JPS5943583A - ガスレ−ザ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｊ８−１すＪ−０）　茸−力１− 発明−の分野 本発明は、レー彰゛−ボアイ：１電極装貯よりよびカス
１ノーザーに関し、＜Ｘ１゛にレーザーボア伺電極装置
の改良された細長い千〜・ンハに関する。

先−行技や１１−佑４（ａ明 １９７９年９月２５［］に登ｅｉされたカサリン。

チー・ラークマン（Ｋａｊｌ＋ｅｒｉｎｅ　Ｄ、　Ｌａ
ａｋｍａｎ）による［高い周波数を用いて横力向１．；
放出励起する導波管ガス１ノーザーＪ　　（Ｉｉ’ａｖ
ｃＨｕ、ｉ、ｄｃ　Ｇａｓ　１．、ａｓｃｒ　ｔｙｊｔ
、ｈｌｌ、ｉｇｈ　Ｔ侍ｅｑＬＩｅｌｌｃｙＴｒａｎｓ
ｖｅｒｓｅ　ＤｊＳｃｌ＋ａｒＨｅ　Ｅｘｃｌｔ、ａ−
Ｌ、、ｉ　ｏ　ｎ　）なる名称の米国特許４　、０６９
　、２５１．１明細書は、導波管レーザーについて開示
している。

この１ノーザーは、通常、例え（Ｊ、約３０旧＋７．の
から約３Ｇｌｌｚ（７）　ｖｌ＋ｆ−ｕｔ＋ｆ領域にお
けるｒ−ｒＬニーより、横方向の放出によって励起さＪ
する。これらの励起周波数（」、放出電子と放出用電極
との相ｔ）１作用を；Ｈ＋、Ｅ視オろに足るほど１・公
人きく、そのため、レー刀−の・１（１能か改良さ］し
、かつ【１法を小さくでき、Ｌ２かも、複１ｉ１１な部
分がなくなるという優れた放出性１！１か得らＪＬる。

最近、レーザーを励起している放出を閉し込めるのにネ
昏立つ中空導波管を一／Ｉしで、レーザー光を伝えるよ
うにした導波πブｊス１ノーザー１３人変興味が持たれ
ている。

１９７３年１１月１３に１に【？録されたビータ−・ウ
イリアノ、・スミノ、（１’ｅｔ、ｅｒ　ＷＮｌｉ−ａ
ｍ　Ｓｍｊ、Ｌｌ＋）による［導波管カスＬ／　−４７
−装置Ｊ　（Ｗａｖ＋４ｕｉｄｅ　Ｇａ５ｂａｓｅｒ　
１）ａｖｉｃｃｓ）なる名称の米国特許第３，７７２，
６１１吋明細書には、初期の導波管１ノーザーに悉く使
われてきた基本的７．＋１励起機構か開示されている。

この機構では、レーザー導波管の各端部近くに設けられ
ている１★、１の電極間に存在する装置行を介して、縦
方向の直流放電か得１られるようになっている。この型
の放電には、ｚ〕ｈｖという比較的大きな直流励起電圧
在要するため、大きな動力源、従って、大きな電圧を発
生させるための回路も必要となる。

米国’ｔ’、′ｌ’　ｙ’＋第３　、７７２　、６１１
　号明＃１ＩｌｌＨ：ハ、円形の導波管の回りに巻かれ
たコイるによって、「ｆ発生源か１）出る円形型の導θ
＆　ｆｆ？レーザーに関する励起についてか開示されて
いる。

このようなコ（ル型励起装置は、高く均一な放電に行な
わせることができないばかりか、結合効立を悪化さゼる
。更に、数回以上のコイルの巻き返しがあると、コイル
のｒンタクタンスは、（・＋ｉ川し得る励起周波数を、
数Ｍ１１！、以１・に制約してｔ、　：１−うことにな
る。

少ない励起電圧を用いて、より均一・な放出を１ニドる
ため、パルス化された放出を、横方向の導波管に沿って
行なうようにした導波管レーザーが開発されている。１
９７４年６月４１］にＳｅ　ｔ’Ｊさ４したビータ−・
つ２ｒリアム・スミス（１’ｃＬｅｒ　Ｗ−ｉｌｌ、ｉ
、ａｍＳｍ、ｉＬｌ＋）どオバー川〜・リーウス・ウッ
ド（ＯｂｅｒＬｌｔｃｅｖｅｓ　１ｉｌｏｏｄ）による
［横方向励起導波管ガスｌ／　−ザーＪ（ｉ’ｒａｎｓ
ｖｅｒｓｅ］、ｙ−ＵｘｃｉＬｅｄ　ｔｌｌａｖｃｇｕ
ｉｄｃ　Ｇａ５Ｉ、ｉｌ　Ｓ　ｅ　ｒ　Ｓ　）なる名称
の米国特ｆｔ第、’ｌ、８１５，０４７号明細１１１に
は、次のような横方向励起導波管ガスＬ、−４Ｊ−か開
示されている。

このカスレーザーは、平滑な名・・１の陰（がど、この
陰極と対向する壁を形成している１′１〜電ｆＬｌ−に
陽（！１かめ−）′：！されている複数の陽極部とを有
オろ゛皆１１′Ｔを（イ１１え、かつこの装置の陰極ど
陽極に電気的に接続されたレーザーの励起部をθＩ゛１
１え”Ｃいる。

また、横方向励起導波管カスレーザーは、′、ｉｌｉ直
を納める収納部と、’Ａ　’ＦＴの内部レーザーカスの
総ガス圧を高１１に相持するための複数のガス人１」よ
りよびガス７４冒−１を備えている。

横方向励起導波π′カスレーザーは、４０旧１！、程度
のパルス繰返し率の１′（＋＋連続モードで作動さＪＡ
できた。これについては、１９７６年１月発行の「オブ
ティクス　コミニュグーシゴン（ＯｐｊｊｃｕｓＣｏｍ
ｍｕｎｉｃａｔ：１ｏｎ）　Ｊ第１（５巻第１号の５０
−５３ページに、スミス（Ｓｍｉｔｌ＋）　らによる［
導波管レーザー−炭酸カスｌ’［・１．。Ｌ・−ザー＝
の繰返し皐および準連続波作動（Ｒｃｐｅｌ、１Ｌｉｏ
ｎ−１１ａＬｅ　ａｎｄ　０ｔｉ（ｌｓｊ−（’Ｊ　［
１ｐｃ−ｒａｌ、ｉｏｎ　ｏｆ　Ｃ（１，，１１編、ｂ
ａｓｅｒ）なる題名の論文に記述されている。

