TWM462861U - 鏡頭調整機構及其光學檢測裝置 - Google Patents

Description

鏡頭調整機構及其光學檢測裝置

本創作為一種調整機構與檢測裝置，尤其是指一種藉由調整機構直接調整鏡頭容置座進行位移運動的鏡頭調整機構以及光學檢測裝置。

習用之晶圓測試係透過一探針卡接觸位於晶圓上之金屬銲墊，藉由探針卡傳遞並量測來自測試機的測試訊號，藉以獲知積體電路每一製程、步驟之間的連線可靠度和導通性，並可快速地判讀或改正造成電路缺陷的製程參數或步驟，進一步提升製程良率(yield)。

一般而言，如第1圖所示，該圖係為習用之晶圓測試機構示意圖，在習用技術中，該晶圓測試機構具有一座體4，其上具有複數個通孔41。每一個通孔41分別容置有一鏡頭容置座31。每一鏡頭容置座31內具有凹槽，以提供一鏡頭32以螺牙321與該凹槽內部相螺接。在習用技術中，存在幾個待解決的問題，首先為調整鏡頭不易，由於鏡頭具有焦距，因此在檢測過程中需要調整鏡頭的焦距才可以產生清晰的影像，不過習用技術要對鏡頭焦距進行微調時需要藉由鏡頭32表面與容置座31間之螺牙321的協助來改變鏡頭32在垂直方向的位置，這使得調整的手續變得相當不方便，進而會影響檢測的效率。其次由於鏡頭容置座31凹槽之壁面的螺牙與鏡頭32本身的螺牙間具有背隙之故，因此往往會造成鏡頭位置調整上的誤差，而影響 光學成像之效果。

綜合上述，因此亟需一種鏡頭調整機構以及光學檢測裝置來解決習用技術所產生之問題。

本創作之一目的在提供一種鏡頭調整機構及其光學檢測裝置，藉由一位置調整機構所具有之螺牙以及鏡頭容置座頂部至少一對調整槽的設置，再透過調整治具來調整鏡頭容置座之位置，以簡化調整鏡頭容置座位置之方式。

本創作之一目的在提供一種鏡頭調整機構及其光學檢測裝置，具有一位置調整機構以調整鏡頭容置座之位置，其中位置調整機構利用受到預壓力之彈性體產生作用力於鏡頭容置座上進而消除螺牙背隙，使得鏡頭容置座之位置調整更精確。

本創作之一目的在提供一種鏡頭調整機構及其光學檢測裝置，具有一位置調整機構以調整鏡頭容置座之位置，其中位置調整機構透過一側向定位螺以及齒槽的組合產生定位與位置移動控制的效果。

本創作之一目的在提供一種鏡頭調整機構及其光學檢測裝置，具有一位置調整機構以調整鏡頭容置座之位置，其中位置調整機構利用提高螺牙咬合率之設計或者是在螺接的螺牙之間塗佈膠材的方式，來消除螺牙背隙，使得鏡頭容置座之位置調整更精確。

為了達到上述之目的，本創作提供一種鏡頭調整機構，包括一座體、至少一鏡頭容置座以及至少一位置調整 部。該座體，其係具有至少一通孔。該至少一鏡頭容置座，其係分別容置於該至少一通孔內，每一鏡頭容置座具有一容置槽。至少一位置調整部，其係分別對應每一通孔以及每一鏡頭容置座且與該座體以及對應之鏡頭容置座相耦接，每一位置調整部使對應的該鏡頭容置座於於對應之通孔內進行一位置調整運動。

為了達到上述之目的，本創作提供一種光學檢測裝置，包括一座體、至少一鏡頭容置座、至少一位置調整部以及至少一探針模組。該座體，其係具有至少一通孔。該至少一鏡頭容置座，其係分別容置於該至少一通孔內，每一鏡頭容置座具有一容置槽，以提供容置一鏡頭。至少一位置調整部，其係分別對應每一通孔以及每一鏡頭容置座且與該座體以及對應之鏡頭容置座相耦接，每一位置調整部使對應的該鏡頭容置座於於對應之通孔內進行一位置調整運動。該至少一探針模組，其係設於該座體底面，且分別與該至少一鏡頭容置座相對應，每一探針模組具有複數個探針。

