TWM540388U - 晶圓裝卸裝置 - Google Patents

Description

晶圓裝卸裝置

一種晶圓裝卸裝置，尤指一種自動化卸載或轉移待磨物或待拋光物之裝置。

現有的晶圓拋光技術，其係以人工方式將晶圓移放至第一次拋光機(粗拋光機)。待晶圓粗拋完成後，再以人工方式將晶圓移放至第二次拋光機(細拋光機)。待晶圓細拋完成後，又以人工方式將晶圓由第二次拋光機移除。

如上所述，晶圓於拋光過程中需要經過多次人工搬運，其係可能有至少兩個缺點產生。一為全程人工搬運，需要大量人力或工時，方能搬運一定數量的晶圓，故無形中提升製造成本。二為人工搬運，其係可能因人為疏忽而造成晶圓的毀損率提升。

綜合上述，現有的晶圓拋光技術仍有上述之至少兩個缺點存在，故如何降低工時、毀損率、人力使用或製造成本，其係有可以討論的空間。

有鑑於上述之缺點，本創作之目的在於提供一種晶圓裝卸裝置，其係利用自動化方式卸載與或轉移待磨物，藉以降低人工使用率、降低製造成本與提高待磨物的完整率。

為了達到上述之目的，本創作之技術手段在於提供一種晶圓裝卸裝置，其係應用於一第一拋光機與一第二拋光機，該第二拋光機係相鄰於該第一拋光機，該晶圓裝卸裝置包含有： 一待磨物輸送模組，其係位於該第一拋光機與該第二拋光機的一側，該待磨物輸送模組具有一進料端與一出料端；一待磨物上載模組，其係位於該第一拋光機與該第二拋光機之間，並相對於該待磨物輸送模組之出料端；以及一待磨物下載模組，其係於該第一拋光機與該第二拋光機之間，並位於該待磨物上載模組遠離該待磨物輸送模組的一端。

於一實施例，該待磨物輸送模組具有多個待磨物承載盤與一傳送單元，該些待磨物承載盤係設於該傳送單元的上方，該進料端與該出料端係分別位於該傳送單元的兩端。

於一實施例，該待磨物上載模組具有一線性移動單元與一轉移單元，該轉移單元係設於該線性移動單元的下方。

於一實施例，該待磨物下載模組具有一移轉臂與一偏轉單元，該移轉臂係設於該偏轉單元。該移轉臂的自由端具有一取放單元。

綜合上述，本創作係使用待磨物上載模組與待磨物下載模組，而達到自動化之待磨物的卸載或轉移的動作，藉以降低人工的使用率，並達到縮短工時、降低製造成本與降低毀損率的效果。

10‧‧‧第一拋光機

11‧‧‧第二拋光機

20‧‧‧待磨物輸送模組

200‧‧‧待磨物承載盤

201‧‧‧傳送單元

2010‧‧‧進料端

2011‧‧‧出料端

30‧‧‧待磨物上載模組

300‧‧‧線性移動單元

301‧‧‧轉移單元

40‧‧‧待磨物下載模組

400‧‧‧移轉臂

4000‧‧‧取放單元

401‧‧‧偏轉單元

50‧‧‧待磨物

第1圖為本創作之一種晶圓裝卸裝置之立體示意圖。

第2圖為本創作之一種晶圓裝卸裝置之動作立體示意圖。

第3圖為本創作之一種晶圓裝卸裝置之動作立體示意圖。

第4圖為本創作之一種晶圓裝卸裝置之動作立體示意圖。

第5圖為本創作之一種晶圓裝卸裝置之動作立體示意圖。

以下係藉由特定的具體實施例說明本創作之實施方式，所屬技術領域中具有通常知識者可由本說明書所揭示之內容，輕易地瞭解本創作之其他優點與功效。

請配合參考第1圖所示，本創作係一種晶圓裝卸裝置，其係 應用於一第一拋光機10與一第二拋光機11。該晶圓裝卸裝置包含有一待磨物輸送模組20、一待磨物上載模組30與一待磨物下載模組40。

第一拋光機10可為粗拋光機。第二拋光機11為細拋光機。第一拋光機10係相鄰於第二拋光機11。

待磨物輸送模組20具有多個待磨物承載盤200與一傳送單元201。待磨物承載盤200係設於傳送單元201的上方。待磨物輸送模組20係位於第一拋光機10與第二拋光機11的一側。傳送單元201具有一進料端2010與一出料端2011。

待磨物上載模組30係位於第一拋光機10與第二拋光機11之間，並且相對於出料端2011。待磨物上載模組30具有一線性移動單元300與一轉移單元301。線性移動單元300為一線性滑軌裝置或一馬達、一螺桿與一滑塊之組合。轉移單元301係設於線性移動單元300的下方。轉移單元301為一支撐框體。

待磨物下載模組40係位於第一拋光機10與第二拋光機11之間，並且位於待磨物上載模組30遠離待磨物輸送模組20的一端。待磨物下載模組40具有一移轉臂400與一偏轉單元401。移轉臂400係設於偏轉單元401。移轉臂400的自由端具有一取放單元4000，取放單元4000能夠為一負壓吸附裝置。

待拋光之待磨物50由進料端2010進入傳送單元201，並由傳送單元201所帶動之待磨物承載盤200傳送至出料端2011。舉例而言，待磨物50能夠為一晶圓或一拋光盤。

