JP2008509556A - 誘電体結合二酸化炭素スラブレーザ - Google Patents
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Abstract
スラブレーザは、離間し向かい合って配置された2つの細長い電極を含む。中実誘電性材料の1つ又は2つのスラブが電極間において電極の長さに渡って延伸する。電極ギャップは2つの電極のうちの1つと、1つの誘電スラブの間、あるいは、2つの誘電スラブの間に形成される。電極ギャップはレーザガスで満たされる。ギャップの長さに渡って延伸してレーザ共振器を画定するように構成された1組の鏡が配置されている。電極間にRF電位を与えてギャップ中に気体放電を生成し共振器内を循環するレーザ放射を引き起こす。電極間に誘電性材料を挿入することにより、放電構造の抵抗キャパシタンス(RC)時定数は、誘電性材料がないときのRC時定数と比べて増大する。これは放電におけるアーク生成を妨げ、誘電インサートが無い場合よりも可能であるより高い励起パワー、より高いレーザガス圧及びより高い出力パワーでレーザが作動することを可能にする。
Description
本発明は、一般に、二酸化炭素(CO2)スラブレーザに関する。本発明は、特に、金属スラブ電極の間に誘電性結合要素を有するスラブレーザに関する。
CO2レーザは、特に非金属材料における、切削又は穴をあけなどの操作に関する商業的製造に一般に使用される。そのような操作に適したCO2レーザの1つの形態は当該技術分野の実務者にとって「スラブ」レーザとして知られている。そのようなレーザは、離間して向かい合うように配置された細長いスラブ状の平面的な1組の電極であって、それらの間にギャップを画定する電極を含むアセンブリを有する。通常、電極は気密エンクロージャ内に含まれる。エンクロージャと、電極間のギャップはCO2を含むレイジングガス混合物で満たされる。電極間に無線周波(RF)電位が与えられて、CO2レーザガス混合物中に放電を引き起こす。放電はCO2レイジングガスにエネルギを与える。レーザ共振器を形成するために1組の鏡を用い、各鏡は1組の電極の端部にそれぞれ配設される。好ましいタイプの共振器はハイブリッド導波路非安定共振器である。エネルギを与えられたCO2レイジングガスは光学的利得を与えて共振器にレーザ放射を作り出す。電極は、電極の面に垂直な共振器軸方向にレーザ放射のための導波路、即ち、光導路を形成する。これは共振器のレーザモードをその軸内に閉じ込める。鏡は電極の平面に平行な軸にレイジングモードを画定する。非安定共振器装置では、共振器鏡の1つを迂回させることによりレーザ放射を共振器から送出される(事実上、共振器からこぼれている)。
穿孔、切削他の機械工作に使用されるスラブレーザでは、高出力電力、例えば、約10W(ワット)以上の電力と、最大可能効率が重要である。与えられたいかなるスラブレーザ構成において、利用可能な平均出力パワーは、平均RF入力電力が600°Kを超えて気体放電を加熱しないならば、ガス圧とRF入力電力の増加に従って、一般に増加する。さらに、パルスモードで作動するとき、ピークRF入力電力の意義ある増加は、対応するピーク光出力パワーの増加が利用可能であれば、ガス圧の増加により可能である。このピークパワー増加は、前に説明したように、パルスデリバリデューティサイクルがRF入力電力を制限するように提供される場合にだけ有効である。ガス圧が増加すると、放電における励起種の分子衝突率の対応する増加と、その結果のより上位に励起したレーザ準位の崩壊速度の増加により、(パルスの)より速い光学消長時間が生じる。
一般に、特定のデューティサイクルとパルス繰り返し周波数においてパルスモードで作動する特定のスラブレーザ構成に利用可能なピーク光出力パワーの上限は、ピークRF入力電力が増大されるのに従って、RF放電自体の安定性によって定められる。ピークRF電力が増大するに従い、RF放電が低電流形からパワー制限形まで崩壊し、さらにダメージングアークまで崩壊する。これはレーザのモード品質と効率に悪影響を与える。コンパクトなスラブレーザ光源から高ピーク光パワーを達成するために非常に高いピーク入力電力によりパルスモードで作動するスラブレーザにおける放電の安定性の改良を必要としている。
