JP4280132B2 - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4280132B2 JP4280132B2 JP2003307576A JP2003307576A JP4280132B2 JP 4280132 B2 JP4280132 B2 JP 4280132B2 JP 2003307576 A JP2003307576 A JP 2003307576A JP 2003307576 A JP2003307576 A JP 2003307576A JP 4280132 B2 JP4280132 B2 JP 4280132B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- gas laser
- gas
- laser
- conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
(2) ガスレーザ管の両端に設けられた一対の電極間に電圧を印加し、前記ガスレーザ管に封入されたレーザ媒質ガスを放電励起させてレーザビームを発生するガスレーザ装置において、前記ガスレーザ管はレーザ媒質ガスを放電励起させる内部管と該内部管に通じた外部管とからなる二重の管構造を持ち、前記内部管の表面に冷却液を流通させるための冷却ジャケットと、前記冷却液に接して接地された導体部材と、前記外部管の外側表面に接触させて接地した導体と、を設けたことを特徴とする。
2 陽極
3 陰極
8 導体
10 放電域
16 放熱フィン
17 冷却水
20 導体パイプ
28 導体
Claims (2)
- ガラスからなるガスレーザ管の両端に設けられた一対の電極間に電圧を印加し、前記ガスレーザ管に封入されたレーザ媒質ガスを放電励起させてレーザビームを発生するガスレーザ装置において、前記ガスレーザ管の表面に冷却水を流通させるためにガスレーザ管の表面を覆うように設けられたガラスからなる冷却ジャケットと、前記ガスレーザ管に帯電した負電荷を除去する帯電除去手段であって、前記ガスレーザ管の表面と前記冷却ジャケットとの間に流れる冷却水に接して接地された導体部材を有する帯電除去手段と、を備えることを特徴とするガスレーザ装置。
- ガスレーザ管の両端に設けられた一対の電極間に電圧を印加し、前記ガスレーザ管に封入されたレーザ媒質ガスを放電励起させてレーザビームを発生するガスレーザ装置において、前記ガスレーザ管はレーザ媒質ガスを放電励起させる内部管と該内部管に通じた外部管とからなる二重の管構造を持ち、前記内部管の表面に冷却液を流通させるための冷却ジャケットと、前記冷却液に接して接地された導体部材と、前記外部管の外側表面に接触させて接地した導体と、を設けたことを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003307576A JP4280132B2 (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003307576A JP4280132B2 (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | ガスレーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005079331A JP2005079331A (ja) | 2005-03-24 |
JP4280132B2 true JP4280132B2 (ja) | 2009-06-17 |
Family
ID=34410332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003307576A Expired - Fee Related JP4280132B2 (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4280132B2 (ja) |
-
2003
- 2003-08-29 JP JP2003307576A patent/JP4280132B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005079331A (ja) | 2005-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH10223955A (ja) | 高パルス繰返し数イクシマーレーザーのための空気力学的チャンバー設計 | |
US5438587A (en) | Preionizer for laser assembly | |
JP4280132B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
KR101708554B1 (ko) | 이온풍을 이용하는 히트싱크 | |
JPS6310597B2 (ja) | ||
JP2007221053A (ja) | レーザ装置 | |
JPS6026310B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
JP2003264328A (ja) | 導波路型ガスレーザ発振器 | |
JP2010251323A (ja) | 粒子線を生成するためのイオン源、イオン源用の電極並びにイオン化されるガスをイオン源内に導入するための方法 | |
JP2002026429A (ja) | ガスレーザ装置 | |
JP2009111313A (ja) | 放電励起ガスレーザ装置における予備電離機構の冷却機構 | |
JP2009099902A (ja) | 放電励起ガスレーザ装置の冷却機構 | |
RU1777526C (ru) | Электроразрядный лазер с диффузионным охлаждением | |
CA1040735A (en) | Generation of corona for laser excitation | |
JPS6346995B2 (ja) | ||
JPS6321882A (ja) | エキシマレ−ザ装置 | |
JPH0225268B2 (ja) | ||
JP2009099903A (ja) | 放電励起ガスレーザ装置の冷却機構 | |
WO2003021729A1 (en) | Laser with self-circulatory gas flow | |
JPS63228776A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
JPH05136507A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
JPH02281671A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
JPS6239083A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
JP2001320113A (ja) | 放電励起レーザ装置 | |
JPS61170086A (ja) | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080903 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081203 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090225 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090313 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140319 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |