JPH07283467A - 固体レ−ザ装置 - Google Patents
固体レ−ザ装置Info
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- JPH07283467A JPH07283467A JP6073693A JP7369394A JPH07283467A JP H07283467 A JPH07283467 A JP H07283467A JP 6073693 A JP6073693 A JP 6073693A JP 7369394 A JP7369394 A JP 7369394A JP H07283467 A JPH07283467 A JP H07283467A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は広がり角を変化させることなくパル
スレ−ザ光の増幅度合を制御できるようにした固体レ−
ザ装置を提供することにある。 【構成】 パルスレ−ザ光を発生するレ−ザ発生装置1
と、固体レ−ザ媒質12およびこの固体レ−ザ媒質を光
励起する励起ランプ13とを有し、上記レ−ザ発生装置
から出力されるパルスレ−ザ光を増幅するレ−ザ増幅装
置2と、このレ−ザ増幅装置によって増幅されたパルス
レ−ザ光を所定の光路から取り出す光学手段22、23
と、上記固体レ−ザ媒質を冷却水によって冷却する冷却
手段16、17と、この冷却手段による上記固体レ−ザ
媒質の冷却温度を制御してパルスレ−ザ光の増幅度合を
制御する温度制御手段18、19とを具備したことを特
徴とする。
スレ−ザ光の増幅度合を制御できるようにした固体レ−
ザ装置を提供することにある。 【構成】 パルスレ−ザ光を発生するレ−ザ発生装置1
と、固体レ−ザ媒質12およびこの固体レ−ザ媒質を光
励起する励起ランプ13とを有し、上記レ−ザ発生装置
から出力されるパルスレ−ザ光を増幅するレ−ザ増幅装
置2と、このレ−ザ増幅装置によって増幅されたパルス
レ−ザ光を所定の光路から取り出す光学手段22、23
と、上記固体レ−ザ媒質を冷却水によって冷却する冷却
手段16、17と、この冷却手段による上記固体レ−ザ
媒質の冷却温度を制御してパルスレ−ザ光の増幅度合を
制御する温度制御手段18、19とを具備したことを特
徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はレ−ザ発生装置から出
力されたレ−ザ光をレ−ザ増幅装置によって増幅する構
成の固体レ−ザ装置に関する。
力されたレ−ザ光をレ−ザ増幅装置によって増幅する構
成の固体レ−ザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】短パルスで、高出力のレ−ザ光を得る場
合、レ−ザ発生装置から出力されたレ−ザ光をレ−ザ増
幅装置で増幅するということが行われている。レ−ザ媒
質としてアレキサンドライトレ−ザ結晶が用いられる、
固体レ−ザ装置においてもレ−ザ発生装置から出力され
たレ−ザ光を増幅して利用するということが行われてお
り、そのようなパルスレ−ザ光は加工用、リモ−トセン
シング、レ−ザプラズマX線源、各種計測用光源などに
利用される。
合、レ−ザ発生装置から出力されたレ−ザ光をレ−ザ増
幅装置で増幅するということが行われている。レ−ザ媒
質としてアレキサンドライトレ−ザ結晶が用いられる、
固体レ−ザ装置においてもレ−ザ発生装置から出力され
たレ−ザ光を増幅して利用するということが行われてお
り、そのようなパルスレ−ザ光は加工用、リモ−トセン
シング、レ−ザプラズマX線源、各種計測用光源などに
利用される。
【0003】固体レ−ザ装置において、レ−ザ発生装置
から出力されたパルスレ−ザ光を増幅するレ−ザ増幅装
置は、固体レ−ザ媒質およびこの固体レ−ザ媒質を光励
起する励起ランプとからなり、光励起された固体レ−ザ
媒質にパルスレ−ザ光を通過させることで、光の誘導放
出によって上記パルスレ−ザ光が増幅されるようになっ
ている。
から出力されたパルスレ−ザ光を増幅するレ−ザ増幅装
