JPS62502158A - 横方向放電励起に伴った高効率ｒｆ励起ガスレ−ザ - Google Patents

Abstract

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Description

【発明の詳細な説明】 横方向放電励起に伴った高効率ＲＦ励起ガスレーザｌ肌ユ１月 この開示された発明はレーザに関し、特に狭０電極構造の高効率横方向放電励起 レーザに指示される。

レーザ技術の開発が、異なったフィールドのレーザの増加された利用の結果とな っており、軍部業及び医学的適用を含む。前記レーザの増加された利用は、レー ザの持続された開発のための更なる誘引をも提供してきた。周知のように、これ らはレーザの異なった型であり、且つ従属する発明はガス放電励起レーザに指示 される。

伝統的な空鉤励起されたガスレーザは、気体の縦方向電気放電を提供するために 、前記空洞の端で、または近くで電極及び放電ガスを収容する延長された空洞を 含む。このような縦方向放電励起の不利益は、周知であると共に、必然的に大き な電源回路に加えて相対的に大きなりＣ電圧の要求を含む。

空洞励起されたガスレーザの更なる開発は、ＲＦ励起電界が、励起空洞の縦方向 寸法に横方向寸法が供給される横方向放電励起レーザとなる。このような横方向 放電励起レーザの例は、米国特許番号第４，１６９，２５１号、１９７９年、９ 月２５日のＬａａｌｖａｎｎに出版され、且つこの発明の譲り受け人に諷渡され る。米国特許番号第４，１６９，２５１号のシステムに於いて、電極は前記レー ザ空洞の２つの対向する壁を形成する。

既知の横方向励起レーザの特性は低効率を含み、高出力負荷の要求は、過度のレ ーザガス温度の結果、且つ制限されたモード制御の結果でもよい。このような特 性の結果として、既知の空洞励起レーザは、物理的に大きなものでもよく、大き な出力供給を要求する傾向があり、及び／または縮小された動作寿命を有するか もしれな０゜既知の空洞励起レーザの特性は、幾つかの適用のために不適当なそ れらを作成してもよい重要な理由となる。

既知の横方向励起レーザに伴って、所望の最低の順序に対する動作の制御は、細 長状の励起空洞の断面寸法を縮小することによって、なし遂げられる。しかしな がら、このような断面寸法の縮小は、より厳重になる交差の故に製造する高価な 、そしてより複合を要求する。また、パワー出力は、低減されると共に制限され 、そして効率は低減される。

既知の横方向励起レーザの別の不利益は、ビームの大きさが空洞寸法によって大 きな範囲に決定され、それは異なったビームの大きざのために、実質１異なった ＩＩ４造を要求する。

１艶夏且１ それは、高効率横方向放電励起レーザを提供するための利益となる。

それはまた、励起の所望のモードを有効に提供する横方向放電励起レーザを提供 するための利益となる。

別の利益は、長期の動作寿命を有する横方向放電励起レーザを提供するためであ る。

更に別の利益蕎よ、縮小された間隔及びパワー要求を有する横方向放電励起レー ザを提供するためである。

前述の及び他の利益と構造は、レーザガス中のレーザ励起放電を持続すると共に 、レーザガスを収容するために可能な細長状レーザ励起空洞を定義するための誘 電体構造を含むレーザ構造の、この発明によって提供され、且つ更に前記レーザ 空洞に隣接した対向する伝導性の電極を含む。前記電極の少なくとも１つは、前 記レーザ空洞の所定の領域内部に励起放電するレーザを提供するため、及び動作 の所望のモードのために最適の効率を提供するために、十分小さりものである。

前記レーザ構造の更なる実施例は、レーザ空洞に平行であると共に隣接した溝を 含む。前記平行な溝は、改善された性能のために提供されると共にレーザ空洞で 伝送される。

図面の簡単な説明 この開示された発明の利益及び構造は、この図面に関連して理解されると共に、 以下の詳細な説明から当業者によってたやすく認識される。

第１図は開示されたレーザの概略断面図、第２図は第１図のレーザの一部分の縦 方向の断面図、第３図は前記開示された列の別の実施例の断面図、第４図は前記 開示されたレーザの更に別の実施例の断面図である。

