WO1987003232A1 - Electric discharge wire cutting methods and apparatus therefor - Google Patents

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WO1987003232A1
WO1987003232A1 PCT/JP1986/000584 JP8600584W WO8703232A1 WO 1987003232 A1 WO1987003232 A1 WO 1987003232A1 JP 8600584 W JP8600584 W JP 8600584W WO 8703232 A1 WO8703232 A1 WO 8703232A1
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electrode
tension
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discharge
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PCT/JP1986/000584
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English (en)
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Inventor
Haruki Obara
Original Assignee
Fanuc Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • B23H7/06—Control of the travel curve of the relative movement between electrode and workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • B23H7/06—Control of the travel curve of the relative movement between electrode and workpiece
    • B23H7/065—Electric circuits specially adapted therefor

Definitions

  • the present invention relates to a jerk discharge method and a jerk discharge device used in the practice of this method.
  • the present invention relates to a method for improving the accuracy of the method and a method for improving the accuracy of the method, and a method for improving the power of a jiakat power-supply device that enables the realization of the method.
  • the direction of the jog electrode is opposite to the moving direction of the object.
  • the angle between the direction of the gyro current S and the direction perpendicular to the direction of movement of the object to be applied (the gyro electrode). The angle of inclination of the
  • the upper and lower heating guides 2 are moved in the left and right directions as shown in the figure, and the upper and lower heating guides 2 are moved. Are stacked one above the other (the dotted line in the figure) In this case, the angle between the extension direction of the processing electrode 1 and the actual extension direction of the application S7 should be controlled. If this taper angle bends sharply, it can be easily realized with a servo mechanism, but the electrode 1 has a characteristic.
  • the heating electrode 1 does not extend linearly between the upper and lower heating electrode guides 2, and is located near the upper and lower heating electrode guides 2.
  • the upper and lower electrode guides 2 are moved to each other in the left and right directions as shown in the figure. Therefore, in order to correct the error based on the above-mentioned curvature, the movement reference points of the upper and lower electrode guides 2 are set at the front end 21 thereof. Instead, the point indicated by 22 in the figure (when the actual direction of extension of the electrode and the upper and lower electrode guides 2 overlap each other vertically (indicated by the dotted line in the figure) ) At the point of intersection with the extension direction of electrode 1). This operation is performed by correcting the position of the support point of the electrode guide.
  • the correction amount ⁇ of the position correction of the supporting point of the electrode guide is fixed if the rigidity of the electrode is fixed.
  • the direction of movement of the electrode is changed (the direction in which the electrode moves along the table surface during heating). In this case, it is necessary to reduce the discharge current (when changing the direction of the axis control system). . In addition, because of the discharge voltage, the radius of curvature at the inflection point increases, and the processing error (shape error) increases.
  • the direction of movement of the heating pole is changed by changing the direction of the taper (in the case of heating, the direction in which the heating power travels on the table surface).
  • the direction of the control system is changed (when the direction of the control system is changed), it is necessary to prevent an increase in the error (shape error) at the bending point.
  • the discharge heating current is reduced, and the correction amount of the position correction of the supporting point of the heating electrode guide is not changed. ⁇ and sufficient accuracy cannot be expected ⁇ .
  • the direction of movement of the heating electrode (the direction in which the heating electrode travels along the table surface during heating) must be changed. This is because the amount of heat generated decreases as the current decreases, the rigidity of the additional electrode decreases, and the necessary correction amount changes.
  • the position of the support point is corrected by the subject
  • the purpose of the present invention is to eliminate this drawback and to determine the direction of movement of the heating electrode by touching the taper.
  • change the direction of the axis control system (when changing the direction of the axis control system). It is possible to prevent an error (shape error) from increasing to a large value, and to improve a welding accuracy. To do this.
  • the present invention is based on the following principle.
  • R be the radius of curvature of the contact surface between the electrode 1 and the electrode guide, and let e be the angle difference before and after the electrode 1 erodes the electrode guide.