1態様では、本発明によるレーザはレイジングガスを入れるエンクロージャを含む。2つの細長い電極がエンクロージャ内に位置し、電極は離間し向かい合うように配置される。電極間に位置する1つ以上のスラブ形状の中実誘電性材料は電極の長さに渡って延伸する。中実誘電性材料は、電極間のスペーシング(電極の離間距離)より小さい総厚みを持ち、その結果、電極の1つと誘電性スラブの間、又は、2つの誘電性スラブの間に細長いギャップ形成する。ギャップはエンクロージャのレイジングガスで満たされる。ギャップを通って延伸するレーザ共振空胴を画定するように1組の鏡が構成され配置される。レーザ放射の共振空胴内での循環を引き起こすためにレーザガスを励起する励起手段を提供する。ギャップの高さは、ギャップの高さ方向のレーザ放射のための導波路をギャップが形成するように選択される。ギャップの幅は、空きスペースにおいてギャップの幅方向にレーザ放射の伝播が可能となるように選択され、伝播モードは鏡の構成と配置により決定される。
高周波(RF)電極間の誘電性インサートはRF放電構造と直列接続された容量形インピーダンスを増加させると信じられている。このシリーズキャパシタンス増加は放電を安定させるように作用するので、放電の不安定性を開始させること無く、レーザへの必要なピークRF入力電力を可能にしている。
明細書に添付されて明細書の一部を構成する図面は本発明の好ましい実施の形態を図示し、上に述べた発明の概要と、以下で説明する好ましいな実施の形態の詳細と共に、本発明の原理を説明する役目を成す。
ここで図に言及し、同様な構成要素に同様な参照番号を用いている。図1と図1Aは、本発明によるCO2スラブレーザの好ましい1実施の形態10を示す。レーザ10は、離間し向かい合って配置された上スラブ電極12と、下スラブ電極14を含む。電極のスペーシングはねじ18によって電極に取り付けられたセラミックのスペーサ16によって維持される。セラミックスラブ(インサート)20は電極の間に置かれ、スラブの表面2OAが電極12の表面12Bに接するように前記セラミックスペーサによって保持される。望ましくは、セラミックスラブは電極の全長に渡って延伸する。スラブ20のための好ましいセラミック材料はアルミナ(酸化アルミニウム:Al2O3)、ベリリア(酸化ベリリウム:BeO)、ジルコニア(二酸化ジルコニウム:ZrO2)、アルミナとジルコニアの混合物を含む。
電極間のスペーシングと、セラミックスラブの中央部22の厚さ(T)は、セラミックスラブ20の中央部22の平らな表面2OBと電極14の平らな表面14Aの間に高さGのギャップ26が形成されるように選択される。ギャップを画定するこれらの平面は互いに平行である。ギャップ26は幅Wを有し、この幅はここでは電極14の幅によって決定される。電極12,14とセラミックスラブ20のアセンブリは、二酸化炭素を含むレイジングガス混合物で満たされたエンクロージャ(図示省略)内に納められている。レイジングガス混合物はギャップ26を満たす。RF電位が電極12,14間に与えられる。ここでは、RF電位(これは、図1において、シンボルRFによって示すRF発生機によって与えられる)は電極12(「ホット」電極)に与えられ、電極14(接地電極)は地電位に連結される。電極12,14はインダクタ32によって誘導結合される。電極間にRF電位を与えると、ギャップ26内のレイジングガス中において放電が維持され(レーザガスにエネルギを与えて)レーザガスを励起する。電極12,14は放電により発生した熱を除去するため電極に冷却流体を通すチャンネル34を含む。
ギャップ26内の放電中のエネルギが付与さられたCO2分子はレーザ10に利得媒質を供給する。レーザ10は、マイクロ波共振器と非安定共振器36を含んでなるハイブリッド共振器を含む。非安定共振器36はミラーホルダ40によって保持された凹面鏡38と、ミラーホルダ44によって保持された凹面鏡42(図1において想像線で示す)によって形成される。両方の鏡38と鏡42は、望ましくは、レーザ波長で約99.5%以上の反射率を有する。ギャップ26の幅Wは、レーザ放射が空きスペースにおいて電極に平行な方向、すなわち、ギャップの幅方向に伝播されるように選択される。モード伝搬は、とりわけ、鏡のスペーシング曲率により決定される。
この例では、非安定共振器36の鏡は、レーザ放射が破線46で示すようにセラミックスラブ20と電極14の間のギャップ26をジグザグに通って循環するように配置され構成される。レーザ放射は鏡42の縁42Aの付近で共振器から出た後、ミラーホルダ44の孔48から出てくる。レーザ共振器の導波路部は、電極12,14と鏡38,42によって画定され、上の説明された非安定共振器部分に垂直である。ギャップ26の高さGは、電極14の表面14Aとセラミックスラブ20の表面2OBが電極12,14の平面に垂直な方向、すなわち、ギャップの高さ方向のレーザ放射のための導波路を形成するように選択される。共振器の導波路部は鏡38,42によって完成される。レーザ放射伝播モードは、導波効果によって、その方向のみに制限される。