詳細な説明 以下の詳細な説明及び図面のそれぞれの数字に於いて、同様の要素は同様の参照 番号と同一とする。

いま、第１及び２図を参照すると、細長状の頂部誘電体プが示される。

頂部の細長状誘電体ブロック１１は、実質上平坦な底部１７．１９間の中央に配 置された下方に面するチャンネル１５を含む。

前記底部の細長状誘電体ブロック１３は、半田付けされた金属領域２３．２５に よって、前記誘電体ブロック１１の前記底面１７．１９の外側の一部に確保され る。二者択一的に、前記頂部の細長状誘電体プロツク１１及び前記底部の細長状 誘電体ブロック１３は、適切な接着剤によって、または機械的クランプｌＩ造に よって互いに確保され青る。

前記誘電体ブロック１１の底面１７．１９と前記誘電体ブロック１３の頂部表面 ２２間に形成された間隙は、下方に面するチャンネル１５の寸法と比較すると、 相対的に小さいものである。故に、前記チャンネル１５は、対向する頂部と底部 の壁、及び対向する側壁を有する細長状レーザ励起空洞を形成するために頂部表 面２１と協同し、そしてそれは実買上、方形の断面となる。

誘電体ブロック１１は、中央に配置された上方に面するチャンネル２９を更に含 む。溝３１は、前記レーザ空洞２７の頂部壁に隣接したチャンネル２９の底部に 形成され、且つめっきされた励磁電極を含む。前記励１１電極３１は、適切な給 電を経てＲＦエネルギー（図示せず）のソースに結合され、その１つは、チャン ネル２９の向こうに上方に延びると共に、励磁電極３３に伝導的に結合されるビ ン３５として示される。前記励ｖ１１電極３３は、レーザ空洞２７の縦方向寸法 の大部分のために延びる。

例えめっきされた電極として開示されたとしても、励磁電極３３は、異なった４ ｆ４造とすることができ、このような巨大電極（よチャンネル２９によって上に 延び、その場所に適切に確保される。また、前記チャンネル２９は溝３１なしに 形成することもでき、且つ適切な励１ａ電極１よチャンネル２９の平坦な底部に 逆らって密着されるか、またはめっきされる。

前記底部の誘電体ブロック１３は、下方に面するチャンネル３７を更に含む。溝 ３９は、レーザ空洞２７の底部の壁に隣接した前記チャンネル３７の頂部に形成 され、且つめっきされた接地′電極４１を含む。前記接地電極４１は、適切な接 続点を経てグラウンドに結合され、このような下方に延びるビン４３は第１及び ２図に示される。前記接地電極は４１は、前記レーザ空洞２７の縦方向寸法の大 部分のために延びる。

例えめっきされた電極が開示されても、前記接地電極４１は異なった構造とする ことができ、巨大部分の電極は前記チャンネル３７によって下に延び、そしてそ の場所に適切に確保される。また、前記チャンネル３７は溝３９なしに形成する こともでき、且つ適切な接地Ｍ極は、前記チャンネル３７の平坦な頂部に逆らっ て密着されるか、またはめつききれる。

前記電極３３が励磁電極として記述されてくると共に、前記接地電極として記述 されてきた一方、これらの機能は特有の給電を提供するための適切な変化でたや すく変換されることができる。また、前記電極３３．４１は、スプリット給電を 提供するためにたやすく形成することができ、これによってどちらの電極もグラ ウンドに接続される。スプリット給電回路は周知のものであると共に、要求され ることによって利用し得る。

別の実施例として、低い誘電体ブロック１３、接地電極４１及びビン４３は、細 長状の金属ブロックで取替えることができる。

前記金属ブロックは、レーザ励起空洞を定義するために前記頂部の細長状誘電体 ブロック１１と協同すると共に、また前記接地電極としては能する。

使用に於いて、レーザ空洞２７は、所望のレーザガスで満たされる。例えば、０ ０２レーザのためのレーザガスは、Ｈｅ　ＮＮ２及びＣＯ２の混合物とし得る。

前記電極３３．４１は、示されるように好ましくはレーザ空洞から誘電体に離れ るもので、そのためにこれらはレーザガスに伴い、コンタクトの中に生ずるもの ではない。このように、誘電的に離れた電極は前記レーザ空洞２７に対して外部 であり、且つ故に外部の電極としてこの中に参照される。レーザ空洞２７からの 電極３３．４１の誘電隔離は、可能な電極スパッタリングを避けると共に、また レーザガス合成を変える傾向のある酸化をも防ぐ。