  • ⁇ 1 ⁇ ⁇ CO s ⁇ ⁇ ⁇ cos ⁇ + — ⁇ ⁇ si " 0 k ⁇ R ⁇
  • the proportionality constant k is expressed as follows, where d is the diameter of the processing electrode, E is the angulation rate of the processing electrode, and T is the tension of the processing electrode.
  • the method of discharging a jiakat according to the present invention is as follows.
  • the direction in which the power S is traveling (when the power is applied, the power travels on the table surface (actually, the surface of the subject)).
  • Direction (when changing corners),
  • the relationship between the discharge current I and the above-mentioned proportionality constant k is expressed by the following equation.
  • the information corresponding to the graph shown in Fig. 3 is obtained experimentally as a metric.
  • the direction of movement of the heating electrode (at the time of heating, the heating electrode is in contact with the table surface (in reality, the surface of the object to be received)).
  • the current I supplied to the heating electrode is decreased, and the tension T applied to the heating electrode is also determined by the above information.
  • the above control is performed to keep the proportionality constant k constant.
  • the discharge current I will increase and the calorific value of the electrode will decrease, and the characteristics of the electrode will change, resulting in a change in the rate of the electrode's jump. Even if E changes, it is not necessary to change the correction amount ⁇ of the position correction of the heating guide support point. It is necessary to reduce the discharge current when applying the taper, and it is necessary to reduce the bending point (along the table surface of the electrode (or more realistically, the surface of the object)). It is possible to make accurate changes even if you change the direction of progress.
  • a storage means for storing information indicating a relationship between the discharge current and an optimal current for the discharge current and (b) a monitor for storing the discharge current.
  • a means for monitoring the applied current and (c) determining an optimum power corresponding to the applied current detected by the applied current monitoring means.
  • the present invention can be achieved by adding an appropriate tensioning means and (d) the optimal tensioning means provided by the optimal tensioning operation means and a tensioning means for controlling the tensioning of the electrode.
  • Fig. 1 is a diagram explaining the defects that the * invention has solved.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the present invention.
  • FIG. 3 is a graph showing the relationship between the current I for discharge application and the above-mentioned proportional constant k used in the case of the discharge application method according to the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram showing a discharge discharge according to an embodiment of the present invention. This is a conceptual bridge diagram of the heating device. Detailed description of the preferred
  • reference numeral 1 denotes a wire electrode, which is guided along upper and lower wire electrode guide devices 23 and 24.
  • the upper guide device 23 is supported by an upper arm (not shown), and the lower guide device 24 is supported by a lower arm (not shown).
  • the zener electrode 1 is stretched between these arms.
  • the subject 3 is placed on a table 5 provided between the upper and lower arms so as to be movable in the vertical and horizontal directions.
  • Numerals 61 and 62 are used for table driving servo motors.
  • the upper and lower sides of the upper and lower gate electrode guides 23 and 24 are changed by a servo mechanism to change the mutual positions of the upper and lower wire electrode guide devices 23 and 24 in the vertical direction.
  • the gadget device 23 is driven. However, in order to add a table, it is necessary to move the upper and lower gadget devices 23 and 24 relative to each other. However, in the case of a real example, the upper gadget device is used.
  • the gadget device 23 is to be moved.
  • Reference numeral 8 denotes a basic control device, which performs current reduction control and the like for the control corners of the servomotor mechanisms 61 and 62.
  • G Controls the basic * control of the discharge heater.
  • 9 is a taper control device, which is a U * V support mechanism 71,? Civilize 2. Each of these functions is easily implemented with software that uses a computer.
  • the intermittent energizing means causes the intermittent direct brewing voltage to be supplied to the power line 1 via the power supply roller or the like 12.
  • the other end of the direct brewing power supply 10 is connected to the object 2. It is obvious from the above that when the corner is applied during the taper application, the applied current is reduced.
  • 12 is a means for monitoring the applied current.
  • 9 1 is a storage means for storing information indicating the relation between the discharge current and the discharge current and the universal tension, and 33 is the optimal performance.
