JPS6048918B2

JPS6048918B2 - ガスレ−ザ−

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Publication number: JPS6048918B2
Application number: JP58140437A
Authority: JP
Inventors: レロイ・ヴイ・サツタ−・ジユニア
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1982-07-30
Filing date: 1983-07-30
Publication date: 1985-10-30
Also published as: CA1198199A; DE3327257A1; GB2126777A; GB2126777B; US4464760A; GB8319974D0; JPS5943583A

Description

【発明の詳細な説明】発明の背景発明の分野本発明は、ガスレーザーに関し、特にガスレーザーの改
良された細長いチャンバに関する。

先行技術の説明１９７奔９月２５田こ登録されたカサリ
ンデー゜ラークマン（ＫａｔｈｅｒｉｎｅＤ、Ｌｌａｋ
ｍａｎ）による「高い周波数を用いて横方向に放出励起
する導波管ガスレーザー」（ＷａｖｅｇｕｉｄｅＧａｓ
ＬａｓｅｒｗｉｔｈＨｉｇｈＦｒｅｑｕｅｎｃｙＴｒａ
ｎｓｖｅｒｓｅＤｉｓｃｈａｒｇｅＥｘｃｉｔａｔｉｏ
ｎ）なる名称の米国特許４０６９２５１号明細書は、導
波管レーザーについて開示している。

このレーザーガスは、通常、例えば、約３０ＭＨ２のか
ら約３ＧＨ２（７）ｖｈｔ−ｕｈｆ領域におけるｄによ
り、横方向の放出によつて励起される。

これらの励起ノ周波数は、放出電子と放出用電極との相
互作用を無視するに足るほど十分大きく、そのため、レ
ーザーの性能が改良され、かつ寸法を小さくでき、しか
も、複雑な部分がなくなるという優れた放出特性が得ら
れる。最近、レーザーを励起している放出を閉じ込
めるのに役立つ中空導波管を介して、レーザー光を伝え
るようにした導波管ガスレーザーに大変興味が持たれて
いる。

１９７坪１１月１３田こ登録されたヒータ一・ウイルア
ム．スミス（ＰｅｔｅｒＷｉｌｌｉａｍＳｍｉｔｈによ
る「導；波管ガスレーザー装置」（Ｗａｖｅｇｕｉｄ
ｅＧａｓレＳｅｒＤａｖｉｃｅｓ）なる名称の米国特許
第３７７２６１１号明細には、初期の導波管レーザーに
悉く使われてきた基本的な励起機構が開示されている。
この機構では、レーザー導波管の各端部近くに設けられ
ている１対の電極間に存在する装置を介して、縦方向の
直流放電が得られるようになつている。この型の放電に
は、１０ｋＶという比較的大きな直流励起電圧を要する
ため、大きな動力源、従つて、大きな電圧を発生させる
ための回路も必要となる。米国特許第３７７２６１１号
明細書には、円形の導波管の回りに巻かれたコイるによ
つて、Π発生源から出る円形型の導波管レーザーに関す
る励起についてが開示されている。

このようなコイル型励起装置は、高く均一な放電を行な
わせることができないばかりか、結合効立を悪化させる
。

更に、数回以上のコイルの巻き返しがあると、コイルの
インダクタンスは、使用し得る励起周波数を、数ＭＨｚ
以下に制約してしま．うことになる。少ない励起電圧を
用いて、より均一な放出を得るため、パルス化された放
出を、横方向の導波管に沿つて行なうようにした導波管
レーザーが開発されている。

１９７押６月４田こ登録されたヒーターー・ウイリア
ム・スミス（ＰｅｔｅｒＷｉｌｌｉａｍＳｍｉｔｈ）と
オバート．りーヴス・ウッド（０ｂｅｒｔＲｅｅｖｅｓ
Ｗ００ｄ）による「横方向励起導波管ガスレーザー」（
Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅｌｙ上ＸｃｉｔｅｄＷａｖｅｇｕ
ｉｄｅＧａｓレＳｅｒｓ）なる名称の米国特許第３８１
５０４７号明３細書には、次のような横方向励起導波管
ガスレーザーが開示されている。