１９７８年７月２５１１に登録されパノ＼ワー１−・−
ｊ′−ル・シュロツスパーク（ｌＩｏｔｚａ＋〜ｄ１（
。

５ｃｈｌｏｓｓｂｅｔバ）による「強力か−）小型の導
波管ガスレー　サーＪ　　（ｌｌｉＢｈ　　Ｐｏｔｙｅ
ｒ、　　Ｃｏｍｐａｃｔ、’Ｊａ〜＋　ｃ　Ｐ、ｕ　ｉ
　ｃｌ　ｃ　Ｇ　ａ　ｓｌ、＋１ｓｃｒ）なる名称の米
国特許第４　、　Ｉ　Ｏ３、２５５号明細書は、空胴共
振器内における、強力かつ小型の導波管ガス１ノーザー
ハウジングについて開示している。

このハウジング中には、縦方向のチＡ・ンバが設（Ｊら
れでいる。このチャンバは、ｆｆｌ数の赤夕日「夜伝達
隔壁によって、複数の導波管に分割されＣいる。

レーザーを出している間、隔壁を介しで隣接しでいる導
波管の間に生ずるレーザーが漏出すると、導波管モー１
−の位相間１．が結合し、強力なレー刀−出力が得られ
ることとなる。

ブー」引　の−？罎覆勺 以１．述へできた先行技０１ｉｒにおける諸要件なＩＦ
）びし、１１１条（′１に鑑み、本発明の第１υ月−１
的は、次に述べるようｔＩ〕改良された相長いチ＼・ン
バを提供することである。すなわち、このｉ用尺いチャ
ンバ（Ｊ、イ□（７７ｇ／ｊ向励起しており、カスレー
４１−におけるＬノーザーボアイ・１電極装閘を形成し
てＪンリ、か”）４つｙｃｌ形の［す［而を備えている
ことにより、４つ星形の１ｔｌｌｌ長いチ〜・ンバの中
心部にピークかあるような１′（シ低次数のラデール・
カラスのＩ’［ｊ、、、、　Ｔニー１〜に対し２て、レ
ーリ′−エネルギーのフラッタ人を提供しでいろ０、本
発明の第２の目的は、横方向励起カスＬノーリ゛−の１
ノーぜ一ボアイ、Ｊ′ｌＴ範極装置を形成し、／）＼っ
全１１７１面に亘って　定て、がっ中心部にピークを有
するレーザーを放出」ることにより、最低次数のラデー
ル・ガウスの１’　ｌ：　ｕ　ｊｌモー１−に最も良く
村ｉ今さぜるようになっている星形の細長いチャンバを
提供することである。従って、この星形の細長いチャン
バは、レーザー放出のボンピングによって、レーザーエ
ネルギーのノラックスノ＼の結合を増太し、横方向励起
ガスレーザーの効率をよくする。

本発明の第：３σ月−１的は、位相の相互関係を保、〕
で、横方向励起カスレーザーの電極に電気的に接続す４
シている＋１発ノ１、器を提供することである。

レーザーカスが１゛イ入されているカスＩノーザ−と組
合わせて使用さＡしる細長いチャンバをｆｉ！ｆｉえて
いる本発明の改良されたレーザーボアｆ＝Ｊ　７１’を
楔装置の実施例につき説明する。

この１ノーザ−ボアイー１電極装置は、光エネルギーを
相長いチャンバの長手方向に伝達するノ＼く、イ１［１
長いチャンバの内部で、レーザーガスのｈ（出によって
生ずる光］−ネルギーを反引する第１および第ンの反射
板と、レーザーカスを（１へ方向に励起する第１才９よ
び第２の＠　ｆ８ｉを１１ｉｔｉλでいる。

各電極は導電材料から４＋・す、か−）ぞＡ（らは、１
）いに判面して設けられている。、↑、ｉ′・ルヤー発
生））８は、レーリ゛−刀ス中にし・−１ノ゛−力スの
放出ヲｆ１〆Ｊ・わ（ｊるへく、１０を団ｌから約３（
，１１／の周波数頭％Ｊで、第１才９よび第２の電極の
間に、（４１・１（１の変わる電ハを印加する。

結合回路！［・１は、イＩｌｌ長いチャンバの定雪（状
態σ）インピータンスをエネ発生−−発牛；（：（のイ
ンピータンスし整合さ仕でおり、かつ８■長いチ＼・ン
バのｒ・点火ＩＪアタタンス性インピータンζｔＡＬｔ
ｌ消すためし、第１の電極を第２の電極に接続シー、て
いる。−）才【ｊ、第１の〜ｒンビーダンス整合回路網
は、第１．１−；よび第２の電極を接続し、−・方、第
２．のイ〉′ビータニスリ：′４今回路網は、エネ・ル
ギー発’Ｉ：　Ｉｔ）に１と続しくいる。

また、この改良されたレーザーボーｉ′付電（４１狛１
１”了は、４１１１長いチャンバをｆｆ１ｆｌえている
。このチャンバは、４“−）星の形状をなし、かつレー
ザー刀スの放出を閉し込めるのに都合のよい磨１面を５
トシている。

絹長いヂＸ・ンパは、誘電材１゛トＣ作られている。

新規であるど確信される本発明の特で１“ンは、特８′
１請求の範囲に記載さＡ１ている通りである。

１・記した以１１の本発明の目的ど、その利点どに−）
いでは、以１・の１；゛（細な説明と添ｆ：Ｊ図面と（
′−よって、容易に理解することができると思う。

好ｊ肉−な一実施例−の−説−明 本発明を最も、しく理解しろるように、以下その好適実
施例を添ＩＪの図面を参照し７で説明する。

第１図に示すように、横方向励起カスＬ・−ザー（Ｉ　
Ｏ）は、ｒｌ光ノＩ゛器（１１）、改良された結合回路
、および！・［発生器（１１）を改良された結合回路に
電気的に接続している同Φ１１１コネクタ（Ｉ３）を備
えでいる。

この改良さＪした鯉１合回路は、レーザーボアイミ１電
極装置（１５）の接続部（Ａ）（１３）へ電気的に接続
さ１℃でいる第１インピーダンス’１ｊｌｊ合回路（目
）と、Ｌ／−ザーボア（＝、Ｉ電極装「１°（１５）の
先に電気的に接続されている第２インピータンス整合装
置（ｇ；）どを備えＣいる。