置は、固体レ−ザ媒質およびこの固体レ−ザ媒質を光励
起する励起ランプとからなり、光励起された固体レ−ザ
媒質にパルスレ−ザ光を通過させることで、光の誘導放
出によって上記パルスレ−ザ光が増幅されるようになっ
ている。
【0004】上記固体レ−ザ媒質は励起ランプによって
高温度に加熱されるから、通常、冷却水によって冷却す
る構造が採られている。冷却水は固体レ−ザ媒質の表面
に沿って流れて熱交換する。そのため、固体レ−ザ媒質
は中心部の温度が高く、周辺部が低くなるという温度分
布が生じるから、そのような温度分布によって熱レンズ
効果が発生する。
高温度に加熱されるから、通常、冷却水によって冷却す
る構造が採られている。冷却水は固体レ−ザ媒質の表面
に沿って流れて熱交換する。そのため、固体レ−ザ媒質
は中心部の温度が高く、周辺部が低くなるという温度分
布が生じるから、そのような温度分布によって熱レンズ
効果が発生する。
【0005】この熱レンズ効果は固体レ−ザ媒質を光励
起する励起ランプからの入熱量、つまりパルスレ−ザ光
の増幅度合に応じて変化し、アレキサンドライトレ−ザ
結晶の場合には高励起ほど熱レンズ作用が顕著となり、
凸レンズとして作用する。
起する励起ランプからの入熱量、つまりパルスレ−ザ光
の増幅度合に応じて変化し、アレキサンドライトレ−ザ
結晶の場合には高励起ほど熱レンズ作用が顕著となり、
凸レンズとして作用する。
【0006】したがって、上記レ−ザ増幅装置から出力
されるパルスレ−ザ光は、上記固体レ−ザ媒質の凸レン
ズ作用に応じてビ−ム広がり角が変化するから、そのビ
−ム広がり角に応じた集光度合の光学系によってパルス
レ−ザ光を伝送するということが行われる。
されるパルスレ−ザ光は、上記固体レ−ザ媒質の凸レン
ズ作用に応じてビ−ム広がり角が変化するから、そのビ
−ム広がり角に応じた集光度合の光学系によってパルス
レ−ザ光を伝送するということが行われる。
【0007】従来、パルスレ−ザ光の増幅度合を調節す
るには、上記励起ランプへの入力電圧の強度を制御する
ことで行っていた。励起ランプによる固体レ−ザ媒質の
励起強度を変えてパルスレ−ザ光の増幅度合を制御する
と、上記固体レ−ザ媒質の内部における発熱量が変化す
るから、温度勾配も変化し、凸レンズ作用にも変化が生
じる。
るには、上記励起ランプへの入力電圧の強度を制御する
ことで行っていた。励起ランプによる固体レ−ザ媒質の
励起強度を変えてパルスレ−ザ光の増幅度合を制御する
と、上記固体レ−ザ媒質の内部における発熱量が変化す
るから、温度勾配も変化し、凸レンズ作用にも変化が生
じる。
【0008】このように、固体レ−ザ媒質の凸レンズ作
用が変化すると、パルスレ−ザ光の広がり角が変化する
から、そのパルスレ−ザ光を伝送する光学系を変えなけ
れば、精密な伝送ができなくなるということがある。
用が変化すると、パルスレ−ザ光の広がり角が変化する
から、そのパルスレ−ザ光を伝送する光学系を変えなけ
れば、精密な伝送ができなくなるということがある。
【0009】しかしながら、実際には、パルスレ−ザ光
の増幅度合を変えるたびに、そのレ−ザ光の伝送光学系
をビ−ム広がり角に応じて交換するということは困難で
あるから、パルスレ−ザ光の精密伝送ができないという
ことがあった。
の増幅度合を変えるたびに、そのレ−ザ光の伝送光学系
をビ−ム広がり角に応じて交換するということは困難で
あるから、パルスレ−ザ光の精密伝送ができないという
ことがあった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】このように、固体レ−
ザ装置において、パルスレ−ザ光の増幅度合を制御する
場合、従来は励起ランプの強度を変え、固体レ−ザ媒質
への入熱を制御するようにしていたので、固体レ−ザ媒
質内における温度勾配が変化し、その凸レンズ作用にも
変化が生じるから、パルスレ−ザ光のビ−ム広がり角も
変化してしまうということがあった。
ザ装置において、パルスレ−ザ光の増幅度合を制御する