其中，在一實施例中，每一鏡頭容置座之容置槽口外圍一凸體，該位置調整部更具有一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；一第二螺牙，其係形成於該鏡頭容置座之表面以與該第一螺牙相螺接；以及一彈性體，其係具有一中空部以提供該鏡頭容置座通過而與對應之通孔相螺接，該彈性體之一端抵靠於該座體上而另一端則抵靠於該凸體上。

在另一實施例中，每一鏡頭容置座之一端具有一凸 體，其上具有複數個貫孔，該座體於對應每一鏡頭容置座之通孔外圍更具有複數個螺孔其係分別與該複數個貫孔對應，該位置調整部更具有：複數個彈性體，其係分別設置於該凸體與該座體之間，且分別對應其中之一螺孔與貫孔；以及複數個調整螺絲，其係分別與該複數個貫孔相對應，每一調整螺絲通過對應的貫孔以及對應的彈性體以與對應的螺孔相螺接。

在又一實施例中，該位置調整部更具有：至少一對調整槽，其係形成於該凸體之表面，且分別對稱設置於該容置槽之槽口外側；一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；一第二螺牙，其係形成於該鏡頭容置座之表面以與該第一螺牙相螺接；以及一彈性體，其係具有一中空部以提供該鏡頭容置座通過而與對應之通孔相螺接，該彈性體之一端抵靠於該座體上而另一端則抵靠於該凸體上。

在一實施例中，該鏡頭容置座於該容置槽之槽口外圍的頂面上更具有至少一對調整槽，分別對稱設置於該容置槽之槽口外側，該位置調整部更具有：一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；以及一第二螺牙，其係形成於該鏡頭容置座之表面以與該第一螺牙相螺接，其中該第一螺牙與該第二螺牙間更塗佈有一膠材。

在一實施例中，該鏡頭容置座之表面係被分成一第一區以及一第二區，該通孔之壁面上開設有一螺孔其係於與該通孔軸向相垂直的方向上貫通該座體而於該座體之側表面具有一開口，該位置調整部更具有：至少一對調整槽，其係形成於該鏡頭容置座之上表面，且分別對稱設置於該 容置槽之槽口外側；一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；一第二螺牙，其係形成於該第一區上以與該第一螺牙相螺接；複數個齒槽，其係環設於該第二區上；以及一調整螺絲，其係經由該開口螺設於該螺孔內，該調整螺絲之一端係抵靠於其中之一齒槽內。

請參閱第2A圖與第2B圖所示，該圖係為本創作之鏡頭調整機構第一實施例立體分解與組合剖面示意圖。該鏡頭調整機構2，包括有一座體20以及一鏡頭容置座21。該座體20具有一凹槽200，凹槽200內具有一通孔201貫通整個座體20。要說明的是，凹槽200僅為本實施例所示的結構，但非以一定要具有凹槽200為限制。該通孔201之外圍具有法蘭(flange)結構202。該鏡頭容置座21，其係容置於該通孔201內，每一鏡頭容置座21具有一容置槽210以及一凸體211。該容置槽210提供容置一鏡頭23。本實施例中，該容置槽210所具有之壁面與其所在之鏡頭容置座21之外壁間的厚度D範圍為0.5mm≦D≦1.5mm。該凸體211，在本實施例係為環設於該容置槽210槽口外圍的環狀凸體。

該位置調整部22，其係分別與該鏡頭容置座21以及該通孔201相耦接，使該鏡頭容置座21於與該通孔201內進行一位置調整運動，在本實施例中，該位置調整運動為Z軸向位移運動。該位置調整部22在本實施例中，包括有一第一螺牙220、一第二螺牙221以及一彈性體222。該第一螺牙220係形成於對應通孔201之內壁表面。該第二螺牙221係形成 於該鏡頭容置座21之表面以與該第一螺牙220相螺接。該彈性體222，其係具有一中空部2220以提供該鏡頭容置座21具有第二螺牙221之部分通過而與對應之通孔201內之第一螺牙220相螺接，該彈性體222之一端抵靠於該座體20之法蘭結構202上而另一端則抵靠於該凸體211上。本實施例中，該彈性體222係為彈簧。當該鏡頭容置座21與該座體20相螺接時，可以使該彈性體222蓄積一預壓力。

