという長所も生まれる。
以上のように、この発明によれば給電電極を金属ブロッ
クで構成し、その内部を強制冷却したので、万一放電管
が破壊しても水がレーザのガス系。
クで構成し、その内部を強制冷却したので、万一放電管
が破壊しても水がレーザのガス系。
光共振系に流れ込まず、信頼性のよいガスレーザ装置が
得られる効果がある。
得られる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例によるガスレーザ装置を示
す断面構成図、第2図はこの発明の一実施例によるガス
レーザ装置におけるレーザガス放電電力の関係を従来の
ものと比較した特性図、第3図及び第4図は各々従来の
ガスレーザ・装置を示す断面構成図、並びに第5図及び
第6図は従来のガスレーザ装置におけるレーザガス放電
管出口温度及び電極表面温度と放電電力の関係を示す特
性図である。 +11・・・放電管、c2υ口・・・給電電極、(3)
・・・電源、(4)・・・放電空間、(7)・・・レー
ザ光、 (91)・・・冷却水入口。 (92)・・・冷却水出口 なお1図中同一符号は同−又は和尚部分を示す。
す断面構成図、第2図はこの発明の一実施例によるガス
レーザ装置におけるレーザガス放電電力の関係を従来の
ものと比較した特性図、第3図及び第4図は各々従来の
ガスレーザ・装置を示す断面構成図、並びに第5図及び
第6図は従来のガスレーザ装置におけるレーザガス放電
管出口温度及び電極表面温度と放電電力の関係を示す特
性図である。 +11・・・放電管、c2υ口・・・給電電極、(3)
・・・電源、(4)・・・放電空間、(7)・・・レー
ザ光、 (91)・・・冷却水入口。 (92)・・・冷却水出口 なお1図中同一符号は同−又は和尚部分を示す。
Claims (2)
- (1)誘電体よりなる放電管の外壁に密着させた一対の
給電電極に交流電圧を印加して上記放電管内のレーザガ
ス中で無声放電を起こし、レーザ光を発振させるものに
おいて、上記給電電極は内部で強制冷却された金属ブロ
ックよりなることを特徴とするガスレーザ装置。 - (2)金属ブロックは水冷されている特許請求の範囲第
1項記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17911585A JPS6239083A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17911585A JPS6239083A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6239083A true JPS6239083A (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=16060270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17911585A Pending JPS6239083A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6239083A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01286376A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置用放電管 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5943583A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-03-10 | レロイ・ヴイ・サツタ−・ジユニア | ガスレ−ザ− |
-
1985
- 1985-08-14 JP JP17911585A patent/JPS6239083A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5943583A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-03-10 | レロイ・ヴイ・サツタ−・ジユニア | ガスレ−ザ− |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01286376A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置用放電管 |
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