TW201819266A - 標準機械介面傳送盒處置系統及其方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種用於處置待在處理設備下處理的標準機械介面（SMIF）傳送盒的SMIF載體，其中處理設備具有輸入及輸出傳送盒裝載器用於處置SMIF傳送盒中的內容。SMIF載體包括安置於輸入傳送盒裝載器上方的上游單元、安置於輸出傳送盒裝載器上方的下游單元及連接上游單元與下游單元的橋式輸送器。操作上，多個SMIF傳送盒裝載於上游單元上，上游單元包括用以將SMIF傳送盒裝載於輸入傳送盒裝載器上及將已清空SMIF傳送盒運輸至橋式輸送器的輸入處置裝置，橋式輸送器自動地將已清空SMIF傳送盒輸送至下游單元，下游單元包括用以將已清空傳送盒裝載至輸出傳送盒裝載器上以自處理設備接納經處理內容的輸入處置裝置。

Description

標準機械介面傳送盒處理系統及其方法

本發明是有關於一種晶圓處置系統（wafer handling system）。特定言之，本發明是有關於一種用於在無塵室環境下處置其SMIF傳送盒的附加系統及方法。

標準機械介面（或簡稱為SMIF）廣泛地用於無塵室環境下的半導體晶圓製造中。其目的為在控制氣流、壓力以及顆粒計數下經由小空間隔離晶圓免受污染。操作上，SMIF傳送盒裝載至製造/處理設備中，諸如濕式清洗台設備，藉此內容（意即，晶圓晶匣）將自其移除，且隨後在受控環境下經由自動化機械進行處理。SMIF傳送盒包括用於封閉及保護在其中的內容的傳送盒蓋板。當SMIF傳送盒在其上游處裝載於設備上時，內容自傳送盒卸載以供自動化處理。接著手動地手工將已清空傳送盒運載到處理設備的下游，以重新裝載經處理內容。在此操作下，通常需要操作者將SMIF傳送盒裝載至處理設備上，接著將已清空傳送盒運載至下游，以及一旦經處理內容重新裝載於SMIF傳送盒中則自設備移除傳送盒及將另一SMIF傳送盒裝載至處理設備的上游上。應注意，需要在無塵環境下對晶圓執行所有所述程序。

存在用於裝載SMIF傳送盒的附加設備，以裝載及卸載其內容（意即，晶圓晶匣），其通常稱為SMIF傳送盒裝載器介面（pod loader interface；PLI）或僅稱為傳送盒裝載器。操作上，傳送盒裝載器用以打開傳送盒的蓋板以展現在其中的內容，及將內容運輸至處理設備中以供處理。此些附加設備仍需要操作者存在，以將已清空SMIF傳送盒運載至下游裝載器來將經處理內容重新裝載返回至SMIF傳送盒。

一項工業慣例為，在處理經處理內容之前將其重新裝載至相同運載傳送盒上。然而，由於手動處置工作，人工錯誤發生。

在此項技術中亦熟知的是，並非所有晶圓以完全相同的方式處理。一些晶圓可能需要較長的處理時間，而一些晶圓可能消耗較短的處理週期。因此，當將晶圓裝載至晶匣上時對晶圓進行分組，且亦根據其處理要求而對晶匣進行分組。其進一步增大操作者監測及管理所述晶圓晶匣的挑戰。

為了改良工作負荷，當前處理設備常常用以同時處置一對傳送盒。最常，根據如上所述的處理要求而使傳送盒成對。因此，亦需要操作者識別成對傳送盒及將其恰當地置放於傳送盒裝載器上。

亦存在處理設備內在內部打亂在處理設備中處理晶匣的順序的情形。處置傳送盒以與相對應晶匣匹配對於操作者可能為困擾。

因此，存在經由自動化減輕對於人工工作的需求的需要。

根據本發明的一態樣，提供有一種用於處置待在處理設備下處理的標準機械介面（Standard Mechanical InterFace；SMIF）傳送盒的SMIF傳送盒處置器。所述處理設備具有輸入傳送盒裝載器及輸出傳送盒裝載器用於處置所述SMIF傳送盒中的內容，所述SMIF載體包括：安置於所述輸入傳送盒裝載器上方的上游單元；安置於所述輸出傳送盒裝載器上方的下游單元；以及連接所述上游單元與所述下游單元的橋式輸送器。操作上，多個SMIF傳送盒裝載於所述上游單元上，所述上游單元包括用以將所述SMIF傳送盒裝載於所述輸入傳送盒裝載器上及將已清空SMIF傳送盒運輸至所述橋式輸送器的輸入處置裝置，所述橋式輸送器自動地將已清空SMIF傳送盒輸送至所述下游單元，所述下游單元包括用以將所述已清空傳送盒裝載至所述輸出傳送盒裝載器上以自所述處理設備接納經處理內容的輸入處置裝置。

