JPS5929481A - ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS5929481A JPS5929481A JP13957382A JP13957382A JPS5929481A JP S5929481 A JPS5929481 A JP S5929481A JP 13957382 A JP13957382 A JP 13957382A JP 13957382 A JP13957382 A JP 13957382A JP S5929481 A JPS5929481 A JP S5929481A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- light
- reflection
- mirrors
- laser beam
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はガスレーザ社生装＠に関する。
一般にガスレーザ発生装置群シュ第１図に示す如く、直
の共振管１内に混合ガスを供給すると共鳴 にその中間の陽極２と両極寄りの陰極３．３との間で該
混合ガスに高１Ｌ１．圧をかけ放電、することにより、
そのガス中の炭岐ガス分子を励起し、この分子の励起に
よシ発生する光を共振管１外周の冷却油流通管４によシ
冷却しながら該共振管の一端の半透明ミラー５と他端の
反射ミラー６との間で繰返し往騙させるととで増巾して
、その一端半透明ミラー５よりレーザ光線として放射で
きるようになっている。
の共振管１内に混合ガスを供給すると共鳴 にその中間の陽極２と両極寄りの陰極３．３との間で該
混合ガスに高１Ｌ１．圧をかけ放電、することにより、
そのガス中の炭岐ガス分子を励起し、この分子の励起に
よシ発生する光を共振管１外周の冷却油流通管４によシ
冷却しながら該共振管の一端の半透明ミラー５と他端の
反射ミラー６との間で繰返し往騙させるととで増巾して
、その一端半透明ミラー５よりレーザ光線として放射で
きるようになっている。
ところで、上述した構成、１１”ｈに低ガス流速の同軸
拡散冷却形ＣＯ２レーザ発生装ｆｉ’４においでＶよ、
共振管１の有効長さ即ち、ｔ１λ１し１に於けるＩＸ、
・、（へ３．３間の距離によって放出でへるレーザ）“
０の出力が定まシ、例えば肩効長１ｍ尚りのレーリ°光
出力は約７５Ｗである。したがって数ｒワットから１キ
ロワット級のレーザ光をｈ＆出する場合には共振管１の
有効長さを数十メートルから指数メートルにもする心数
があり、とＪｔを一木の信管で構成すると装置全体が長
大なものとなって、とても実用に供さない。
拡散冷却形ＣＯ２レーザ発生装ｆｉ’４においでＶよ、
共振管１の有効長さ即ち、ｔ１λ１し１に於けるＩＸ、
・、（へ３．３間の距離によって放出でへるレーザ）“
０の出力が定まシ、例えば肩効長１ｍ尚りのレーリ°光
出力は約７５Ｗである。したがって数ｒワットから１キ
ロワット級のレーザ光をｈ＆出する場合には共振管１の
有効長さを数十メートルから指数メートルにもする心数
があり、とＪｔを一木の信管で構成すると装置全体が長
大なものとなって、とても実用に供さない。
そこで、従来では第２図に示す如く２木の共振管１に、
ＩＢを連結管７を介【７てコの字形状に連結配置すると
共に、その各交点に反射ミラー８．９を設けて、前述し
た一木の直♀（で構成したものと同等の機能を持ち、且
っ装置１１全体の小形化を図るようにしている。しかし
ながらルー躬ミラー８．９を可動自在に設けねばならな
いことから、高電圧のＮ極３から一定距離離さなけり、
ばならずぞの為、その間だけデッドスペースとなる４（
から第２図に示す従来の構成でもまだ小形化が十分でな
い上に１反射ミラー８，９に対するう００人・反射角が
大きいことから光軸合わせのＷ１１１肢が谷躬でないな
どの間粗があった。
ＩＢを連結管７を介【７てコの字形状に連結配置すると
