JP2010123467A - プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このプラズマ発生装置10は、プラズマ24を生成するプラズマ室20に隣接して設けられていて真空に排気されるアンテナ室40と、その内部に設けられていて高周波を放射するアンテナ42と、絶縁物から成り、プラズマ室20とアンテナ室40との間をガスを阻止するように仕切ると共にアンテナ42から放射された高周波を通す仕切り板54と、プラズマ室20の外部に設けられていてプラズマ室20内に電子サイクロトロン共鳴を起こす磁界Bを発生させる磁石装置60とを備えている。
【選択図】 図1
Description
20 プラズマ室
24 プラズマ
28 ガス
40 アンテナ室
42 アンテナ
48 高周波
54 仕切り板
60 磁石装置
62、64 磁石
70 ヨーク
80 出口電極
82 第1出口電極
84 第2出口電極
86 仕切り壁
Claims (5)
- 真空に排気されると共にガスおよび高周波が導入されるプラズマ室と、当該プラズマ室の一方側に設けられていて1以上の孔を有する出口電極とを有していて、前記プラズマ室内で電子サイクロトロン共鳴を利用して前記ガスを電離させてプラズマを生成して、当該プラズマを前記出口電極を通して外部に放出するプラズマ発生装置において、
前記プラズマ室に隣接して設けられていて真空に排気されるアンテナ室と、
前記アンテナ室内に設けられていて高周波を放射するアンテナと、
絶縁物から成り、前記プラズマ室と前記アンテナ室との間を前記ガスを阻止するように仕切ると共に、前記アンテナから放射された高周波を前記プラズマ室内へ通す仕切り板と、
前記プラズマ室の外部に設けられていて、前記プラズマ室内に、前記電子サイクロトロン共鳴を起こす磁界を、前記出口電極からのプラズマの放出方向と交差する方向に発生させる磁石装置とを備えていることを特徴とするプラズマ発生装置。 - 前記アンテナは、前記仕切り板に沿って伸びた形状をしており、
前記磁石装置は、前記アンテナが伸びた方向に沿って伸びた構造をしており、
前記出口電極は、前記アンテナが伸びた方向に沿って配列された複数の孔を有している請求項1記載のプラズマ発生装置。 - 前記アンテナを前記仕切り板に当接させている請求項1または2記載のプラズマ発生装置。
- 前記磁石装置は、
前記プラズマ室を挟んで相対向するように配置された第1および第2の磁石と、
前記第1および第2の磁石の背面間を接続する接続部、ならびに、前記第1および第2の磁石よりも前記プラズマの放出方向側において前記出口電極の横付近で内側に張り出して相対向する張り出し部を有していて、前記第1および第2の磁石の外側を、前記張り出し部間を除いて囲んでいるヨークとを備えている請求項1、2または3記載のプラズマ発生装置。 - 前記出口電極は、
複数の孔を有する第1出口電極と、
前記第1出口電極よりも前記プラズマの放出方向側に設けられていて、前記第1出口電極の複数の孔に対応する位置に複数の孔を有する第2出口電極と、
前記第1出口電極と第2出口電極との間に設けられていて、両電極の隣り合う孔間を仕切る仕切り壁とを備えている請求項1、2、3または4記載のプラズマ発生装置。
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