由於鏡頭容置座21之第二螺牙221與通孔201內的第一螺牙220螺接，因此可以透過順時針或者是逆時針旋轉該鏡頭容置座21，使得該鏡頭容置座21向下或者是向上移動，進而可以改變在鏡頭容置座21內鏡頭23的焦距位置。再者，由於該彈性體222可以在鏡頭容置部21螺接於該通孔201內時受到鏡頭容置部21的凸體211的拘束，而產生預壓之彈性力作用在該鏡頭容置部21以及座體20上。該彈性力可以使得第一螺牙220與第二螺牙221緊密螺接在一起，而消除第一螺牙220與第二螺牙221間的背隙，使得該位置調整運動在不受背隙影響下，更準確的改變鏡頭容置部21的位置。

請參閱第3圖所示，該圖係為本創作之鏡頭調整機構另一實施例立體示意圖。在本實施例中，鏡頭調整機構2a所具有之座體20a與鏡頭容置座21a的結構基本上與第2A圖類似，差異的是該鏡頭容置座21a上的凸體211上更開設有複數個貫孔212。而該座體20a於對應每一鏡頭容置座21a之通孔201外圍的法蘭結構202上更具有複數個螺孔203其係分別與該複數個貫孔212對應。此外，在本實施例中，該位置 調整部22a係由複數個彈性體222以及複數個調整螺絲223所構成。該複數個彈性體222，其係分別設置於該凸體211與該座體20a之間，且分別對應其中之一螺孔203與貫孔212。該複數個調整螺絲223，其係分別與該複數個貫孔212相對應，每一調整螺絲223通過對應的貫孔212以及對應的彈性體222而與對應的螺孔203相螺接。該鏡頭容置座21a之凸體211下方的柱狀結構213係滑設於該通孔201的壁面上。每一容置槽所具有之壁面與其所在之鏡頭容置座之外壁間的厚度範圍為0.5mm≦D≦1.5mm。

接下來說明第3圖實施例的運作方式，當該複數個調整螺絲223同時向第一方向轉動時(本實施例為順時針)，可以提供下壓的力量於該鏡頭容置座21a上，使得鏡頭容置座21a向下移動到預定的位置。此時，該鏡頭容置座21a的凸體211以及該座體20a提供給該複數個彈性體222一個預壓力，而使得彈性體222蓄積一反向的作用力。另外，也藉由該反向作用力，可以消除該調整螺絲223與螺孔203間的背隙，以提升位置調整的準確度。反之，當複數個調整螺絲223同時向第二方向轉動時(本實施例為逆時針)，藉由彈性體222所蓄積的作用力，可以提供向上的力量於該鏡頭容置座21a上，使得鏡頭容置座21a的管體結構213在無背隙影響的情況下，於該通孔201內向上移動到預定的位置。透過複數個調整螺絲223順時針或逆時針的轉動，以改變該鏡頭容置座21a在Z軸方向的位置。

請參閱第4圖所示，該圖係為本創作之鏡頭調整機構又一實施例立體示意圖。在本實施例中，鏡頭調整機構2b所 具有之位置調整部22b包括有兩對調整槽224a與224b、一第一螺牙220、一第二螺牙221以及一彈性體222b。該兩對調整槽224a與224b，其係形成於該凸體211之表面，且分別對稱設置於該容置槽210之槽口外側。該第一螺牙220，其係形成於該通孔201之內壁表面。該第二螺牙221，其係形成於該鏡頭容置座21b之表面以與該第一螺牙220相螺接。本實施例中，該第二螺牙221係形成於該凸體211下方的柱狀結構上。該彈性體222b，其係具有一中空部2220以提供該鏡頭容置座21b通過而與對應之通孔201相螺接，該彈性體222b之一端面抵靠於該座體20b之法蘭結構202上而另一端面則抵靠於該凸體211上。本實施例中，該彈性體222b係為一波狀彈簧，具有翹曲的表面。每一容置槽所具有之內壁面與其所在之鏡頭容置座之外壁間的厚度範圍為0.5mm≦D≦1.5mm。