共に、その各交点に反射ミラー８．９を設けて、前述し
た一木の直♀（で構成したものと同等の機能を持ち、且
っ装置１１全体の小形化を図るようにしている。しかし
ながらルー躬ミラー８．９を可動自在に設けねばならな
いことから、高電圧のＮ極３から一定距離離さなけり、
ばならずぞの為、その間だけデッドスペースとなる４（
から第２図に示す従来の構成でもまだ小形化が十分でな
い上に１反射ミラー８，９に対するう００人・反射角が
大きいことから光軸合わせのＷ１１１肢が谷躬でないな
どの間粗があった。
この発明は上記夾悄に鉦みなさ）１．だもので、装讃全
体の長さを起少して小形化を有効に図れると共に、レー
ザ光軸合わせの調整等が容易となる実用上有利なガスレ
ーザ発生装置を提供することを目的とする。
体の長さを起少して小形化を有効に図れると共に、レー
ザ光軸合わせの調整等が容易となる実用上有利なガスレ
ーザ発生装置を提供することを目的とする。
つまり、この発明は並列配植、した複数の共振管の各、
ｔＩ−１互端を光が鋭角に反射して渡シ通るように両端
に固定の反射ミラーと中央にｐＪ動自在な反射ミラーを
備えた連結管により略Ｍ字形状に夕（（結して構成する
ことで、該連結管が両共振管相互間内にＶ字状に訪り込
オれる如く配すると共に固定の反射ミラーを電極Ｖ：、
接近して設けるようにしたことから装置の小形化及びレ
ーザ光の出力の増大が図れ、号だ反射ミラーでの光の入
・反射角を小さくできで）“ｒ、軸イトｂの胛部を容易
となぜる外添に実用上イｊ７１Ｊがガスレーザ発生装置
１イ１である。
ｔＩ−１互端を光が鋭角に反射して渡シ通るように両端
に固定の反射ミラーと中央にｐＪ動自在な反射ミラーを
備えた連結管により略Ｍ字形状に夕（（結して構成する
ことで、該連結管が両共振管相互間内にＶ字状に訪り込
オれる如く配すると共に固定の反射ミラーを電極Ｖ：、
接近して設けるようにしたことから装置の小形化及びレ
ーザ光の出力の増大が図れ、号だ反射ミラーでの光の入
・反射角を小さくできで）“ｒ、軸イトｂの胛部を容易
となぜる外添に実用上イｊ７１Ｊがガスレーザ発生装置
１イ１である。
以下、この発明の−シ６施例を第３しく１に従い説明す
る。なふへ、し１中鎖２図のものと同一構成をなす部分
ｔま図面の同一個所に同一す号を１ｔｆｊシて説明の簡
略化を図ることにする。ここで１１人。
る。なふへ、し１中鎖２図のものと同一構成をなす部分
ｔま図面の同一個所に同一す号を１ｔｆｊシて説明の簡
略化を図ることにする。ここで１１人。
ＪＩＢは互に並列配植゛した共振管で、こノ］、らＣ」
−従来同様に中間に陽極２を、両？＋１．ｉ寄りに５’
、’、 （？Ｋ ３ ＋３を有して各々数箱、励起部を
ね“４成しでいると共に、そこに混合ガスを低速で流通
寧−已るように供給できるようにされている。又上記一
方の共振％′１１人の一端には半透明ミラー５が設＆−
Ｊられ、他方の共振管１１Ｂの−５＞１１１１１には光
ｉ！！折返し用反射ミラー６が設りられている。
−従来同様に中間に陽極２を、両？＋１．ｉ寄りに５’
、’、 （？Ｋ ３ ＋３を有して各々数箱、励起部を
ね“４成しでいると共に、そこに混合ガスを低速で流通
寧−已るように供給できるようにされている。又上記一
方の共振％′１１人の一端には半透明ミラー５が設＆−
Ｊられ、他方の共振管１１Ｂの−５＞１１１１１には光
ｉ！！折返し用反射ミラー６が設りられている。
こうした両共振％１１Ａ、Ｉ ＩＢの仙’ｌ、ｉに二そ
の相互を連結する連結管１２が般に）られている。
の相互を連結する連結管１２が般に）られている。
この連結管１２は、化２図の如き−ン・の伯１１にでｔ
ユなく、両共振智ＪＪＡ、ＺＺ１１の他端に結イ３−さ
れた中空状の取伺箱１２に、１２１１と、こノ１、らか
ら両共振ｆｌ Ｊ ＩＡ 、 Ｊ Ｉ Ｂの相互間内方
に折り込まノ１．る如く互にＶの字状に傾斜して突出さ
れた紺ζぎ％’ ２２ Ｃ、１２Ｄと、この両継ぎ管１