横方向励起ガスレーザー（１０）は、１ノーリ゛−共１
ｈζ））：（を形成する１列の光学曲尺ｎ、１（反（１
７）をも備えこいる。

第１図および第２図に示４−ように、レーザ−ボアイ、
」電極’Ｊ＋４．ｉＦｊ　（１５）は、細長イーｆ　ｖ
　ンハ（２ｎ）ｇボケ１１えている。そのチャンバ（２
０）の形状は、４つ星形であり、かつその断面積は、通
常Ｑ　、　２５ｍｍ７から７．５用ｍ２以−１−が適当
である。

星形の細長いチャンバ（２０）は、内壁（：！ｌ）を備
λ−でいる。この内壁（２１）は、ＪＩ−形の第１１１
長いチャンバ（２０）の中心に向って門人し２で湾曲１
．又おり２か−）酸化へリリウム、酸化アルミ＝つ／、
或いは刀うスのような誘電材料で作られている１、 またレーザーボアイ；１電極装置（１５）は、第１Ｊζ
よび第２のｔ、７いに平行な電極板（２２）をｔ）備え
てＡ９す、−８電極（友は、それぞれ、冷却水を通′４
−：どのて八る冷）ｉｌｌ　ｌ　＋　（２３）　＆有し
ている。この第１Ｊ−９よび第′、りの平行な電極板（
２２）は、アルミュウｌいとか外（とい−）だ導電材料
て作ら狙でＪ−９す、が−〕、ｌＬいにり・１向］−て
いる。

これら第１．ｔｌよび第２の′Ｉｕｔ４４　仮（２２）
は、レーザーガスを横方向に励起するために用にられる
１、このレーザーガスは、標Ｉｑ！的な炭酸ガスのレー
ザーガス混合物であって、その組成は１モル分率で、ヘ
リウｔ１６５％、窒素２２％、炭酸ガス１：３％からな
っている。

ｒｆ発生器（ＩＩ）は、星形の、ｔｌ［ｌ長いチャンバ
（２０）の中で、その長子、方向に列して横方向を向く
交流電場をイー１Ｆ−ｊ、シ、かつレー　リ１−ガス（
２４）中で１ノーザーガスの放出を行なわせるために、
ｌＯ旧１１から約３ＧＩＩｚの周波数領域を有し、でい
る。

レーザーカスの放出を保つためには、星形の細長いチャ
ンバ（２０）の中に、１−勺なＪ辻のレーザーガス（２
４）がなけれはｔＪ：らない１，１．ノー勺−カス（２
４）の圧力は、１１−ルから約１，０００１−ルの範囲
である。レーサーガス（２４）は、相長いチャンバ（２
０）の中に密封されている。好適実施例においては、レ
ーザーカス（２４）を星形の細長いチャンバ輯Ｏ）の中
に密封するため、その両端に、１対の反射板（１７）が
、星形の細長いチャンバ（２０）と光学的に整合させて
、数句ｌＪられている。

反射板（１７）は、星形の細長いチャンバ（２０）の内
部で、レーザーガスの放出によって生ずる光エネルギー
を反４・１シ、これにより光エネルギーは、星形の絹長
いヂ°ヤンバ（２０）の中て、長子ｈ　１ｉ’＋目ミ（
云わる。

好適実施例では、反射板（１７）は、反射たけてはなく
、星形の細長いチャンバ（２０）の内部で）°６エネル
ギーを案内して、光エネルギーか星形の郭１長いすＸ・
ンバ（２０）の内壁（２１）と光学的に干渉しない。Ｌ
うにする役目もしている。

別の実施例においては、ｊ１’、Ｊｉ向励起力スレーリ
′〜（１，０）は、レーザーカス（２４）を細長いチャ
ンバ（２（＋）の中へ導くための入］−１と、そこから
■ｌ出させるための１−１冒」、並びに、星形のイ１■
長いチＡ・ンノく（２０）内のレーザーガス（２４）の
圧）Ｊを調°１ンするためのカス調整装置を備えている
。

更に別の実施例においては、横方向励起ガスレーザー（
１０）は、囲いを備えており、その中に星形の細長いチ
ャンバ（２０）が設けらＡ（、か−）レーザーガス（２
４）が密封されている。横方向励起ブＪスレー４Ｊゞ−
（１０）は、更に、レーザーカス（２４）を囲いの中に
導くための六［１ど、そこか＋Ｅ＋排出させるための出
Ｌ１、〜）ηびに、囲い中のレーザーカス（２４）の圧
力を調整するためのカス調整装置を備えている。

第２図および第３図に示すように、第２インピーダンス
整合回路（１６）は、複数のｒ＝　Ｃ回路（３０）を備
えている。こＡしらのＬ　Ｃ回路（３０）は、それぞれ
ケーシング（３１）の中に収納さＡｔでＪ−９す１両り
が一緒１ミな−〕で５第２インビ・−ダンス整合回路（
１６）が形成さＡしている。

第１図および第２図に関連して、第１１および第５図に
一ついでＨ（２明する。

このレーザーボアイ；１′市極装置（１５）の好適実施
例においては、辛］１１長いヂＡ・ンパ（２０）は、４
つ星形の断面をなしている。星形の相長いチー＼・ンバ
（２０）は、最低、ｙｔ＜　ｌ：ｉ＋ｆａたけ隔でＣ刻
面する第１および第２の湾曲した内壁（２１）と、第３
および第４の対向する湾曲した内壁（２１）を備えてい
る。これらの内壁は、すべで、誘ｉ　、ｔ、を料で作ら
Ｊしている。

第６図に示す横方向励起ガスレ１ザー（６０）の第２の
実施例は、細長いチャンバ（７０）を有するレーザーボ
ア（ｊｌ？Ｔｉ極装置（６５）を備えでいる。この＃ｌ
Ｉｌ長いチャンバ（７０）は、方形の断面を憤し、か−
）その断面積は、０．２５ｎ＋ｍ２から７．５ｍｍ２の
範囲であるが、レーザーガスの放出を閉じ込めるために
は、７．５ＩＩＩ　１１２以」―とするのがｊ商当であ
る。

１９１面方形の細長いチャンバ（′ハ））１土内壁（１
］　）　ｔ＝＝　（４ｉｉえ、かつ内壁（７１）は、酸
化・＼すＩＪウノ１、酸化アルミニラ１１、若しくはガ
ラスの６１、う〆Ｊ：　ｉ！〜［ｔ、４料−Ｃできてい
る。

