JPS61236179A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS61236179A JPS61236179A JP7681085A JP7681085A JPS61236179A JP S61236179 A JPS61236179 A JP S61236179A JP 7681085 A JP7681085 A JP 7681085A JP 7681085 A JP7681085 A JP 7681085A JP S61236179 A JPS61236179 A JP S61236179A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- cathode
- laser medium
- anode
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はガスレーザ発振装置に関する。
ガスレーザにおいて、放電によって温度上昇するガス媒
質および電極を冷却する場合、水冷もしくは空冷の方式
がとられている。出力が■Ｗ以上になる大出力のＣＯ，
レーザ発振装置や近年実用化が進み、レーザマーキング
加工に応用されているＴＥＡ （Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ
ｌｙ Ｅｘｃｉｔｅｄ Ａｔｏｍｏｓｐｈｒｉｃ ｐｒ
ｅｓｓｒｅ ）ＣＯ！レーザ発振装置及び紫外線を発生
するエキシマレーザ装置の場合には容器内に充満された
ガスレーザ媒質を利用しファンによりこれを熱交換器を
介して循環するようにして冷却している。しかし、従来
では容器の内側横断形状が矩形であった＃）％またトリ
ガが作用をなす補助電極等の配置が適切でないためガス
レーザ媒質の循環が円滑にならなかったシ、冷却および
主放電部へのガス流が所望する速度にならない問題があ
った。
質および電極を冷却する場合、水冷もしくは空冷の方式
がとられている。出力が■Ｗ以上になる大出力のＣＯ，
レーザ発振装置や近年実用化が進み、レーザマーキング
加工に応用されているＴＥＡ （Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ
ｌｙ Ｅｘｃｉｔｅｄ Ａｔｏｍｏｓｐｈｒｉｃ ｐｒ
ｅｓｓｒｅ ）ＣＯ！レーザ発振装置及び紫外線を発生
するエキシマレーザ装置の場合には容器内に充満された
ガスレーザ媒質を利用しファンによりこれを熱交換器を
介して循環するようにして冷却している。しかし、従来
では容器の内側横断形状が矩形であった＃）％またトリ
ガが作用をなす補助電極等の配置が適切でないためガス
レーザ媒質の循環が円滑にならなかったシ、冷却および
主放電部へのガス流が所望する速度にならない問題があ
った。
本発明は冷却を兼ねるガスレーザ媒質が円滑に流れるこ
とのできるガスレーザ発振装置を提供することを目的と
する。
とのできるガスレーザ発振装置を提供することを目的と
する。
陽極側で生じる電位を接地側に導く導体を板体くシ、シ
かも主放電電極を円弧状に囲った構成にしたものである
。
かも主放電電極を円弧状に囲った構成にしたものである
。
以下、実施例を示す図面に基いて説明する。
第１図において、（１）は気密容器の主要部である円筒
状の本体で％ＳＵＳ等の不鉤鋼から作られている。この
本体（１）は以下の構成によシ気密に保たれている。す
なわち、第２図に示すように本体（１）の片端部には７
リング部が形成されていて、こＩ）′ｖｓ。
状の本体で％ＳＵＳ等の不鉤鋼から作られている。この
本体（１）は以下の構成によシ気密に保たれている。す
なわち、第２図に示すように本体（１）の片端部には７
リング部が形成されていて、こＩ）′ｖｓ。
７リング部く蓋体（旬が０リング（３）を介して固着さ
れている。蓋体（２ｍ）及び本体（１）の端部（２ｂ）
の中央部にはそれぞれ通過孔（４ａ）、 （４ｂ）が穿
設されていて、これらは上記固着時において１本体（１
）の中心軸線と同軸に位置している。また１通過孔（４
ａ）。
れている。蓋体（２ｍ）及び本体（１）の端部（２ｂ）
の中央部にはそれぞれ通過孔（４ａ）、 （４ｂ）が穿
設されていて、これらは上記固着時において１本体（１
）の中心軸線と同軸に位置している。また１通過孔（４
ａ）。
（４ｂ）の部分には光共振器を構成する全反射鏡（５）
と出力鏡（６）とを気密に保持したベローズ（７ａ）、
（７ｂ）が気密に取シ付けられている。以上によシ気
密にされた本体（１）の内部にはＣｏ、 、 Ｈ，、Ｈ