２Ｃ，１２Ｄの先端を互いＶＣ連結する中空状の中１ｆ
ｔ’Ｌ！ｉｉ％ １２ Ｆとからなる構成である。つま
シ両共振管１１人、１１Ｂと連結管１２どが平面略Ｍ字
形状に配置連結されている。そしてその各光軸の交点即
ち、連結管１２の両取付＠ｉ２に、１２ｎ内と中継箱１
２Ｅ内とにそれぞれ一個づつ反射ミラー１３．１４．１
５が配設されている。
ユなく、両共振智ＪＪＡ、ＺＺ１１の他端に結イ３−さ
れた中空状の取伺箱１２に、１２１１と、こノ１、らか
ら両共振ｆｌ Ｊ ＩＡ 、 Ｊ Ｉ Ｂの相互間内方
に折り込まノ１．る如く互にＶの字状に傾斜して突出さ
れた紺ζぎ％’ ２２ Ｃ、１２Ｄと、この両継ぎ管１
２Ｃ，１２Ｄの先端を互いＶＣ連結する中空状の中１ｆ
ｔ’Ｌ！ｉｉ％ １２ Ｆとからなる構成である。つま
シ両共振管１１人、１１Ｂと連結管１２どが平面略Ｍ字
形状に配置連結されている。そしてその各光軸の交点即
ち、連結管１２の両取付＠ｉ２に、１２ｎ内と中継箱１
２Ｅ内とにそれぞれ一個づつ反射ミラー１３．１４．１
５が配設されている。
而して上述した構成のガスレーザ発生装ｆ＆では、共振
管１１に、ＪＩＢ内に兵船された混合ガスが放電、励起
部にて高部、圧をかけられることで、そのガス中の炭酸
ガス分子が励起され、これにて発生する光が両共振管１
１に、１１Ｂ内相互を連結管１２を介して渡シ通って繰
返し往復し即ち、半透明ミラー５に当りだ光ＶｉｕＹ如
返して共振管１１Ａ内の他端の連結管ノ２内の反射ミラ
ー１３から１５６次に１４で次々と反射されて他力の共
振管ＪＩＢ内妊入シ、その一端のや１返し用反射ミラー
６で反射さすしで＋１）ひ他方の共振省ＪＩＢ内から逆
に連結管１２内をＪｙ−射ミラー１４．１５．１３によ
シ反躬さ１＋、て通つで一方の共振管１１１内に戻って
行くと云った共合に繰返し征伐する。これにて制光）；
１．増１１Ｊさｉｔて半：＋ル明ミラー５からレーザブ
Ｃ，線として放射されるようになる。つ１り第２図の装
置１イと１１１Ｊ様の機能を働くようになる。
管１１に、ＪＩＢ内に兵船された混合ガスが放電、励起
部にて高部、圧をかけられることで、そのガス中の炭酸
ガス分子が励起され、これにて発生する光が両共振管１
１に、１１Ｂ内相互を連結管１２を介して渡シ通って繰
返し往復し即ち、半透明ミラー５に当りだ光ＶｉｕＹ如
返して共振管１１Ａ内の他端の連結管ノ２内の反射ミラ
ー１３から１５６次に１４で次々と反射されて他力の共
振管ＪＩＢ内妊入シ、その一端のや１返し用反射ミラー
６で反射さすしで＋１）ひ他方の共振省ＪＩＢ内から逆
に連結管１２内をＪｙ−射ミラー１４．１５．１３によ
シ反躬さ１＋、て通つで一方の共振管１１１内に戻って
行くと云った共合に繰返し征伐する。これにて制光）；
１．増１１Ｊさｉｔて半：＋ル明ミラー５からレーザブ
Ｃ，線として放射されるようになる。つ１り第２図の装
置１イと１１１Ｊ様の機能を働くようになる。
こうした場合、第２図と第３図とを比ノ咬することで明
らかな如く、Ｍ字形状配置の木＠ Ｗｔ ＃ま両端に固
定の反射ミラーを設けたことに上りγ１１；極と接近し
た状態で取り伺けらｈ−ることがら、従来のデッドスペ
ース分だけ短Ａ１１ｉできｂＩ−来の同勢のレーザに比
べれＶ」：それ分車型化がし１られ、又従来と同等の大
きさのものを比較′Ｊｉ＋は１（（極３．３間の距真１
番が長く取れるので大きな出力が得られるのである。
らかな如く、Ｍ字形状配置の木＠ Ｗｔ ＃ま両端に固
定の反射ミラーを設けたことに上りγ１１；極と接近し
た状態で取り伺けらｈ−ることがら、従来のデッドスペ
ース分だけ短Ａ１１ｉできｂＩ−来の同勢のレーザに比
べれＶ」：それ分車型化がし１られ、又従来と同等の大
きさのものを比較′Ｊｉ＋は１（（極３．３間の距真１
番が長く取れるので大きな出力が得られるのである。
また、本装置では反射ミラー１３１１４を固定にし１５
を可動にして入反射角の１ｔＬｌｙ整をなすようにし、