  • the maximum power is retrieved from the storage means 91, or stored in the storage means 91.
  • 9 Calculate the maximum power based on the information obtained from 1.
  • 92 is a tension control means for controlling the servo mechanism to the drill to realize the optimal tension.
  • the above description is based on the direction in which the electrode is moved in the direction of the table (in the case where the electrode is moved in the direction of the table in the direction of the step).
  • the processing error shape error
  • discharge can be prevented, and the accuracy can be improved.

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Description

明 細 書
発明 の名称
ヮ ィ ャ カ ツ ト 放電加ェ方法及ぴ装置 発明 の技術分野
本 発 明 は 、 ヮ ィ ャ カ ツ ト 放 電 加ェ 方 法 と こ の 方法 の 実旌 に 使用 す る ヮ ィ ャ カ ツ ト 放電加ェ装置 と に 関 す る 。 特 に 、 加ェ電桎 の伸張方向 と 被加ェ体 と の な す角 を 変化 し て 加ェ を な す こ と の で き る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ方法 (以下テ 一 バ加ェ方法 と ぃ ぅ 。 ） の加ェ精度 を 向上す る 改 良 と こ の 方法 の 実旄 を 可能 に す る ヮ ィ ャ カ ッ ト 故電 加ェ装置 の 改良 と に 関す る 。 技術 の背景
ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加 ェ装置 を 使用 し て な す ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電 加 ェ 方 法 に は 、 ヮ ィ ャ 電 極 の 方 向 を 被 加ェ 体 の 移 動 方 向 に 対 し て 垂 直 に 保 っ て な す 通 常 の 加 ェ法 と 、 ヮ ィ ャ電 S の方向 と 被加ェ 体 の移動方 向 に 直交す る 方 向 と の な す角 （ ヮ ィ ャ電極 の傾斜角す な ゎ ち テ 一 バ角） を
0 ° 以外 の 角 に 保持 し な が ら 、 ま た は 、 こ の 角 を 変化 さ せ な カ s ら な す ぃ ゎ ゅ る テ 一 パ加ェ方法 と が ぁ る 。
第 1 図参照
テ ー バ加ェ方法 に ぉ ぃ て は 、 上下 の加ェ電桂 ガ ィ ド 2 を 相 互 に 図 に ぉ ぃ て 左 右 方 向 に 移 動 し 、 上 下 の 加 ェ 電極 ガ ィ ド 2 が上下 に 重 な っ た場合 （ 図 に 点線 を も っ て 示 す） の 加 ェ電極 1 の 伸 張方 向 と 加ェ電 S 7 の実 際 の 伸張方向 と の なす角 を 制裤すれば ょ ぃ。 こ のテ ー バ角が 鋭 角 的 に 屈 曲 す る も の で ぁ れ ば 、 サ ー ボ機構 を も っ て 容易 に実現 し ラ る が 、 加ェ電極 1 は麵性を有す る た め 、 テ — バ加ェ を な す場合 、 加ェ電 ¾ 1 は 、 上下の加ェ電極 ガ ィ ド 2 の間 に直線的 に は伸張 さ れず 、 上下の加ェ電極 ガ ィ ド 2 付近 に ぉ ぃ て ゅ る ゃ か に 弯 曲 す る 。 换言 すれ ば 、 第 1 図 に 1 点 鎖線 を も っ て 示 す ょ ぅ に は な ら ず 、 実線 を も っ て示す ょ ラ に な る 。