このガスレーザーは、平滑な銅の陰極と、この陰極と対
向する壁を形成している誘電体上に陽極がめつきされて
いる複数の陽極部とを有する装置４（を備え、かつこの
装置の陰極と陽極に電気的に接続されたレーザーの励起
部を備えている。

また、横方向励起導波管ガスレーザーは、装置を納める
収納部と、装置の内部レーザーガスの総ガス圧を高目に
維持するための複数のガス入口およびガス出口を備えて
いる。

横方向励起導波管ガスレーザーは、４０ＫＨ２程度のパ
ルス繰返し率の準連続モードで作動されてきた。これに
ついては、７１９７存１月発行の「オプテイクスコミ
ニュケーション（０ｐｔｉｃｕｓＣ０ｍｍｕｎｉｃａｔ
ｉ０ｎ）」第ル巻第１号の５０〜５３ページに、スミス
（Ｓｍｉｔｈ）らによる「導波管レ−ザーー炭酸ガスＴ
ＥＯＯレーザーの繰返し率および準連続波作動（Ｒｅｐ
ｅｔｉｔｉＯｎ−ＲａｔｅａｎｄクＱｕａｓｉ−ＣＷＯ
ｐｅｒａｔｉＯｎＯｆＣＯ２ＴＥ．ｘ）Ｌａｓｅｒ）な
る題名の論文に記述されている。１９７８年７月２５日
に登録されたハワード・アール・シユロツスバーグ（Ｈ
ＯｗａｒｄＲ．ＳｃｈｌＯｓｓｂｅｒｇ）による「強力
かつ小型の導波管レ；−ザー」（ＨｉｇｈＰＯｗｅｒ，
ＣＯｍｐａｃｔＷａｖｅｇｕｉｄｅＧａｓＬａｓｅｒ）
なる名称の米国特許第４１０３２５５号明細書は、空胴
共振器内における、強力かつ小型の導波管ガスレーザー
ハウジングについて開示している。

このハウジング中には、縦方向のチャンバが設けられて
いる。

このチャンバは、複数の赤外線伝達隔壁によつて、複数
の導波管に分割されている。レーザーを出している間、
隔壁を介して隣接している導波管の間に生ずるレーザー
が漏出すると、導波管モードの位相同士が結合し、強力
なレーザー出力が得られることとなる。発明の要約以上述べてきた先行技術における諸要件ならびに諸条件
に鑑み、本発明の第１の目的は、次に述べるような改良
された細長いチャンバを提供することである。

すなわち、この細長いチャンバは、横方向励起しており
、ガスレーザーにおけるレーザーボア付電極装置を形成
しており、かつ４つ星形の断面を備えていることにより
、４つ星形の細長いチャンバの中心部にピークがあるよ
うな最低次数のラゲール・ガウスのＴＥ（Ｘ）モードに
対して、レーザーエネルギーのフラックスを提供してい
る。本発明の第２の目的は、横方向励起ガスレーザーの
レーザーボア付電極装置を形成し、かつ全断面に亘つて
一定で、かつ中心部にピークを有するレーザーを放出す
ることにより、最低次数のラゲール・ガウスのＴＥＯＯ
モードに最も良く結合させるようになつている星形の細
長いチャンバを提供することである。