接下來說明第4圖實施例的運作方式，由於在本實施例中具有兩對調整槽224a與224b，因此可以透過調整治具與該兩對調整槽224a與224b相耦接，施以順時針或逆時針方向的轉動，使用者可以容易地控制該鏡頭容置座21b在Z軸向下或向上移動。要說明的是在本實施例中，雖然有兩對調整槽224a與224b，但不以該兩對為限制，例如本領域之人可以根據本實施例之精神以一對調整槽來實施。如果在一對調整槽之情況下，使用者可以用調整治具來與該對調整槽耦接，進而轉動該鏡頭容置座21b。一般而言，調整治具的種類繁多，在此並不作限制，例如十字型或一字型治具等。

當該鏡頭容置座21b向第一方向轉動時(本實施例為順時針)，可以直接藉由第一螺牙220以及第二螺牙221的螺合，使得鏡頭容置座21b向下移動到預定的位置。由於本實施例中的彈性體222b為波形彈簧，其表面具有翹曲面，因此，該鏡頭容置座21b的凸體211以及該座體20b提供給該彈性體222b之翹曲面一個預壓力，而使得彈性體222b蓄積一反向的作用力，進而可以消除第一螺牙220與第二螺牙221間的背隙，使得位置調整可以更精確。反之，當該鏡頭容置座21b同時向第二方向轉動(本實施例為逆時針)，而使得該鏡頭容置座21b向上移動時，藉由彈性體222b所蓄積的作用力，可以提供上壓的力量於該鏡頭容置座21b上，使得鏡頭容置座21b在無背隙影響下準確地向上移動到預定的位置。

請參閱第5圖所示，在本實施例中，基本上與第4圖所示的實施例相似，差異的是，本實施例中，在該彈性體222b與該座體20b之間更具有一調整墊片24。該調整墊片24之目的可以改變該鏡頭容置座21b之移動行程，控制向下移動死點的位置，以避免鏡頭容置座21b向下移動過量，而與用來檢測晶片的探針相互干涉。至於該調整墊片的材質可以根據需要而定，並無一定之限制。

請參閱第6A圖所示，該圖係為本創作之鏡頭調整機構另一實施例立體示意圖。在本實施例中，該鏡頭調整機構2c具有座體20c、一鏡頭容置座21c以及一位置調整部22c。本實施例中，該鏡頭調整座21c係為柱體結構，具有一容置槽210。該位置調整部22c包括有兩對調整槽224c與224d、 一第一螺牙220、一第二螺牙221。該兩對調整槽224c與224d，其係形成於該鏡頭容置座21c之上表面，且分別對稱設置於該容置槽210之槽口外側。該第一螺牙220，其係形成於該通孔201之內壁表面。該第二螺牙221，其係形成於該鏡頭容置座21c之表面以與該第一螺牙220相螺接。本實施例中，並沒有借助如第2A圖或第3圖至圖5的彈性體結構，而是透過增加第一螺牙220與第二螺牙221之間的咬合率或者是在第一螺牙220與第二螺牙221之間塗佈膠材，例如：耐落螺絲膠，以降低螺牙之間的背隙，進而提升位置調整移動的精確度。在另一實施例中，也可以透過鏡頭容置座21c以及座體20c以不同材質製作，例如工程塑膠或其他金屬，來達到提升螺牙咬合率的效果。在本實施例中，可以使鏡透容置座21c與座體20c兩個材質的硬度不同，例如：該座體之硬度大於該鏡頭容置座之硬度或者是該座體之硬度小於該鏡頭容置座之硬度，以增加螺牙之咬合率。每一容置槽所具有之內壁面與其所在之鏡頭容置座之外壁間的厚度範圍為0.5mm≦D≦1.5mm。