如第2圖所示，線性移動單元300係將轉移單元301移動至出料端2011，以承接位於出料端2011之待磨物50。待轉移單元301承接待磨物50後，線性移動單元300係將轉移單元301連同待磨物50朝移轉臂400之取放單元4000方向移動，直至待磨物50位於取放單元4000的上方。取放單元4000係吸取待磨物50，以使待磨物50與轉移單元301二者相互分離。

請配合參考第3圖所示，線性移動單元300係將轉移單元301朝向出料單2011方向移動，以再次進行承接待磨物50之動作。偏 轉單元401係使移轉臂400轉動，以使待磨物50之待磨面朝下。偏轉單元401係帶動移轉臂400，以使移轉臂400朝向第一拋光機10方向移動。

待待磨物50移動至第一拋光機10的上方，取放單元4000係釋放待磨物50，以使待磨物50之拋光面接觸第一拋光機10。偏轉單元401係再帶動移轉臂400，並使移轉臂400轉動，以取放單元4000使再次吸取待磨物50。

當第一拋光機10具有一定數量之待磨物50後，待磨物輸送模組20、待磨物上載模組30與待磨物下載模組40係停止作動。第一拋光機10係開始第一次拋光或第一次研磨待磨物50。

而當第一次拋光或第一次研磨完成後，第一拋光機10係停止作動。請配合參考第4圖所示，偏轉單元401係帶動移轉臂400朝向第一拋光機10的方向移動，以使取放單元4000吸取位於第一拋光機10之待磨物50。

待磨物下載模組40係分次將位於第一拋光機10之待磨物50移轉至第二拋光機11，以使第二拋光機11對待磨物50進行第二次拋光或第二次研磨之動作。

待第二次拋光或第二次研磨之動作完成後，偏轉單元401係帶動移轉臂400，以使取放單元4000朝向第二拋光機11方向移動，藉以吸取位於第二拋光機11之待磨物50。

請配合參考第5圖所示，當取放單元4000吸取待磨物50後，偏轉單元401係轉動移轉臂400，以使待磨物50待磨面朝上。同時，線性移動單元300係帶動轉移單元301朝向待磨物下載模組40移動，以承接位於吸取單元4000之待磨物50。

而當轉移單元301接收待磨物50後，吸取單元4000係釋放待磨物50。線性移動單元300係將待磨物50朝向出料端2011方向移動。轉移單元301係將待磨物50放置於出料端2011。同時，吸取單元4000係再次吸取位於第二拋光機11之待磨物50，以使轉移單元301再次接收待磨物50。

待第二拋光機11未具有待磨物50後，待磨物輸送模組20、 待磨物上載模組30與待磨物下載模組40係再次進行上述之將待磨物50放置於第一拋光機10之動作。

綜合上述，本創作係使用待磨物上載模組30與待磨物下載模組40，以進行自動化之待磨物50的卸載或轉移的動作，藉以降低人工的使用率，而達到縮短工時、降低製造成本與降低毀損率的效果。

以上所述之具體實施例，僅係用於例釋本創作之特點及功效，而非用於限定本創作之可實施範疇，於未脫離本創作上揭之精神與技術範疇下，任何運用本創作所揭示內容而完成之等效改變及修飾，均仍應為下述之申請專利範圍所涵蓋。

10‧‧‧第一拋光機

11‧‧‧第二拋光機

20‧‧‧待磨物輸送模組

200‧‧‧待磨物承載盤

201‧‧‧傳送單元

2010‧‧‧進料端

2011‧‧‧出料端

30‧‧‧待磨物上載模組

300‧‧‧線性移動單元

301‧‧‧轉移單元

40‧‧‧待磨物下載模組

400‧‧‧移轉臂

4000‧‧‧取放單元

401‧‧‧偏轉單元

50‧‧‧待磨物

Claims (7)

1. 一種晶圓裝卸裝置，其係應用於一第一拋光機與一第二拋光機，該第二拋光機係相鄰於該第一拋光機，該晶圓裝卸裝置包含有：一待磨物輸送模組，其係位於該第一拋光機與該第二拋光機的一側，該待磨物輸送模組具有一進料端與一出料端；一待磨物上載模組，其係位於該第一拋光機與該第二拋光機之間，並相對於該待磨物輸送模組之該出料端；以及一待磨物下載模組，其係於該第一拋光機與該第二拋光機之間，並位於該待磨物上載模組遠離該待磨物輸送模組的一端。
2. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓裝卸裝置，其中該待磨物輸送模組具有多個待磨物承載盤與一傳送單元，該些待磨物承載盤係設於該傳送單元的上方，該進料端與該出料端係分別位於該傳送單元的兩端。
3. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓裝卸裝置，其中該待磨物上載模組具有一線性移動單元與一轉移單元，該轉移單元係設於該線性移動單元的下方。
4. 如申請專利範圍第3項所述之晶圓裝卸裝置，其中該線性移動單元為一線性滑軌裝置或或一馬達、一螺桿與一滑塊之組合。
5. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓裝卸裝置，其中該待磨物下載模組具有一移轉臂與一偏轉單元，該移轉臂係設於該偏轉單元。
6. 如申請專利範圍第5項所述之晶圓裝卸裝置，其中該移轉臂的自由端具有一取放單元。
7. 如申請專利範圍第5項所述之晶圓裝卸裝置，其中該取放單元為一負壓吸附裝置。