従つて、この星形の細長いチャンバは、レーザー放出の
ポンピングによつて、レーザーエネルギーのフラックス
への結合を増大し、横方向励起ガスレーザーの効率をよ
くする。本発明の第３の目的は、位相の相互関係を保つ
！て、横方向励起ガスレーザーの電極に電気的に接合さ
れているｄ発生器を提供することである。レーザーガス
が封入されているカスレーザーと組合わせて使用される
細長いチャンバを備えている本発明の改良されたレーザ
ーボア付電極装置の・実施例につき説明する。このレー
ザーボア付電極装置は、光エネルギーを細長いチャンバ
の長手方向に伝達するべく、細長いチャンバの内部で、
レーザーガスの放出によつて生ずる光エネルギーを反射
する第１および第２の反射板と、レーザーガスを横方向
に励起する第１および第２の電極を備えている。

各電極は導電材料からなり、かつそれらは、互いに対向
して設けられている。

エネルギー発生器は、レーザーガス中にレーザーガスの
放出を行な−わせるべく、１０ＭＨｚから約３ＧＨｚの
周波数領域で、第１および第２の電極の間に、極性の変
わる電圧を印加する。結合回路網は、細長いチャンバの
定常状態のインピーダンスをエネルギー発生器のインピ
ーダンスに整合させており、かつ細長いチャンバの予点
火リアクタンス性インピーダンスを打消すために、第１
の電極を第２の電極に接続している。

つまり、第１のインピーダンス整合回路網は、第１およ
び第２の電極を接続し、一方、第２のインピーダンス整
合回路網は、エネルギー発生器に接続している。また、
この改良されたレーザーボア付電極装置は、細長いチャ
ンバを備えている。

このチャンバは、４つ星の形状をなし、かつレーザーガ
スの放：出を閉じ込めるのに都合のよい断面を呈して
いる。細長いチャンバは、誘電材料で作られている。新
規であると確信される本発明の特徴は、特許請求の範囲
に記載されている通りである。

つ上記した以外の本発明の目的と、その利点とについ
ては、発明の詳細な説明と添付図面とによつて、容易に
理解することができると思う。好適な実施例の説明本発明を最もよく理解しうるように、以下その好適実施
例を添付の図面を参照して説明する。

第１図に示すように、横方向励起ガスレーザー１０は、
Π発生器１１、改良された結合回路、およびｄ発生器１
１を改良された結合回路に電気的に接続している同軸コ
ネクタ１３を備えている。この改良された結台回路は、
レーザーボア付電極装置１５の接続部Ａ，Ｂへ電気的に
接続されている第１インピーグンス整合回路１４と、レ
ーザーボア付電極装置１５の先に電気的に接続されてい
る第２インピーダンス整合装置１６とを備えている。横
方向励起ガスレーザー１０は、レーザー共振器を形成す
る１対の光学的反射板１７をも備えている。

第１図および第２図に示すように、レーザーボア付電極
装置１５は、細長いチャンバ２０を備えている。

そのチャンバ２０の形状は、４つ星形であり、かつその
断面積は、通常０．２５−から７．５７Ｔ８ｆｔ以上が
適当である。星形の細長いチャンバ２０は、内壁２１を
備えている。

この内壁２１は、星形の細長いチャンバ２０の中心に向
つて凹入して湾曲しており、かつ酸化ベリリウム、酸化
アルミニウム或いはガラスのような誘電材料で作られて
いる。またレーザーボア付電極装置１５は、第１および
第２の互いに平行な電極板２２をも備えており、各電極
板は、それぞれ、冷却水を通すことのできる冷却口２３
を有している。

この第１およびＪ第２の平行な電極板２２は、アルミニ
ウムとか銅といつた導電材料で作られており、かつ互い
に対向している。これら第１および第２の電極板２２は
、レーザーガスを横方向に励起するために用いられる。

こ丁のレーザーガスは、標準的な炭酸ガスのレーザーガ
ス混合物であつて、その組成は、モル分率で、ヘリウム
６５％、窒素２２％、炭酸ガス１３％からなつている。
ｄ発生器１１は、星形の細長いチャンバ２０のフ中で、
その長手方向に対して横方向を向く交流電場を付与し、
かつレーザーガス２４中でレーザーガスの放出を行なわ
せるために、１０ＭＨｚから約３ＧＨｚの周波数領域を
有している。