接下來說明第6A圖實施例的運作方式，由於在本實施例中具有兩對調整槽224c與224d，因此可以透過十字型調整治具與該兩對調整槽224c與224d相耦接，施以順時針或逆時針方向的轉動，使用者可以容易地控制該鏡頭容置座21c在Z軸向上或向下移動。要說明的是在本實施例中，雖然有兩對調整槽224c與224d，但不以該兩對為限制，例如本領域之人可以根據本實施例之精神以一對調整槽來實施。如果在一對調整槽之情況下，使用者可以用一字型調 整治具來與該對調整槽耦接，進而轉動該鏡頭容置座21c。此外，本實施例也可以減少法蘭結構202的寬度，進而縮小整體鏡頭調整機構2c的體積。本實施例中，該鏡頭容置座21c結構並沒有第5圖鏡頭容置座21b的凸體211，也沒有使用彈性體222b，因此，也可去除法蘭結構202的設計。

請參閱第6B圖所示，該圖係為本創作之鏡頭調整機構另一實施例立體示意圖。在本實施例中，該鏡頭調整機構2d具有座體20d、一鏡頭容置座21d以及一位置調整部22d。在本實施例中，該座體20d、鏡頭容置座21d以及位置調整部22d的結構基本上與第6A圖的實施例類似，差異在於本實施例的鏡頭容置座21d之表面更分為第一區216以及一第二區217，其中該位置調整部22d具有複數個開槽226，其係分別形成於鏡頭容置座21d在該第一區216之本體上，使該第一區216之鏡頭容置座21d形成複數個向外側撐開之螺牙咬合調整部218。因此，第一區216之第二螺牙221的外徑是由上方向下方逐漸縮小，而第二區217的第二螺牙221的外徑則是維持不變。

接下來說明第6B圖實施例的運作方式，在本實施例中具有兩對調整槽224c與224d，其運作原理如前述第6A圖之實施例所述，在此不作贅述。由於本實施例的鏡頭容置座21d上的第二螺牙221分成第一區216以及第二區217，以及第一區216的第二螺牙221外徑大於第二區217之第二螺牙221，因此當鏡頭容置座21d在一開始透過第二區217之第二螺牙221與第一螺牙220螺接鎖固時，隨著鏡頭容置座21d的下向移動，使得螺牙咬合調整部218(第一區216)的第二 螺牙221與該第一螺牙220螺接時，由於螺牙咬合調整部218原先是向外側撐開，因此隨著鏡頭容置座21d的向下移動，螺牙咬合調整部218會被通孔201所拘束而向鏡頭容置座21d槽口210內被推擠，此時開槽226提供被推擠所需的緩衝空間，藉由推擠的作用使得每一個螺牙咬合調整部218也產生向外的推力作用於通孔201上，進而使得第二螺牙221可以與第一螺牙220緊密咬合，使得鏡頭容置座21d在上下移動時，可以避免螺牙之間的背隙誤差的影響，進而提升位置調整移動的精確度。

請參閱第6C圖所示，該圖係為本創作之鏡頭調整機構另一實施例立體示意圖。在本實施例中，該鏡頭調整機構2e具有座體20e、一鏡頭容置座21e以及一位置調整部22e。在本實施例中，該座體20e、鏡頭容置座21e以及位置調整部22e的結構基本上與第6A圖的實施例類似，差異在於本實施例的該位置調整部22e更具有一撓性環227，例如：O形環，但不以此為限，其係套設於該鏡頭容置座21e上，位於該第二螺牙221之最上方。該撓性環227之外徑D1大於對應凹槽200的內壁口徑D2。

