JPS60193388A - 導波管レーザ - Google Patents
導波管レーザInfo
- Publication number
- JPS60193388A JPS60193388A JP60026665A JP2666585A JPS60193388A JP S60193388 A JPS60193388 A JP S60193388A JP 60026665 A JP60026665 A JP 60026665A JP 2666585 A JP2666585 A JP 2666585A JP S60193388 A JPS60193388 A JP S60193388A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- block
- waveguide
- insulating material
- electrically insulating
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/0315—Waveguide lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は導波管レーザに関し、特に横方向励振導波管レ
ーザの構成に関するものである。
ーザの構成に関するものである。
従来技術
発生する光線の特性に関係する寸法を有する小形な共振
器内でレーザ作用が生ずる導波管レーザが公知である０
この共振器は、矩形断面のものであることが多い。導波
管を満たしている気体中の放電によってレーザ作用を発
生する。この放電は。
器内でレーザ作用が生ずる導波管レーザが公知である０
この共振器は、矩形断面のものであることが多い。導波
管を満たしている気体中の放電によってレーザ作用を発
生する。この放電は。
導波管の両端にある電極の間で導波管の長手方向に伸び
るのがこれまで普通であった。もつと最近は、共振器の
両側面に電極をつけて気体を横方向に励振する方法が用
いられるようになった。この方法は、電極をずっと近づ
けることになり、放電を開始させやすくし、横方向励振
は、また、気体の圧力を高くすることを可能にし、それ
によって追加の利点が得られる。
るのがこれまで普通であった。もつと最近は、共振器の
両側面に電極をつけて気体を横方向に励振する方法が用
いられるようになった。この方法は、電極をずっと近づ
けることになり、放電を開始させやすくし、横方向励振
は、また、気体の圧力を高くすることを可能にし、それ
によって追加の利点が得られる。
英国特許第１．１１５２．１５６号は、共振器が銅など
の金員の二つのブロックをベリリヤまたは溶融石英など
の絶縁材料の二つのブロックによって分出１． して形
成されている横方向に励振される導波管レーザに関して
いる。それの明細書に記載されたレーザは、１００Ｈｚ
の繰返し速度のパルスによって励振されるが、ほかにも
１１０ ｋＨｚの繰返し速度のパルスによって励振され
る同様の構成ル−ザを記載している資料がある。
の金員の二つのブロックをベリリヤまたは溶融石英など
の絶縁材料の二つのブロックによって分出１． して形
成されている横方向に励振される導波管レーザに関して
いる。それの明細書に記載されたレーザは、１００Ｈｚ
の繰返し速度のパルスによって励振されるが、ほかにも
１１０ ｋＨｚの繰返し速度のパルスによって励振され
る同様の構成ル−ザを記載している資料がある。
欧州特許第３．２ Ｆ３０号は、同様の構成の横方向に
励振される導波管レーザに関するものである。
励振される導波管レーザに関するものである。
パルス励振から生ずる問題を克服するために、交流励振
を用いている。しかし、導波管の二つの対向壁を形成す
る励振電極と放電電子との間の相互作用を避けるために
、導波管の寸法に関連した励振周波数を前述の相互作用
が起り得ないようなものに選ぶことが必要である。これ
は、望ましくない場合もあるきびしい制限を励振周波数
に課する。
を用いている。しかし、導波管の二つの対向壁を形成す
る励振電極と放電電子との間の相互作用を避けるために
、導波管の寸法に関連した励振周波数を前述の相互作用
が起り得ないようなものに選ぶことが必要である。これ
は、望ましくない場合もあるきびしい制限を励振周波数
に課する。
なお、共振器の内側に金属電極があると、気体活性媒質