しかしながら、前記電極３３．４１は、レーザ空洞２７の一部を定義するために 利用することもでき、またはこれらはレーザ空洞２７の対向する壁にめっきされ るか、または金属化されることができる。このような電極は、前記レーザガスで フンタバッタリングに従属することができる一方、これらの使用は、低い始動電 圧に達するためか、または偏光レーザ出力に達するために望ましいものとするこ とができる。

誘電体ブロック１１．１３は、前記レーザガスに影響を及ぼすか、またはそれに 反応しない適切なセラミック材料で構成される。例えば、ＣＯ２レーザのために 、Ａｌ１０３または８ｅＯが適切なものである。前記電極３３．４１及び前記ビ ン３５．４３は、銅またはアルミニウムのような適切な伝導性材料で作成される 。

例によって、ＣＯ２レーザで、前記レーザ空洞２７の縦方向寸法または経路は、 約２４インチとすることができる。前記空洞の頂部及び底部の壁の幅Ｗは約１０ ０ミリとし得ると共に、前記空洞の側壁の高さＨは約１００ミリとし得る。頂部 誘電体ブロック１１と底部誘電体ブロック１３間の間隙は、約４ミリ・どなる。

前記電極３３．４１の各々は異なった幅でもよいが、レーザ空洞２７に近接した 少なくとも１つの電極は、前記空洞２７の幅Ｗより小さい。例えば、前記電極の 幅は、＠Ｗのおよそ９５％から２５％とすることができる。より一般的に述べる と、前記レーザ空洞は第１図に示されるような断面を有し、それは前記空洞２７ の縦方向寸法に垂直となる。重要な電極寸法は、レーザ空洞２７に近接して前記 電極の一部で測定される。

レーザ空洞２７に関連して、前記電極３３．４１の大きさを考慮する別の方法は 、前記レーザ空洞２７の縦方向寸法に垂直となると共に、前記レーザ空洞２７に 隣接した電極３３．４１の横方向の寸法に関連する。このような電極３３．４１ の少なくとも１つのために横方向の寸法は、このような電極の横方向の寸法に平 行となる前記レーザ空洞２７の最大寸法より小さい。前述の説明に於いて、それ に相当する横方向の寸法が幅として基準になる一方、それはこのような横方向の 寸法が他の基準に相当することができる、ということをたやすく理解すべきであ り、このような高さは次の実施例で説明される。

前記電極構造を前文に説明すると共に更に表し、それは少なくとも１つの電極が 対応する空洞寸法より狭りものであり、狭い電極構造として基準とすべきである 。このような基準は、重要な特徴に基づいたものであり、少なくとも１つのレー ザ励起電極は、前記レーザ励起空洞より狭り。

前記電極１１．１３の少なくとも１つの幅は、好ましくは前記空洞２７の幅Ｗの およそ６０から７０パーセントである。前記狭い電極Ｉｉ造の結果として、高い 出力効率はレーザ１０の外側でｌＩｇＴＥ、Ｍｏａガウスモードの中に伝え、最 も低い順序の励起モードＥＨＩＩのためになし遂げられる。例えば、約１６パー セントの効率がなし遂げられてきて、およそ１０または１１パーセントの効率を 有する既知の横方向放電レーザに渡り、十分な改善となる。

このような効率は、最も低い順序モードＥＨｚのエネルギーが発生される前記空 洞２７の中央の領域に、ＲＦエネルギーの制限から少なくとも一部分で起因する ために信じられる。

既知のレーザに於いて、ＲＦエネルギーは前記レーザ励起空洞と交差して一様に 分配されるが、最も低い順序のモードのエネルギーは、前記空洞の中央領域のみ となる。故に、最も低い順序モードのエネルギーのみの前記範囲が抽出され、前 記空洞の中央領域の外側のエネルギーが失われる故に前記レーザの外に結合され な（〜。更に、この発明の狭い電極構造は、最も低い順序モードのエネルギーを 発生する傾向がある。

電極３３．４１の少なくとも１つの狭い構造は、前記電極３３．４１の幅の機能 としてビームの大きさを決定するため、更に与える。例えば、約５０パーセント による両電極の幅を縮小することは、約５０パーセントによる前記レーザ出力ビ ーム直径を縮小する。