ギャップ26における放電による鏡38、42の機能低下を防ぐために、電極12,14の端部から鏡を十分に離間することが望ましい。その距離は、望ましくは、約20.0mm以上であるが、そのような距離は鏡によってギャップ26にリダイレクトされるレーザ放射の光学損失に通じる。そのような光学損失を最小にする1つの手段を図1Bに示す。ここで、レーザ10において、セラミックインサート20は、ホット電極12の両端を縦方向に超えて延伸する延長部2OEを含む。接地電極14の両端はセラミックの延長部2OEの下で延伸する。電極14のその延長部はセラミックインサート延長部2OEの一部21からギャップ高さGだけ離間している。延長部2OEと、その下に横たわる電極は、電極12と14によって与えられる導波効果と同様な(一軸)導波効果を提供する。延長部は鏡から約5.0mm以内の範囲まで延伸するかもしれない。
Gと、Wと、Tの好ましい値は、とりわけ、レイジングガス圧、必要なレーザ出力パワー及びRF周波数に依存する。一例として、ガス圧が約80.0〜200.0Torr、RF周波数が約100.0MHz(メガヘルツ)、平均出力が約100.0W(ワット)〜500.0Wの場合、Gは好ましくは約1.0〜2.0mmであり、Wは、電極の長さが約40.0cm乃至85.0cmの場合で約20.0mm乃至80.0mmである。セラミックスラブの厚みTは、放電安定のため容量形インピーダンス素子を最大にするためにできるだけ薄いほうが望ましい。しかしながら、この厚さは少なくともスラブに機械的剛性を与えるように十分なものでなければならない。その厚さは望ましくは、少なくとも約0.5mmである。
電極12と14の間のセラミックスラブ26を発明として含むことにより、ギャップ26における気体放電の点火を容易にする手段を与える利点があることが判明した。図1Aに特に言及し、1つの好ましい手段は、セラミックスラブ20の孔52を通って該スラブ20内へ延伸する1つ以上の点火電極50を提供することである。電極12に沿って配設された複数の点火電極50の位置を図1に想像線で示す。点火電極は金属であり、また、望ましくは孔52内に締り嵌めにされ、電気接触子(コンタクト)54、例えば、バネ又は可鍛金属ディスクを介して孔の底部と電気的に接触している。点火電極はギャップ26内の電場を局部的に増大させるので放電の点火を容易にする(2003年7月21日に出願された米国特許出願番号10/624,411参照。この文献は参照のためにここに取り入れられる。)。
本発明の原理を理解するために必要なレーザ10の詳細だけを上で説明していることに留意されたい。CO2スラブレーザ構造のレイジングガスエンクロージャや、RF電力供給及びその接続などのCO2スラブレーザ構造の一般態様は本発明の当該技術分野でよく知られており、従って、詳細についてはここでは説明しない。スラブレーザの例の詳細な説明は米国特許No.5,123,028で与えられており、この文献の全開示は参照のためにここに取り入れられる(また、米国特許No.6,192,061と6,697,408参照。これらの文献もまた参照のためにここに取り入れられる。)。
電極12,14間にセラミックスラブ20を配設する目的は、通常与えられるRF電位によって経験されるインピーダンスの容量分を増大させ、また、特に、ギャップ26での放電の点火と非点火状態におけるこのインピーダンスの差を制限することである。先行技術のスラブCO2レーザでは、スラブ電極間にはレイジングガスしかない。非点火状態では、事実上、このガスは誘電性であり、電極と、ガス充填ギャップはキャパシタとして振る舞う。点火状態では、ガスは誘電性であり、電極と、該電極間のギャップの容量効果は最小になる。本発明の原理による電極間のギャップ内にスラブ20を含むことは、ギャップ26における放電が点火された場合でさえ、電極インピーダンスの強い容量分を提供し、かつまた、点火と非点火状態の間の共振振動数差を最小にする。セラミックスラブによって提供されたキャパシタンスの増大は電極スラブ構造のRC時定数の増大させる。これは放電におけるアーク生成を妨げ、かつ、レーザのサイズを大きくすることなく、レーザ出力パワーを増大させることができるRF装填の増大と、より高いレイジングガス圧を可能にする。