の化学的劣化を生ずることがある。
の化学的劣化を生ずることがある。
発明が解決すべき問題力
本発明は、簡単な構成の横方向励振導波管レーザで、励
振電極と電子の相互作用、や励振電極の化学的劣化など
の上記の欠点をもたないものを提供することを目的とし
ている。
振電極と電子の相互作用、や励振電極の化学的劣化など
の上記の欠点をもたないものを提供することを目的とし
ている。
問題点を解決する手段
本発明によれば、５本の細長い平行みぞが片面に形成さ
れ電気絶縁材料からなる第１のブロックと、外側の２本
の前記みぞの各々の少なくとも片面を覆って電極を形成
する導電１料の層と、前記導電層の各々に接続された導
電体と、前記第１のブロックに形成されたみそのうちの
少なくとも中央のみそを閉じるように前記第１のブロッ
クに取付けられた電気絶縁材料からなる第２のブロック
と全備え、中央みぞは、閉じられると５それが導波管レ
ーザ作用を持続するレーザ共振器を形成できるようにす
る寸法をもっているようにした横方向励振導波管レーザ
を提供することによって目的を達成する。
れ電気絶縁材料からなる第１のブロックと、外側の２本
の前記みぞの各々の少なくとも片面を覆って電極を形成
する導電１料の層と、前記導電層の各々に接続された導
電体と、前記第１のブロックに形成されたみそのうちの
少なくとも中央のみそを閉じるように前記第１のブロッ
クに取付けられた電気絶縁材料からなる第２のブロック
と全備え、中央みぞは、閉じられると５それが導波管レ
ーザ作用を持続するレーザ共振器を形成できるようにす
る寸法をもっているようにした横方向励振導波管レーザ
を提供することによって目的を達成する。
実施例
第１図を参照すると、横方向励振導波管レーザは、アル
ミナ（Ａ１２０ｓ ）またはベリリヤ（Ｂｅｄ）／ などの適当な絶縁材料からなる二つのブロックのまわり
に構成されている０第１のブロックは、図示のように矩
形断面であることが好ましく、ブロックの長さは、レー
ザそのものの特性によって定められる。一方の平らな表
面２の中に５本のみぞ５、】↓および５が形成される０
中央みぞうは、その中でＶ−ザ発振が起る実際の導波管
であり、断面形状および寸法はやはりレーザの特性によ
って定められる。例としてだけであるが２２■の辺の正
方形部ｍ１みぞ＠ １０．６ ミクロンのレーザ光を発
振するのに用いることができる。中央みぞうの両伸に１
本づつみぞ４および５が形成され、これらは、中央みぞ
うに平行でそれに接近している、みぞ４および５は１通
常、必ずというわけではないが、中央みぞと同じ深さの
ものであるが、さらに狭いものでもよいし、どんな適当
な形のものでもよい。
ミナ（Ａ１２０ｓ ）またはベリリヤ（Ｂｅｄ）／ などの適当な絶縁材料からなる二つのブロックのまわり
に構成されている０第１のブロックは、図示のように矩
形断面であることが好ましく、ブロックの長さは、レー
ザそのものの特性によって定められる。一方の平らな表
面２の中に５本のみぞ５、】↓および５が形成される０
中央みぞうは、その中でＶ−ザ発振が起る実際の導波管
であり、断面形状および寸法はやはりレーザの特性によ
って定められる。例としてだけであるが２２■の辺の正
方形部ｍ１みぞ＠ １０．６ ミクロンのレーザ光を発
振するのに用いることができる。中央みぞうの両伸に１
本づつみぞ４および５が形成され、これらは、中央みぞ
うに平行でそれに接近している、みぞ４および５は１通
常、必ずというわけではないが、中央みぞと同じ深さの
ものであるが、さらに狭いものでもよいし、どんな適当
な形のものでもよい。
第２のブロック６は、みぞ５．４および５が形成されて
いるブロックの面２を核って置かれる蓋である。面２と
蓋の片面は、同じ輪郭のもので、平らなのが好ましいの
で、蓋６はブロック１の中の５本のみそを閉じるように
ブロック１に固着されてもよい。
いるブロックの面２を核って置かれる蓋である。面２と
蓋の片面は、同じ輪郭のもので、平らなのが好ましいの
で、蓋６はブロック１の中の５本のみそを閉じるように
ブロック１に固着されてもよい。
第２図は、一つに固着されたブロックと蓋６の横断面図
である０みぞ４と５には、それらのみその表面で中央み
ぞうに少なくとも最も近い表面を覆って形成された薄い
金属の層７が入っている。
である０みぞ４と５には、それらのみその表面で中央み
ぞうに少なくとも最も近い表面を覆って形成された薄い