レーザーガスの放出を保つためには、星形の細長いチャ
ンバ２０の中に、十分な量のレーザーカス２４がなけれ
ばならない。

レーザーガス２４Ｃ圧力は、１トルから約１００叶ルの
範囲である。レーザーガス２４は、細長いチャンバ２０
の中に井封されている。好適実施例においては、レーザ
ーイガス２４を星形の細長いチャンバ２０の中に密封
するため、その両端に、１対の反射板１７が、星形の細
長いチャンバ２０と光学的に整合させて、取付けられて
いる。反射板１７は、星形の細長いチャンバ２０の内部
で、レーザーガスの放出によつて生ずる光エネルギーを
反射し、これにより光エネルギーは、星形の細長いチャ
ンバ２０の中で、長手方向に伝わる。

好適実施例では、反射板１７は、反射だけではなく、星
形の細長いチャンバ２０の内部で光エネルギーを案内し
て、光エネルギーが星形の細長いチャンバ２０の内部２
１と光学的に干渉しないようにする役目もしている。

別の実施例においては、横方向励起ガスレーザー１０は
、レーザーガス２４を細長いチャンバ２０の中へ導くた
めの入口と、そこから排出させるための出口、並びに、
星形の細長いチャンバ２０内のレーザガス２４の圧力を
調整するためのガス調整装置を備えている。

更に別の実施例においては、横方向励起ガスレーザー１
０は、囲いを備えており、その中に星形の細長いチャン
バ２０が設けられて、かつレーザーガス２４が密封され
ている。

横方向励起ガスレーザー１０は、更に、レーザーガス２
４を囲いの．中に導くための入口と、そこから排出させ
るための出口、並びに、囲いの中のレーザーガス２４の
圧力を調整するためのガス調整装置を備えている。第２
図および第３図に示すように、第２インピーーダンス整
合回路１６は、複数のＬＣ回路３０を備えている。

これらのＬＣ回路３０は、それぞれケーシング３１の中
に収納されており、両者が一緒になつて、第２インピー
ダンス整合回路１６が形成されている。４第１図および第２図に関連して、第４および第５図につ
いて説明する。

このレーザーボア付電極装置１５の好適実施例において
は、細長いチャンバ２０は、４つ星形の断面をなしてい
る。

星形の細長いチャンバ２０は、最低、距離ｄだけ隔てて
対向する第１および第２の湾曲した内壁２１と、第３お
よび第４の対向する湾曲した内壁２１を備えている。こ
れらのｑ内壁は、すべで、誘電材料で作られている。第
６図に示す横方向励起ガスレーザー６０の第２の実施例
は、細長いチャンバ７０を有するレーザーボア付電極装
置６５を備えている。この細長いチャンバ７０は、方形
の断面を呈し、かつそのθ断面積は、０．２５−から７
．５−の範囲であるが、レーザーガスの放出を閉じ込め
るためには、７．５一以上とするのが適当である。断面
方形の細長いチャンバ７０は内壁７１を備え、かつ内壁
７１は、酸化ベリリウム、酸化アル５ミニウム、若しく
はガラスのような誘電材料でできている。レーザーボア
付電極装置６５は、第１の電極板７３と、それに対して
平行で、かつその反対の位置に設けられている第２の平
行な電極板７４と、′第３の電極板７５および第４の電
極板７６とを備えている。

第４の電極板７６は、第３の電極板７５に対して平行で
かつ反対の位置に設けられており、かつ第１、第２の電
極板７３，７４に対して直交する位置に設けられている
。各電極板７３，７４，７５，７６は、それぞれ冷却口
７７を備えている。