と こ ろ で 、 テ ー パ加ェ方法 を 実行す る た め に は 、 上記 の と ぉ り 、 上下 の加ェ電極 ガ ィ ド 2 を 、 図 に ぉ ぃ て左右 方 向 に 、 相互 に移動 し て な す の で ぁ る か ら 上記の弯曲 に も と づ く 誤 差 を 補正す る た め 、 上下 の 加 ェ 電極 ガ ィ ド 2 の 移動 基準 点 を 、 そ の 先 端 2 1で は な く 、 図 に 2 2を も っ て示す点 （現実 の加ェ電極 の伸張方 向 と 上下 の加ェ 電極ガ ィ ド 2 が上下 に重 な っ た場合 （図 に 点線 を も っ て 示す） の電極 1 の伸張方 向 と の交点） に 補正 し な ければ な ら な ぃ 。 こ の動作 を 加ェ電極 ガ ィ ド支持点の位置補正 と ぃ ラ 。
こ の加ェ電極 ガ ィ ド'支持点 の位置補正 の補正量 δ は 、 加ェ電極の剛性がー定 で ぁ れ ば 、 ー定 で ぁ る 。
と こ ろ が 、 テ 一 バ 加 ェ に ぉ ぃ て は 、 加ェ電極 の 進 行 方 向 （加ェ時 、 加ェ電極がテ 一 ブル面 に沿 っ て進行す る 方 向） を変更す る と き は （ Χ · Υ 軸制铒系 の方向 を 変更 す る と き は） 、 放電加ェ電流 を 滅少す る こ と が必要 で ぁ る 。 さ も な ぃ と 、 放電圧 カ の た め に 、 屈 曲 点 に ぉ け る 曲率半径が大 き く な り 、 加ェ誤差 （形状誤差） が大 き く な る か ら で ぁ る 。
そ の た め 、 テ ー パ加 ェ に ぉ ぃ て 加 ェ鼋極 の 進行方 向 ( 加 ェ 時 、 加 ェ 電 槿 が テ ー ブ ル 面 に ¾ つ て 進 行 す る 方 向） を 変更す る 場合 （ Χ · Υ 轴制御系 の方 向 を 変更す る 場 合） 、 そ の 屈 曲 点 に ぉ け る 加 ェ誤 差 （形 状 誤差） の 增大 を 防止す る た め に は 、 加ェ電極の進行方 向 を 変更す る に ぁ た り 、 放電加ェ電流 を 滅少 す る と と も に 、 加ェ電 極 ガ ィ ド支持点 の位置補正 の補正量 も 変更 し な ぃ と 十分 な 加ェ精度は期待 で き な ぃ 。 加ェ電極の進行方 向 （加ェ 時 、 加ェ 電 極 が テ 一 ブ ル 面 に ¾ っ て 進 行 す る 方 向 ） を 変更 し て な す コ 一 ナ 一 加ェ時 に は放電加ェ電流 の滅少 に ょ リ 発熱量が減少 し 加ェ電極 の 剛性が滅少 し 必要補正量 が変ィ匕す る か ら で ぁ る 。
加ェ電槿 ガ ィ ド 支持点 の位置補正 は 、 本 出穎人が 、 日
*国特許庁 を 受理官庁 と し て な し た国 際 出願 （ P C T Z J P 8 6 / 0 0 0 5 4 ) に 開示 さ れ て ぃ る 手法 を も っ て 実 現可能 で ぁ る が か な り 複雑 な 構成 要 素 を 必 要 と し 、 特 に 、 加ェ電極 ガ ィ ド支持 点 の位置補正の補正量 を 頻繁 に 変更す る こ と は現実的 に 必ず し も 容 易 では な ぃ 。 発明 の 目 的 と 発明 の 開示
本発明 の 目 的は 、 こ の 欠点 を 解消 し 、 テ 一 パ加ェ に ぉ ぃ て 加ェ電極 の進行方 向 （加ェ時 、 加ェ電極がテ 一 ブル 面 に 沿 っ て 進行 す る 方 向 ） を 変 更す る コ ー ナ 一 加 ェ 時 ( Χ · Υ 軸制御系 の方向 を 変更す る 場合） 、 そ の屈 曲 点 に ぉぃ て 加ェ誤差 （形状誤差） が增大す る こ と を 防止す る こ と が で き 、 加ェ精度 を 向上す る こ と がで き る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ方法 と 装置 と を 提供す る こ と に ぁ る 。
* 癸 明 の 目 的 を 達成 す る 本発 明 に 係 る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ方法 は 、 .