前記狭い電極構造で、励起の更なる所望のモードがなし遂げることができる。前 記モードの中央のレーザガスを加熱するため、十分−に高いＲＦエネルギーの適 用は、前記空洞内部のＥＨ２２モードを提供し、それは自由空間のＴＥＭｓ　ｓ モードに伝える。

いま、この中に示される第３図を参照すると、これはこの発明の狭い電極横方向 励起レーザ１００の更なる実施例である。

前記レーザ１００は、細長状の頂部誘電体ブロック１１１と、細長状の底部誘電 体ブロック１１３を含む。

前記頂部の細長状誘電体ブロック　１１１は、中央に配置されて下方に面するチ ャンネル１１５、そして前記チャンネル１１５の何れかの側の下方に面するチャ ンネル１１７及び１１９を含む。

前記頂部誘電体ブロック　１１１は、前記チャンネル１１７及び１１９から外に 延びる平坦な底面１２１．１２３を更に含む。

とによって、適切な接菅剤によって、または係械的りランピングＩＩ４造によっ て、前記頂部誘電体ブロック１１１の底面１２１．１２３に確保される平坦な頂 部表面を含む。

前記中央に配置されたチャンネル１１５に隣接した頂部誘電体ブロック１１１の 最も低い領域と、底部誘電体ブロック１１３の前記頂部表面１２５間の間隙は、 前記チャンネル１１５の前記寸法と比較して相対的に小さいものである。故に、 前記中央に配置されたチャンネル１１５及び前記底部誘電体ブロック１１３の頂 部表面１２５は、対向する頂部と底部の壁、及び対向する側壁を有する細長状の レーザ空洞１２７を形成すると共に、それは断面に於りて実質上、方形となる。

励磁電極１２９は、前記レーザ空洞１２７の側壁に隣接したチャンネル１１７の 壁に金属化され、且つレーザ空洞１２７の縦方向寸法の大部分のために延ばされ る。前記電極１２９は、頂部誘電体ブロック底面１３１と前記底部誘電体頂部表 面１２５間で外に延びると共に、前記チャンネル１１７の外側の壁及び前記頂部 上である適切なメタライゼーション１３１によって、前記レーザ１００の周囲に 伝導的に結合される。このように伝導的に結合するメタライゼーションは、励磁 電極１２９に特有の給電を提供するために適切に位置される。

接地電極１３３は、前記レーザ空洞１２９の側壁に隣接したチャンネル１１９の 壁土に金属化され、そして前記レーザ空洞１２７の縦方向寸法の大部分のために 延びる。前記接地電極１３３は、前記頂部誘電体ブロック底面１３１と、前記底 部誘電体頂部表面１２５間で外へ延びると共に、前記チャンネル１１７の外側の 壁及び前記頂部上である適切なメタライゼーション１３５によって、レーザ１０ ０の周囲に伝導的に結合される。このような伝導的に結合するメタライゼーショ ン１３１．１３５の前記部分によるより、弛の構造によって提供することができ る。特に、適切な伝導性ピンは、前記頂部と底Ｆａ誘電体ブロック１１１．　１ １３間に位置することができる。このようなピンは、前記チャンネル１１７．１ １９の前記メタライゼーション１３１．１３５の一部分に伝導的に結合されるか 、または導体１２９．１３３に伝導的に接続される。

例え前記電極１２９が励磁電極として記述してくると共に、前記電極１３３が接 地電極として記述されてきても、適切な変化に伴って、必要であれば、それぞれ の伝導的に結合するメタライゼーション１３１．１３５に、これらの機能はたや すく交換することができる。また、前記電極１２９１３３は、スプリット給電を 提供するためにたやすく形成することができ、これによって何れの電極もグラウ ンドに接続される。スプリント給電回路は周知のものであると共に、要求として 利用することができる。

第３図に示されるレーザ１００は、第１及び２図に示されるレーザ１００に同様 であり、且つ最も著しい差異は、前記レーザ１００の前記電極１２９及び１３３ の位置である。前述して記述した前記レーザ１００に対する類推によって、前記 電極１２９及び１３３の高さは、前記レーザ空洞１２７の高さＨより低りもの・ である。とりわけ、前記電極１２９．１３３の高さは、前記レーザ１０のレーザ 空洞２７の幅Ｗ１及び前記電極３１．４１間の関係として前記レーザ空洞１２９ の高さＨに対して同じ関係のものである。