金属の層７が入っている。
この金属層は、非電着性金属析出によって形成された銅
であってもよく、その場合には、冬分、みその側面と底
を金属層が覆うので、蓋６が所定の場所に置かれる前に
金属層を形成する。導電層すなわち金属層７？各々に電
気的接続をブロック１にある穴に挿入され、金椹層γに
取付けられた柱８によって行うのが好ましい。この電気
的接続は、他の方法で行ってもよい。
であってもよく、その場合には、冬分、みその側面と底
を金属層が覆うので、蓋６が所定の場所に置かれる前に
金属層を形成する。導電層すなわち金属層７？各々に電
気的接続をブロック１にある穴に挿入され、金椹層γに
取付けられた柱８によって行うのが好ましい。この電気
的接続は、他の方法で行ってもよい。
上述の組立体は５中央みぞうに満たす低圧気体を入れる
ことを除けば、レーザを形成し、必要な光学要素がレー
ザの光学共振器を形作る。第５図は、完全なレーザの−
っの可能な構成の長手断面である。居ＩＪ立てたブロッ
ク１と蓋６に１対の鏡９と１０を中央みぞうを密封する
ように固着する。
ことを除けば、レーザを形成し、必要な光学要素がレー
ザの光学共振器を形作る。第５図は、完全なレーザの−
っの可能な構成の長手断面である。居ＩＪ立てたブロッ
ク１と蓋６に１対の鏡９と１０を中央みぞうを密封する
ように固着する。
一方の鋭は、全反射性であるが、他方の鏡は、レーザか
ら出力ビームを出すためにわずかに透過性である。鏡を
所定の場所に密封する前が後に、８四な気体全−導彼管
１／−ザ発振共振器である中央みぞうに導入する。入れ
る気体は、’ＣＯ２，Ｎ［３、Ｈｅの混合物であっても
よい。このレーザは。
ら出力ビームを出すためにわずかに透過性である。鏡を
所定の場所に密封する前が後に、８四な気体全−導彼管
１／−ザ発振共振器である中央みぞうに導入する。入れ
る気体は、’ＣＯ２，Ｎ［３、Ｈｅの混合物であっても
よい。このレーザは。
８０ Ｍ Ｉ−Ｉ Ｚ程度の周波数の１例えば、５０Ｑ
ないし１００ＯＶの交番電圧によって励振するのが都合
よく、その電圧ｆ６：２本の柱８に加える。実際には、
広範囲の励振周波数を用いることができる。
ないし１００ＯＶの交番電圧によって励振するのが都合
よく、その電圧ｆ６：２本の柱８に加える。実際には、
広範囲の励振周波数を用いることができる。
第４図は、レーザにエネルギーを与える一つの可能な回
路構成を示している。無線周波発振器１゜が必要な付勢
周波数の′電圧を発生し、適当な整合回路網１１でレー
ザ１２の電極にｍ Ｅｔｉｔされる。図示の整合回路網
は、 ’ｒＴｌ変であってもよい的列コンデンサ１３と
、分路インダクタンス・コイル１１Ｉからなっている。
路構成を示している。無線周波発振器１゜が必要な付勢
周波数の′電圧を発生し、適当な整合回路網１１でレー
ザ１２の電極にｍ Ｅｔｉｔされる。図示の整合回路網
は、 ’ｒＴｌ変であってもよい的列コンデンサ１３と
、分路インダクタンス・コイル１１Ｉからなっている。
気体の中に結果として生ずる村７遍方向電界は、レーザ
作用を生ずる無線周波数放電を発生する０気体放電を生
ずる？ａ極は、絶縁４［料の壁全介在させて中央みぞ内
の放電から絶縁きれるので、放電イオンまたは電子が導
電層すなわち金属層７に衝突する可能性がない。これは
、電極が放電にさらされるレーザに関連する問題全回避
する。ｑ′Ｍに、電４１１１！７と気体放電との間の二
つのセラミック壁は、安定コンデンサとして作用し、気
体中の一様で安定な放電をもたらす。
作用を生ずる無線周波数放電を発生する０気体放電を生
ずる？ａ極は、絶縁４［料の壁全介在させて中央みぞ内
の放電から絶縁きれるので、放電イオンまたは電子が導
電層すなわち金属層７に衝突する可能性がない。これは
、電極が放電にさらされるレーザに関連する問題全回避
する。ｑ′Ｍに、電４１１１！７と気体放電との間の二
つのセラミック壁は、安定コンデンサとして作用し、気
体中の一様で安定な放電をもたらす。
他の整合回路を用いてもよい。
第３図に示した組立体には、明らかにいくつかの欠点が
ある。土なものは一鏡９および１ｏが大気圧以下の圧力
の気体の入っているレーザ共振器を密封する作用もする
ので、それらの鏡を調節できないことである。第５図は
、ブロック１と蓋６の同じ組立体を月１いる別の構成を
略図で示している。
ある。土なものは一鏡９および１ｏが大気圧以下の圧力
