JPS633234B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS633234B2 JPS633234B2 JP5299280A JP5299280A JPS633234B2 JP S633234 B2 JPS633234 B2 JP S633234B2 JP 5299280 A JP5299280 A JP 5299280A JP 5299280 A JP5299280 A JP 5299280A JP S633234 B2 JPS633234 B2 JP S633234B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drying
- rotor
- housing
- downstream side
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 34
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 8
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 24
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はシリコンウエハ、液晶用ガラス、フ
オトマスク用ガラス、レンズその他の薄肉状の被
処理体を水切乾燥させる場合に使用する水切乾燥
装置に関するものである。
オトマスク用ガラス、レンズその他の薄肉状の被
処理体を水切乾燥させる場合に使用する水切乾燥
装置に関するものである。
シリコンウエハ、液晶用ガラス、フオトマスク
用ガラス、レンズ等を水洗した後に水切乾燥する
場合に使用する水切乾燥装置として従来使用され
ているものは、第１図及び第２図に示すように、
筐体２内にテーブル状のローター３を備え、ロー
ター３に複数のキヤリヤーホルダー４を固定して
いる。水切乾燥すべきシリコンウエハ等はかご状
のキヤリヤーに収納された後、キヤリヤーを前記
のキヤリヤーホルダー４にセツトする。この状態
で電源をONにして、ローター３を500〜1500r.p.
mの高速回転させると、シリコンウエハ等に附着
していた水滴等が遠心力によつて飛ばされて、水
切が行なわれる。また、キヤリヤーホルダー４等
の回転によつて中心部に発生する負圧を利用して
吸引された乾燥用気体がシリコンウエハ等の表面
を乾燥させる。
用ガラス、レンズ等を水洗した後に水切乾燥する
場合に使用する水切乾燥装置として従来使用され
ているものは、第１図及び第２図に示すように、
筐体２内にテーブル状のローター３を備え、ロー
ター３に複数のキヤリヤーホルダー４を固定して
いる。水切乾燥すべきシリコンウエハ等はかご状
のキヤリヤーに収納された後、キヤリヤーを前記
のキヤリヤーホルダー４にセツトする。この状態
で電源をONにして、ローター３を500〜1500r.p.
mの高速回転させると、シリコンウエハ等に附着
していた水滴等が遠心力によつて飛ばされて、水
切が行なわれる。また、キヤリヤーホルダー４等
の回転によつて中心部に発生する負圧を利用して
吸引された乾燥用気体がシリコンウエハ等の表面
を乾燥させる。
しかしながら、このように構成された従来の水
切装置では、それぞれのシリコンウエハ等に当る
乾燥用気体の流速及び流量が均一でなく、したが
つて、すべてのシリコンウエハに均一な乾燥状態
を得ることができず、特に、上部に位置するシリ
コンウエハ等の複数枚に乾燥ムラが生じる欠点が
あつた。
切装置では、それぞれのシリコンウエハ等に当る
乾燥用気体の流速及び流量が均一でなく、したが
つて、すべてのシリコンウエハに均一な乾燥状態
を得ることができず、特に、上部に位置するシリ
コンウエハ等の複数枚に乾燥ムラが生じる欠点が
あつた。
この発明は上記の如き事情に鑑みてなされたも
のであつて、簡単な構造で、すべてのシリコンウ
エハ等に均一に乾燥用気体を当てることができ、
したがつて、均一な乾燥状態を得ることができる
水切乾燥装置を提供することを目的とするもので
ある。
のであつて、簡単な構造で、すべてのシリコンウ