レーザーボアイ４電（炉′ｊＡ首（６５）は、第１の車
面（ル（７３）と、−ＥＪシに対して平行で、か−）そ
の反列のイー装置に設けられでいる第２の平行な電極板
（７４）と、第３の電極板（７５）および第４の電（つ
（仮（７Ｇ）ど在備えている。第４の電極板（７６）は
、第こ３の電極板（７５）に列して平行で、かつ反荊の
位置に設しノら１１てＪすり、かつ第１、第２の電極板
（７３）　（７４）　ｉ一対して直交する位置に設けら
ＪＬでいる。

各電ｔ＠仮（７３）　（７４）　（７５）　（７ｆ３）
は、−ｆれぞＪし冷却１−１（７７）を備えている。こ
の冷却口（７７）を介して冷却水が流れるが、それらは
、アルミニウノ、とか銅のような導電材料で作られてい
る。電極板（７３）　（７４）（７５）　（７６）は、
レーザーカスを横方向に励起するために用いられる。こ
のレーザーガスは、標準的な炭酸カスのレーザーガス混
合物で、その組成は、モル分率で、ヘリウ１１６５％、
窒Ｍ２２％、炭酸ガス１３％である。

ｒｆ発生器（１１）は、長方形の細長いチャンバ（７０
）の中で、その長手方向に刺して横方向の交流電場を旬
与し、かつ１ノーリ゛−カミ（２４）中でレーザ−カス
の放出を行なわｌ・るため、１０旧ＩＺか１）約３Ｇｌ
ｌｚの周波数領域となっている。

ｒ［発生器は、次のような位相の相ｌＴ、関係を保って
、ｉ！極抜（７３）　（７４）　（７５）　（７Ｇ）に
電気的に接続されＣいる。つまり、第１の電極板（７３
）は、第２の電極ｔ＆（７４）と１８０度位相がずれて
おり、第３の電極板（７５）は、第４の電極板（７Ｇ）
に刺して１８０度位相がずれており、かつ第１の電ｔｌ
！ｉｉ′Ｆｉ（７３）は、第；３の電極板（７５）と９
０度位相がずれている。

そのため、横方自励８１ノーザー（６０）の１ノー刀′
−放出に、「スピン」即ぢ丁度時８１と反対方向の回転
が生する。もし、第３の電ｔ＠板（７５）と第４の電（
似（反（７６）の（耐が３更になつＣいれは、レーザー
ｈ（１申。

は、時ｉ１１方向の回転となる。位相の角Ｊ！シは、第
６回に示されている。

第７図にボす横方向励起カス１．・−サー（８０）の第
：３の実施例は、星形の細長いチＶンバを有するレーリ
゛−ボフ２１−１電（板装置（８５）を備えですンリ１
、二のチー・ンバは、１ノーザーガスの放出を閉じ込め
るようにな−）でいる。星形の細長いチャンバは、酸化
ベリリウノ１．酸化アルミニウ１１ン’７　Ｌ　＜はガ
ラスのよう、＋こａ４電目料で作られた内ｐ、ｔ　（’
！］　１　）を（ケ１１えている。

このレー　リＩ」ボアイ・１電神ｊ装置（８５）は、第
１の電（石版（９３）と、第１の電（缶板（９：ｌ）ど
下向て、か′−）ぞの反対の位１ｉイに設けら、！して
いる第２の電極板（！１４）と、第二３の電極板（９５
）、４＋：らびに、第：３の電（色版（Ｅ１５）ど・ｌ
’行で、かつその反対の位１１′Ｙ　ｌご設け１″）れ
、かつ第１の電ｔり１板（９３）と第２の電（生板（９
４）に文ｊして直交り−る第４の電極板（４１６）とを
０１１１えでいる。

ｉ’ｒ　’ＸＸ　ｔ！！　ＩＮ　（！］：ｌ）　（！ｌ
’ｌ）（！１５）　（９ｆ３）　Ｉ：ｌｌ、７’Ｔｈノ
ー１１水’；ｃ　、’＋ｍ　’すことかてき、かつアル
ミ−ウ１１とツノ）銅のような導７我材石で１１・ら４
　＋、ノソ１母１１目（９７）をｆＩｉｉｌえて０る。

電極板（９３）　（！１４）　（９５）　（９１））　
１：、１．Ｌノー（Ｊ−ガス（２４）を横ノｊ　ｌｉ’
ｉｌに励起するために用いられる。

１Ｆ発生器（山口、長方形（〕）相長し）チＡ・ツノく
のｌ＋で、そσ）長ｒ、方向にケＩして横方１’ｌσ）
交ｉＱ電場をイ」りし５、か１）１ノーリーガス（２４
）中てレー４）−プｆスσ）放出を行なわけろため、１
０旧１ノ５から約３Ｇｌｌｚの周波数領域とな−５てい
る。

ｃｌ’発生１；；　（ｌ　ｌ　）　ｉ、ｔ、次のようン
」゛位相の相Ｚｉ’、　ＩｕＩ　ｆ系を保って、電１４
１（反Ｃ”３）　（！１４）　（９５）　（９６）に電
気的しこ１妾続されて丁いζ、５．−）まり、第１の電
極４１Ｊシ（！ｌ＋ｌ）ｌ：ｌｌ、第２の電（う１板（
！１４）と＋　８’ｉ）度位相が４゛れてＪ：；　ＩＪ
、第３の電極１反（り５）１６、第・１の電１１１０６
）と１８０１隻（ケ相が４−４シυおり、か−）第１の
１１ｔ（旬ｉ抜（り３）ｌよ、第３の電極板（９５）と
９０１庄位（１１かずＡしてＬｌと）。

そのため、（・１へ方向励起レーザー（８０）のレー勺
゛−放’、、ｌ’、１．：、「２ζビ〕・」即ち、１度
時泪と反対方向の回１１ｊ７−かノロる。ｔノし、第：
）の電（９ｊ板（９５）と第４の電トうｊ板（！］［３
）の極が′Ｊチてあｊλ５１：）、Ｌ、　−４３−）ノ
′ｆ出（Ａ、ｌ’ｌ’ｌ’　ｎ１方向の回Φ）：どなる
。位相の角Ｊ■は、第７回１−示されでいる。