C a ) テ ー パカ IIェ に ぉ ぃ て 加 ェ 電極 の 進 行 方 向 （ カ U ェ 時 、 加 ェ 電 槿 が テ 一 ブ ル 面 に ¾ っ て 進 行 す る 方 向 ） を 変 更 す る 場 合 （ コ ー ナ ー 加 ェ を な す 場合） 、
( b ) 屈 曲 点 に ぉ ぃ て放電加ェ用 電流 を 減少す る ェ程 と と .も に 、 こ れ と 同時 に 、 加ェ電極 に 印加す る 張カ も 減少す る ェ程 を 有す る も の で ぁ る 。
本発明 は下記 の原理 に も と づ く も の で ぁ る 。
第 2 図参照
加ェ電極 ガ ィ ド支持点 の 位置補正量 δ が 、 下記 の式 を も っ て表 ゎ し ぅ る こ と は周知 で ぁ る 。
加ェ電極 1 と 加ェ電極 ガ ィ ド と の接蝕面 の 曲率半径 を R と し 、 加ェ電極 1 が加ェ電極 ガ ィ ド と 接蝕す る 前後 の 角度差 を e と し 、 加ェ電極 の巻 き 付 き 限度角 を 0 Q と し た と き 、
θ < Θ Q な ら 、
1
δ =
k c o s Θ で ぁ リ 、 θ > θ 0 な ら 、
ϋ 1 δ = { C O s θ η ― c o s Θ + — π ~ } s i " 0 k ^ R ^
で ぁ る 。
と こ ろ で 、 比例定数 k は 、 加ェ電極の直径 を d と し 、 加ェ電極 の ャ ン グ率 を E と し 、 加ェ電毪 の張カ を T と す る と 、
k 2 = T X ( 6 4 " 1 X X d 4 X E ) _ 1
と 表 ゎ す こ と が で き る 。
こ の事実 は 、 何 ら かの要因 に ょ り ャ ン グ率 E が変化す る 場合 、 加ェ電槿 に 印 加 さ れ る 張カ T を こ れ に 比例 し て 変化 さ せれば 、 加ェ電極 ガ ィ ド 支持点 の位置補正 の補正 量 δ は ー 定 に 保 持 さ れ 、 加ェ 電 極 ガ ィ ド 支 持 点 の 位 置 補正 の補正量 δ を ャ ン グ率 Ε の 変化 に 応答 し て制御す る 必要が な ぃ こ と を 意味す る 。 本発明 は 、 こ の性質 を積極 。 的 に 活用 し た も の で ぁ る 。
こ こ に 説 明 し た 原理 に も と づ ぃ て 、 さ ら に 、 詳 細 に 述べれば 、 本発明 に 係 る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ方法 は 、 ( a ) テ 一 パ加 ェ に ぉ ぃ て 加 ェ 電 S の 進行 方 向 （ 加ェ 時 、 加ェ電槿がテ 一 ブ ル面 （ ょ リ 現実的 に は被加 ェ 体 の 面 ） に ¾ っ て 進 行 す る 方 向 ） を 変更 す る 場合 （ コ 一 ナ 一 加ェ を な す場合） 、
( b ) 加 ェ電極 に 供給 す る 電 流 を 減 少 す る ェ 程 と と も に 、 加ェ電極 に 印加す る 張カ を 、 加ェ電槿の ャ ン グ率 の変化 に 追従 し て 、 こ れ に 比例 し て制铒す る ェ程 を 有 す る も の で ぁ る 。 加ェ電極の ャ ン グ率の変化は 、 放電加ェ電淹 に も と づ く 癸熱 に 起 因 す る か ら 、 放電加 ェ鼋埯 を モ ニ タ ー すれ ば 、 そ の変化 （加ェ電 Sの ャ ン グ率の変化） を知 る こ と が で き る 。 そ こ で 、 ぁ ら か じ め 、 放電加ェ 電埯 と そ の 放 電加ェ 電流 に 最 適 の 張 カ と の 閟係 を 求 め て ぉ け ば 、 加 ェ Φ放電 加ェ電流 を モ ニ タ 一 し て 、 こ れ に 対応 す る 最適張カ値 を求 め 、 こ の張カ を 加ェ電極 に 印加す る こ と に ょ リ 、 上記の加ェ を な す こ と は可能 で ぁ る 。