の気体の入っているレーザ共振器を密封する作用もする
ので、それらの鏡を調節できないことである。第５図は
、ブロック１と蓋６の同じ組立体を月１いる別の構成を
略図で示している。
この実施例においては、圧力容器２０がレーザ組立体全
回い、レーザ組立体はその容器内にしつかり保持されで
いる。、鋭９および１０は、圧力容器２０に取付けられ
、調節が可能なように取付けできる。レーザ発振気体ま
だは気体混合物は、圧力容器２０に心入されるので、ブ
ロックホロ立体内の５本のみそを満たす。電気的接続子
は圧力容器２０の壁を・通して引出され、レーザ作用が
■）ｊＩのように生ずることができる。ブロック組立体
を圧力容器の内部に保持する実際の構成は示されていな
い。
回い、レーザ組立体はその容器内にしつかり保持されで
いる。、鋭９および１０は、圧力容器２０に取付けられ
、調節が可能なように取付けできる。レーザ発振気体ま
だは気体混合物は、圧力容器２０に心入されるので、ブ
ロックホロ立体内の５本のみそを満たす。電気的接続子
は圧力容器２０の壁を・通して引出され、レーザ作用が
■）ｊＩのように生ずることができる。ブロック組立体
を圧力容器の内部に保持する実際の構成は示されていな
い。
第１および第２図のブロック組立体に対して種々の変更
が可能である。正確に寸法を決められた第４の表面を必
要とするのは、中央みぞうだけであるから、蓋６は、中
央みぞうだけを覆うようにブロック１より狭くて、みぞ
４および５は開いたままであってもよい。これは、第６
図に例示されている。これは蓋をブロックに適当に取付
けできるかどうかに関係している。
が可能である。正確に寸法を決められた第４の表面を必
要とするのは、中央みぞうだけであるから、蓋６は、中
央みぞうだけを覆うようにブロック１より狭くて、みぞ
４および５は開いたままであってもよい。これは、第６
図に例示されている。これは蓋をブロックに適当に取付
けできるかどうかに関係している。
すべての形式のレーザが向成りの量の熱を発生する。例
えば、１０Ｗの出力のレーザが、１００Ｗの熱を放散す
ることがあり、これをレーザから除去することが必要な
ことがある。第７図は、蓋６によってＩＪＩじられ／（
外側みぞ２１企ブロツクｔに形成することによって熱除
去を行う方法を示している。こＪしらのみそを・用いて
組立体から小波な熱を除去する流体冷却梠ヲ循環さぜる
ことかできる０ 上述の簡単なレーザ構成は、他の代替装＋１／ｌ：にｊ
ｌ：ｍ応できる。二つの別々の出力ビームを発生するた
め、または折り返しレーザのために多孔レーザを考案す
ることもできる。第８図および第９図は。
えば、１０Ｗの出力のレーザが、１００Ｗの熱を放散す
ることがあり、これをレーザから除去することが必要な
ことがある。第７図は、蓋６によってＩＪＩじられ／（
外側みぞ２１企ブロツクｔに形成することによって熱除
去を行う方法を示している。こＪしらのみそを・用いて
組立体から小波な熱を除去する流体冷却梠ヲ循環さぜる
ことかできる０ 上述の簡単なレーザ構成は、他の代替装＋１／ｌ：にｊ
ｌ：ｍ応できる。二つの別々の出力ビームを発生するた
め、または折り返しレーザのために多孔レーザを考案す
ることもできる。第８図および第９図は。
セラミック材料からなる単一ブロックから形成された二
つのそのような装置を例示している。第８図を参照する
と−ブロック１は５本のみそが中に形成されており、そ
のうちの２本、８１およびｇ２−が二つの導波管レーザ
共振器を形成している。中央みぞ８３は、各レーザに共
通な−っの電極を形成するために金属層７を両側に形成
されている。
つのそのような装置を例示している。第８図を参照する
と−ブロック１は５本のみそが中に形成されており、そ
のうちの２本、８１およびｇ２−が二つの導波管レーザ
共振器を形成している。中央みぞ８３は、各レーザに共
通な−っの電極を形成するために金属層７を両側に形成
されている。
共ノ１〕１の中央？［ｉ極から）抽れて、二つの導波管
を別々のレーザと考えることができるし、同じ発掘器８
６から並列にまたは別々の発振器から付勢できる。
を別々のレーザと考えることができるし、同じ発掘器８
６から並列にまたは別々の発振器から付勢できる。
蓋６は、前のように設けられている。
第９図は、２組のう本みそがブロックｌの両面に形成さ
れている代りの多孔装置を示している。