第８図ｊノよび第り図に示ず４７１７　、／Ｊ向励起カ
スＬノーリ゛−（１００）の第４の実施例は、グヤツノ
＜（１（１２）を（Ｔする１、ノーーリーボアイ、Ｊ電
１うｊ装置（Ｉ　ｔ）　Ｉ　）をｆ＋ｉｉｉえている。

円形状の細長いチャンバ（１０２）　ｌ：ｉ、酸化ヘリ
リパノム、ｎｅｔ　＋ｂアルミニウム名聞く（」、カラ
スのよう＜Ｊｙ誘゛１］を材オ′・１て作らＡした円筒
状の内（：１γ（］Ｉｌ：ｌ）を（イ１１えてし）る。

レーリ゛−ポアイζＪ電極装置（ｌｏｔ）は、第１の電
極板（１（１５）　ど、セ冒しと１ｔ７ｆ−ｒて、かつ
反対の位１７”（Ｌ−、ｉ！ｆｔ（づら、１１−しいる
第２の電（うｉ（反（１０（ｉ）　と、第、′３の電極
板（１（１７）、ア：ｊ：　Ｉ）びに、第：）の電極板
（］（１７）と甲イ１て、か勺反列の位１冴に設けＩ＼
れ、かつ第１の電極（反＜　＋　ｏ　５　）と第２の電
極板（Ｉ　Ｏに　）に文１ｉ　１−で直交する第４の電
１・看（Ｊバ１０８）どを■ｊ１えている。

６氾（炉板（１０５）　（１０（ｉ）　（１０７）　（
１０Ｂ）は、冷却水を通りｍ：とができ、かつアルミニ
ウ１１とか谷・１のようイＪコ導電目ｆ１て作らＩｔて
いる冷却ｒ−，＋（１０！Ｉ）を備え又し＼る。屯（耐
（反（Ｈ）５）　（１（１（ｉ）　（１０７）　（１０
８）は、１ノーサーカス（２４）を横方向に励起するた
めに用いられる。

汀発生器（１１）１；、１：、円形の釦長いチ【・ンハ
（１０２）の中で、その長−［方向に列して横方向の交
流電場をｆ」与し、かつレーザーガス（２１Ｉ）中で大
きな！ノーザーカスの放出を行なわ仕るため、１０旧Ｉ
Ｚから約３Ｇ１１７の周波数領域どなっている。

ｒ［発生器（１１）は、θ、のような位相の相互関係を
保って、電を参阪（１０５）（１０６）（１０７）（１
０８）に電気的に接続さト、でいる。つまり、第１の電
極板（１０５）と第２の電極板（ｌ　ＱＧ）とは同一位
相にあり、ｈ口つ第３の電極板（１（１７）と第４の電
ｆ４４反（１，０８）は同一・位相にあるか、第１の電
極板（１０５）に支・Ｉし、ては１８０度位相が−づ」
Ｉｔいる。。

ｔｔ’ｉ　Ｊｊ　向励起ｉｆ　；’　１．ノー４Ｊ’　
−（１１１０）　ｉ：ｔ、、１’１．’ｌ　ｏｔ１モー
ドを発生する。このモー　１へ１よ、ラゲールー力ウス
（１，ａＨｕｃｒｒｅ−Ｇａｕｓｓｉ；＋ｎ）モードで
あ−〕で、前述した３つのレーザー（１０）　（６０）
　（８０）が初期にＪｊいでｌｌ１Ｉ　’Ｉｉに生成ず
ろ１’　＋４　　モードよりも高い次数をもっている。

１ノ−ザー放出は、円形の、ｉ’ｌｌｌ長いチャンバ（
＋０２）の円筒状内４ｉ（１０３）の外側あたりで起こ
り、かつ電極板（１０５）　（１０６）　（１０７）　
（１，０８）は、レーザー放出がＦ　−−−Ｊツ状にな
るように苅称的ＵＺ　Ｉｊ３Ｙ　’ｔ：ｌ”られでいる
。

円形の釦長いチャンバ（１，０２）内での１・−ナラ状
放出により、１１号。、１モードの発振は促進される。

第１０図および第］、　Ｏａ図に示すゴ９りては、１１
４方向励起ガス１ノーザー（ｉｉｏ）は、ｒ−ｒ発生器
（１１）とノくｔノースプリッタ−（１，１１）とを何
１１えている。パワースプリッター（Ｉｌｌ）の入力側
で、同軸コネθり（１：ｉ）か（［発イ［器（１１）に
電気的に接続さ４しており、かつ−？、シリツタ−（１
，１１）は複数の出力部に備えている。

横方向励起カスレーザー（１１０）は、第１インピーダ
ンス整合回路（１１／ｌ）とレーザーボアイ・］電ｔ（
ｘｒ　′シ１Ｉ７ｊ（ｌｉ５）　を７ｆＴ　’１−る改
良された結合回路を備えでいろ。この改良さシした結合
回路は第１インピータ゛ンス′Ｊ：り合同ｂ’１ｌ（Ｉ
ｌ’ｌ）をレーザーボアイ・１電極装Ｐ？（１１５）に
電気的に接続する第２インピーダンス整合回路（ｌ　ｌ
　Ｇ　）を備えている。

シー４ノーボア（、Ｊ電極部［（１１５）　ｌよ、星形
の細長いチャンバ（２０）ど、複数の電極部（＋２０）
を備えている。省電ｔつ３部（１２（１）は、ＨＨいに
岡白して平行をなす１苅の電（うｊ（反（＋２２）　を
Ｎ１゛１えＵいる。８電極板（１２２）は、ぞＡ（ぞＩ
ｔ、ン合去ＩＩ　Ｉ　Ｉ　（Ｊ２：ｌ）をｆｎｆｌえて
いる。レーザーボアイ４電（りｊ装置（１１５）は、冷
却１．：Ｉ　（１２５）を有する複数のａ〜ルミ１゛１
スペーサー＋２４）をＥｌｆｔｌえている８この冷却１
ｊ　（］−２５）は、電極（反（１２２）の冷却口（１
２３）と同軸」−４に位置し・でいる。

電極板（＋２２）ど誘１■を性スベー　リ−（１２４）
は、場合によって、互いに隣接して設りられ、かつ相長
いチャンバ（２０）の第１および第２の内Ｕ＆（２＋）
のそれぞれの外面に治−）　”−１ｆＣｆけら打る。