さ ら に 具体的 の述べれ ば 、 ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ機が 決 定 し た ら 、 放電 加ェ 用 電流 I と 上 記 の 比例 定数 k と の 関係 を 、 張カ T を バ ラ メ 一 タ と し て実験的 に 求め て 、 第 3 図 に 図示 す る グ ラ フ に 対 応 す る 情 報 を 得 る 。 そ し て 、 上記 の 比例定 数 k を ー定 に 保 っ た め に 放電加 ェ用 電流 I の変化 に応答 し て張カ T を どの ょ ぅ に変化すれ ば よ ¾ゝ か を 決定す る 。
そ し て 、 テ 一 パ加ェ 中 に 、 加ェ電極の進行方 向 （加ェ 時 、 加ェ電極がテ 一 ブル面 （ ょ リ 現実的 に は被加ェ体 の 面 ） に ¾ っ て進行 す る 方 向 ） を 変更 す る と き は 、 加ェ 電極 に供給す る 電流 I を減少す る と と も に 、 加ェ電槿 に 印加す る 張カ T を 、 上記の情報 に も と ずぃ て制御 し て 、 上記の比例定数 k を ー定 に保っ。
以上の ょ ラ に 加ェ を なせ ば 、 放電加ェ雹流 I が増滅 し て加ェ電極の発熱量が増滅 し 加ェ電極の麵性が変化 し て 加 ェ 電極 の ャ ン グ率 E が変化 し て も 、 加ェ 電 ガ ィ ド 支 持 点 の 位 置補正 の 補 正量 δ を 変更 す る 必 要 は な く 、 テ ー バ加 ェ に ぉ ぃ て放 電 加ェ 電流 の 滅 少 が 必須 で ぁ る 屈 曲 点 （加ェ電極 の テ ー ブル面 （ ょ り 現実的 に は被加ェ 体 の面） に沿 ぅ 進行方 向変更点） に ぉ ぃ て も 正確 な加ェ が可能 で ぁ る 。
ま た 、 テ 一 ノく ー 加ェが可能 で ぁ り 、 さ ら に 、 コ ー ナ ー 加ェ時 に放電加ェ電流の制铒が可能 で ぁ る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ機 に 、 （ a ) 放霄加ェ電流 と そ の放電加ェ電流 に 最適 の張カ と の関係 を 表ゎ す情報 を 記億す る 記憶手段 と 、 （ b ) 放電 加 ェ電 流 を モ ニ タ ー す る 加 ェ電流 モ ニ タ 一 手段 と 、 （ c ) こ の 加ェ電流 モ ニ タ ー 手段が検 出 す る 加ェ電 流 に 対 応 す る 最 適 張 カ を 求 め る 最 適 張 カ 演 箕 手段 と 、 （ d ) こ の最適張カ演算手段が与 ぇ る 最適張カ に 加ェ電極の張 カ を 制御す る 張カ制街手段 と を 付加すれ ば 、 本 発 明 に 係 る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電 加 ェ方 法 の 実 施 に 有 用 な ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ装置が実現す る 。 図面 の箇単 な説明
第 1 図 は 、 * 発 明 が 解 块 し た 欠 点 を 説 明 す る 図 で ぁ る 。
第 2 図 は 、 本発明 の作用 を 説明 す る 図 で ぁ る 。
第 3 図 は 、 本発明 に 係 る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ方法 に ぉ ぃ て使用 す る グ ラ フ （放電加ェ用電流 I と 上記 の比例 定 数 k と の 関係 を 張 カ T を パ ラ メ 一 タ と し て 表 ゎ し た グ ラ フ ） で ぁ る 。
第 4 図 は 、 本発明 のー実施例 に 係 る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電 加ェ装置 の概念的橋成図 でぁ る 。 好 ま し ぃ実駕 Λの詳細 な説明