在一個實施例中，所述上游單元包括輸入載體緩衝單元用於在其上預載多個SMIF傳送盒及安置於所述輸入裝載器上方的輸入塔狀升降梯，所述輸入塔狀升降梯包括用於自所述輸入載體緩衝單元撿拾SMIF傳送盒的處置裝置，及用於將SMIF傳送盒裝載至其上的托架。所述輸入塔狀升降梯可進一步包括兩個層級的托架用於將所述SMIF傳送盒裝載至其上，所述頂部托架連接至所述橋式輸送器。

根據另一實施例，所述下游單元包括：輸出載體緩衝單元，其用於在其上的多個經處理SMIF傳送盒；及安置於所述輸出裝載器上方的輸入塔狀升降梯，所述輸出塔狀升降梯包括托架用於裝載經由所述橋式輸送器所運輸的SMIF傳送盒，及用於撿拾SMIF傳送盒及將所述SMIF傳送盒裝載至所述輸出裝載器上用於接納經處理內容的處置裝置。所述輸出塔狀升降梯可進一步包括兩個層級的托架用於將所述SMIF傳送盒裝載至其上，所述頂部托架連接至所述橋式輸送器。

在又另一個實施例中，所述塔狀升降梯中的每一者包括以可滑動方式安裝於滑動桿上的處置臂，其中所述滑動桿用以在所述塔狀升降梯的高度上方垂直地滑動。

在又另一個實施例中，所述橋式輸送器包括電動車輪用於輸送經裝載傳送盒。

在另一實施例中，所述上游單元包括RFID掃描儀用於讀取附接至所述SMIF傳送盒中的每一者的RFID標籤。所述下游單元亦可包括RFID掃描儀用於讀取附接至所述SMIF傳送盒中的每一者的RFID標籤。

在另一實施例中，所述橋式輸送器包括緩衝及分揀軌道，所述緩衝及分揀軌道包括：分揀批次的兩個軋輥，其沿著所述傳送盒處置器的長度延伸；梭子，其可沿著所述分揀批次的兩個軋輥之間的通道軌道移動，其中所述梭子用以在所述分揀批次的所述兩個軋輥上方以可操作方式裝載及卸載SMIF傳送盒。所述分揀批次及梭子中的每一者包含車輪輸送器，所述車輪輸送器水平地抵靠著所述緩衝及分揀軌道的長度而定向，其中其上裝載的SMIF傳送盒可在批次的所述兩個軋輥與所述梭子之間側向地輸送。所述車輪輸送器包含個別電動的直列式車輪。

現將參考隨附圖式詳細地描述本發明的實施例。應理解，藉此預期不限制本發明的範疇，正如本發明涉及的熟習此項技術者將通常想到的，涵蓋所說明裝置中的此些變更及其他修改及如本文中所說明的本發明的原理的此等其他應用。

本發明提供一種全面附加系統，其提供對大數目個SMIF傳送盒的處置自動化。圖1及圖2說明根據本發明的一實施例的SMIF傳送盒處置器100的前透視圖及後透視圖。SMIF傳送盒處置器100用於提供對晶圓處理的自動SMIF傳送盒101分配及緩衝管理。處置器100包括上游單元102、下游單元104以及連接上游單元102與下游單元104的橋式輸送器106。操作上，多個SMIF傳送盒101裝載於上游單元102處，且隨後經由橋式輸送器106被輸送至下游單元104。需要SMIF處置器100用以處置至少8個傳送盒緩衝器或更多。藉由SMIF傳送盒處置器100，操作者可將更多數目個傳送盒裝載至處置器上，藉此處置器在實質上無人工交互的情況下管理傳送盒自動地自處理設備的上游至下游的順序及處置。隨著處置器100經調適有更多空間以使傳送盒待命以供處理，操作者可在晶匣被處理時執行其他任務。