この冷却口７７を介して冷却水が流れるが、それらは、
アルミニウムとか銅のような導電材料で作られている。
電極板７３，７４，７５，７６は、レーザーガスを横方
向に励起するために用いられる。このレーザーガスは、
標準的な炭酸ガスのレーザーガス混合物で、その組成は
、モル分率で、ヘリウム６５％、窒素２２％、炭酸ガス
１３％である。ｄ発生器１１は、長方形の細長いチャン
バ７０の中で、その長手方向に対して横方向の交流電場
を付与し、かつレーザーガス２４中でレーザーガスの放
出を行なわせるため、１０ＭＨｚから約３ＧＨｚの周波
数領域となつている。

ゴ発生器は、次のような位相の相互関係を保つて、電極
板７３，７４，７５，７６に電気的に接続されている。

つまり、第１の電極板７３は、第２の電極板７４と１８
０度位相がずれており、第３の電極板７５は、第４の電
極板７６に対して１８０度位相がずれており、かつ第１
の電極板７３は、第３の電極板７５と９０度位相がずれ
ている。そのため、横方向励起レーザー６０のレーザー
放出に、「スピン即ち、丁度時針の運動の反対方向の回
転が生ずる。もし、第３の電極板７５と第４の電極板７
６の．極性が逆になつていれば、レーザー放出は、時針
の運動方向と反対方向の回転となる。

位相の角度は、第６図に示されている。第７図に示す横
方向励起ガスレーザー８０の第３の実施例は、星形の細
長いチャンバを有するレーザーボア付電極装置８５を備
えており、このチャンバは、レーザーガスの放出を閉じ
込めるようになつている。

星形の細長いチャンバは、酸化ベリリウム、酸化アルミ
ニウム若しくはガラスのような誘電材料で作られた内壁
９１を備えている。このレーザーボア付電極装置８５は
、第１の電極板９３と、第１の電極板９３と平行で、か
つその反対の位置に設けられている第２の電極板９４と
、第３の電極板９５、ならびに、第３の電極板９５と平
行で、かつその反対の位置に設けられ、かつ第１の電極
板９３と第２の電極板９４に対して直交する第４の電極
板９６とを備えている。各電極板９３，９４，９５，９
６は、冷却水を通すことができ、かつアルミニウムとか
銅のような導電材料で作られた冷却口９７を備えている
。電極板９３，９４，９５，９６は、レーザーガス２４
を横方向に励起するために用いられる。ｄ発生器１１は
、長方形の細長いチャンバの中で、その長手方向に対し
て横方向の交流電場を付与し、かつレーザーガス２４中
でレーザーガスの放出を行なわせるため、１０ＭＨｚか
ら約３ＭＨｚの周波数領域となつている。ｄ発生器１１
は、次のような位相の相互関係を保つて、電極板９３，
９４，９５，９６に電気的に接続されている。

つまり、第１の電極板９３Ｓは、第２の電極板９４と１
８０度位相がずれており、第３の電極板９５は、第４の
電極板９６と１８０度位相がずれており、かつ第１の電
極板９３は、第３の電極板９５と９０度位相がずれてい
る。そのため、横方向励起レーザー８０のレーザーつ
放出に、「スピン」即ち、丁度時計と反対方向の回転が
生ずる。もし、第３の電極板９５と第４の電極板９６の
極が逆であれば、レーザー放出は、時計方向の回転とな
る。位相の角度は、第７図に示されている。第８図およ
び第９図に示す横方向励起ガスレーザー１００の第４の
実施例は、チャンバ１０２を有するレーザーボア付電極
装置１０１を備えている。

円形状の細長いチャンバ１０２は、酸化ベリリウム、酸
化アルミニウム若しくはガラスのような誘電材料で作ら
れた円筒状の内壁１０３を備えている。レーザーボア付
電極装置１０１は、第１の電極板１０５と、それと平行
で、かつ反対の位置に設けられている第２の電極板１０
６と、第３の電極板１０７、ならびに、第３の電極板１
０７と平行で、かつ反対の位置に設けられ、かつ第１の
電極板１０５と第２の電極板１０６に対して直交する第
４の電極板１０８とを備えている。