第 3 図参照 ，
図 に ぉ ぃ て 、 1 は ヮ ィ ャ電極 で ぁ り 、 上下 の ヮ ィ ャ 電極 ガ ィ ド装置 23、 24に ょ っ て ガ ィ ド さ れ る 。 上部 ガ ィ ド装置 23は上部ァ 一 ム （図示せず） に ょ っ て支持 さ れ 、 下 部 ガ ィ ド 装置 24は下 部 ァ ー ム （図 示 せず ） に ょ っ て 支持 さ れ、 ヮ ィ ャ電極 1 は こ れ ら の ァ ー ム の間 に張設 さ れ る 。 被加ェ体 3 は 、 上下 の ァ 一 ム の間 に Χ · Υ 方 向 に 移動可能 に設け られた テ ー ブル 5 に乗せ ら れ る 。 61、 62 は テ 一 ブル駆動用 の Χ · Υ 轴 サ ー ボ機稱で ぁ る 。 71、 72 ほ υ · ν轴サ 一 ボ機構 で ぁ リ 、 テ ー バ加ェ に ぁ た リ 上下 の ヮ ィ ャ電極 ガ ィ ド装置 23、 24の相互位置 を変化す る た め に 上部 ヮ ィ ャ ガ ィ ド装置 23を 駆動す る 。 な ぉ 、 テ ー バ 加ェ を な す に は 、 上下 の ヮ ィ ャ ガ ィ ド装置 23、 24を 相対 的 に移動 さ せれば ょ ぃ が、 *実旄例 に ぉぃ て は上部 ヮ ィ ャ ガ ィ ド装置 23を移動 さ せ る こ と と され て ぃ る 。
8 は基本制御装置で ぁ り 、 Χ · Υ 轴 サ ー ボ機構 61、 62 の制铒ゃ コ 一 ナ ー 加ェ に ぉ け る 電流滅少制御等 を 舍 め 、 こ の ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電 加 ェ機 の 基 * 制御 を 司 る 。 9 は テ ー バ制 铒装置 で ぁ リ 、 U * V 轴 サ 一 ポ機構 71、 ？2を 制櫞す る 。 こ れ ら の機能は ぃづれ も コ ン ビ ュ ー タ を 使用 し て な す ソ フ ト ゥ ェ ァ を も っ て容 易 に実現 し ラ る 。
10は 直 流 電源 で ぁ り 、 11は こ れ を 間 欠的 に 通電 す る 間欠通電手段で ぁ リ 、 間欠的直淹電圧が給電 ロ ー ラ 等 1 2 を 介 し て ヮ ィ ャ電 ¾ 1 に紿電 さ れ る 。 直淹電源 1 0の他方 の末端は被加ェ体 2 に接統 さ れ て ぃ る 。 テ ー バ加ェ期間 に コ ー ナ ー 加ェ が さ れ る と き 、 加ェ電流 が滅少 さ れ る こ と は上記 し た と ぉ リ で ぁ る 。 ま た 、 1 2は加ェ電流 モ ニ タ 一 手段で ぁ る 。
9 1が放電加ェ電流 と そ の放電加ェ電流 に 最遍 の張カ と の 閧係 を 表 ゎ す情 報 を 記憶 す る 記億 手 段 で ぁ り 、 3 3が 最 適 張 カ演 算手 段 で ぁ り 、 加 ェ 電流 モ ニ タ ー 手段 1 2が 検 出 す る 電淹値 に 応答 し て 、 記憶手段 9 1か ら 最 ¾張カ を 検索 し 、 ま た は 、 記憶手段 9 1か ら 得た情報 に も と づ ぃ て 最 邃張 カ を 演算 す る 。 9 2は 張 カ 制御 手 段 で ぁ リ 、 最 適 張カ を 実現す る ょ ラ に サ 一 ボ機構 を 制 ¾す る 。
上 記 の 制 御 は 、 ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電 加 ェ装 置 が 当 然 に 具備 し て ぃ る コ ン ビ ュ 一 タ を 使用 し て なせ ば極 め て 容易 で ぁ る 。