ｅ等の混合ガスによるガスレーザ媒質が大気圧程度に封
入されるとともに、主放電電極を構成する陰極（８）と
陽極（９）ミニラム等の導電材からなる支持板α〔、（
ｌυにそれぞれ取シ付けられている。なお、陰極（８）
に多数の溝が刻設され、これら溝に予備放電電極（１２
１が設けられているとともに、陰極（８）と支持板部と
の間には多数のキーピングキャパシタ（１３）が設けら
れている。また、陽極（９）の背面側には多数の小型フ
ァン（１４）が支持台（Ｉｓを介して設けられている。
と出力鏡（６）とを気密に保持したベローズ（７ａ）、
（７ｂ）が気密に取シ付けられている。以上によシ気
密にされた本体（１）の内部にはＣｏ、 、 Ｈ，、Ｈ
ｅ等の混合ガスによるガスレーザ媒質が大気圧程度に封
入されるとともに、主放電電極を構成する陰極（８）と
陽極（９）ミニラム等の導電材からなる支持板α〔、（
ｌυにそれぞれ取シ付けられている。なお、陰極（８）
に多数の溝が刻設され、これら溝に予備放電電極（１２
１が設けられているとともに、陰極（８）と支持板部と
の間には多数のキーピングキャパシタ（１３）が設けら
れている。また、陽極（９）の背面側には多数の小型フ
ァン（１４）が支持台（Ｉｓを介して設けられている。
これら小型ファン（１４１の両側には熱交換作用をなす
冷却水の流れる冷却フィン顛が設けられている。上記構
成要素のうち、主放電電極、予備放電電極ａ２．キーピ
ングキャパシタ（１３，小型７アンＩおよび冷却フィン
αｅとを囲うように銅その他の良導体からなる導通板（
１７ａ）、 （１７ｂ）が本体（１）の内壁に沿うよう
に円弧状になって支持板＜【ｌと小型ファン（１４にそ
れぞれ取シ付けられている。なお、小型ファンα荀は駆
動によりて起る流れの向きが本体（１）の横断面に沿う
方向になるように設置されている。なお、上記構成にお
いて、主放電電極、予備放電電極等の関係について第３
図の回路図にて説明する。すなわち、陰極（８）と陽極
（９）とはパルス電圧を供給する電源■に接続されてい
る。予備放電電極Ｑっはガラスパイプシリ内に銅の芯線
（２２１を納めた構造になり、芯線りの一本の線にまと
められて、陽極（９）に接続されている。またキーピン
グキャパシタ峙は導通板（１７ａ）、 （１７ｂ） Ｋ
よシ短絡する形で陰極（８）、陽極（９）との間に設け
られている。
冷却水の流れる冷却フィン顛が設けられている。上記構
成要素のうち、主放電電極、予備放電電極ａ２．キーピ
ングキャパシタ（１３，小型７アンＩおよび冷却フィン
αｅとを囲うように銅その他の良導体からなる導通板（
１７ａ）、 （１７ｂ）が本体（１）の内壁に沿うよう
に円弧状になって支持板＜【ｌと小型ファン（１４にそ
れぞれ取シ付けられている。なお、小型ファンα荀は駆
動によりて起る流れの向きが本体（１）の横断面に沿う
方向になるように設置されている。なお、上記構成にお
いて、主放電電極、予備放電電極等の関係について第３
図の回路図にて説明する。すなわち、陰極（８）と陽極
（９）とはパルス電圧を供給する電源■に接続されてい
る。予備放電電極Ｑっはガラスパイプシリ内に銅の芯線
（２２１を納めた構造になり、芯線りの一本の線にまと
められて、陽極（９）に接続されている。またキーピン
グキャパシタ峙は導通板（１７ａ）、 （１７ｂ） Ｋ
よシ短絡する形で陰極（８）、陽極（９）との間に設け
られている。
次に上記構成の作用について説明する。主放電開始前に
矢印（Ａ）に示すガスレーザ媒質の導通板（１７す、
（１７ｂ）に沿った循環のもとに先ず、予備放電電極ａ
２の放電により、主放電部−における予備電離作用が生
じる。次いで、陰極（８）、陽極（９）間で均一な主放
電が惹起され、パルスレーザ発振が開始される。
矢印（Ａ）に示すガスレーザ媒質の導通板（１７す、
（１７ｂ）に沿った循環のもとに先ず、予備放電電極ａ
２の放電により、主放電部−における予備電離作用が生
じる。次いで、陰極（８）、陽極（９）間で均一な主放
電が惹起され、パルスレーザ発振が開始される。
ガスレーザ媒質の循環が、小型ファンα乃を陽極（９）
の背面側【設けたことと、導通板（１７ａ）、 （１７
ｂ）のガイド作用によル、極めて円滑となる。したがっ
て、装置が小型になシ、ｔた主放電部＠には冷却フィン
ＩｉＱで冷却されたガスレーザ媒質が高速に流れ、高速
縁シ返しレーザ発振が安定するようＫなりた。
の背面側【設けたことと、導通板（１７ａ）、 （１７
ｂ）のガイド作用によル、極めて円滑となる。したがっ
て、装置が小型になシ、ｔた主放電部＠には冷却フィン