第３図に示されるレーザ１００の狭り電極構造は、第１及び２図のレーザ１０の ために前文に記述されたそれらと、実質上同様の利益を提供する。このような利 益は、実質上増加された効率、改善されたモード制御、ビームの大きさ制御、そ して長い動作寿命を含む。前記レーザ１００は、低い動作温度の更なる利益を有 すると共に、増加された４１Ｉ造的能力故に、前記レーザ１０（第１図）のチャ ンネル２９．３７は、レーザ１００で利用されない。

いま。第４図を参照すると、この中に示されものは、この発明の狭い電極の横方 向励起レーザの更なる実施例である。

レーザ２００は、細長状の頂部誘電体ブロック２１１と、細長状の底部誘電体ブ ロック２１３を含む。

前記頂部の細長状誘電体ブロック２１１は、実質上平坦な底面２１７．２１９で 中央に配置されて下方に面するチャンネル２１５を含む。前記底部で細長状誘電 体ブロック２１３は、下方に面するチャンネル２１５と平行で、及びチャンネル 頂部表面２２５の何れの何重に２つの上方に面する細長状の溝２２１．２２３を 含む。前・２底部誘電体ブロック２１３は、前記溝２２１．２２３の何れかの何 重に実質上、同平面の頂部表面２２７．２２９を更に含む。底部誘電体ブロック ２１３の同平面の頂部表面２２５．２２７は、半田付けすることによって、適切 な接着剤によって、または機械的クランピングｌＩ造によって、前記誘電体ブロ ック２２１の底面２１７．２１９の外側部分に確保される。

前記間隙は、ｌＩｎＩｎ常誘電体ブロック２１１面２１７．２１９間で形成され 、そして前記底部誘電体ブロック２１３の中央の頂部表面２２５は、下方に面す るチャンネル２１５の寸法と比較して相対的に小さいものである。故に、前記チ ャンネル２１５は、対向する頂部と底部壁及び対向する側壁を有する細長状レー ザ励起空洞２３１を形成するために、中央の頂部表面２２５で協同し、且つそれ らは実質上方形となる。前記溝２２１．２２３は、レーザ空洞２３１に平行であ ると共に、これらに伝達される。

頂部誘電体ブロック２１１は、中央に配置された上方に面するチャンネル２３３ を更に含む。溝２３５は、レーザ空洞２３１の頂部壁に隣接したチャンネル２３ ３の底部に形成され、且つめっきされた励磁電極２３７を含む。前記励磁電極２ ３７は、適切な給電を経てＲＦエネルギー（図示せず）のソースに結合され、そ れらの１つは前記励８１電極２３７に伝導的に結合されると共に、前記チャンネ ル２３３を越えて延びるピン２３９として示される。励磁電極２３７は、レーザ 空洞２３１の縦方向寸法に沿って実質の部分のために延びる。

例えめっきされた電極が開示されても、前記励磁電極２３７は異なった構造とす ることができ、このような巨大電極はチャンネル２３３によって上へ延び、且つ その場所に適切に確保される。また、前記チャンネル２３３は、満２３５なしに 形成することができ、そして適切な励磁電極は、前記チャンネル２３３の平坦な 底部に逆らって突出されるか、またはめつきさ底部誘電体ブロック２１３は、下 方に面するチャンネル２４１を更に含む。＠　２４３は、レーザ空洞２３１の底 部壁に隣接したチャンネル２４１の頂部に形成され、且つめつきされた接地電極 ２４５を含む。前記接地電極２４５は、適切な接続部を経てグラウンドに結合さ れ、このようなピン２４７は、第４図に示される。前記接地電極２４５（よ、レ ーザ空洞２３１の縦方向方位に沿って実質の部分延びる。

例えめっきされた電極が開示されても、前記接地電極２４５は異なったＩＩ造と することができ、このような巨大電極は前記チャンネル２４１によって下へ延び 、且つ前記溝２４３なしに形成することができ、そして適切な接地電極は前記チ ャンネル２４１の平坦な頂部に逆らって突出されるか、またはめつきされる。