仍參考圖2，上游單元102包括輸入載體緩衝單元122、輸入SMIF傳送盒裝載器124及輸入塔狀升降梯126。輸入載體緩衝單元122為開始點，其中操作者將SMIF裝載於其上。其包括將裝載於其上的SMIF傳送盒101朝向另一末端輸送的輸送器軌道152。在本實施例中，如所繪示，輸送器軌道152包括滾輪用於將傳送盒自一個末端運輸至另一末端。取決於可用空間，輸入載體緩衝單元122允許多個SMIF傳送盒101預載於其上以供較佳地按先入先出（first in first out；FIFO）順序進行處理。

接近輸入載體緩衝單元122的末端的是SMIF傳送盒裝載器124，藉此自動地將SMIF傳送盒101中的內容（意即，晶圓晶匣）轉移至處理設備。如之前所提及，當前處理通常需要兩個傳送盒裝載器用於處置兩個傳送盒。SMIF傳送盒裝載器124為用於將SMIF傳送盒內所裝載的內容轉移至處理設備的設備。其亦通常稱為傳送盒裝載器介面（pod loader interface；PLI）。此PLI可為建構至晶圓處理設備中的裝載/重新裝載模組，或其可為用以結合晶圓處理設備工作的介接附加件。通常，PLI亦包含用以將內容轉移至處理設備中的機械，諸如機器人手臂。各種設計及組態可市購且在此項技術中熟知，因此，除非出於本申請案的目的而需要，否則本文中不提供特定細節。如在本實施例中所說明，傳送盒裝載器124並不配備有提昇臂以移除蓋板，這是因為打開蓋板是藉由輸入塔狀升降梯126處置，此將稍後更詳細地進行描述。在另一實施例中，傳送盒裝載器可裝備有傳送盒蓋板升降機。操作上，由操作者逐個地裝載於輸入載體緩衝單元122上的SMIF傳送盒101將被運輸至另一末端，且只要輸入傳送盒裝載器124空，則將SMIF傳送盒101傳輸至裝載器124用於自其移除內容。一旦移除SMIF傳送盒101中的內容，則藉由橋式輸送器106提昇已清空傳送盒101。

輸入塔狀升降梯126經組態為高層框架158，且其用以將SMIF傳送盒101提昇至SMIF傳送盒裝載器125上方的托架上以供待命。所述托架在至少兩個層級154中經組態有在各層級上舉起多個SMIF傳送盒的能力。各托架亦包括導引軌道152，其具有輸送器車輪用於沿著導引軌道152運輸傳送盒101。導引軌道用作保持區域或緩衝區域以供使傳送盒待命以供處置。

仍參考圖2，取決於SMIF傳送盒的組態，輸入塔狀升降梯126可提供適合的致動臂或載體框架，用於將傳送盒自一個位置提昇及輸送到另一位置。在一個說明性實例中，輸入塔狀升降梯126包括以可操作方式升高超過及降低低過輸入塔狀升降梯126的框架158的高度的可移動軌道156。可移動軌道進一步包含挑選裝置159，其可沿著塔狀升降梯的寬度（意即可移動軌道156的長度）移動。此使得其能夠抓放於塔的框架158內框定的任何位置內。在所說明實例中，挑選裝置159包括經組態以與SMIF傳送盒101嚙合的一對叉。在一個實施例中，所述對叉可側向地遠離/朝向彼此移動。所述對叉經導引以停放於SMIF傳送盒的兩側上，且一旦其朝向彼此移動，則其緊緊抓住SMIF傳送盒101的蓋板。

在一個實施例中，各SMIF傳送盒101加有射頻識別（Radio Frequency Identity；RFID）標籤（未繪示），藉此SMIF處置器100亦裝備有RFID掃描儀（未繪示）。在一個替代實施例中，RFID掃描儀定位於上游單元102處。更確切而言，RFID掃描儀可定位於輸入載體緩衝單元122處以掃描ID，且僅經驗證及成對傳送盒裝載至傳送盒裝載器124以供進一步處理。無法驗證或成對的SMIF傳送盒將由操作者手動地移除。