接下來說明第6C圖實施例的運作方式，在本實施例中具有兩對調整槽224c與224d，其運作原理如前述第6A圖之實施例所述，在此不座贅述。當第二螺牙221與通孔201之第一螺牙220螺接，而將該鏡頭容置座21e藉由順時針轉動，使得鏡頭容置座21e向下移動時，該撓性環227隨著鏡頭容置座21e向下移動而與該凹槽200之壁面相接觸。隨著鏡頭容置座21e繼續向下移動，撓性環227被該凹槽200壓縮 變形而與凹槽200密接，被壓縮的撓性環227產生反向的彈力推擠凹槽200，使得鏡頭容置座21e與座體20e緊密接合。因此當在撓性環227與該凹槽200密接的狀態下，鏡頭容置座21e在上下移動時，透過撓性環227的作用，可以降低第一螺牙220與第二螺牙221背隙，進而使得該鏡頭容置座21e在上下移動時的位置可以得到準確的控制。

另外要說明的是，雖然第2A圖至第6C圖所示的實施例中，該座體上僅具有單一個鏡頭調整機構，但是實際上並不以圖示之態樣為限制，在其他的實施例中，可以根據需要以及本創作的精神在同一座體上設置複數個鏡頭調整機構。

請參閱第7圖所示，該圖係為本創作之鏡頭調整機構再一實施例立體示意圖。在本實施例中，該鏡頭調整機構2f具有一座體20f以及複數個鏡頭容置座21f。該座體20f具有複數個通孔201以分別提供容置該複數個鏡頭容置座21f。每一鏡頭容置座21f之表面係被分成一第一區214以及一第二區215，該通孔201之內壁面上開設有一螺孔204其係於與該通孔201軸向(本實施例為Z軸)相垂直的方向(本實施例為X軸)上貫通該座體20f而於該座體20f之側表面具有一開口205。該頭調整機構2f更具有複數個位置調整部22f分別用以調整每一個鏡頭容置座21f之垂直位置。每一容置槽所具有之內壁面與其所在之鏡頭容置座之外壁間的厚度範圍為0.5mm≦D≦1.5mm。

每一位置調整部22f更具有兩對調整槽224e與224f、一第一螺牙220、一第二螺牙221、複數個齒槽225以及一調整 螺絲226。該兩對調整槽224e與224f，其係形成於該鏡頭容置座21f之上表面，且分別對稱設置於該容置槽210之槽口外側。該第一螺牙220，其係形成於該通孔201之內壁上。該第二螺牙221，其係形成於該第一區214上以與該第一螺牙220相螺接。該複數個齒槽225，其係環設於該第二區215上。在本實施例中，每一齒槽225之兩側壁為斜面，而使兩側壁間具有一夾角θ。該調整螺絲226，其係經由該開口205螺設於該螺孔204內，該調整螺絲226之一端係抵靠於其中之一齒槽225內。在本實施例中，該調整螺絲226之內部具有彈簧以及在前端具有一滾珠2260，使該滾珠2260可以受壓而改變位置，而在壓力釋放後回到原位。

接下來說明第7圖實施例之運作方式，當鏡頭容置座21f螺接到對應的通孔201時，透過第一方向(本實施例為順時針)的轉動，使該鏡頭容置座21f向下移動而使得第二區215的其中一齒槽225與對應之調整螺絲226相抵靠。此時當該鏡頭容置座21f繼續向第一方向轉動時，除了藉由第一螺牙220以及第二螺牙221的螺合，使得鏡頭容置座21f向下移動外，藉由該調整螺絲226與該複數個齒槽225間的耦接關係可以產生定位與位置移動控制的效果。亦即第一方向或第二方向(本實施例為逆時針)轉動使調整螺絲226由目前抵靠的齒槽改變至抵靠下一個齒槽，代表著鏡頭容置座21f向下或向上移動一特定距離。因此藉由第一螺牙220、第二螺牙221、調整螺絲226與齒槽225的組合，使用者可以控制鏡頭容置座21f向下或向上移動的行程。

此外，在本實施例中具有兩對調整槽224e與224f，因 此可以透過十字型調整治具與該兩對調整槽224e與224f相耦接，施以順時針或逆時針方向的轉動，使用者可以容易地控制該鏡頭容置座21f在Z軸向上或向下移動。要說明的是在本實施例中，雖然有兩對調整槽224e與224f，但不以該兩對為限制，例如本領域之人可以根據本實施例之精神以一對調整槽來實施。如果在一對調整槽之情況下，使用者可以用一字型調整治具來與該對調整槽耦接，進而轉動該鏡頭容置座21f。