別の実施例として、低い誘電体ブロック２１３、接地電極２４５及びピン２４７ は、細長状の金属ブロックで戻されることができる。前記金属ブロックは、レー ザ励起空洞を定義するために、前記頂部の細長状誘電体ブロック２１１で協同す ると共に、接地電極としても機能する。

前述の開示された第４図のレーザ２００は、第１及び２図のレーザ１０のそれと 同様の電極と空洞構造を有し、そして前記レーザのための電極幅と空洞幅との関 係は、第１及び２図のレーザ１０のためのそれと実質上同様である。前記レーザ ２００によって提供される利益は、前記レーザ１０によって提供されたそれと、 また実質上同様である。

しかしながら、第４図のレーザ２００は、前記構造の容量を縮小する前記溝２２ １，２２３の結果として改善された性能を提供し、これによって前記レーザ空洞 ２３１の外側の空電電界を更に縮小する。加うるに、前記溝２２１．２２３は、 より容易に化学的平衡をなし遂げるために、レーザガスを更に与え、そしてまた 変調性能を改善できる。

この発明の前述の実施例は、実質上方形の断面であるレーザ空洞を細長状にする ために指示される。しかしながら、この発明は環状のような、他の断面形状を有 する空洞でもまた具体化することができる。環状のレーザ空洞で、電極幅は前記 空洞断面の直径より小さい。とりわけ、少なくとも１つの電極は、所望の動作モ ードのために最適の効率を提供するため、十分に狭くなる。

開示されたレーザ構造の更なる利益で、２つの平行レーザビームは、同じレーザ 空洞で発生し得る。前述して説明したように、十分に高いＲＦパワーの適用に伴 った狭い電極構造は、ＥＨ２１モードの励起を発生する。また、故に前記電極寸 法は、前記励起領域を定義し、２対の対向する電極は、２つのビームを発生する ために単一レーザ空洞に利用することができる。

前述は、狭い電極を有する横方向放電励起レーザの開示であると共に、改善され た効率、低い動作温度、及び増加された動作寿命時間を提供する。更に、前記開 示された狭い電極レーザは、改善されたモード制御のために供給される。

例え前述がこの発明の特定の実施例の記述及び例証であっても、種々の変形と変 化は以下の請求の範囲によって定義されるこの発明の範囲と精神から逸脱するこ とのない当業者によって作成することができる。

国際調査報告 ＡＮＮＥＸ　Ｔｏ　Ｔ）（Ｅ　ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ　５ＥＡＲＣＨＲＥ ＰＯＲＴ　ＯＮ朽衣昭６２−５０２１５８　（７）

Claims (25)