很好地理解的是，RFID標籤用以識別傳送盒。亦可使用其他識別標籤，例如，條碼或任何2D矩陣碼，或亦可與此一起使用智慧型晶片或智慧型標籤或類似者。

藉由上述組態，可一個接另一個自輸入載體緩衝單元122的裝載盤裝載若干SMIF傳送盒，且將其輸送至輸入載體緩衝單元122的提昇末端。當傳送盒101穿過輸入載體緩衝單元122的軌道152時，出於識別掃描各傳送盒。另一方面，無法驗證的傳送盒將由操作者手動地移除。通過驗證及成對（用於雙傳送盒處理設備）的傳送盒將被輸送至輸入載體緩衝單元122的另一末端以待命。

當傳送盒到達軌道152的末端時，當並不佔用傳送盒裝載器時，優先考慮通過挑選裝置提昇經裝載傳送盒101且將其運輸至輸入傳送盒裝載器124。一旦其裝載至輸入傳送盒裝載器124上，則打開傳送盒蓋板以展現內容（意即，晶圓及晶匣），且將其內容轉移至處理設備以供進一步處理。在自傳送盒移除內容之後，接著將已清空傳送盒提昇至緩衝區域。

當傳送盒101到達軌道152的末端同時佔用輸入傳送盒裝載器124時，將傳送盒自頂部托架至底部托架運輸至輸入塔狀升降梯的托架以供待命。

接著將已清空傳送盒自輸入裝載器輸送至橋式輸送器106上。經由橋式輸送器106，將傳送盒輸送至下游單元104。在一個實施例中，橋式輸送器106包括電動化輸送器車輪用於將傳送盒自一個末端運輸至另一末端。應注意，應根據無塵室環境ISO14644:1等級5標準或更佳而建構完整載體單元100。

仍參考圖1及圖2，下游單元104建構為與上游單元102實質上相同的組態，惟其經組態以在反向流程中操作除外。下游單元104包括輸出塔狀升降梯146、輸出傳送盒裝載器144以及輸出緩衝載體單元142。

已清空傳送盒自上游單元102輸送，並置放於輸出塔狀升降梯146的緩衝區域（意即，托架）處。已清空傳送盒接著自其提昇且裝載至輸出傳送盒裝載器144上用於重新裝載有其相對應晶匣。類似地，當傳送盒101裝載至輸出傳送盒裝載器上時，自動地在傳送盒裝載器144上打開傳送盒蓋板，藉此將經處理內容（意即，晶圓晶匣）重新裝載至相對應傳送盒上，且一旦重新裝載，則再次覆蓋傳送盒。接著提昇重新裝載的傳送盒且將其運輸至輸出緩衝載體單元142的軌道164。在輸出緩衝載體單元142處，再次藉由部署於輸出緩衝載體單元142上的掃描儀出於載體ID而掃描各傳送盒。載體ID可顯示於HMI監視器（未繪示）上，以易於由操作者進行卸載。

圖3繪示根據本發明的一實施例的載體100的挑選裝置的特寫視圖。挑選裝置300安裝於輸入塔狀升降梯126及輸出塔狀升降梯146上。挑選裝置300包括電動化水平滑動阻件302、電動化垂直滑動阻件304以及一對載體臂306。電動化水平滑動阻件302及垂直滑動阻件302兩者安置於橫跨塔狀升降梯的支撐框架的內部寬度而附接的滑動桿上。電動化水平滑動阻件302附接於滑動桿150的本體長度上，其中操作上，其可經由電動化阻件沿著滑動桿150的長度滑動。電動化垂直滑動阻件304可安裝於滑動桿150的兩個末端上，以在塔狀升降梯的框架上支撐滑動桿150，塔狀升降梯允許滑動桿150沿著塔狀升降梯的高度垂直地移動。在電動化水平滑動阻件302上進一步支撐載體臂306，電動化水平滑動阻件302允許載體臂306亦可沿著滑動桿150的本體長度移動。此組態允許載體臂306可在塔狀升降梯的框架內的任何位置中移動。因此，其能夠在載體系統100內的任何位置中裝載及卸載SMIF傳送盒。