ＩｉＱで冷却されたガスレーザ媒質が高速に流れ、高速
縁シ返しレーザ発振が安定するようＫなりた。
第１図は本発明の一実施例を示す横断面図、第２図は同
じく縦断面図、第３図は同じく回路図である。 （１）・・・本 体 （８）・・・陰 極
（９）・・・陽 極 α２・・・予備放電
電極α［有］・・・キーピングキャパシタ Ｉ・・
・小型ファン顛・・・冷却フィン （１７ａ）、
（１７ｂ）・・・導通板代理人 弁理士 則近憲佑 （
ほか１名）第１Ｂ 第２図 第３図
じく縦断面図、第３図は同じく回路図である。 （１）・・・本 体 （８）・・・陰 極
（９）・・・陽 極 α２・・・予備放電
電極α［有］・・・キーピングキャパシタ Ｉ・・
・小型ファン顛・・・冷却フィン （１７ａ）、
（１７ｂ）・・・導通板代理人 弁理士 則近憲佑 （
ほか１名）第１Ｂ 第２図 第３図
Claims (3)
- （１）ガスレーザ媒質と、このガスレーザ媒質を封入す
る容器と、この容器内に対向して設置される陰極および
陽極からなる主放電電極と、上記陰極の近傍に配置され
る予備放電電極と、上記容器内に設けられガスレーザ媒
質を容器の横断面方向に沿う流れにする一以上のファン
と、上記陰極の近傍に設けられてこの陰極に接続される
コンデンサと、少なくとも上記主放電電極を円弧状に包
囲し陽極の電位を接地側に導く導通板と、上記陰極に上
記コンデンサを介して接続される電源と、主放電方向に
交差しかつ主放電電極の両端側に位置する光共振鏡とを
備えたことを特徴とするガスレーザ発振装置。 - （２）容器は円筒体で構成されることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振装置。 - （３）ファンの前後もしくは一方に冷却フィンを設けた
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレー
ザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7681085A JPS61236179A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7681085A JPS61236179A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61236179A true JPS61236179A (ja) | 1986-10-21 |
Family
ID=13616020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7681085A Pending JPS61236179A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61236179A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63204680A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | Toshiba Corp | エキシマレ−ザ用送風機フイン |
| JPS63180958U (ja) * | 1987-05-14 | 1988-11-22 | ||
| CN102969645A (zh) * | 2012-11-21 | 2013-03-13 | 中国科学院光电研究院 | 双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器 |
-
1985
- 1985-04-12 JP JP7681085A patent/JPS61236179A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63204680A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | Toshiba Corp | エキシマレ−ザ用送風機フイン |
| JPS63180958U (ja) * | 1987-05-14 | 1988-11-22 | ||
| CN102969645A (zh) * | 2012-11-21 | 2013-03-13 | 中国科学院光电研究院 | 双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器 |
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