【特許請求の範囲】
1. １．レーザガスを収容すると共に前記レーザガス中のレーザ励起放電を持統する ために適し、縦の寸法及び前記縦の寸法に垂直の断面を有する細長状のレーザ空 洞を定義する手段と、 前記レーザ空洞の対応する断面寸法に略平行である電極寸法をそれぞれに有する と共に前記空洞内の励起フィールドを提供するために縦の寸法の前記レーザ空洞 に沿って延びると共にその付近に配置された一対のものであって、前記レーザ空 洞の所定領域内に励起放電するレーザを産出すると共に最適の効率でレーザエネ ルギーのために提供する少なくとも１つはその寸法が前記レーザ空洞断面寸法よ り小さい対向電極とを具備するレーザ構造。
2. ２．前記レーザ空洞は幅Ｗの対向壁を含み、前記対向電極は前記壁の幅Ｗより小 さい幅の前記対向電極の少なくとも１つに伴って前記対向壁に隣接される請求の 範囲第１項記載のレーザ構造。
3. ３．前記少なくとも１つの電極は前記幅Ｗのおよそ９５パーセントからおよそ２ ５パーセント間の幅である請求の範囲第２項記載のレーザ構造。
4. ４．前記レーザ空洞は高さＨの対向壁を含み、前記対向電極は前記壁の高さＨよ り低い高さの少なくとも１つの電極に伴って前記対向壁に隣接される請求の範囲 第１項記載のレーザ構造。
5. ５．前記少なくとも１つの電極は前記高さＨのおよそ９５パーセントからおよそ ２５パーセント間の高さである請求の範囲第４項記載のレーザ構造。
6. ６．前記対向電極は前記レーザ空洞から誘電的に分離される請求の範囲第１項記 載のレーザ構造。
7. ７．前記対向電極は前記レーザ空洞に隣接される請求の範囲第１項記載るのレー ザ構造。
8. ８．前記対向電極はめっきされた電極から成る請求の範囲第１項記載のレーザ構 造。
9. ９．前記対向電極は巨大電極から成る請求の範囲第１項記載のレーザ構造。
10. １０．前記対向電極は金属化された電極から成る請求の範囲第１項記載のレーザ 構造。
11. １１．冷却器レーザガスの貯蔵器を提供するための前記レーザ空洞に隣接した手 段を更に含む請求の範囲第１項記載のレーザ構造。
12. １２．前記貯蔵器提供手段は前記レーザ空洞で伝送すると共に平行な溝から成る 請求の範囲第１１項記載のレーザ構造。
13. １３．レーザガスを収容すると共に前記レーザガス中のレーザ励起放電を持統す るために適し、縦の寸法及び前記縦の寸法に垂直の断面を有する細長状のレーザ 空洞を定義する手段と、 前記レーザ空洞の対応する断面寸法に略平行である側部寸法をそれぞれに有する と共に前記空洞内の励起フィールドを提供するために縦の寸法の前記レーザ空洞 に沿って延びると共にその付近に配置された一対のものであって、前記空洞壁で 縮小されたエネルギー損失に伴って励起放電するレーザを産出すると共に最適の 効率でレーザエネルギーのために提供する少なくとも１つはその側部寸法が前記 レーザ空洞断面寸法より小さい対向電極とを具備するレーザ構造。
14. １４．前記少なくとも１つの電極は前記レーザ空洞より狭い請求の範囲第１３項 記載のレーザ構造。
15. １５．前記レーザ空洞断面は正方形である請求の範囲第１４項記載のレーザ構造 。
16. １６．細長状のチャンネルを有する誘電体手段と、レーザガスを収容すると共に 前記レーザガス中のレーザ励起放電を持統するために適し、縦の寸法及び前記縦 の寸法に垂直の断面を有する細長状のレーザ空洞を定義するために前記誘電帯手 段と協同する第１の電極手段と、前記レーザ空洞の対応する断面寸法より小さく 且つ略平行な電極寸法を有すると共に前記レーザ空洞の縦の寸法に沿って延びる と共にその付近の前記第１の電極手段と対向して配置され、前記空洞壁での縮小 されたエネルギー損失に伴って放電を励起するレーザを産出すると共に最適の効 率でレーザエネルギーを提供するために前記空洞内にレーザ励起フィールドを提 供するための前記第１の電極手段に対応する第２の電極手段とを具備するレーザ 構造。
17. １７．前記レーザ空洞は幅Ｗの対向壁を含むと共に前記誘電帯手段の前記チャン ネルによって、及び前記第１の電極手段によってそれぞれに形成され、前記第２ の電極手段は前記チャンネルによって形成された対向壁に隣接されると共に前記 壁の幅Ｗより小さい幅を有する請求の範囲第１６項記載のレーザ構造。
18. １８．前記第２の電極手段は前記壁の幅Ｗのおよそ９５パーセントからおよそ２ ５パーセント間の幅である請求の範囲第１７項記載のレーザ構造。
19. １９．前記第２の電極手段は前記レーザ空洞から誘電的に分離される請求の範囲 第１６項記載のレーザ構造。
20. ２０．前記第２の電極手段は前記レーザ空洞に隣接される請求の範囲第１６項記 載のレーザ構造。
21. ２１．前記第２の電極手段はめっきされた電極から成る請求の範囲第１６項記載 のレーザ構造。
22. ２２．前記第２の電極手段は巨大電極から成る請求の範囲第１６項記載のレーザ 構造。
23. ２３．前記第２の電極手段は金属化された電極から成る請求の範囲第１６項記載 のレーザ構造。
24. ２４．冷却器レーザガスの貯蔵器を提供するために前記レーザ空洞に隣接した手 段を更に含む請求の範囲第１６項記載のレーザ構造。
25. ２５．前記貯蔵器提供手段は前記レーザ空洞と伝送すると共に平行な溝から成る 請求の範囲第２４項記載のレーザ構造。