場合、従来は励起ランプの強度を変え、固体レ−ザ媒質
への入熱を制御するようにしていたので、固体レ−ザ媒
質内における温度勾配が変化し、その凸レンズ作用にも
変化が生じるから、パルスレ−ザ光のビ−ム広がり角も
変化してしまうということがあった。
【0011】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、固体レ−ザ媒質の温度勾
配を変えずにパルスレ−ザ光の増幅度合を制御すること
ができるようにした固体レ−ザ装置を提供することにあ
る。
で、その目的とするところは、固体レ−ザ媒質の温度勾
配を変えずにパルスレ−ザ光の増幅度合を制御すること
ができるようにした固体レ−ザ装置を提供することにあ
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、パルスレ−ザ光を発生するレ−ザ発生装
置と、固体レ−ザ媒質およびこの固体レ−ザ媒質を光励
起する励起ランプとを有し、上記レ−ザ発生装置から出
力されるパルスレ−ザ光を増幅するレ−ザ増幅装置と、
このレ−ザ増幅装置によって増幅されたパルスレ−ザ光
を所定の光路から取り出す光学手段と、上記固体レ−ザ
媒質を冷却水によって冷却する冷却手段と、この冷却手
段による上記固体レ−ザ媒質の冷却温度を制御してパル
スレ−ザ光の増幅度合を制御する温度制御手段とを具備
したことを特徴とする。
にこの発明は、パルスレ−ザ光を発生するレ−ザ発生装
置と、固体レ−ザ媒質およびこの固体レ−ザ媒質を光励
起する励起ランプとを有し、上記レ−ザ発生装置から出
力されるパルスレ−ザ光を増幅するレ−ザ増幅装置と、
このレ−ザ増幅装置によって増幅されたパルスレ−ザ光
を所定の光路から取り出す光学手段と、上記固体レ−ザ
媒質を冷却水によって冷却する冷却手段と、この冷却手
段による上記固体レ−ザ媒質の冷却温度を制御してパル
スレ−ザ光の増幅度合を制御する温度制御手段とを具備
したことを特徴とする。
【0013】
【作用】固体レ−ザ媒質、とくにアレキサンドライトレ
−ザ結晶は増幅率をきめる誘導放出断面積に温度依存性
があるから、温度が高いほど、増幅率も高くなる。固体
レ−ザ媒質の温度を冷却手段の冷却水の温度によって制
御すれば、その内部における温度勾配を変化させずに、
増幅率を変えることができる。
−ザ結晶は増幅率をきめる誘導放出断面積に温度依存性
があるから、温度が高いほど、増幅率も高くなる。固体
レ−ザ媒質の温度を冷却手段の冷却水の温度によって制
御すれば、その内部における温度勾配を変化させずに、
増幅率を変えることができる。
【0014】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図1に示す固体レ−ザ装置は、レ−ザ発生装
置1とレ−ザ増幅装置2とを備えている。上記レ−ザ発
生装置1はシ−ドパルサ3と、このシ−ドパルサ3で発
生した光パルスを増幅するアレキサンドライト再生増幅
器4とからなる。このアレキサンドライト再生増幅器4
は、上記シ−ドパルサ3で発生した光パルスを波長755n
m 、パルス幅500ps 、偏向方向を図1の紙面に垂直な偏
向のパルスレ−ザ光Lにして出射する。この偏向方向を
図2にAで示す。
説明する。図1に示す固体レ−ザ装置は、レ−ザ発生装
置1とレ−ザ増幅装置2とを備えている。上記レ−ザ発
生装置1はシ−ドパルサ3と、このシ−ドパルサ3で発
生した光パルスを増幅するアレキサンドライト再生増幅
器4とからなる。このアレキサンドライト再生増幅器4
は、上記シ−ドパルサ3で発生した光パルスを波長755n
m 、パルス幅500ps 、偏向方向を図1の紙面に垂直な偏
向のパルスレ−ザ光Lにして出射する。この偏向方向を
図2にAで示す。
【0015】上記アレキサンドライト再生増幅器4から
出力されたパルスレ−ザ光Lは、その光路に45度の傾
斜角度で配置された第1の反射ミラ−5と第2の反射ミ
ラ−6とで反射して上記レ−ザ増幅装置2に入射する。
このレ−ザ増幅装置2は容器11を有し、この容器11
内には固体レ−ザ媒質としてロッド状のアレキサンドラ