れている代りの多孔装置を示している。
先金に別々の組の′電極と別々の蓋が設けられている。
また、各レーザは、同一発振器から付勢されてもよいし
、またけ、異なる周波数で動作できる別々の発振器９１
および９２を設けてもよい。
、またけ、異なる周波数で動作できる別々の発振器９１
および９２を設けてもよい。
明らかにブロックｌと蓋６は矩形断面のものである８四
゛はないが、これは、おそらく、目的にふされしい絶縁
４Ａ別でｆ′するために最も経済的な形である。必要な
みそは、それ全形成するときブロックに成型してもよい
し、または、あとで機械加工してもよい。
゛はないが、これは、おそらく、目的にふされしい絶縁
４Ａ別でｆ′するために最も経済的な形である。必要な
みそは、それ全形成するときブロックに成型してもよい
し、または、あとで機械加工してもよい。
発明の効果
本発明の構成によれば、横方向に励振される導波管レー
ザの励振電極と電子の相互作用の起るの全防止できると
ともに、励振電極の化学的劣化も防止できるので、安定
なレーザ光を発生できるとともに、装置の寿命を長くす
ることができる。
ザの励振電極と電子の相互作用の起るの全防止できると
ともに、励振電極の化学的劣化も防止できるので、安定
なレーザ光を発生できるとともに、装置の寿命を長くす
ることができる。
第１図は１本発明の第１実施例によるレーザの第１およ
び第２のブロックの等自分ＩＬＬ’ｒ図。 第２図は、第１実施例によるレーザの断面図。 第５図は、第２図のレーザの縦断面図、第４図は１図解
回路図。 第５図は、第２実施例によるレーザの縦断面図。 第６図は、レーザの態形の断面図。 第７図は、レーザの第５の形の断面図、第８図および第
９図ｉ１− レーザのさらに別の形を示す図である。
び第２のブロックの等自分ＩＬＬ’ｒ図。 第２図は、第１実施例によるレーザの断面図。 第５図は、第２図のレーザの縦断面図、第４図は１図解
回路図。 第５図は、第２実施例によるレーザの縦断面図。 第６図は、レーザの態形の断面図。 第７図は、レーザの第５の形の断面図、第８図および第
９図ｉ１− レーザのさらに別の形を示す図である。
Claims (1)
- １．５本の細長い平行みぞが片面に形成され電気絶縁材
料からなる第１のブロックと、外俳の２本の前記みぞの
各々の少なくとも片面を榎って電極を形成する導電材料
の層と、前記導電層の各々に接続された導電体と、前記
第１のブロックに形成されたみそのうちの少なくとも中
央のみぞを閉じるように前記第１のブロックに取付けら
れた電気絶縁材料からなる第２のブロックとを備え、中
央みぞが前記第２のブロックによって閉じられると導波
管レーザ作用を持続するレーザ共振器を形成できる寸法
を有することとを特徴とする横方向に励振される導波管
レーザ。 ２、前記〉本のみその各々が矩形断面のものであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の導波管レー
ザ。 ５、 導電材料の各層は非電着性析出によって形成され
たものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の導波管レーザ。 ４、 電気絶縁材料の前記第２のブロックは、みそが形
成されている第１のブロックの事実上全表面を覆ってい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の導波
管レーザ。 ５、 電気絶縁材料の前記第２のブロックは、中央みぞ
のみを覆うことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載の導波管レーザ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB08404310A GB2154788B (en) | 1984-02-18 | 1984-02-18 | Waveguide laser |
| GB8404310 | 1984-02-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60193388A true JPS60193388A (ja) | 1985-10-01 |