図2と図2Aは本発明によるスラブCO2レーザの別の実施の形態60を示す。レーザ60は、レーザ10のセラミックスペーサ16によって離間して保持された第1と第2の細長いスラブ電極12,14を含む。レーザ60の電極12と14は同じ幅を有する。電極とスペーサは両方のレーザにおいて同じ機能を有し、電極とスペーサは同じ番号によって示されている。但し、レーザ60における電極14の幅は、レーザ10のものより広く、スペーサが形がレーザ10のものとは異なる。電極12と14の間に位置しているのはセラミックスラブ21である。セラミックスラブ21の表面21Aは電極12の表面12Bに接触している。スラブ21は電極14の表面14A上に支持された立上り縁部23を有し、これらの縁部の間により薄い中央部25を残している。これはスラブ21の表面21Bを電極14の表面14Aから離間して維持して電極ギャップ26を与える。中央部25は、望ましくは、少なくとも0.5mmの厚みを有する。RF放電は、上で図1のレーザ10に関して説明したようにギャップ26において生成される。ギャップ26は幅Wを有し、ここでは、その幅は電極の幅よりも小さく、セラミックスラブ21の中央部25の幅に従って決定される。非安定共振器36は、上で図1のレーザ10に関して説明したように、凹面鏡38と凹面鏡42によって形成される。
スラブ21と、その立上り縁23は、望ましくは、スラブ電極の全長に渡って延伸する。スラブ21は、電極12と14の縦縁を横方向に距離Dを超える長さで延伸する。望ましくは、Dは約2.0mm以上であり、より望ましくは約6.0mm以上である。スラブのこの横方向の広がりは、そのような広がりが無い場合に比べて、電極間のセラミックの面抵抗を増大させる。この増大された面抵抗は、ギャップ26内での放電に代えて電極縁間で起こりうる表面放電の可能性を最小にする。
立上り縁23を横方向に貫通して延伸する複数の開孔62がラミックスラブ21に沿って間隔を置いて設けられている。これはギャップ26にレイジングガスを容易に流れ込ませ、高周波パルス化励起条件下でのギャップにおける音響共振を最小にする。スラブ21の表面21Sは、事実上、電極ギャップの横で延伸する側壁を形成する。これらの表面21Sは、望ましくは、電極の平面に平行な平面におけるレーザモード挙動の決定における共振鏡38,42の機能に妥協を与えるかもしれないありうる案内作用を最小にするために粗くされる。表面21Sは、図2に示すようにスロープとされ、即ち、斜角を付けることが好ましいが、これは本発明を制限するものとみなすべきでない。
セラミックスラブ21の機能はレーザ10のセラミックスラブ20のものと同様である。しかしながら、電極の広げた幅の部分に結合されたセラミックスラブ21の立上り縁は電極インピーダンスの容量分を増強させるので、点火と非点火状態の間のインピーダンス差を減少させる。しかしながら、これは、放電ギャップ26へのガスの流れを容易にするためにセラミックスラブに開孔を設けることで達成される。
図3は本発明によるスラブCO2レーザ60のさらに別の実施の形態70を示す。レーザ70は、レーザ60と同じようにセラミックスペーサ16によって離間され保持された第1と第2の細長いスラブ電極12と14を含む。ここでも同じく、電極とスペーサは両方のレーザにおいて同じ機能を有し、電極とスペーサは同じ番号によって示される、但し、レーザ70では、電極12,14の幅ははレーザ60のものより広く、スペーサの形も異なる。電極12と14の間に位置しているのはセラミックスラブ27である。セラミックスラブ27の表面27Aは電極12の表面12Bに接触している。スラブ27はスラブの全長に渡って延伸する厚い部分29と薄い部分31を含む。望ましくは、薄い部分の厚さは1mm以上である。セラミックスラブの厚い部分29は、上で図2のレーザ60に関して説明した理由により、電極の縁を超えて、望ましくは電極の端部をも超えて延伸する。
セラミックスラブの厚い部分29は、スラブの上面27Aが電極12の表面12Bに接触した状態で、両方の電極に接触している。これは、スラブ27の薄い部分31のスラブ表面27Bを電極14の表面14Aから隔てて維持するので、セラミックスラブ27の部分29と部分31の厚みの差にほとんど等しい高さを有する電極ギャップ26を提供する。RF放電は。上で図1のレーザ10に関して説明したように、ギャップ26で生成される。レーザ60と同じく、ギャップ26の幅が電極の幅より小さいので、非安定共振器36は、上で図1のレーザ10に関して説明したように、凹面鏡38と凹面鏡42によって形成される。
電極とセラミックスラブとのアセンブリのセラミックスラブの薄い部分31に対応する側の一側において、スラブ電極ギャップ26はアセンブリの長さに渡って開放されており、その部分セラミックスペーサ16が占領する長さは短くなっている。これは、レイジングガスのギャップ26内への流れ込みを容易にし、上で述べたように音響共振の可能性を最小にする。セラミックスラブ27の薄い部分と厚い部分の合流点に形成された曲面27Sは、事実上、電極ギャップの長さに渡って延伸する単一の側壁を形成する。