在本發明的一個實施例中，載體臂306可用作用以保護其處置的設備的故障防護類型機構。合乎需要地其包括預計與SMIF傳送盒101嚙合的延伸臂。

圖4說明根據本發明的一實施例的SMIF傳送盒處置器400。SMIF傳送盒處置器400具有與圖1的傳送盒處置器100類似的組態，惟輸送器橋經組態有緩衝及分揀軌道410除外。緩衝及分揀軌道410包括梭子412，梭子412可沿著自上游單元402延伸至下游單元404的通道軌道414移動，其中分揀批次的兩個軋輥416、418沿著處置器400的長度延伸。梭子412及分揀批次中的每一者包括車輪輸送器，車輪輸送器抵靠著緩衝及分揀軌道410的長度而水平地定向，其方式使得裝載於其上的物件可側向地經由通道軌道414輸送於批次的兩個軋輥與梭子之間。在一個實施例中，各車輪輸送器包括安置於車輪輸送器的兩側上的個別電動的直列式車輪。

操作上，輸入塔狀升降梯上的挑選裝置撿拾SMIF傳送盒101且將其向上升高且將其裝載於初始裝載批次上。一旦其裝載於其上，則梭子412橫跨通道軌道414的長度滑動，且返回至初始裝載批次。一旦梭子412鄰近初始裝載批次而對準，則驅動個別滾輪以側向地朝向梭子412運輸SMIF傳送盒101。類似地，亦驅動個別滾輪以接納SMIF傳送盒101。一旦SMIF傳送盒適當地裝載於梭子412上，則梭子412縱向行進以與指定批次對準且將SMIF傳送盒自其卸載至指定批次。在此之後，在需要特定SMIF傳送盒時，梭子412行進至相對應批次且接納所需SMIF傳送盒。一旦其適當地裝載於梭子412上，則梭子412行進至通道軌道的末端且將其卸載至卸載盤417上。輸出塔狀升降梯上的挑選裝置將接著自其提昇SMIF傳送盒，且運輸至下游單元404上的輸出傳送盒裝載器以重新裝載有晶圓晶匣。

具有緩衝及分揀軌道410的傳送盒處置器400在更多緩衝空間以供處置更多SMIF傳送盒方面提供優點，且其對於在處理設備處打亂晶匣順序的情況下處置SMIF傳送盒以與對應晶圓晶匣匹配方面具有更大靈活性。

自輸入載體緩衝單元122，至輸入塔狀升降梯126的托架，至輸送器橋106，至輸出塔狀升降梯146的托架至輸出載體緩衝單元142，SMIF載體100提供相對相當大量的額外緩衝以供處置SMIF傳送盒。另外，一旦裝載了SMIF傳送盒，則自動地自處理設備的上游至下游處置SMIF傳送盒。其提供較佳的時間管理、釋放更多層空間以及在操作活動期間較佳地隔離SMIF載體的優點。

儘管已描述且說明特定實施例，但當然可在不背離本發明的範疇的情況下對本發明作出許多改變、修改、變化以及其組合。

100、400‧‧‧標準機械介面（SMIF）傳送盒處置器/處置器/SMIF處置器/傳送盒處置器/載體單元/載體/載體系統/SMIF載體

101‧‧‧標準機械介面（SMIF）傳送盒/傳送盒

102、402‧‧‧上游單元

104、404‧‧‧下游單元

106‧‧‧橋式輸送器/輸送器橋

122‧‧‧輸入載體緩衝單元

124‧‧‧輸入標準機械介面（SMIF）傳送盒裝載器/傳送盒裝載器/裝載器/標準機械介面（SMIF）傳送盒裝載器

125‧‧‧標準機械介面（SMIF）傳送盒裝載器

126‧‧‧輸入塔狀升降梯

142‧‧‧輸出緩衝載體單元

144‧‧‧輸出傳送盒裝載器/傳送盒裝載器

146‧‧‧輸出塔狀升降梯

150‧‧‧滑動桿

152‧‧‧輸送器軌道/導引軌道/軌道

154‧‧‧層級

156‧‧‧可移動軌道

158‧‧‧框架

159、300‧‧‧挑選裝置

164‧‧‧軌道

302‧‧‧電動化水平滑動阻件

304‧‧‧電動化垂直滑動阻件

306‧‧‧載體臂

410‧‧‧緩衝及分揀軌道

412‧‧‧梭子

414‧‧‧通道軌道

416、418‧‧‧軋輥

417‧‧‧卸載盤

圖1說明根據本發明的一實施例的SMIF傳送盒載體系統的前透視圖。 圖2說明圖1的SMIF傳送盒載體系統的後透視圖。 圖3說明根據本發明的一實施例的挑選裝置的特寫視圖。 圖4說明根據本發明的一實施例的SMIF傳送盒處置器的後透視圖。

