WO1984004583A1 - Dryer - Google Patents

Description

明 細 水 切 乾 燥 装 置 技術分野

こ の発明は シ リ コ ン ゥ ヱ ノ、、 液晶用 ガ ラ ス 、 フ ォ ト マ ス ク 用 ガ ラ ス 、 レ ン ズその他の薄肉状の被処理体を 水切乾燥させる場合に使用する水切乾燥装置に関する も の で あ る。

背景技術

シ リ コ ン ウ ェ ハ、 液晶用 ガ ラ ス 、 フ ォ ト マ ス ク 用 ガ ラ ス 、 レ ン ズ等を水洗 した後に水切乾燥す る場合に使 用する水切乾燥装置 と して従来使用 さ れて いる も のは、 第 1 図及び第 2 図に示す よ う に、 筐体 2 内 に テ ー ブ ル 状の 口 — タ ー 3 を備え、 ロ ー タ — 3 に複 数 の キ ヤ リ ヤ ー ホ ル ダ ー 4 を固定 してい る 。 水切乾燥すべ き シ リ コ ン ゥ ヱ ハ等は力 ご状の キ ヤ リ ヤ ー に収納さ れた後、 キ ヤ リ ヤ ー を前記の キ ヤ リ ャ 一 ホ ル ダ ー 4 に セ ッ ト す る。 この状態で電源を CNに して、 ロ ー タ 一 3 を 500 〜 1500 r. p. mで高速回転させ る と 、 シ リ コ ン ゥ ヱ ノヽ等に 附着 していた水滴等が遠心力 に よ っ て飛ばさ れて、 水 切が行る われ る。 ま た、 キ ヤ リ ヤ ー .ホ ル ダ ー 4 等の 回 転に よ つ て 中心部に発生す る負圧 を利用 して吸引 さ れ た乾燥用気体が シ リ コ ン ゥ - ハ等の表面を乾燥さ せる o しか しな力 ら、 こ の よ う に構成さ れた従来の水切装

置では、 それそれの シ リ コ ン ゥ ェ ハ等に当 る乾燥用気 体の流速及び流量が均一で ¾ く 、 したが って、 すべて の シ リ コ ン ゥ ェ ノ、 に均一 乾燥状態を得る こ と ができ ず、 特に、 上部に位置す る シ リ コ ン ゥ - ハ等の複数枚 に乾燥ム ラ が生 じる欠点が ぁ ク o

ま た、 この よ う に構成さ れた従来の水切装置では、 π ― タ ー と と も に高速回転する シ リ コ ン ゥ ェ ハ等の表 面には気体 と の摩擦に よ ]? 摩擦帯電を起 し、 静電気が 発生する o こ の摩擦帯電には従来は特別の対策が採 ら れてお らず、 前記の摩擦带電に起因 して、 シ リ コ ン ゥ ェ ノ、等に静電破壌が生 じた 、 或いは廛挨が付着 した i? する こ と があ ]? 、 製品の歩留 D の低下や品質を劣化 させてい る ₀

この発明は上記の如 き 事情に鑑みて ¾ さ れた も ので

«¾> つ て、 簡単 構造で、 すべての シ リ コ ン ゥ ヱ ハ等に 均一に乾燥用気体を当て る こ と ができ 、 したカ つ て、 均一 ¾乾燥状態を得 る こ とがで き る と と も に、 シ リ コ ン ゥ ェ ハ等の表面に発生 した静電気を確実に除去 し得 る水切乾燥装置を提供す る こ と を 目 的 とする も のであ る o

癸明の開示

この発明の水切乾燥装置は、 被水切乾燥 体 を ロ ー タ ー に取付けて、 ロ ー タ ー と と も に回転する よ う に構 成 し、 かつ、 前記 ロ ー タ ー に支持さ れてい る前記被水 切乾燥体に達す る乾燥用気流の通風路に整流板を配

:0 して な る も の で あ る Q

そ して、 好ま し く は、 前記整流板を前記通風路 と ほ ぼ同心状に配設する O

ま た、 こ の発明の上述の改良さ れた水切乾燥装置は、 前記 口 - タ ー に支持さ れてい る前記被水切乾燥体の除 電をす る よ う に電気式除電器を配設 してい る 0

そ して、 好ま し く は、 前記電気式除電器の 高圧電極 を前記被水切乾燥体 に達す る乾燥用気流の 前記通風路 と ほぽ同心状に配設する。 こ の こ と に よ っ て、 簡単 ¾ 構造で、 すべての シ リ コ ン ゥ ェ ハ等に乾燥用気体を均 —に 当 て る こ と が で き 、 したが っ て均一 ¾乾燥状態を 得る こ と がで き 、 しか も 静電気の発生 に起因す る製品 の歩留 の低下や品質の劣化を防 ぐ こ と がで き る水切 乾燥装置を得 る こ と がで き る o