各電極板１０５，１０６，１０７，１０８は、冷却水を
通すことができ、かつアルミニウムとか銅のような導電
材料で作られている冷却口１０９を備えている。

電極板１０５，１０６，１０７，１０８は、レーザーガ
ス２４を横方向に励起するために用いられる。

ｄ発生器１１は、長方形の細長いチャンバ１？２の中で
、その長手方向に対して横方向の交流電場を付与し、か
つレーザーガス２４中で大きなレーザーガスの放出を行
なわせるため、１０ＭＨｚから約３ＭＨｚの周波数領域
となつている。

ゴ発生器１１は、次のような位相の相互関係を保つて、
電極板１０５，１０６，１０７，１０８に電気的に接続
されている。

つまり、第１の電極Ｊ板１０５と第２の電極板１？６と
は同一位相にあり、かつ第３の電極板１０７と第４の電
極板１０８は同一位相にあるが、第１の電極板１０５に
対しては１８０度位相がずれている。横方向励起ガスレ
ーザー１００は、ＴＥＯＯモー７ドを発生する。

このモードは、ラゲールーガウス（Ｌｌｇｕｅｒｒｅ−
Ｇａｕｓｓｉａｎ）モードであつて、前述した３つのレ
ーザー１０，６０，８０が初期において簡単に生成する
ＴＥＯＯモードよりも高い次数をもつている。レーザー
放出は、円形の細長いチャンバ１０２の円筒状内壁１０
３の外側あたりて起こり、かつ電極板１０５，１０６，
１０７，１０８は、レーザー放出がドーナツ状になるよ
うに対称的に設けられている。

円形の細長いチャンバ１０２内でのドーナツ状放出によ
り、ＴＥＯＯモードの発振は促進される。第１０図およ
び第１？ａ図に示す例では、横方向励起ガスレーザー１
１０は、Ｒｆ発生器１１とパワースプリッター１１１と
を備えている。

パワースプリッター１１１の入力側で、同軸コネクタ１
３がｄ発生器１１に電気的に接続されており、かつスプ
リッター１１１は複数の出力部を備えている。横方向励
起ガスレーザー１１０は、第１インピーダンス整合回路
１１４とレーザーボア付電極装置１１５を有する改良さ
れた結合回路を備えている。

この改良された結合回路は第１インピーダンス整合回路
１１４をレーザーボア付電極装置１１５に電気的に接続
する第２インピーダンス整合回路１１６を備えている。
レーザーホア付電極装置１１５は、星形の細長いチャン
バ２０と、複数の電極部１２０を備えている。

各電極部１２０は、互いに対向して平行をなす１対の電
極板１２２を備えている。各電極板１２２は、それぞれ
冷却口１２３を備えている。レーザーホア付電極装置１
１５は、冷却口１２５を有する複数の誘電性スペーサー
１２４を備えている。この冷却口１２５は、電極板１２
２の冷却口１２３と同軸上に位置している。電極板１２
２と誘電性スペーサー１２４は、場合によつて、互いに
隣接して設けられ、かつ細長いチャンバ２０の第１およ
び第２の内壁２１のそれぞれの外面に沿つて設けられる
。

レーザーホア付電極装置１１５は、凹面鏡のような１対
のの反射板１７を備えている。

この反射板１７は、星形の細長いチャンバ２０と光学的
に整合され、かつ星形の細長いチャンバ２０の中にレー
ザーガス２４を密封するために、星形の細長いチャンバ
２０の端部に取付けられている。第２のインピーダンス
整合回路１１６は、複数のインダクタンス回路１３０を
備えている。これらは、電極部１２０の一つに電気的に
それぞれ接続されており、かつそれぞれ、ケーシング１
３１に収容されている。第１のインピーダンス整合回路
１１４は、複数のＬＣ回路１４０を備えている。このＬ
Ｃ回路１４０は、インダクタンス回路１３０の一つにそ
れぞれ電気的に接続されている。各ＬＣ回路１４０は、
それぞれケーシング１４１に収容されている。横方向励
起ガスレーザー１１０は、双極式モードで作動している
。パワースプリッター１１１の各出力部は、改良された
結合回路のｗ回路１４８の一つに電気的に接続されてい
る。