請參閱第8A圖與第8B圖所示，該圖係為本創作之鏡頭調整機構另一實施例立體與剖面示意圖。該光學檢測裝置5具有一座體50、複數個鏡頭容置座21、複數個位置調整部22以及複數個探針模組51。該座體50具有複數個通孔500，以提供容置該複數個鏡頭容置座21。每一個鏡頭容置座21對應有一位置調整部22，每一個鏡頭容置座21內具有一個容置槽210以提供容置鏡頭23，鏡頭容置座21與位置調整部22的結構可以選擇如第2A圖或第3-7圖所示的任一種結構，在本實施例中，係以第2A圖所示的結構來實施。該複數個探針模組51，其係設置於該座體50的底面501，且分別與每一個鏡頭容置座21相對應，每一探針模組51具有複數個探針510。在本實施例中，每一探針模組51係成ㄇ字型的結構。此外，如第9圖所示，該圖係為本創作之探針模組另一實施例示意圖。在第9圖的實施例中，探針模組51a係成菱形的口字型排列方式。要說明的是，探針模組51的結構與設置係根據需求而定，並不以本創作所示之實施例為限制。請參閱第10A圖與第10B圖所示，該圖係為本創作之探 針擺針方式示意圖。在第9圖的探針模組51a的結構下，探針模組可以有如第10A圖或第10B圖的擺針方式，其中第10A圖的擺針方式屬於懸臂式探針的擺針方式，而在菱形區域內的探針510用來與待測晶片電性接觸；至於第10B圖的擺針方式則屬於N型針之排列方式，每一探針510具有一彎折部510a與導引板52垂直的方式來擺針。

惟以上所述之具體實施例，僅係用於例釋本創作之特點及功效，而非用於限定本創作之可實施範疇，於未脫離本創作上揭之精神與技術範疇下，任何運用本創作所揭示內容而完成之等效改變及修飾，均仍應為下述之申請專利範圍所涵蓋。

2,2a,2b,2c,2d,2e,2f‧‧‧鏡頭調整機構

20,20a,20b,20c,20d,20e,20f‧‧‧座體

200‧‧‧凹槽

201‧‧‧通孔

202‧‧‧法蘭結構

203、204‧‧‧螺孔

205‧‧‧開口

21,21a,21b,21c,21d,21e,21f‧‧‧鏡頭容置座

210‧‧‧容置槽

211‧‧‧凸體

212‧‧‧貫孔

213‧‧‧柱狀結構

214,216‧‧‧第一區

215,217‧‧‧第二區

218‧‧‧螺牙咬合調整部

22,22a,22b,22c,22d,22e,22f‧‧‧位置調整部

220‧‧‧第一螺牙

221‧‧‧第二螺牙

222,222b‧‧‧彈性體

2220‧‧‧中空部

223、226‧‧‧調整螺絲

2260‧‧‧滾珠

224a,224b,224c,224d,224e,224f‧‧‧調整槽

225‧‧‧凹槽

226‧‧‧開槽

227‧‧‧撓性環

23‧‧‧鏡頭

5‧‧‧光學檢測裝置

50‧‧‧座體

500‧‧‧通孔

501‧‧‧底面

51、51a‧‧‧探針模組

510‧‧‧探針

510a‧‧‧彎折部

52‧‧‧導引板

第1圖係為習用之晶圓測試機構示意圖。

第2A圖與第2B圖係為本創作之鏡頭調整機構第一實施例立體分解與組合剖面示意圖。

第3圖係為本創作之鏡頭調整機構另一實施例立體示意圖。

第4與第5圖係為本創作之鏡頭調整機構又一實施例立體示意圖。

第6A至6C圖係為本創作之鏡頭調整機構不同實施例立體示意圖。

第7圖係為本創作之鏡頭調整機構再一實施例立體示意圖。

第8A與8B圖係為本創作之鏡頭調整機構再一實施例 立體示意圖。

第9圖係為本創作之探針模組另一實施例示意圖。

第10A與第10B圖係為本創作之探針擺針方式示意圖。

2‧‧‧鏡頭調整機構

20‧‧‧座體

200‧‧‧凹槽

201‧‧‧通孔

202‧‧‧法蘭結構

21‧‧‧鏡頭容置座

210‧‧‧容置槽

211‧‧‧凸體

22‧‧‧位置調整部

220‧‧‧第一螺牙

221‧‧‧第二螺牙

222‧‧‧彈性體

2220‧‧‧中空部

Claims (37)

