JP2010251323A - 粒子線を生成するためのイオン源、イオン源用の電極並びにイオン化されるガスをイオン源内に導入するための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマチャンバと電極を有しており、当該電極はプラズマチャンバの方へ延在しており、イオン化されるガスのためのガス線路が前記電極の全長にわたって当該電極に対して平行に延在している、粒子線を生成するためのイオン源。
【選択図】図1
Description
Claims (14)
- 粒子線を生成するためのイオン源(2)であって、
プラズマチャンバ(4)と電極(8)を有しており、
当該電極はプラズマチャンバ(4)の方へ延在しており、
イオン化されるガスのためのガス線路(6)が前記電極(8)の全長にわたって当該電極(8)に対して平行に延在している、
ことを特徴とするイオン源(2)。 - 前記ガス線路(6)は電極管(18)内に延在している、請求項1記載のイオン源(2)。
- 前記ガス線路(6)は電極管(18)に対して同心状に配置されている、請求項2記載のイオン源(2)。
- 前記電極(8)は、前記ガス線路(6)を供給線路と接続するためのガス接続部(29)を具備した接続フランジ(16)を有しており、
当該ガス接続部(29)は前記ガス線路(6)とアライメントされている、請求項1から3までのいずれか1項記載のイオン源(2)。 - 前記電極管(18)を冷却剤(K)が流れ、当該電極管(18)は冷却剤(K)に対する環流線路(28)を有しており、当該環流線路内に前記ガス線路(6)が配置されている、請求項2または4記載のイオン源(2)。
- 前記ガス線路(6)は、包囲している環流線路(28)に対して同心状に配置されており、前記環流線路(28)は電極管(18)に対して同心状に配置されている、請求項3および5記載のイオン源(2)。
- 前記接続フランジ(16)は、前記冷却剤(K)の導入のための第1の接続部(24)を有しており、前記冷却剤(K)の排出のための第2の接続部(26)を有しており、前記ガス接続部(29)は当該接続部(24、26)のうちの1つの接続部内に配置されている、請求項4記載のイオン源(2)。
- 前記電極管(18)には端面に、イオン化されるガスのための流出開口部(30)が設けられている、請求項2から7までのいずれか1項記載のイオン源(2)。
- 前記電極管(18)は交換可能な電極先端部(20)を有しており、当該電極先端部内に前記流出開口部(30)が構成されている、請求項2から8までのいずれか1項記載のイオン源(2)。
- 前記電極管(18)と前記交換可能な電極先端部(20)との間に結合箇所(22)が配置されており、当該結合箇所内に穿孔(32)が構成されている、請求項9記載のイオン源(2)。
- イオン源(2)用の電極(8)であって、
接続フランジ(16)と電極管(18)を含んでおり、
当該接続フランジ(16)にはガス線路(6)用のガス接続部(29)が設けられており、当該ガス線路は前記電極管(18)の全長にわたって延在している、
ことを特徴とする電極(8)。 - 前記ガス線路(6)は電極管(28)に対して同心状に配置されている、請求項11記載の電極(8)。
- 前記電極管(18)に冷却剤(K)が流れ、前記電極管(18)は冷却剤(K)用の環流線路(28)を有しており、当該環流線路内に前記ガス線路(6)が配置されている、請求項11または12記載の電極(8)。
- イオン化されるガスを、粒子線を生成するイオン源(2)内に導入するための方法であって、
前記イオン源(2)はプラズマチャンバ(4)と、当該プラズマチャンバ(4)の方へ延在する電極(8)とを含んでおり、
ガスを前記電極(8)の全長にわたって、前記電極(8)に対して平行に、殊に前記電極(8)内部で、前記プラズマチャンバ(4)に導入する、
ことを特徴とする、イオン化されるガスを、粒子線を生成するイオン源(2)内に導入するための方法。
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