シー４Ｊ−ボ）′イ４７ｉｉ極装置汽（１１５）　１′
、Ｊ、、門面鏡のような１苅の反！Ｉｆ板（１７）をｆ
ｆ１ｉ！えている。この反射板（１７）は、星形の釧長
いチ■ンハ（２０）と光学的に整αさＪし、かつ星形の
細長いチＸ・ンハ（２０）の中にレーザーガス（２４）
を１・υ月するために、星形の細長いチＡ・ンバ（２０
）の端部に取イ４けＩらＡしている。

第２の一インピータンス整合回路（］、１６）は、複数
のインタフタンス回路（１３０）を（Ｎｉｌえている。

、これらｌ：ｌ、電極部（１２０）の−ゾ）に電気的に
それぞれ（と糸左さ汎で才ｔす、かつそれぞ゛れ、ケー
シング（１３１）に収容さ、１シでいる。

第１のインピータンス整合回路（＋１４）は、複数のＬ
　Ｃ回路（１４０）を備えている。この■、Ｃ回路（＋
／！０）は、インダクタンス回路（１３０）の−っにそ
Ｊｔぞれ電気的に接続されている。名Ｉ、ｃ回路（］／
１０）Ｉｊ、それぞれケーシング（１４＋）ｔ：’：収
容されている。

横方向励起ガスレーザー（＋１０）は、双（参人モー１
〜で１１．動し、でいる。

パワースプリッター（１１，１）の各出力部は、改良さ
Ａした結合回路のＬ　Ｃ回路（１４０）の−っに電気的
に接続さＡ（でいる。

第１１図し−示すように、第１０図のｒンピータンス°
ｙ：ｖ　合同路（１１，５）の第２のインタろｌタンス
回路（１：１（１）の代わりに、第２のｒンピータンス
゛１：（合同に’８（２］６）ノ％ナルインタ’）　夕
”）　ス回ｊ’３（２：Ｉｎ）　ｌ　ｌイ１ｊえＣいる
場合には、横方向励起力スレー」Ｊ−（２１１＋）は、
単［色モー］へで作動することになる。

以４ユ、横方向励起７＞スＩノー−−ｊ（’−に苅４−
るレーリ゛−ボア（、Ｉ電（η１装置の改良された州長
いヂャン／＜に−）いて説明し、てき／・。この改良さ
れた組長いデー・ンバの利点ｉｊ、　、　４；ｆｊ　Ｊ
Ｊ向励起メｉノ、レーりしが、どのようなモードｒ：（
１：ｇすＪするかによっ’ｌＴ、Ｘ１ｌｌｌ’にいチャ
ンバの設Ｊ１が決めら１しるというごどである。

星形の細長い（Ｖンバけ、””１１０モートで最もで１
効に作動する横方向励起カッ、１．・−チーを（ｉｌ、
給Ｌ７、円形の８・１０長い千λ”ンハけ、””Ｌｌｌ
モー＝１・Ｃ最も（１”効に住Ｊｉｌｔする（黄方向励
起カスレーザーを但イ・１１τｒる。。

図面中１３示り、　Ｃある各部間のＸ１′１１１１１ｔ
−は、・丁・“５じ一゛、保味をも−′）ものＣけｚノ
・い、 従−）て、しＩ　＋ｌｉｉ　ｌ、−、ｉ＋’ｘ　１どご
ろは、４・２光明のＪ原理の説明のためたけのものυあ
−Ｊ−’Ｃ、イ〈発明を〆Ｊ′：んら限定するものでは
ト卓・い。