上 記 の 記 述 は 、 本発 明 に ょ り 、 テ 一 バ加 ェ に ぉ ぃ て 加ェ電極 の進行方向 （加ェ時 、 加ェ電極が テ 一 ブル面 に ¾ っ て進行す る 方 向） を 変更す る コ ー ナ 一 加ェ時 （ X · Y 軸制御系 の方向 を 変更す る 場合） 、 そ の屈 曲 点 に ぉ ぃ て 加ェ誤差 （形状誤差） が増大す る こ と を を 防止す る こ と が で き 、 加ェ精度 を 向上す る こ と が で き る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放 電加 ェ 方法 と 、 こ の ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電 加 ェ方 法 の 実施 に有用 な ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ装置 と が完成 さ れた こ と を 示 す。 上記の記述は特定の実旄例 に っぃ て な され て ぃ る が、 こ れ ら の 実旌例 は 何 ら 発 ¾ を 限 定す る も の で は な ぃ 。 以上の記述 に ょ れば 、 関示 さ れた実尨例 と そ の実旄例 の 改変は勿讒、 本発明 の他の実 ¾例 も 当業者 に と っ て明 ら か と な る で ぁ ろ ぅ 。 し た が っ て 、 *発明 の技術的範囲 を 明 ら か に す る た め 、 以下 に 特許請求の範囲 を記述する 。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 加ェ電極の伸 方 向 と 被加ェ体 と の な す角 を 変化 し て加ェ を な す こ と の で き る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ方法 に ぉ ぃ て 、
前 記 加 ェ電極 が前 記 被 加ェ 体 の面 に ¾ つ て 進行 す る 方 向 を 変更す る に ぁ た リ 、 前記加ェ電極 に供紿す る 電流 を 滅少す る と と も に 、 前記加ェ電極 に 印加す る 張カ を 、 前記加ェ電極の ャ ン グ率 の変化 に 比例 し て制 «I し て な す こ と を 特徴 と す る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ方法。
2 . 前記加ェ電極 の ャ ン グ率 の変化は 、 前記加ェ電極 を 流れ る 電琉 の変化 に も と づ ぃ て検 出 す る こ と を 特徴 と す る 特 許請 求 の 範 囲 第 1 項 記載 の ヮ ィ ャ カ ッ ト ¾電 加 ェ 方法。
3 . 加 ェ電極 の伸張方 向 と 被加ェ体 と の な す角 を 変化 し て 加ェ を な す こ と の で き る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ装置 に ぉ ぃ て 、
放 電 加 ェ 電流 と そ の 放 電加 ェ 電流 に 最 速 の 張 カ と の 関係 を 表 ゎ す情報 を 記憶す る 記憶手段 （ 31) と 、
放 電 加 ェ 電 淹 を モ ニ タ 一 す る 加 ェ 電 流 モ ニ タ 一 手 段 （ 12) と 、
該 加 ェ 電 流 モ ニ タ — 手 段 （ 12) が検 出 す る 加ェ 電流 に 対 応す る 最 適 張 カ を 求 め る 最 適張 カ 演算 手 段 （ 93) 該 最 適 張 カ演 箕 手段 （ 93) が 与 ぇ る 最適 張 カ に 加 ェ 電極 の張カ を 制铒 す る 張カ制裤手段 （ 92) と が付加 さ れ て な り 、
前 記 加 ェ電極 が前記被 加ェ体 の面 に 沿 っ て 進行 す る 方向 を 変更す る に ぁ た リ 、 前記加ェ電 S に供給す る 電流 を減少す る と と も に 、 前記加ェ電極 に 印加す る 張カ を 、 前記加ェ電極 の ャ ン グ率の変化 に比例 し て制御す る こ と を特徴 と す る ヮ ィ ャ カ ッ ト 放電加ェ装置。
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