イト結晶12と、これに対向した、たとえばキセノンフ
ラシュランプなどの励起ランプ13とが配置されてい
る。
出力されたパルスレ−ザ光Lは、その光路に45度の傾
斜角度で配置された第1の反射ミラ−5と第2の反射ミ
ラ−6とで反射して上記レ−ザ増幅装置2に入射する。
このレ−ザ増幅装置2は容器11を有し、この容器11
内には固体レ−ザ媒質としてロッド状のアレキサンドラ
イト結晶12と、これに対向した、たとえばキセノンフ
ラシュランプなどの励起ランプ13とが配置されてい
る。
【0016】上記励起ランプ13には電源14が接続さ
れ、この電源14から電気エネルギが供給されることで
放電が点弧されるから、その放電によって上記アレキサ
ンドライト結晶12が光励起されるようになっている。
励起状態にあるアレキサンドライト結晶12に上記レ−
ザ発生装置1からのパルスレ−ザ光Lが入射すれば、そ
のパルスレ−ザ光Lは光の誘導放出によって増幅され
る。
れ、この電源14から電気エネルギが供給されることで
放電が点弧されるから、その放電によって上記アレキサ
ンドライト結晶12が光励起されるようになっている。
励起状態にあるアレキサンドライト結晶12に上記レ−
ザ発生装置1からのパルスレ−ザ光Lが入射すれば、そ
のパルスレ−ザ光Lは光の誘導放出によって増幅され
る。
【0017】上記電源14はデイレイジェネレ−タ15
からの駆動信号によって作動させられる。このデイレイ
ジェネレ−タ15は上記レ−ザ発生装置1が作動してか
ら所定時間経過後に上記電源14を作動させるための信
号を出力する。つまり、デイレイジェネレ−タ15によ
る遅延時間は、レ−ザ発生装置1で出力されたパルスレ
−ザ光Lがレ−ザ増幅装置2に到達するまでの時間に設
定されている。
からの駆動信号によって作動させられる。このデイレイ
ジェネレ−タ15は上記レ−ザ発生装置1が作動してか
ら所定時間経過後に上記電源14を作動させるための信
号を出力する。つまり、デイレイジェネレ−タ15によ
る遅延時間は、レ−ザ発生装置1で出力されたパルスレ
−ザ光Lがレ−ザ増幅装置2に到達するまでの時間に設
定されている。
【0018】上記レ−ザ増幅装置2の容器11には冷却
水を循環させる循環路16が接続されている。この循環
路16は冷却器17から冷却水を上記容器11へ供給す
る往路管16aと、上記容器11内でアレキサンドライ
ト結晶12と励起ランプ13とを冷却した冷却水を上記
冷却器17に戻す復路管16bとからなる。循環路16
を循環する冷却水としては、たとえば純水を脱イオン化
することで電気伝導度を低くして用いられる。
水を循環させる循環路16が接続されている。この循環
路16は冷却器17から冷却水を上記容器11へ供給す
る往路管16aと、上記容器11内でアレキサンドライ
ト結晶12と励起ランプ13とを冷却した冷却水を上記
冷却器17に戻す復路管16bとからなる。循環路16
を循環する冷却水としては、たとえば純水を脱イオン化
することで電気伝導度を低くして用いられる。
【0019】上記冷却器17には温度調節器18が設け
られ、この温度調節器18によって上記容器11へ流れ
る冷却水の温度が調節される。この温度調節器18には
制御装置19が接続され、この制御装置19からの駆動
信号によって上記温度調節器18による上記冷却水の温
度が後述するごとく制御されるようになっている。
られ、この温度調節器18によって上記容器11へ流れ
る冷却水の温度が調節される。この温度調節器18には
制御装置19が接続され、この制御装置19からの駆動
信号によって上記温度調節器18による上記冷却水の温
度が後述するごとく制御されるようになっている。
【0020】上記第2の反射ミラ−6と上記レ−ザ増幅
装置2との間には1/2波長板21、プリズムビ−ムス
プリッタ22およびファラデ−ロ−テ−タ23が上記第
2の反射ミラ−6で反射したパルスレ−ザ光Lの光路上
に順次配置されている。
装置2との間には1/2波長板21、プリズムビ−ムス
プリッタ22およびファラデ−ロ−テ−タ23が上記第