エハ等に均一に乾燥用気体を当てることができ、
したがつて、均一な乾燥状態を得ることができる
水切乾燥装置を提供することを目的とするもので
ある。
この目的に対応して、この発明の水切乾燥装置
は、上端に被水切乾燥体を出し入れするための開
放部を有する筐体と、吸気孔を有し前記筐体の前
記開放部を開閉する蓋とを備え、前記吸気孔から
前記筐体内で回転可能なローターに支持されてい
る被水切乾燥体に達する乾燥用気流の通風路に複
数の整流板を所定の中心方向間隔を保つた状態で
重ねて前記蓋に取付けて配設してなり、それぞれ
の前記整流板は内径及び外径共に乾燥用気流下流
側の径が乾燥用気流上流側の径よりも大きいほぼ
筒状をなしていて上流側の端部が隣り合う他の整
流板の下流側の端部に入り込んだ状態で前記ロー
ターの回転中心とほぼ同心状に前記配設されてお
り、隣り合う整流板間に形成される通風路の出口
端及び最下流側に位置する整流板が形成する通風
路の出口端における風量がほぼ同一になるように
構成されていることを特徴としている。
は、上端に被水切乾燥体を出し入れするための開
放部を有する筐体と、吸気孔を有し前記筐体の前
記開放部を開閉する蓋とを備え、前記吸気孔から
前記筐体内で回転可能なローターに支持されてい
る被水切乾燥体に達する乾燥用気流の通風路に複
数の整流板を所定の中心方向間隔を保つた状態で
重ねて前記蓋に取付けて配設してなり、それぞれ
の前記整流板は内径及び外径共に乾燥用気流下流
側の径が乾燥用気流上流側の径よりも大きいほぼ
筒状をなしていて上流側の端部が隣り合う他の整
流板の下流側の端部に入り込んだ状態で前記ロー
ターの回転中心とほぼ同心状に前記配設されてお
り、隣り合う整流板間に形成される通風路の出口
端及び最下流側に位置する整流板が形成する通風
路の出口端における風量がほぼ同一になるように
構成されていることを特徴としている。
以下この発明の詳細を一実施例を示す図面につ
いて説明する。
いて説明する。
第３図及び第４図において、１１は水切乾燥装
置であり、水切乾燥装置１１は筐体１２を備えて
いる。筐体１２内にはテーブル状のローター１３
が位置しており、ローター１３にキヤリヤー支持
体１４が取り付けられている。ウエハの水切乾燥
に際しては、キヤリヤー支持体１４に多数のウエ
ハ（図示せず）を収納したウエハーキヤリヤー１
５を固着支持させる。ローター１３及びキヤリヤ
ー支持体１４の外側には複数の反射防止用羽根１
６が配設されている。筐体１２の上端部には開閉
可能な蓋１７が設けられ、蓋１７にはローター１
３の回転中心とほぼ同軸状に吸気孔１８が形成さ
れ、この吸気孔１８にはメツシユが張設されてい
る。蓋１７の裏面には吸気孔１８とほぼ同心状に
整流装置１９が取り付けられている。整流装置１
９は同心状に位置する複数の整流板２１からなつ
ている。この整流板２１は、それぞれ、内径及び
外径共に乾燥用気流下流側の径が乾燥用気流上流
側の径よりも大きいほぼ逆漏斗状の円筒をなして
いて、ローター１３の回転中心とほぼ同軸状に所
定の中心方向間隔を保ち上流側の端部が隣り合う
他の整流板の下流側の端部に入り込んだ状態で位
置し、かつ乾燥用気体が整流装置１９の外側に均
等に吐出させるように、その寸度及び位置が決め
られている。すなわち、隣り合う整流板間に形成
される通風路の出口端及び最下流側に位置する整
流板が形成する通風路の出口端における風量がほ
ぼ同一になるように構成されている。
置であり、水切乾燥装置１１は筐体１２を備えて
いる。筐体１２内にはテーブル状のローター１３
が位置しており、ローター１３にキヤリヤー支持
体１４が取り付けられている。ウエハの水切乾燥
に際しては、キヤリヤー支持体１４に多数のウエ
ハ（図示せず）を収納したウエハーキヤリヤー１
５を固着支持させる。ローター１３及びキヤリヤ
ー支持体１４の外側には複数の反射防止用羽根１
６が配設されている。筐体１２の上端部には開閉
可能な蓋１７が設けられ、蓋１７にはローター１
３の回転中心とほぼ同軸状に吸気孔１８が形成さ
れ、この吸気孔１８にはメツシユが張設されてい
る。蓋１７の裏面には吸気孔１８とほぼ同心状に