セラミックスラブ27の機能はレーザ60のセラミックスラブ21のものと同様である。同様に、電極の幅広部分に結合されたセラミックスラブ27の厚い部分29は電極インピーダンスの容量分を増大し、点火と非点火状態の間のインピーダンス差を減少させる。電極アッセンブリの長さのほぼ全長に渡ってギャップ26を開放させたことにより、レーザ60のセラミックスラブ構造21の場合よりもガスの放電ギャップへの導入をより良くし、かつ、セラミックスラブ構造21に比べて、優れた上位光学的波動区別を提供することができる。
上で説明した本発明のスラブレーザの実施の形態では、スラブ電極、セラミックスペーサ及び電極間のセラミックインサートのアセンブリは、該アセンブリとレイジングガス混合物を内蔵するいかなるエンクロージャからも構造的に独立している。しかしながら、電極セラミックアセンブリをそのようなエンクロージャと統合(一体化)することは可能である。そのような統合構造の1例を図4と図5に関して以下に詳しく説明する。
図4は金属エンクロージャ82と統合された本発明によるスラブCO2レーザの実施の形態80を示す断面図である。図5は、部分的に破断して示すエンクロージャ82と共にレーザ80を概略的に示す斜視図である。エンクロージャ82は、望ましくは、押し出しアルミニウム部材から形成され、地電位に電気的に連結されている。エンクロージャ82の内部84はポート86を介してレイジングガスで満たされ、レイジングガス充填が一旦完了すると、ポートの先端88を塞いでエンクロージャ82の封をする。エンクロージャ82のベース、側壁、及び上部に冷却チャネル34が設けられている。冷却流体は吸込み口90を介してチャンネル内に導入され、出口92を通ってチャンネルを出る。
エンクロージャ82の立上りベース部94はスラブレーザ80のための接地電極を形成する。該電極94は幅Eを有する。別の上電極、即ち、「ホット」電極96は、立上り縁100を有するセラミックスラブ98によって接地電極94から離間されている。スラブ98のこれらの縁部100は幅Bを有し、接地電極の縁から長さDだけオーバハングする。幅Bは、とりわけ、与えられたW、G及びTの寸法と、ガス圧と、励起周波数に関して望まるキャパシタンス量に従って決定される。長さDのオーバハングは、図2のレーザ60に関して上で述べたように、電極間の面抵抗を増大する目的のために設けられる。
セラミックスラブ98の薄い中央部102は幅Wと、厚さTを有する。電極ギャップ26は接地電極94の上面94Aと、セラミックスラブ98の薄い中央部102の下面102Bの間に形成される。放電はギャップ間に適用されたRF電位によってギャップ26において維持される。放電の発火を容易にするために点火器50を提供する。RF電力はコネクタ108を介して電極96に適用される。コネクタ108は絶縁型貫通接続子110を通ってエンクロージャ82に入る。接地までの誘導路は、セラミック性断熱パッド114によって電極96から隔てられ曲がりくねったインダクタ(誘導器)112によって与えられる。誘導器112は低インダクタンスの圧縮バネ116を介して、接地されたエンクロージャ82に連結されている。ここにレーザハウジングに埋め込まれた冷却チャネル34を示し、一方、電極96が説明されるが、以下で説明される本発明のレーザの他の実施の形態において冷却チャネルのようなチャンネルを含まないものも、本発明の技術的使用と発明の範囲から逸脱することなく、含むことができることに留意されたい。
特に図5を参照し、レーザ80のための共振器装置は本発明のレーザの上で説明された他の実施の形態のものと同様である。非安定共振器36はミラーホルダ40により保持された凹面鏡38と、ミラーホルダ44で保持された凹面鏡42(想像線で示す)によって形成されている。非安定共振器は、レーザ放射がセラミックスラブ20と電極の間のギャップ26を通って循環し、鏡42の縁のそばで出るように構成されている。望ましくは、セラミックスラブ98の厚い部分100の鉛直面100Sは、電極の平面に平行な平面におけるレーザモード挙動の決定に関して共振器鏡38,42の機能に妥協を与えるかもしれないいかなる可能な導波作用も最小にするために、粗くされる。上で述べたようにレイジングガスの流れを容易にしかつ音響共振を最小にするために、セラミックスラブ98の縁部100の長さに渡って、該縁部を貫通して横方向に延伸する複数の開孔104が電極ギャップ26に設けられる。