Claims (12)

1. 一種用於處置待在處理設備下處理的標準機械介面（SMIF）傳送盒的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述處理設備具有輸入傳送盒裝載器及輸出傳送盒裝載器用於處置所述標準機械介面傳送盒中的所述內容，所述標準機械介面載體包括： 上游單元，其安置於所述輸入傳送盒裝載器上方； 下游單元，其安置於所述輸出傳送盒裝載器上方；以及 橋式輸送器，其連接所述上游單元與所述下游單元， 其中操作上，多個標準機械介面傳送盒裝載於所述上游單元上，所述上游單元包括用以將所述標準機械介面傳送盒裝載於所述輸入傳送盒裝載器上且將所述已清空標準機械介面傳送盒運輸至所述橋式輸送器的輸入處置裝置，所述橋式輸送器自動地將所述已清空標準機械介面傳送盒輸送至所述下游單元，所述下游單元包括用以將所述已清空傳送盒裝載至所述輸出傳送盒裝載器上以自所述處理設備接納所述經處理內容的輸入處置裝置。
2. 如申請專利範圍第1項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述上游單元包括： 輸入載體緩衝單元，其用於在其上預載多個標準機械介面傳送盒；以及 輸入塔狀升降梯，其安置於所述輸入裝載器上方，所述輸入塔狀升降梯包括用於自所述輸入載體緩衝單元撿拾標準機械介面傳送盒的處置裝置，及用於將標準機械介面傳送盒裝載至其上的托架。
3. 如申請專利範圍第2項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述輸入塔狀升降梯包括兩個層級的托架用於將所述標準機械介面傳送盒裝載至其上，所述頂部托架連接至所述橋式輸送器。
4. 如申請專利範圍第1項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述下游單元包括： 輸出載體緩衝單元，其用於在其上的所述多個經處理標準機械介面傳送盒；以及 輸入塔狀升降梯，其安置於所述輸出裝載器上方，所述輸出塔狀升降梯包括托架用於裝載經由所述橋式輸送器所運輸的標準機械介面傳送盒，及用於撿拾標準機械介面傳送盒及將所述標準機械介面傳送盒裝載至所述輸出裝載器上用於接納所述經處理內容的處置裝置。
5. 如申請專利範圍第4項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述輸出塔狀升降梯包括兩個層級的托架用於將所述標準機械介面傳送盒裝載至其上，所述頂部托架連接至所述橋式輸送器。
6. 如申請專利範圍第2項或第4項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述塔狀升降梯中的每一者包括以可滑動方式安裝於滑動桿上的處置臂，其中所述滑動桿用以在所述塔狀升降梯的高度上方垂直地滑動。
7. 如申請專利範圍第1項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述橋式輸送器包括電動車輪用於輸送經裝載傳送盒。
8. 如申請專利範圍第1項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述上游單元包括RFID掃描儀用於讀取附接至所述標準機械介面傳送盒中的每一者的RFID標籤。
9. 如申請專利範圍第1項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述下游單元包括RFID掃描儀用於讀取附接至所述標準機械介面傳送盒中的每一者的RFID標籤。
10. 如申請專利範圍第1項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述橋式輸送器包括緩衝及分揀軌道，所述緩衝及分揀軌道包括： 分揀批次的兩個軋輥，其沿著所述傳送盒處置器的長度延伸；以及 梭子，其可沿著所述分揀批次的兩個軋輥之間的通道軌道移動，其中所述梭子用以在所述分揀批次的所述兩個軋輥上方以可操作方式裝載及卸載標準機械介面傳送盒。
11. 如申請專利範圍第10項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述分揀批次及所述梭子中的每一者包括車輪輸送器，所述車輪輸送器水平地抵靠著所述緩衝及分揀軌道的長度而定向，其中其上裝載的標準機械介面傳送盒可在所述批次的兩個軋輥與所述梭子之間側向地輸送。
12. 如申請專利範圍第11項所述的標準機械介面傳送盒處置器，其中所述車輪輸送器包括個別電動的直列式車輪。