整流装置１９が取り付けられている。整流装置１
９は同心状に位置する複数の整流板２１からなつ
ている。この整流板２１は、それぞれ、内径及び
外径共に乾燥用気流下流側の径が乾燥用気流上流
側の径よりも大きいほぼ逆漏斗状の円筒をなして
いて、ローター１３の回転中心とほぼ同軸状に所
定の中心方向間隔を保ち上流側の端部が隣り合う
他の整流板の下流側の端部に入り込んだ状態で位
置し、かつ乾燥用気体が整流装置１９の外側に均
等に吐出させるように、その寸度及び位置が決め
られている。すなわち、隣り合う整流板間に形成
される通風路の出口端及び最下流側に位置する整
流板が形成する通風路の出口端における風量がほ
ぼ同一になるように構成されている。
このように構成された水切乾燥装置１１におい
ては、被処理体たるシリコンウエハ等をウエハー
キヤリヤー１５に収納した後、キヤリヤー支持体
１４にセツトし、しかる後、蓋１７を閉めて、電
源をONにしてローター１３を回転させる。ロー
ター１３の回転により、シリコンウエハ等に付着
している水滴等は遠心力により、ローター１３の
外側に飛ばされて水切が行なわれる。ローター１
３の外側に飛ばされた水滴は反射防止用羽根１６
に案内され排気口２２に送り出されて筐体１２の
外に出るので、水滴がシリコンウエハに向つて反
射されることはない。
ては、被処理体たるシリコンウエハ等をウエハー
キヤリヤー１５に収納した後、キヤリヤー支持体
１４にセツトし、しかる後、蓋１７を閉めて、電
源をONにしてローター１３を回転させる。ロー
ター１３の回転により、シリコンウエハ等に付着
している水滴等は遠心力により、ローター１３の
外側に飛ばされて水切が行なわれる。ローター１
３の外側に飛ばされた水滴は反射防止用羽根１６
に案内され排気口２２に送り出されて筐体１２の
外に出るので、水滴がシリコンウエハに向つて反
射されることはない。
ローター１３の回転によつて前記の水切りが行
なわれると同時に、ローター１３の回転中心側が
負圧となり、清浄な空気或いはN2ガス等の乾燥
用気体が筐体１２の外部から蓋１７の吸気孔１８
を通してローター１３の回転中心側に流れ込み、
キヤリヤー支持体１４に支持されて回転中のシリ
コンウエハに当つて、水切り後のシリコンウエハ
を乾燥させる。この場合に、ローター１３の回転
中心側には整流装置１９が位置しており、ここを
流れる乾燥用気体を整流板２１が分配し、回転軸
方向における乾燥用気体の流量、及び流速の分布
を均一にするから、すべてのシリコンウエハにつ
いて均一な乾燥状態となる。
なわれると同時に、ローター１３の回転中心側が
負圧となり、清浄な空気或いはN2ガス等の乾燥
用気体が筐体１２の外部から蓋１７の吸気孔１８
を通してローター１３の回転中心側に流れ込み、
キヤリヤー支持体１４に支持されて回転中のシリ
コンウエハに当つて、水切り後のシリコンウエハ
を乾燥させる。この場合に、ローター１３の回転
中心側には整流装置１９が位置しており、ここを
流れる乾燥用気体を整流板２１が分配し、回転軸
方向における乾燥用気体の流量、及び流速の分布
を均一にするから、すべてのシリコンウエハにつ
いて均一な乾燥状態となる。
このように、この発明によれば、簡単な構造
で、すべてのシリコンウエハ等に乾燥用気体を均
一に当てることができ、したがつて均一な乾燥状
態を得ることができる水切乾燥装置を得ることが
できる。
で、すべてのシリコンウエハ等に乾燥用気体を均
一に当てることができ、したがつて均一な乾燥状
態を得ることができる水切乾燥装置を得ることが
できる。
なお、以上の説明は主として、被処理体がシリ
コンウエハであり、したがつてこの発明をシリコ
ンウエハの水切乾燥装置に適用した例についてな
されたが、この発明はこの他に、被処理体が、液
晶用ガラス、フオトマスク用ガラス、レンズその
他の薄肉体である場合にも、そのまま適用するこ
とができる。
コンウエハであり、したがつてこの発明をシリコ
ンウエハの水切乾燥装置に適用した例についてな
されたが、この発明はこの他に、被処理体が、液
晶用ガラス、フオトマスク用ガラス、レンズその
他の薄肉体である場合にも、そのまま適用するこ
とができる。
第１図は従来の水切乾燥装置を示す縦断説明