且つうしの入・反射角が氾２図の反射ミラー８．９に比
し少なく鋭角となせるので、各ミラー相互のうし軸合わ
せのＷ１δ釉が比較的安易である。また、入・反射角が
小さいことから反射ミラー１３．１４．１５のｍ１精度
をそれほど高く〃ν求しなくてもよく、それだけコスト
の低減も図ることになる。
を可動にして入反射角の１ｔＬｌｙ整をなすようにし、
且つうしの入・反射角が氾２図の反射ミラー８．９に比
し少なく鋭角となせるので、各ミラー相互のうし軸合わ
せのＷ１δ釉が比較的安易である。また、入・反射角が
小さいことから反射ミラー１３．１４．１５のｍ１精度
をそれほど高く〃ν求しなくてもよく、それだけコスト
の低減も図ることになる。
なお、仁の発明は上記実施例のみ圧限定されることなく
、例えば共振管を３本以上に増やして、そｉｌ、らを上
述した連結管１２で各々Ｍ字形状に連結して光が繰返し
往榎できるー、連のＡ”ｈ成となして、ｌＡ領°全体の
長さｌ−Ｌ変えずに共抛管有効長さを第３図のものより
１．５倍や２倍・３倍・・・に長くするようにしても可
である。
、例えば共振管を３本以上に増やして、そｉｌ、らを上
述した連結管１２で各々Ｍ字形状に連結して光が繰返し
往榎できるー、連のＡ”ｈ成となして、ｌＡ領°全体の
長さｌ−Ｌ変えずに共抛管有効長さを第３図のものより
１．５倍や２倍・３倍・・・に長くするようにしても可
である。
この発明は以上詳述した如くなしたから、装置全体の長
さの短縮化が図れると共に、共振管有効長さを犬きくと
れでレーザ光の出力増加も図れ、しかも反射ミラーの光
肛１合せの１整が容易とするなど実用上布オリなものと
なる。
さの短縮化が図れると共に、共振管有効長さを犬きくと
れでレーザ光の出力増加も図れ、しかも反射ミラーの光
肛１合せの１整が容易とするなど実用上布オリなものと
なる。
第１図はガスレーザ発生装置の一般的な構成を示す概要
図、第２図は従米のコ字ノ１〉状配Ｉｆ！Ｉｔの〃スレ
ーザ発生装置バの概略的平面６／１、ゑ１′ル３ ｔｔ
、ｚ、＋ ｉｌこの発明のガスレーザ発生装置？゛〔の
−′、＋＜施例をカＩす概略的平面図である。 １．１に、ＩＢ、１１人、１１Ｂ・・共狂之管、２・・
・陽極、３・・・陰極、５・・・半透明ミラー、６・・
・シ１返し用反射ミラー、７ 、１２ ・・・述Ｍ＋７
（ｇ、ｙ、１２Ａ 、１２Ｂ・・・取伺箱、１２Ｃｒ
１２Ｄ・・・継ぎ管、１２Ｅ・・・中継才Ｌ ａ、
９ 、 １３ 、ｚｔ、ｘｓ ・・・ 〕又青身
ミ ラ − 。
図、第２図は従米のコ字ノ１〉状配Ｉｆ！Ｉｔの〃スレ
ーザ発生装置バの概略的平面６／１、ゑ１′ル３ ｔｔ
、ｚ、＋ ｉｌこの発明のガスレーザ発生装置？゛〔の
−′、＋＜施例をカＩす概略的平面図である。 １．１に、ＩＢ、１１人、１１Ｂ・・共狂之管、２・・
・陽極、３・・・陰極、５・・・半透明ミラー、６・・
・シ１返し用反射ミラー、７ 、１２ ・・・述Ｍ＋７
（ｇ、ｙ、１２Ａ 、１２Ｂ・・・取伺箱、１２Ｃｒ
１２Ｄ・・・継ぎ管、１２Ｅ・・・中継才Ｌ ａ、
９ 、 １３ 、ｚｔ、ｘｓ ・・・ 〕又青身
ミ ラ − 。
Claims (1)
- 並列配置した複数の共振管の各相互端を光が鋭角に反射
して渡り通るように３個以上の反射ミラーを備えた連結
管によυ略Ｍ字形状に連結して構成したことを特徴とす
るガスレーザ発生装信゛、。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13957382A JPS5929481A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | ガスレ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13957382A JPS5929481A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | ガスレ−ザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5929481A true JPS5929481A (ja) | 1984-02-16 |