第１１図に示すように、第１０図のインピーダンス整合
回路１１５の第２のインダクタンス回路１３？の代りに
、第２のインピーダンス整合回路フ２１６の異なるイン
ダクタンス回路２３０を備えている場合には、横方向励
起ガスレーザー２１０は、単極モードで作動することに
なる。

以上、横方向励起ガスレーザーに対するレーザーボア付
電極装置の改良された細長いチャンバに７ついて説明し
てきた。

この改良された細長いチャンバの利点は、横方向励起ガ
スレーザーが、どのようなモードで作動するかによつて
、細長いチャンバの設計が決められるということである
。星形の細長いチャンバは、ＴＥＯＯモードで最もフ有
効に作動する横方向励起ガスレーザーを供給し、円形の
細長いチャンバは、ＴＥＯ，モードで最も有効に作動す
る横方向励起ガスレーザーを供給する。図面中に示して
ある各部間の距離は、重要な意味をもつものではない。

従つて、図面に示すところは、本発明の詳細な説明のた
めだけのものであつて、本発明をなんら限定するもので
はない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、改良された結合回路を備えている横方向励起
ガスレーザーの概略図であつて、この結合回路は、星形
の細長いチャンバを備え、かつ本発明の好適実施例に従
つてつくられたレーザーボア付電極装置と組合わされて
いる第１および第２のインピーダンス整合回廊を備えて
いる。第２図は、複数のケーシングの側面図であつて、各ケー
シングには、複数のＬＣ回路の一つが収容され、これら
が一緒になつて、第１図の第２のインピーダンス整合回
路が形成されている。第３図は、第２図の各ケーシング
の中にあるＬＣ回路の概略図である。第４図は、星形の
細長いチャンバ、および第１図のレーザーボア付電極装
置における互いに対向し、かつ平行をなす１対の電極板
の縦断面図である。第５図は、星形の細長いチャンバと
、第４図における互いに対向し、かつ平行をなす１対の
電極板の縦断面図である。第６図は、方形の断面をした
細長いチャンバ、並びにｄ発生器が、位相の相互関係を
もつたエネルギーを分配しているレーザーボア付電極装
置における互いに対向し、かつ平行をなすとともに対を
なす２組の電極板の縦断面図である。第７図は、断面が
四つ星の形状をしている細長いチャンバ、並びにｄ発生
器が、位相の相互関係をもつたエネルギーを分配してい
るレーザーボア付電極装置における互いに対向し、かつ
平行をなすとともに対をなす２組の電極板の縦断面図で
ある。第８図は、円形の断面の細長いチャンバ、並びに
ｄ発生器が、位相の相互関係をもつたエネルギーを分配
しているレーザーボア付電極装置における互いに対向し
、かつ平行をなすとともに対をなす２組の電極板の縦断
面図である。第９図は、円筒状のチャンバ、および、第
８図における互いに対向し、かつ平行をなすとともに対
をなす２組の電極板の縦断面図である。第１０図は、改
良された結合回路を備え、双極モードで作動している本
発明の横方向励起ガスレーザーの別の実施例の概略図で
あつて、前記結合回路は、第１および第２のインピーダ
ンス整合回路を備え、レーザーボア付電極装置と組合わ
されており、またレーザーボア付電極装置は、星形の細
長いチャンバと、複数の互いに対向し、かつ平行をなす
とともに、対をなす電極板とを備えている。第１０ａ図
は、レーザーボア付電極装置の一部を縦断して示す側面