図面の簡単 な 説 明

第 1 図は従来の水切乾燥装置を示す縦断面説明 図、 第 2 図は第 1 図 に おける ]!一 E部断面図、 第 3 図は こ の発明の水切乾燥装置の一実施例を示す縦断面説明図、 第 4 図は第 3 図 に おけ る W— IV部断面図、 第 5 図は こ の発明の水切乾燥装置の他の実施例を示す縦断面説明 図、 第 6 図は整流板を示す縦断面図及び第 7 図は第 6 図 におけ る W— W部断面図で あ る。

発明 を実施す る た めの最良の形態

こ の発 明 を よ ]? 詳細に 説述する ため に、 以下、 添附 図面に従 っ て これを説明す る o

ΟΪ·.ί?Ι Γι?ο 第 3 図及び第 4 図 に おいて、 11は水切乾燥装置で あ D 、 水切乾燥装置 11は霞体 12を備えてい る o 筐体 12内 にはテ ー ブル状の ロ ー タ ー 13が位置して ]) ヽ 口 一 タ ー 13に キ ヤ リ ヤ ー支持体 14が取 付け られてい る。

ゥ ヱハの水切乾燥に際 しては、 キ ヤ リ ヤ ー 支持体 14に 多数の ゥ -ハ ( 図示せず ） を収納 した ゥ ヱ ハ ー キ ヤ リ ヤ ー 15を固着支持させる o ロ ー タ ー 13及び キ ヤ リ ャ 一 支持体 14の外側には複数の反射防止用羽根 16が配設さ れてい る。 筐体 12の上端部には開閉可能な蓋 17が設け られ、 盞 17には 口 — タ ー 13の 回転中心 とほぼ同軸状に 吸気孔 18が形成さ れ、 この吸気孔 18には メ ッ シ ュが張 設さ れてい る o 蓋 17の裏面には吸気孔 18と ほぼ同心状 に整流装置 19が取 付け られてい る o 整流装置 19は同 心状に位置する複数の整流板 21 a ， 21 b …か ら な つて い る。 整流板 21 a ， 21 … はそれぞれ 円筒部 22と 、 円 筒部 22の下端に半径方向 に延出するつば部 23と か ら成 る。 整流板 21 a , 21 … の 円筒部 22は 隣 ]) 合 う 整流板 の 円筒部 と径を異に し、 隣 D 合 う 整流板 21 a ， 21 … は 円筒部が一部分重な D 合 う よ う に 同心状に位置 し、 隣 ]) 合 う 整流板間の 間隙が通風路 24を 構成す る。 こ の 整流板 21は、 口 一 タ ー 13の 回転中心 と ほぼ同軸状に位 置 し、 かつ乾燥用気体が整流装置 19の外側 に均等に吐 出 させる よ う に、 その寸度及び位置が決め られてい る o な お、 整流装置 19は第 5 図に示す如 く 、 逆漏斗状の複 数の整流板 2Γを同心状に配置 した も の で も よ い o

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W IrO 第 6 図及び第 7 図 に示す如 く 、 水切乾燥装置 11には 除電装置 2 5が取 ！） 付け ら れてい る o 除電装置 25は高圧 電極 と 接地電極を備え、 高圧電極に高電圧を 印加す る こ と に よ っ て コ ロ ナ放電を起 こ し、 正ま たは負の ィ 才 ン を発生さ せる も の であ る o こ の高圧電極 26は整流板 21 a ， 21 b … の つば部 23に取 ！） 付け ら れる。 す わち、 整流板 21 a ， 21 b … のつば部 23は所定間隔を置いて位 置する 2 枚の環板 27 a ， 27 b か ら 成 ]? 、 その環板 27 a， 27 b の間 に保護絶縁物 28が位置 し、 その保護絶縁物 28 内 に放電端が突出 した状態で高圧電極 26が放射状 に埋 め込 ま れて位置する o 高圧電極 26の基端部 に は高圧配 線 29が接続する o ま た接地電極 31は環板 27 a ， 27 b の 先端の外側 に配設さ れてい る o