2の反射ミラ−6で反射したパルスレ−ザ光Lの光路上
に順次配置されている。
【0021】上記1/2波長板21は上記レ−ザ発生装
置1からのパルスレ−ザ光Lの偏向を90度回転させ、
その偏向方向を紙面に平行な偏向にする。この偏向状態
を図2に矢印Bで示す。上記プリズムビ−ムスプリッタ
22は紙面に平行な偏向の光を透過し、紙面に垂直なP
偏向の光を反射するから、上記1/2波長板21でS偏
向に回転させられたパルスレ−ザ光Lは上記プリズムビ
−ムスプリッタ22を透過してファラデ−ロ−テ−タ2
3に入射する。このファラデ−ロ−テ−タ23はパルス
レ−ザ光Lの偏向を45度回転させる。この偏向状態を
図2に矢印Cで示す。したがって、レ−ザ増幅装置2の
アレキサンドライト結晶12の一端面からは矢印Bで示
すS偏向の状態から45度回転させられたパルスレ−ザ
光Lが入射して増幅される。
置1からのパルスレ−ザ光Lの偏向を90度回転させ、
その偏向方向を紙面に平行な偏向にする。この偏向状態
を図2に矢印Bで示す。上記プリズムビ−ムスプリッタ
22は紙面に平行な偏向の光を透過し、紙面に垂直なP
偏向の光を反射するから、上記1/2波長板21でS偏
向に回転させられたパルスレ−ザ光Lは上記プリズムビ
−ムスプリッタ22を透過してファラデ−ロ−テ−タ2
3に入射する。このファラデ−ロ−テ−タ23はパルス
レ−ザ光Lの偏向を45度回転させる。この偏向状態を
図2に矢印Cで示す。したがって、レ−ザ増幅装置2の
アレキサンドライト結晶12の一端面からは矢印Bで示
すS偏向の状態から45度回転させられたパルスレ−ザ
光Lが入射して増幅される。
【0022】上記アレキサンドライト結晶12の他端面
には高反射ミラ−24が対向して配置され、その他端面
から出射したパルスレ−ザ光Lを反射して上記アレキサ
ンドライト結晶12へ戻す。したがって、パルスレ−ザ
光Lはアレキサンドライト結晶12で再び増幅されてフ
ァラデ−ロ−テ−タ23に入射する。
には高反射ミラ−24が対向して配置され、その他端面
から出射したパルスレ−ザ光Lを反射して上記アレキサ
ンドライト結晶12へ戻す。したがって、パルスレ−ザ
光Lはアレキサンドライト結晶12で再び増幅されてフ
ァラデ−ロ−テ−タ23に入射する。
【0023】レ−ザ増幅装置2から出射したパルスレ−
ザ光Lは上記ファラデ−ロ−テ−タ23に入射して偏向
方向がさらに45度回転させられる。それによって、パ
ルスレ−ザ光Lの偏向方向は図2に矢印Aで示す偏向と
なる。この偏向方向のパルスレ−ザ光Lはプリズムスプ
リッタ22で反射する。したがって、上記レ−ザ増幅装
置2で増幅されたパルスレ−ザ光Lは、増幅前の光路と
異なる方向へ進行する。
ザ光Lは上記ファラデ−ロ−テ−タ23に入射して偏向
方向がさらに45度回転させられる。それによって、パ
ルスレ−ザ光Lの偏向方向は図2に矢印Aで示す偏向と
なる。この偏向方向のパルスレ−ザ光Lはプリズムスプ
リッタ22で反射する。したがって、上記レ−ザ増幅装
置2で増幅されたパルスレ−ザ光Lは、増幅前の光路と
異なる方向へ進行する。
【0024】増幅されたパルスレ−ザ光Lの光路にはハ
−フミラ−25が45度の角度で傾斜して配置されてい
る。このハ−フミラ−25に入射したパルスレ−ザ光L
は、一部が反射して出力として取り出され、残りは透過
してエネルギメ−タ26に入射する。
−フミラ−25が45度の角度で傾斜して配置されてい
る。このハ−フミラ−25に入射したパルスレ−ザ光L
は、一部が反射して出力として取り出され、残りは透過
してエネルギメ−タ26に入射する。
【0025】上記エネルギメ−タ26は増幅されたレ−
ザ光Lの強度を検出し、その検出信号を上記制御装置1
9に入力する。この制御装置19にはパルスレ−ザ光L
の増幅度合に応じた設定値が設定されていて、その設定
値と上記検出信号とを比較し、その比較にもとづいて上
記温度調節器18を駆動し、冷却水の温度を制御するよ
うになっている。
ザ光Lの強度を検出し、その検出信号を上記制御装置1
9に入力する。この制御装置19にはパルスレ−ザ光L