| JPH0716035B2 JPH0716035B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=10556812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60026665A Expired - Lifetime JPH0716035B2 (ja) | 1984-02-18 | 1985-02-15 | 導波管レーザ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4703489A (ja) |
| JP (1) | JPH0716035B2 (ja) |
| CH (1) | CH667947A5 (ja) |
| DE (1) | DE3504403C2 (ja) |
| FR (1) | FR2559966B1 (ja) |
| GB (1) | GB2154788B (ja) |
| IT (1) | IT1182202B (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2187881A (en) * | 1986-03-11 | 1987-09-16 | Komatsu Mfg Co Ltd | Silent discharge laser |
| US4751715A (en) * | 1986-09-30 | 1988-06-14 | Hughes Aircraft Company | Clustered waveguide laser |
| JPS63278391A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-11-16 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 横方向励起式導波管レーザ |
| US4890294A (en) * | 1987-01-26 | 1989-12-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma apparatus |
| GB8711212D0 (en) * | 1987-05-12 | 1987-06-17 | English Electric Valve Co Ltd | Laser apparatus |
| US4787090A (en) * | 1988-03-28 | 1988-11-22 | United Technologies Corporation | Compact distributed inductance RF-excited waveguide gas laser arrangement |
| JPH0274086A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置用放電管 |
| US4882735A (en) * | 1988-12-01 | 1989-11-21 | United Technologies Corporation | Modular UV preionization package for a CO2 laser |
| GB9313823D0 (en) * | 1993-07-03 | 1993-08-18 | Secr Defence | Laser device |
| GB2301547A (en) * | 1995-06-02 | 1996-12-11 | Avdel Systems Ltd | Fastener installation tool |
| WO2002075865A2 (en) * | 2001-03-19 | 2002-09-26 | Nutfield Technologies, Inc. | Monolithic ceramic laser structure and method of making same |
| US7570683B1 (en) | 2006-03-01 | 2009-08-04 | Epilog Corporation | Waveguided laser channels for a gas laser |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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