こ の よ う に構成さ れた水切乾燥装置 11に おいては、 被処理体た る シ リ コ ン ゥ ヱ ハ等を ゥ ヱ ハ ー キ ヤ リ ヤ ー 15に収納 した後、 キ ヤ リ ャ — 支持体 1 4に セ ッ ト し、 し か る 後、 蓋 17を閉め て、 電源を ONに して ロ ー タ — 13を 回転させ る。 ロ ー タ. 13の 回転 に よ ]) 、 シ リ コ ン ゥ ェ ハ等に付着 してい る 水滴等は遠心力 に よ ] 、 口 — タ ー 13の外側に飛ばさ れて水切が行な われ る o ロ ー タ ー 13 の外側 に飛ばさ れた水滴は反射防止用羽根 16に案内 さ れ排気 口 32に送 出 さ れて筐体 12の外に 出 る の で、 水 滴力； シ リ コ ン ゥ ヱ ハ に向 っ て反射さ れる こ と は い。

口 タ ー 13の回転 に よ っ て 前記の水切 が行な われ る と 同時に、 ロ ー タ ー 13の 回転中心側が負圧 と ¾ j？ 、 清浄な空気或いは N₂ガ ス等の乾燥用気体が筐体 12の外 部か ら盞 1 7の吸気孔 18を通 して 口 一 タ ー 13の回転中心 側に流れ込み、 キ ヤ リ ヤ ー支持体 14に支持されて回耘 中 の シ リ コ ン ゥ ヱ ノ、 に当 っ て、 水切 ]3 後 の シ リ コ ン ウ ェ ハ を乾燥させる o こ の場合に、 口 一 タ ー 13の回転 中心側には整流装置 19が位置 して お ]? 、 こ こを流れる 乾燥用気体を矢印 33 a ， 33 b ， 33 c で 示 す 如 く 、 整流 板 21が分配 し、 回転方向 に おける乾燥用気体の流量、 及び流速の分布を均一にするか ら、 すべての シ リ コ ン ゥ ヱハ について均一な乾燥状態 と る る o

—方、 シ リ コ ン ウ ェ ハ は乾燥用気体 との接触に よ つ て、 その表面が帯電するが、 高圧電極 26に高電圧を印 加する と矢印 34で示す如 く 接地電極 31に 向 って コ ロ ナ 放電が生 じ、 これに よ つ て乾燥気体中 に正ま たは負の イ オ ンが発生する o こ の イ オ ンは乾燥気体の気流に違 搬さ れて、 シ リ コ ン ゥ ヱ ハ に達 し、 シ リ コ ン ゥ ヱ ハ上 の反対極性の静電荷を中和消滅さ せる o したが っ て、 乾燥終了後に ロ ー タ ー か ら シ リ コ ン ウ ェ ハ を取 ！） 出す 場合に も 静電破壌を生ずる こ と がな く 、 ま た廛挨等が 付着する おそれ も い o

な お、 以上の説明は主 と して、 被処理体が シ リ コ ン ウ ェ ハ であ ]? 、 したが つ て この凳明 を シ リ コ ン ゥ ヱ ノ、 の水切乾燥装置に適用 した例につ てな されたが、 こ の発明は この他に、 被処理体が、 液晶用 ガ ラ ス 、 フ ォ ト マ ス ク 用 ガ ラ ス 、 レ ン ズその他の薄肉体であ る場合 に も 、 その ま ま 適用する こ と カ でき る o

産業上の利用可能性

この よ う に、 こ の発明は、 シ リ コ ン ゥ ヱ ハ 、 液晶用

ガ ラ ス 、 フ ォ ト マ ス ク 用 ガ ラ ス 、 レ ン ズその他の薄肉

体で、 乾燥ム ラ や廛挨の付着や、 摩擦帯電を厳 し く 避

け る必要の あ る製品の水切乾燥を行 う の に適 して お 1? こ の発明の採用 に よ っ て、 それ らの製品の歩留 を向

上させ、 ま た製品の 品質を向上させ得 る o

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Claims

請 求 の 範 囲

(1) ロ ー タ — に支持されている被水切乾燥体に達する 乾燥用気流の通風路に整流板を配設 して な る こ と を特 徵 と する水切乾燥装置 o

(2) 前記整流板を前記通風路 と ほぽ同心状に配設 して る る こ と を特徵 と する特許請求の範囲第 1 項記載の水 切乾燥装置。

(3) 前記 ロ ー タ — に支持されている前記被水切乾燥体 の除電をす る よ う に電気式除電器を配設 してる る こ と を特徵 と する特許請求の範囲第 1 項ま たは第 2 項記载 の水切乾燥装置 o '

(4) 前記電気式除電器の高圧電 ¾を前記被水切乾燥体 に達する乾燥用気流の前記通風路 と ほぽ同心状に配設 して な る こ と を特徵 とする 特許請求の範囲第 3 項記載 の水切乾燥装置 o