図、第２図は第１図における−部断面図、第
３図はこの発明の水切乾燥装置の一実施例を示す
縦断面説明図、及び第４図は第３図における−
部断面図である。 １１……水切乾燥装置、１２……筐体、１３…
…ローター、１４……キヤリヤー支持体、１５…
…ウエハーキヤリヤー、１６……反射防止用羽
根、１７……蓋、１８……吸気孔、１９……整流
位置、２１……整流板。
図、第２図は第１図における−部断面図、第
３図はこの発明の水切乾燥装置の一実施例を示す
縦断面説明図、及び第４図は第３図における−
部断面図である。 １１……水切乾燥装置、１２……筐体、１３…
…ローター、１４……キヤリヤー支持体、１５…
…ウエハーキヤリヤー、１６……反射防止用羽
根、１７……蓋、１８……吸気孔、１９……整流
位置、２１……整流板。
Claims (1)
- １ 上端に被水切乾燥体を出し入れするための開
放部を有する筐体と、吸気孔を有し前記筐体の前
記開放部を開閉する蓋とを備え、前記吸気孔から
前記筐体内で回転可能なローターに支持されてい
る被水切乾燥体に達する乾燥用気流の通風路に複
数の整流板を所定の中心方向間隔を保つた状態で
重ねて前記蓋に取付けて配設してなり、それぞれ
の前記整流板は内径及び外径共に乾燥用気流下流
側の径が乾燥用気流上流側の径よりも大きいほぼ
筒状をなしていて上流側の端部が隣り合う他の整
流板の下流側の端部に入り込んだ状態で前記ロー
ターの回転中心とほぼ同心状に前記配設されてお
り、隣り合う整流板間に形成される通風路の出口
端及び最下流側に位置する整流板が形成する通風
路の出口端における風量がほぼ同一になるように
構成されていることを特徴とする水切乾燥装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5299280A JPS56149572A (en) | 1980-04-23 | 1980-04-23 | Drain dryer |
| US06/339,521 US4445281A (en) | 1980-04-23 | 1981-04-21 | Dehydrating drier |
| PCT/JP1981/000094 WO1984004583A1 (en) | 1980-04-23 | 1981-04-21 | Dryer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5299280A JPS56149572A (en) | 1980-04-23 | 1980-04-23 | Drain dryer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56149572A JPS56149572A (en) | 1981-11-19 |
| JPS633234B2 true JPS633234B2 (ja) | 1988-01-22 |
Family
ID=12930411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5299280A Granted JPS56149572A (en) | 1980-04-23 | 1980-04-23 | Drain dryer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56149572A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61125580A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-13 | 九州日本電気株式会社 | 遠心乾燥機 |
-
1980
- 1980-04-23 JP JP5299280A patent/JPS56149572A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56149572A (en) | 1981-11-19 |
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