【図面の簡単な説明】

第１図は、改良さ汎た結合回路を備え（−いる（’／＋
７方向励起ガスレーリ゛−の１ｌｊ（ｌ略図ＣあっＣ，
−の粘合回路目、■（口［３の細長い−ｆ〜・ンバをｆ
ｉｉＩえ、かつ本発明（７）　ｈ　ｉ１１実施例ｉ：　
ｉ＋（ｇ−ＪてつくらＩｔ　１″−、Ｌ／　−り拭−ボ
ｉ’　ｆ、Ｊ電ｉ％装置ど組合わさ１（でい；、１第１
およεｌ′第２のｒンビ−ダンス整自回路を（ｌ：ｉｉ
　、：≧ゴーいる、。 第２図は、車数のゲーシツノノの側面１り１てあ１）η
、名ケ”−シンクしは、ｐ３１数の１＝　＜：：　１１
　ｈ’ｒｉの　）か収容さ、１シ、こ１１らか一緒にｚ
、）−〕Ｙ二第１し１の第；棺ハｒンピータンス整合回
路か形成さ」しＣいる。。 第：ルレＩＩＪ、第２図の名ノλ−シ〕・・ソの中にあ
ろＩ。 （：　１Ｉ）ｌ　ｂ’ｊｉの（１（Ｃ略し１−Ｃある。 第４　＋’２１１；ｌ：　、星形の細長いチー＼・ンバ
　４；よび第１し１の第２・−」罎−ボアイ・１電（Ｗ
Ｉ詰装置廿（Ｊる力いに月面し、か−１１１行をなす１
Ｎの電１７１ｉ　＋す４の１１１ｃ　Ｉｊｌｉ面図−ζ
−＋ｊｌろ１、 第５１・Ｌｌ　ｌｅｔ　、星形の細長いｙヤニハと、第
７１［・イ１にむ（Ｊ乙）ノ１−いに５１白し、か−）
下行をもソ↓−１５′１の電（・′ｌｉ（反の縦断面図
である、１ 第に１回は、ツノ形の断面をし５〕−ｉ’ｌｌｌ　、１
、い−ｙ＼“二ツバ、並びに１−１発生Ｈ；÷が、位（
１１の化１１閂（系もｔ〕−、ノーコーｉ゛、ルＡ゛−
を分配し、Ｃいる１、ノーυ′−ボッ′１．１貸−Ｌ（
・′ｉｉ′に置Ｉ−おける１１いに対向し、か一つ甲ヱ
−１ろな」−）と１」に５１をな１２組の電極板の縦断
面図てｆ”ｌ　：：、。。 第７図は、１す「而が四つ星の形状＝、：　Ｌ、−ｃい
る釦Ｊ′、。 いチＡ′ンパ、・）ｐびにＩｆ発生：）：）が、位相の
相ｌｊ、門１系をも−）だ−ｔ　′ｉ′、□ルギーを、
づ〕配置−’ｉ、□−いろ１．、−４７’−ボア（＝Ｊ
屯を似装置１．−．をン（、Ｉニアｓ　１１’、いにン
・１向し、か−）・１′行をイＪ＝４−どとｔｉ　ｌ−
４ａ　）’、＋、　−ｔ　２組の電極板の縦［す１面１
・、１ζ〜ある。 第８［ヌ１は、円形の１！、ｌ［面のｆｌｌｔ長いＪ−
＼′ンハ、並びに目発生器が、ｊＩ′ｌ川のｔｉ’ｌ　
２７−、関係をｔノリたＬ才、ルギーを分配し１，７二
いろｌ−書１−ボアイ・１電（う！装置にＪ９りる互い
に刻面し、かつ下行３．１’ｊ＋：　４−ととも（−り
、１在なず２　ｉｌ＋の電極（及（ハ１’（、ｌす↑面
図である、第９１メ１は、円筒状のチー＼・ンバ、Ｊｌ
よび、第８同の１９ける７ｊいにン、Ｉ　ＭＩ　Ｌ、か
−）”ｌ′ｔ＋イ！も・；Ｊ−ととも（ご対をな一１２
組の電極板の翁；（［すｉ面図で１：）る、。 第１０図は、改良さＪＬ　ｌｈ　＆−＋　ｎ　回に’８
　ｋ　ｆｌｌｔ　／Ｌ、メ１！極丘−１・τ（１ｎｄｊ
Ｌ、　ｃ　を輝・本発明の僅方向励起力人１、ノーチー
の別の実施ｆｊｌ＋　（／１１ｒ（略図であって、前記
結合口ｂ′３１．ｔ、第１　ＡＥ　、Ｊ：　ヒ第２　］
］ｒビンビーンス９．ｊ％Ｗ回路を備え、１．・−リ′
−ポア（・１電（・）ｉ装置ど組αわさＪｌ。 Ｃおり、また１、／−リーボアイ・１電（・１弓’、ｉ
Ｉ：πは、星形のｊｉｌｔ長いチャンバど、■数の！ｆ
いにｋ”、１白し、か〕・１″ｆ’Ｊ’　＆な４どど’
ｂ　ニ、文１をンｆず電１ｒｌｉ　ｌｌｊ　ト！ｉ　ｆ
ｉｉ！ｉ　；ンーコイ第１　Ｃｌ　ａし１は、レーリ゛
−ボク′（，１電（う弓・す置の・部を銅＋＋１＊シ又
７１りす側面図でＪイじ、（−１１・１ｆ］、りＧ′璽
ｌいにシＩ向し・、か）１７行をな電どどもにグ、１を
な’ｊ−ｆ：”ｉ、極（５反を示し・て、１す、かつこ
の電極（反の１：　：、ｊは、第１　Ｏ１’ｒＪ中の第
２のｒンピータンス整合回路にもけるｔＱ　；；’、！
（１）（ンタンタンス回路の’−１ｋＪ　）（’、　Ｘ
’Ｊ気的（−接続さ７１シている。 第１１１！＋　１１、異なる第１のインビー′ｒンフ、
’！’ｌ’！　’ｒ’１回６１３を１１１ｊ用しで、甲
（ケｊモー１・（−作動１１．−’Ｃいイ）第１（）図
の（１１！力向励起カスし・−リーの　部を示ず１呪ｐ
１．ｉ　ｌ’ｚｌ（７Δ）で、】。 （＋、　Ｃ１）刀スレーリ゛−（ＩＩ）ｒｌ−イご’１
ｆ！ｉ＋（１３）卜ＩＩ□ｌ・山」才、タタ （１４）（ｌｆｉ）　（シビータンス′７：ｒ合回路（
＋５）　Ｌノーサーボｊ′イ・１電（う擢２置　　（Ａ
）　（１１）接続部（１７）反ｎ・１（反　　　　　　
　　　　（２０）ヂ＼ンバ（２１）内（１、ζ　　　　
　　　　　　　（２２）電（・川ｙｉ（２３）冷却１１
（２４）　ｌか一す−カス（：屓１）　ｒ、、　Ｃ回路
　　　　　　　　　　　　　　　　　（３＋　）ノｙ−
−シニノク（１）（リカスＬ、・−」）−（Ｇ５）　ｌ
・−リーボアｆｔ＋電（別装置（７０）チャンバ　　　
　　　　　　（７１）１／−１１；？（７３）　（７４
）　（７５）　（７６）電Ｖ！１反　　　　（７７）冷
却１１（８０）ガスしノー１．ナー　　　　　　　　（
８５）レーザーボア（＝Ｊ電（！借υ「ｔ（！、１１）
内壁　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（！Ｉ
ｆ）（９４）（９５）（！１６）Ｍ呈１耐（反（！ｌ’
７）２令却Ｌｉ、、＋　　　　　　　　　　　　　　（
１（ｌｆｉ＋）メｊ、１２．Ｌハ−リゞ−（Ｉｏｌ、）
Ｌノーチーポアト１４”ｉｌ徊゛ｉ！、置　（１（１２
）チャンバ（１０３）内壁　　　　　　　　　　　　（
１（ｌｉｉ）（ＩＯＣ）（１０ね（ｌ叫（）市（・舅反
（！ｏ９）ｌ；ンＪｉｌｌ　ｌ−１（ｌ　ｌ　（１）カ
スＬ・−１ノ゛−（ＩＩ＋）バリー　スｊ′１ノ：Ｊ （ｌ　１＝１）　（１１６）　（：）ピータンス’Ｒ’
！　ｎ回路（１１５）ｌ／　　’Ｊ”ｉ’ｌ＜−ｊ’（
４’？Ｃ１，、極Ｊ１詰１”ｉ、　　（１２（１）ｉＥ
ｉ極部（＋２２）電（！１；阪　　　　　　　　　　（
＋２１）冷却１１（＋２４）スベー　リ−（１；切代７
タイ！タンス回路（１３１）（ト１１）、！ｒ−シンイ
”　　　　　　（］　４０）　１．　Ｃ１１，ｉｌ路（
２１，０）刀スレー　リ゛−（２１（’；）　（ンビ−
ダン７研１ン合回路Ｆｉｇ　８ Ｆｉｇ、　７ Ｆｉｇ　９