図であつて、複数の互いに対向し、かつ平行をなすとと
もに対をなす電極板を示しており、かつこの電極板の各
対は、第１０図中の第２のインピーダンス整合回路にお
ける複数のインダクタンス回路の一つによつて、電気的
に接続されている。第１１図は、異なる第１のインピー
ダンス整合回路を使用して、単極モードで作動している
第１０図の横方向励起ガスレーザーの一部を示す概略図
である。１０・・・・・・ガスレーザー、１１・・・・
・・Ｒｆ発生器、１３・・・・・・同軸コネクタ、１４
，１６・・・・・・インダクタンス整合回路、１５・・
・・・ルーザーボア付電極装置、Ａ，Ｂ・・・・・・接
続部、１７・・・・・・反射板、２０・・・・・・チャ
ンバ、２１・・・・・・内壁、２２・・・・・・電極板
、２３・・・・・・冷却口、２４・・・・・ルーザーガ
ス、３０・・・・・・ＬＣ回路、３１・・・・・・ケー
シング、６０・・・・・・ガスレーザー、６５・・・・
・ルーザーボア付電極装置、７０・・・・・・チャンバ
、７１・・・・・・内壁、７３，７４，７５，７６・・
・・・・電極板、７７・・・・・・冷却口、８０・・・
・・・ガスレーザー、８５・・・・・・レーザーボア付
電極装置、９１・・・・・・内壁、９３，９４，９５，
９６・・・・・・電極板、９７・・・・・・冷却口、１
００・・・・・・ガスレーザ、１０１・・・・・ルーザ
ーボア付電極装置、１０２・・・・・・チャンバ、１０
３・・・・・・内壁、１０５，１？６，１０７，１０８
・・・・・・電極板、１０９・・・・・・鈴却口、１１
０・・・・・・ガスレーザー、１１１パワースプリッタ
ー、１１４，１１６・・・・・・インピーダンス整・合
回路、１１５・・・・・ルーザーボア付電極装置、１２
０・・・・・・電極部、１２２・・・・・・電極板、１
２３・・・・・・冷却口、１２４・・・・・・スペーサ
ー、１３０・・・・・・インダクタンス回路、１３１，
１４１・・・・・・ケーシング、１４０・・・・・・Ｌ
Ｃ回路、２１０・・・・・・ガスレーザフー、２１６・
・・・・・インピーグンス整合回路、２３０・・・・・
・インダクタンス回路。

Claims

【特許請求の範囲】

１（ａ）レーザーガスを封入するのに適切な断面形状を
有する細長いチャンバであつて、誘電材料から形成され
ているものと、（ｂ）前記細長いチャンバ内に封入され
たレーザーガスと、（ｃ）前記細長いチャンバ内の前記
レーザーガス放出から生じた光エネルギーが、前記細長
いチャンバの長手方向の内壁に対して光学的に無関係で
あるように、前記光エネルギーを反射し、かつ誘導する
第１および第２の反射装置と、（ｄ）導電材料で形成さ
れ、かつ互いに対抗して設けられていて、前記レーザー
ガスを横方向に励起させるための第１および第２の電極
と、（ｅ）導電材料で形成されかつ互いに対抗して設置
されていて、前記レーザーガスを横方向に励起差せるた
めの第３および第４の電極と、（ｆ）前記第１、第２、
第３および第４の電極に、前記レザーガス内にレーザー
ガス放出を行わせるために、位相相関関係をもつて、１
０ＭＨｚから約３ＧＨｚの周波数領域で、前記第１、第
２、第３および第４の電極の極性を変える電圧を印加す
るための装置と、（ｇ）前記細長いチャンバと前記第１
、第２、第３および第４の電極のインピーダンスと前記
エネルギー装置のインピーダンスとを整合させるための
結合装置とから成ることを特徴とするガスレーザー。