の増幅度合に応じた設定値が設定されていて、その設定
値と上記検出信号とを比較し、その比較にもとづいて上
記温度調節器18を駆動し、冷却水の温度を制御するよ
うになっている。
【0026】なお、アレキサンドライト結晶11は2軸
性結晶であり、一方の結晶軸に平行な偏向成分での光の
増幅率が最も高いので、そ一方の結晶軸がファラデ−ロ
−テ−タ23により回転させられたパルスレ−ザ光Lの
偏向方向に平行になるよう置かれる。
性結晶であり、一方の結晶軸に平行な偏向成分での光の
増幅率が最も高いので、そ一方の結晶軸がファラデ−ロ
−テ−タ23により回転させられたパルスレ−ザ光Lの
偏向方向に平行になるよう置かれる。
【0027】このような構成の固体レ−ザ装置におい
て、レ−ザ発生装置1から出力されるパルスレ−ザ光L
の増幅度合を変えたい場合には、制御装置19に設定さ
れる設定値を変更し、温度調節器18による冷却水の温
度を変える。
て、レ−ザ発生装置1から出力されるパルスレ−ザ光L
の増幅度合を変えたい場合には、制御装置19に設定さ
れる設定値を変更し、温度調節器18による冷却水の温
度を変える。
【0028】固体レ−ザ媒質がアレキサンドライト結晶
11の場合、上述したようにその増幅率を決める誘導放
出断面積に温度依存性があり、通常高温である程、増幅
率が高くなる。したがって、パルスレ−ザ光Lの増幅率
を高くしたい場合には、冷却水の温度を上げてアレキサ
ンドライト結晶12の温度を上昇させればよく、逆に増
幅率を低くしたい場合には冷却水の温度を下げればよ
い。
11の場合、上述したようにその増幅率を決める誘導放
出断面積に温度依存性があり、通常高温である程、増幅
率が高くなる。したがって、パルスレ−ザ光Lの増幅率
を高くしたい場合には、冷却水の温度を上げてアレキサ
ンドライト結晶12の温度を上昇させればよく、逆に増
幅率を低くしたい場合には冷却水の温度を下げればよ
い。
【0029】たとえば、レ−ザ媒質がアレキサンドライ
ト結晶12の場合、その誘導放出面積は温度が30℃と
90℃とでは約1.7 倍異なり、結晶温度30℃で増幅率
2.7倍の1パス増幅の条件では温度を90℃にすること
により増幅率は約4.5 倍となり、出力エネルギは約2倍
となる。
ト結晶12の場合、その誘導放出面積は温度が30℃と
90℃とでは約1.7 倍異なり、結晶温度30℃で増幅率
2.7倍の1パス増幅の条件では温度を90℃にすること
により増幅率は約4.5 倍となり、出力エネルギは約2倍
となる。
【0030】このように、励起ランプ13の出力を変え
ず、アレキサンドライト結晶12を冷却する冷却水の温
度を制御し、上記アレキサンドライト結晶12の温度を
変えることでパルスレ−ザ光Lの増幅率を制御するよう
にすれば、その結晶12内における温度勾配は変化しな
いから、熱レンズ作用も変化しない。そのため、アレキ
サンドライト結晶12を通過したパルスレ−ザ光Lの広
がり角が変化するということもないから、その伝送光学
系を変えることなく、精密伝送が可能となる。
ず、アレキサンドライト結晶12を冷却する冷却水の温
度を制御し、上記アレキサンドライト結晶12の温度を
変えることでパルスレ−ザ光Lの増幅率を制御するよう
にすれば、その結晶12内における温度勾配は変化しな
いから、熱レンズ作用も変化しない。そのため、アレキ
サンドライト結晶12を通過したパルスレ−ザ光Lの広
がり角が変化するということもないから、その伝送光学
系を変えることなく、精密伝送が可能となる。
【0031】なお、この発明は上記一実施例に限定され
ず、その発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能で
ある。固体レ−ザ媒質としてはアレキサンドライト結晶
に限らず、たとえばNd−YAGなどの他の固体レ−ザ
媒質であってもよく、要は励起エネルギが注入されるこ
とで凸レンズ作用または凹レンズ作用が生じる固体レ−
ザ媒質であれば、この発明を適用することが可能であ
る。