Family
ID=15248407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13957382A Pending JPS5929481A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | ガスレ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5929481A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0532016U (ja) * | 1991-10-11 | 1993-04-27 | 日野自動車工業株式会社 | クラウチング装置の排気バルブ |
| EP1184945A1 (de) * | 2000-08-31 | 2002-03-06 | TRUMPF LASERTECHNIK GmbH | Gaslaser |
| EP1184946A1 (de) * | 2000-08-31 | 2002-03-06 | TRUMPF LASERTECHNIK GmbH | Gaslaser |
| EP3054540A1 (en) * | 2015-02-09 | 2016-08-10 | Iradion Laser, Inc. | Flat-folded ceramic slab lasers |
-
1982
- 1982-08-11 JP JP13957382A patent/JPS5929481A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0532016U (ja) * | 1991-10-11 | 1993-04-27 | 日野自動車工業株式会社 | クラウチング装置の排気バルブ |
| EP1184945A1 (de) * | 2000-08-31 | 2002-03-06 | TRUMPF LASERTECHNIK GmbH | Gaslaser |
| EP1184946A1 (de) * | 2000-08-31 | 2002-03-06 | TRUMPF LASERTECHNIK GmbH | Gaslaser |
| JP2002118312A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-04-19 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | ガスレーザ |
| US6512781B1 (en) | 2000-08-31 | 2003-01-28 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Gas laser with mode control |
| EP3054540A1 (en) * | 2015-02-09 | 2016-08-10 | Iradion Laser, Inc. | Flat-folded ceramic slab lasers |
| CN105870770A (zh) * | 2015-02-09 | 2016-08-17 | 依拉迪激光有限公司 | 平直折叠式陶瓷板条激光器 |
| US10404030B2 (en) | 2015-02-09 | 2019-09-03 | Iradion Laser, Inc. | Flat-folded ceramic slab lasers |
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