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）ガス１．ハーリ１〜と絹合わゼて用いら、ｂる細
   長いチャンバを備えでいる改良されたレーザーボアイ；
   １電極装置であ、って、 （ａ）前記細長いヂャンバ内に封入さ汎ているレーザー
   ガスと、 （１））光エネルギーか前記細長いチャンバの長手方向
   に伝わるノ＼く、前記細長いチャンバの内部で前、！ｉ
   ）レーザーカスの放出によって生ずる）１５エネルギー
   を反射するｊ己めの第１おにび第２の反射装面と、 （Ｃ７）導電（１料で住ｌ″１れ、かつ互いに対向して
   設Ｌｊ　Ｉ’、れだ、前記シ／−ザーガスを横ｊ５向に
   励起するための第１Ｊ、９よび第２の電極装置と。 （ｄ）　レーザ−カス中でその放出をＩＩＪ能ならしめ
   るため、１０Ｍｌ１ｚから約：３Ｇｌ１７．の周波数領
   域で第１および第２の電極装置の間に極性を変え得る電
   ハ、を印加するためσ）ニオ・ルｘ　−’Ｍ２１ｉと、
   （ｃ）第１のインピーダンス１）口８々１ｖｉ力へ第１
   　、ｔ、；　、Ｊ：び第２の電極装置に接続さＪＸ、、
   力・−１）第２のインビータンス整合装置行力１′Ｊ゛
   才、ルギー′皆［１ゞｔ【こ１弱続されることによ−〕
   て、岸・＋１＋　、ｔ：↓１１チ゛ヤン・ノくσ〕−ｒ
   ・点火のりアシタンス性インピータンス４１１ち？１′
   １オペく、絹長いチャンノ＜（７）、に・；；（ご因態
   σ）１ノーｉ′クタン刈（１インピーダン・スを−１−
   ネルギー１シｉ　ｌｉ’ｆの１′ンビーダンスに整合さ
   −け、力Ｘ″）、第１の電１乎装防を第２の電極装（ｉ
   ’（Ｌ−１’＃　Ｍｉさ仕ろた一〃）の髭合装首 とから成り、 ｌ）’ｌ　＋ｊｉ！改良された１ノーザ−ｄ丈ｊ′イ、
   １賽（（セミ１与１（遍ｃカ〜、・ｉ　−）　Ｊ−Ｊの
   形状をなすとと士）船５Ｊ、レー」ヂーヲＪフ、σ）／
   ｊ＆　出３　閉Ｕ　込メル（１）　ニｉａ　＃Ｉ　’、
   Ａ　ｆＱｉ　ｉｒ＋Ｉ　＋１４をイｉＬ、力へ−）導電
   ４石て作１゛、引Ｘ、てνＡる絹Ｊ送−１°−＼・二ノ
   ！くブ）＼ｔ゛）成−）τいることを’ｔ、’１′徴と
   ｉるｌノ　（Ｊ゛・−ンｊ々う′イ、＋■主極装置。 、（２） （＝１）　　レーザーガスの放出を閉し／ＪΔどンるの
   ｉこｊ所ゝ１１な断面積をイ１し、か−〕導′唱Ａオ゛
   ；１でイヤ↓Ｉ、、ｌｔ−だ（Ｘる細長いチャンバと、 （［））この細長いチャンバ内に封入さ４℃てし）るレ
   ーザーカスど、 （ｃ）光コーネルギーが細長いチャン）＜の長手力＋ｒ
   ｊＪに伝わる際、そ」しで４１１長し）チャンＡのｌ’
   ｊｌ　ＷＩＳ壁ど光学時１′ニー無関係となるよう、細
   長１＼チャンバの内部でレーザーガスの放出し；よって
   生ずる光エネルＸ−を反射し、かつ案内するための第１
   および第２の反射装置と、 （ｄ）ぞ」１．そ４１博電＋、４料かＩらなり、かつ７
   ７ｊ）ｌこ対向し、７ζ設け１′、れ、しノーザーガス
   を横方向Ｌ′−房り紐４るための第１および第２の′ｒ
   ｉＳ極装胃と、（ｅ）そシ（、それ心電材料からなり、
   か″）７ｉ、Ｌ）しこ文１面して設けられ、１ノーザー
   刀スを横方ＴＡＪ　ＬＺ励起するための第：目りよび第
   ４の電極装置と、（［）シー１トス中ス中て１ノーザー
   カスの放、Ｉ−Ｂ　’ｅ　１ｊ（能ならしめるため、１
   ０肛Ｚから約３ＧＩＩｚの周波数領域を位＋１１の相）
   ｆ関係を保−ってすする電極装置に極性を変え得る電圧
   を印加するため（［ζ）第１のインピーダンス整合装置
   が第１および第２の電極装置に接続され、か一つ第２の
   インピータ′ンス整合装圃がエネルギー装置に１妾続さ
   れることによって、細長いチャンバのｒ・点火のリアク
   タンス性−ｒンピータンスをＩＩち消すべく、細長いチ
   ャンバの定′畠状態の１１アクタンス性インピータンス
   をエネルギー装置；’、ｆのインピーダンスに整合させ
   、かつ、第１の電極装置を第２の電極装置に接続させる
   ための結合装置 どか１゛）成ることを′特徴とするカスレーザー。 （：九）細長いチャンバが、長方形の１η↑而ど、第１
   の電位ｌ々置と第２の電極装置どの位相か１８０度′ｉ
   ｌね、第二（の電極装置と第４のＷ極装巨どの位相か１
   ．８０度ずＪしかつ第１の電（つ（装置と第：３の電極
   装置との位相が９０度ずれでいるような電（・五装置の
   位相関係とを有することを特徴とする特許請求の範囲第
   （２）項Ｆ；記戦のカス１ノーザー。 （４）細長いチャンバが、円形の断面と、第１の電極装
   「ｔと第２の電（４；装置どの位相が合い、第３の電極
   装置と第４の電極装置との位相が合い、かつ第１の電（
   ｌｌＩ装置と第：３の電極装置との位相が１８０度す狛
   でいるような電極装置の位相関係どをｆｉ　”ｉＪるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第（２）に記載のガスレ
   ーザー。 （５）相長いヂ＼・ンバが、４つ星状の断面と、第１の
   電極装置と第２の電極装ｈ；どの位相が１８０度ずれ、
   第３の電極装置と第４の電（吊装置との位相か１８０度
   ４″れ、かつ第１の電極装置と第３の電極装置どの位相
   が９０度ずれでいるような電極装置行の位相関係とを有
   することを特徴とする１、〒Ｒｒｒ請求の範囲第（２）
   項に記載のカス１ノーリ゛−０