図6は、金属エンクロージャ82と統合された本発明によるスラブCO2レーザの別の実施例90を概略的に示す断面面である。図7は部分的に破断して示すエンクロージャ82と共にレーザ90を概略的に示す斜視図である。ここでもまた、エンクロージャ82の立上りベース部分94がスラブレーザ90のための接地電極を形成する。セラミックスラブ120は、電極94上に支持され電極の長さに渡って延伸する。接地電極94は、電極間に位置するセラミックスペーサ124によってホット電極96から離間されている。
スペーサ124は電極の端部だけに位置している。電極ギャップ26はセラミックスラブ120の上面120Aと電極96の下面96Bの間に形成される。電極ギャップ26は、ここでは、セラミックスペーサ124によって覆われていない電極96の下面96Bの幅に相当する幅Wを有する。放電はギャップに適用されたRF電位によってギャップ26において維持される。放電の発火を容易にするために点火器50を提供する。RF電力は、上で図4のレーザ80に関して説明したように電極96に適用される。
スペーサ124は電極96のコーナのみに配設されている(図7参照)。これは、電極とセラミックスラブのアセンブリをその両サイドのほぼ全長に渡って開放し、電極ギャップ26にレイジングガスが容易に流れ込むようにしている。スペーサ124は、望ましくは、電極96の長さの1/8未満を占領する。レーザ90は、上で図5のレーザ80に関して説明したように配置された非安定共振器を含む。
上で説明した本発明のスラブCO2レーザの全ての実施の形態において、電極ギャップ26の片面上にのみセラミックスラブが設けられている。しかしながら、本発明をそれらの実施の形態又は同様な実施の形態に制限するものと解釈すべきでない。それぞれの電極に接触するセラミックスラブを設け、これらのセラミックスラブ間に電極ギャップ26を形成することによって容量の増大を達成できる。そのような1実施の形態を以下で図8に関して説明する。
図8は本発明によるスラブCO2レーザの実施の態様130を示す。レーザ130は図7のレーザ90と同様である。但し、電極94に接触したセラミックスラブ120に加えて、ホット電極96に接触する同様のセラミックスラブ121が設けられている点で異なる。レーザ90では、電極ギャップ26はセラミックスラブ121の下面121Bとセラミックスラブ120の上面120Aの間で形成される。
2つの誘電性スラブを含み、それらのスラブの間で電極ギャップを形成するレーザの1つの不都合な点は、レーザ出力が電極ギャップが誘電性スラブと金属電極の間で形成された本発明のレーザの実施の形態ほどには分極された平面にならないということである。分極出力が必要であるなら、別の偏光子(図8では図示省略)が共振器36に含まれるべきである。
本発明によるスラブレーザの別のさらなる実施の形態140を図9に概略的に示す。レーザ140は図2のレーザ60と同様であるが、レーザ60のセラミックスラブ21がホット電極12に接触して保持されるスラブ142に取り替えられているという点で異なる。スラブ142は電極12より幅広であり、スラブの縁部142Eは、上で説明した理由により、電極を横方向に超えて延伸する。保持構成の細部を図9Aに示す。ここでは、ボルト144は頭146と軸部148を有し、その頭146は、スラブ142に配設された金属パッド150にはんだボンド152によって接着される。そのように接着された複数(ここでは4つ)のボルトはスラブ142の長さに渡って配置される。ボルトは電極12の孔(図示省略)から突き出るように延伸する。ナット154とバネ座金156が前記軸部に取り付けられ(図9参照)、セラミックスラブをそれが電極に接するように保持する。バネ座金は、電極の平面に垂直な方向のスラブと電極の間の相対膨脹差を収容する。電極を貫通する孔は電極の平面に平行な方向のスラブと電極の間の膨脹差を収容できるくらい大きい直径を有する。この電極構成の1つの利点は、スラブが加工の際に複雑な機械工作を必要としない単純形状を有するということである。このことは、また、上で説明した発明のレーザの他の実施の形態のより複雑なスラブの厚みよりもいくらか薄い最小厚さのスラブを可能にする。しかしながら、この厚さは望ましくは、上で説明した本発明の他のすべての実施の形態における最小のスラブ厚のように0.5mm以上である。
レーザ60、70、80、90、130、及び140は、図1Bのレーザ10に関して説明した電極と鏡の間のセラミック導波路延長部を有していないように表現されている。そのような延長部を設けることとしても良く、延長部2OEと、図1Aのレーザ10の19に関して上で説明したものと同様の構成で延長部を設けることが望ましい。当業者であれば、さらなる説明や図がなくても、そのような延長部を特定の実施の形態にどのようにして設けるとができるかを理解できる。