ず、その発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能で
ある。固体レ−ザ媒質としてはアレキサンドライト結晶
に限らず、たとえばNd−YAGなどの他の固体レ−ザ
媒質であってもよく、要は励起エネルギが注入されるこ
とで凸レンズ作用または凹レンズ作用が生じる固体レ−
ザ媒質であれば、この発明を適用することが可能であ
る。
【0032】また、ファラ−デ−ロ−テ−タによってパ
ルスレ−ザ光の偏光を45度回転させることで、増幅さ
れたパルスレ−ザ光を所定の光路から取り出すようにし
たが、上記ファラデ−ロ−テ−タに変わり、光の偏光を
45度回転させることができる1/4波長板を用いるよ
うにしてもよい。
ルスレ−ザ光の偏光を45度回転させることで、増幅さ
れたパルスレ−ザ光を所定の光路から取り出すようにし
たが、上記ファラデ−ロ−テ−タに変わり、光の偏光を
45度回転させることができる1/4波長板を用いるよ
うにしてもよい。
【0033】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、固体レ−
ザ媒質によるパルスレ−ザ光の増幅率を変える場合に、
上記固体レ−ザ媒質を冷却する冷却水の温度を制御する
ようにしたから、上記固体レ−ザ媒質内の温度勾配を変
化させずに増幅率を変えることができるしたがって、固
体レ−ザ媒質を通過したパルスレ−ザ光の広がり角が変
化することがないので、増幅度合いを制御しても、伝送
光学系を変えるなどのことをせずに、パルスレ−ザ光を
精密伝送することができる。
ザ媒質によるパルスレ−ザ光の増幅率を変える場合に、
上記固体レ−ザ媒質を冷却する冷却水の温度を制御する
ようにしたから、上記固体レ−ザ媒質内の温度勾配を変
化させずに増幅率を変えることができるしたがって、固
体レ−ザ媒質を通過したパルスレ−ザ光の広がり角が変
化することがないので、増幅度合いを制御しても、伝送
光学系を変えるなどのことをせずに、パルスレ−ザ光を
精密伝送することができる。
【図1】この発明の一実施例を示す全体構成図。
【図2】同じく各部におけるパルスレ−ザ光の偏光方向
の説明図。
の説明図。
1…レ−ザ発生装置、2…レ−ザ増幅装置、12…固体
レ−ザ媒質、13…励起ランプ、16…循環路(冷却手
段)、17…冷却器(冷却手段)、18…温度調節器
(温度制御手段)、19…温度装置(温度制御手段)、
22…プリズムビ−ムスプリッタ(光学手段)、23…
ファラデ−ロ−テ−タ(光学手段)、26…エネルギメ
−タ(温度制御手段)。
レ−ザ媒質、13…励起ランプ、16…循環路(冷却手
段)、17…冷却器(冷却手段)、18…温度調節器
(温度制御手段)、19…温度装置(温度制御手段)、
22…プリズムビ−ムスプリッタ(光学手段)、23…
ファラデ−ロ−テ−タ(光学手段)、26…エネルギメ
−タ(温度制御手段)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01S 3/16
Claims (5)
- 【請求項1】 パルスレ−ザ光を発生するレ−ザ発生装
置と、固体レ−ザ媒質およびこの固体レ−ザ媒質を光励
起する励起ランプとを有し、上記レ−ザ発生装置から出
力されるパルスレ−ザ光を増幅するレ−ザ増幅装置と、
このレ−ザ増幅装置によって増幅されたパルスレ−ザ光
を所定の光路から取り出す光学手段と、上記固体レ−ザ
媒質を冷却水によって冷却する冷却手段と、この冷却手
段による上記固体レ−ザ媒質の冷却温度を制御してパル
スレ−ザ光の増幅度合を制御する温度制御手段とを具備
したことを特徴とする固体レ−ザ装置。 - 【請求項2】 上記温度制御手段は、上記固体レ−ザ媒
質を冷却する冷却水を循環させる循環手段と、上記光学
手段によって所定の光路から取り出されたパルスレ−ザ
光のエネルギを測定する測定手段と、この測定手段から
の測定信号に応じて上記冷却水の温度を制御する温度設
定手段とからなることを特徴とする請求項1記載の固体
レ−ザ装置。 - 【請求項3】 上記固体レ−ザ媒質はアレキサンドライ