図3のレーザ70の構成による誘電体結合スラブレーザに関する実験は、誘電体インサートなしのスラブレーザのものと比べて、性能がかなりの改良されていることを示した。実験されたレーザは、145Torrガス圧で13kWのパルス化RFピーク電力で作動できた。このパワー出力は、弧光の開始によるものではなく、むしろ、レーザを駆動するRF電力供給の出力における基準限界値に達することによって制限された。誘電体インサートを持たない比較用のCO2スラブレーザは、弧光の発生の前に、140Torrのガス圧で単に8.7kwのピークパルス電力で作動できた。実験したレーザのパワー出力は、ほぼ同じくらいの寸法の先行技術のレーザよりも少なくとも49%の性能増加を示した。
概略的に言えば、本発明は好ましい実施の形態や他の実施の形態に関して上で説明されているが、発明は説明され図示された実施の形態に制限されるのではなく、添付の特許請求の範囲によって定まるものである。
Claims (32)
- レイジングガスを入れるエンクロージャと;
前記エンクロージャ内に位置する第1及び第2の細長い電極であって、離間して対向する平面部を有する第1及び第2の電極と;
前記電極間に位置し前記電極の長さに渡って延伸する1つの又は2以上のスラブ形状に設けられ前記電極間の距離よりも小さい合計厚みを有する中実の誘電性材料であって、前記電極間にギャップを残し、該ギャップは1つの電極と1つの誘電性スラブの間に設けられたもの、又は、2つの誘電性スラブの間に設けられたものであり、前記ギャップは高さと幅を有しかつ前記レイジングガスで満たされる誘電性材料と;
前記細長いギャップを通って延伸するレーザ共振空胴を画定するように構成されかつ配置された1組の鏡と;
前記ギャップ内の前記レイジングガスを励起して前記共振空胴内でレーザ放射循環を引き起こす励起手段と;
を含んでなるレーザであって、前記ギャップが前記高さ方向における前記レーザ放射のための導波路を形成するように前記ギャップの前記高さが選択され、前記レーザ放射が前記鏡の前記構成及び配置によって制御されて空きスペースにおいて前記ギャップの前記幅方向に伝播できるように前記ギャップの幅が選択されたレーザ。 - 請求項1のレーザであって、前記レーザガス励起手段は高周波発生機を含み、該高周波発生機の出力は前記電極の1つに接続されているレーザ。
- 請求項1のレーザであって、前記レーザ共振器は前記ギャップの幅方向について非安定共振器であるレーザ。
- 請求項1のレーザであって、前記ギャップを画定する前記誘電性スラブと前記電極の面は平面であり、かつ、互いに平行であるレーザ。
- 請求項1のレーザであって、前記電極間にただ1つの誘電性スラブを設け、該誘電性スラブの1表面が前記第1の電極の表面に接触し、前記ギャップが前記1つの誘電性スラブと前記第2の電極の間に形成されているレーザ。
- 請求項1のレーザであって、前記電極間に第1と第2の前記誘電性スラブを設け、前記第1の誘電性スラブの1つの表面は前記第1の電極の表面に接し、前記第2の誘電性スラブの1表面は前記第2の電極の表面に接し、前記ギャップが前記第1と第2の誘電性スラブの間に形成されているレーザ。
- 請求項1のレーザであって、誘電性材料の前記1つのスラブは約0.5ミリメートル以上の厚みを持つレーザ。
- 請求項1のレーザであって、前記ギャップの高さは約1ミリ乃至2ミリメートルであるレーザ。
- 請求項1のレーザであって、前記ギャップの幅は約20ミリ乃至80ミリメートルであるレーザ。
- 請求項1のレーザであって、前記エンクロージャは金属性エンクロージャであり、前記第2の誘電性スラブが前記エンクロージャに統合された前記エンクロージャの一部として形成されたレーザ。
- 請求項10のレーザであって、前記エンクロージャが地電位に連結されたレーザ。
- 請求項1のレーザであって、誘電性材料の前記1つのスラブは、前記細長い電極の幅よりも大きな幅を有し前記2つの電極の対向縦縁を横方向に超えて延伸するように設けたレーザ。
- 請求項12のレーザであって、前記スラブは前記電極縁を少なくとも2.0ミリメートル超えて延伸するレーザ。
- 請求項1のレーザであって、誘電性材料の前記1つのスラブは、前記スラブに接着され前記第1の電極を貫通して延伸する複数のボルトによって前記第1の電極に接するように保持されるレーザ。
- レイジングガスを入れるエンクロージャと;
前記エンクロージャ内に位置する第1及び第2の細長い電極であって、離間して対向する平面部を有する第1及び第2の電極と;
前記電極間に位置し前記電極の長さに渡って延伸する中実の誘電性材料のスラブであって、前記電極間の距離よりも小さい厚みを有し、前記第1の電極に隣接して配設され、そのため前記スラブと前記第2の電極の間にギャップを残し、該ギャップは高さと幅を有しかつ前記レイジングガスで満たされるスラブと;