トレ−ザ結晶であることを特徴とする請求項1記載の固
体レ−ザ装置。 - 【請求項4】 上記光学手段は、上記レ−ザ増幅装置に
入射するパルスレ−ザ光の偏光方向と上記レ−ザ増幅装
置で増幅されて出射するパルスレ−ザ光の偏光方向とを
異なる方向に偏光する偏光制御手段と、上記レ−ザ増幅
装置に入射する偏光方向のパルスレ−ザ光を透過し上記
レ−ザ増幅装置から出射して偏光される偏光方向のパル
スレ−ザ光を反射して所定の光路から出力させるビ−ム
スプリッタとからなることを特徴とする請求項1記載の
固体レ−ザ装置。 - 【請求項5】 上記偏光制御手段は、ファラデ−ロ−テ
−タであることを特徴とする請求項4記載の固体レ−ザ
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6073693A JPH07283467A (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 固体レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6073693A JPH07283467A (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 固体レ−ザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07283467A true JPH07283467A (ja) | 1995-10-27 |
Family
ID=13525563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6073693A Pending JPH07283467A (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 固体レ−ザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07283467A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002054634A1 (en) * | 2000-12-29 | 2002-07-11 | Standard Laser System Co., Ltd | Controller for wireless optical communication system |
JP2004048020A (ja) * | 1996-04-25 | 2004-02-12 | Imra America Inc | ストレッチされた超短パルスの増幅装置、光学増幅装置およびその運転方法 |
JP2014086531A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Canon Inc | レーザー装置およびその制御方法 |
-
1994
- 1994-04-13 JP JP6073693A patent/JPH07283467A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004048020A (ja) * | 1996-04-25 | 2004-02-12 | Imra America Inc | ストレッチされた超短パルスの増幅装置、光学増幅装置およびその運転方法 |
WO2002054634A1 (en) * | 2000-12-29 | 2002-07-11 | Standard Laser System Co., Ltd | Controller for wireless optical communication system |
JP2014086531A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Canon Inc | レーザー装置およびその制御方法 |
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