前記細長いギャップを通って延伸するレーザ共振空胴を画定するように構成されかつ配置された1組の鏡と;
前記ギャップ内の前記レイジングガスを励起して前記共振空胴内でレーザ放射循環を引き起こす励起手段と;
を含んでなるレーザであって、前記ギャップが前記高さ方向における前記レーザ放射のための導波路を形成するように前記ギャップの前記高さが選択され、前記レーザ放射が前記鏡の前記構成及び配置によって制御されて空きスペースにおいて前記ギャップの前記幅方向に伝播できるように前記ギャップの幅が選択されたレーザ。 - 請求項15のレーザであって、前記レーザガス励起手段は高周波発生機を含み、該高周波発生機の出力は前記電極の1つに結合されているレーザ。
- 請求項15のレーザであって、前記レーザ共振器は前記ギャップの幅方向について非安定共振器であるレーザ。
- 請求項15のレーザであって、前記ギャップを確定する前記誘電性スラブと前記電極の表面は平面であり、かつ、互いに平行であるレーザ。
- 請求項15のレーザであって、誘電性材料の前記スラブは約1ミリメートル以上の厚みを持つレーザ。
- 請求項15のレーザであって、前記ギャップの高さは約1ミリ乃至2ミリメートルであるレーザ。
- 請求項15のレーザであって、前記ギャップの幅は約20ミリ乃至80ミリメートルであるレーザ。
- 請求項15のレーザであって、前記エンクロージャは金属エンクロージャであり、前記第2の電極が前記エンクロージャに統合された前記エンクロージャの一部として形成されたレーザ。
- 請求項15のレーザであって、誘電性材料の前記スラブは、それに沿って延伸する2つの立上り縁部であって、前記ギャップの両側部に位置する立上り縁部を有し、前記スラブの前記立上り縁部は前記電極の離間距離と等しい厚みを有するレーザ。
- 請求項23のレーザであって、誘電性材料の前記1つのスラブは前記細長い電極の幅より大きい幅を有し、かつ、該スラブの前記立上り縁部が前記電極の対向縦縁を横方向に超えて延伸するレーザ。
- 請求項24のレーザであって、前記スラブの前記立上り縁は前記電極縁を少なくとも2.0ミリメートル超えて延伸するレーザ。
- 請求項23のレーザであって、前記スラブの前記立上り縁部のうちの少なくとも1つはそれを貫通して横方向に延伸し前記レイジングガスの前記ギャップへの流れを容易にする複数の離間した開孔を持つレーザ。
- レイジングガスを入れるエンクロージャと;
前記エンクロージャ内に位置する第1及び第2の細長い電極であって、離間して対向する平面部を有する第1及び第2の電極と;
前記電極間に位置し前記電極の長さに渡って延伸する中実の誘電性材料のスラブであって、前記電極の長さに渡って延伸する前記スラブの厚い部分と薄い部分を画定する段状の断面を有し、前記スラブの前記厚い部分は前記電極の離間距離に等しい厚みを有し、前記薄い部分は前記電極の離間距離より小さい厚みを有しかつ前記第1の電極に隣接して配設され、そのため前記スラブの前記薄い部分と前記第2の電極の間にギャップを残し、該ギャップは高さと幅を有しかつ前記レイジングガスで満たされるスラブと;
前記細長いギャップを通って延伸するレーザ共振空胴を画定するように構成されかつ配置された1組の鏡と;
前記ギャップ内の前記レイジングガスを励起して前記共振空胴内でレーザ放射循環を引き起こす励起手段と;
を含んでなるレーザであって、前記ギャップが前記高さ方向における前記レーザ放射のための導波路を形成するように前記ギャップの前記高さが選択され、前記レーザ放射が前記鏡の前記構成及び配置によって制御されて空きスペースにおいて前記ギャップの前記幅方向に伝播できるように前記ギャップの幅が選択されたレーザ。 - 請求項27のレーザであって、前記レーザガス励起手段は高周波発生機を含み、該高周波発生機の出力は前記電極の1つに結合されているレーザ。
- 請求項27のレーザであって、前記レーザ共振器は前記ギャップの幅方向について非安定共振器であるレーザ。
- 請求項27のレーザであって、前記ギャップを画定する前記誘電性スラブと前記電極の表面は平面であり、かつ、互いに平行であるレーザ。
- 請求項27のレーザであって、誘電性材料の前記スラブの前記薄い部分は約1ミリメートル以上の厚みを持つレーザ。
- 請求項27のレーザであって、前記スラブの前記厚い部分は、それを貫通して横方向に延伸し前記レイジングガスが前記エンクロージャから前記ギャップへ容易に流れるようにする複数の離間した開孔を持つレーザ。
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