1. 一種鏡頭調整機構，包括：一座體，其係具有至少一通孔；以及至少一鏡頭容置座，其係分別容置於該至少一通孔內，每一鏡頭容置座具有一容置槽；以及至少一位置調整部，其係分別對應每一通孔以及每一鏡頭容置座且與該座體以及對應之鏡頭容置座相耦接，每一位置調整部使對應的該鏡頭容置座於對應之通孔內進行一位置調整運動。
2. 如申請專利範圍第1項所述之鏡頭調整機構，其中每一鏡頭容置座之容置槽的槽口外圍一凸體。
3. 如申請專利範圍第2項所述之鏡頭調整機構，其中每一位置調整部更具有：一第一螺牙，其係形成於對應通孔之內壁；一第二螺牙，其係形成於該鏡頭容置座之表面以與該第一螺牙相螺接；以及一彈性體，其係具有一中空部以提供該鏡頭容置座通過而與對應之通孔相螺接，該彈性體之一端抵靠於該座體上而另一端則抵靠於該凸體上。
4. 如申請專利範圍第2項所述之鏡頭調整機構，其中該凸體上具有複數個貫孔，該座體於對應每一鏡頭容置座之通孔外圍更具有複數個螺孔其係分別與該複數個貫孔對應。
5. 如申請專利範圍第4項所述之鏡頭調整機構，其中每一位置調整部更具有： 複數個彈性體，其係分別設置於該凸體與該座體之間，且分別與其中之一螺孔與貫孔相對應；以及複數個調整螺絲，其係分別與該複數個貫孔相對應，每一調整螺絲通過對應的貫孔以及對應的彈性體以與對應的螺孔相螺接。
6. 如申請專利範圍第2項所述之鏡頭調整機構，其中每一位置調整部更具有：至少一對調整槽，其係形成於該凸體之表面，且分別對稱設置於該容置槽之槽口外側；一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；一第二螺牙，其係形成於該鏡頭容置座之表面以與該第一螺牙相螺接；以及一彈性體，其係具有一中空部以提供該鏡頭容置座通過而與對應之通孔相螺接，該彈性體之一端抵靠於該座體上而另一端則抵靠於該凸體上。
7. 如申請專利範圍第6項所述之鏡頭調整機構，其中該彈性體為一波形彈片。
8. 如申請專利範圍第6項所述之鏡頭調整機構，其中該彈性體與該座體間更具有一調整墊片。
9. 如申請專利範圍第1項所述之鏡頭調整機構，其中每一鏡頭容置座於該容置槽之槽口外圍的頂面上更具有至少一對調整槽，分別對稱設置於該容置槽之槽口外側。
10. 如申請專利範圍第9項所述之鏡頭調整機構，其中每一位置調整部更具有：一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；以及 一第二螺牙，其係形成於該鏡頭容置座之表面以與該第一螺牙相螺接。
11. 如申請專利範圍第10項所述之鏡頭調整機構，其中該座體之硬度大於該鏡頭容置座之硬度或者是該座體之硬度小於該鏡頭容置座之硬度。
12. 如申請專利範圍第10項所述之鏡頭調整機構，其中該鏡頭容置座之表面更分為第一區以及一第二區，該位置調整部更具有複數個開槽，其係分別形成於該鏡頭容置座對應該第一區上，使該第一區之鏡頭容置座形成複數個向外側撐開之螺牙咬合調整部。
13. 如申請專利範圍第10項所述之鏡頭調整機構，其中該位置調整部更具有一撓性環，其係套設於該鏡頭容置座上，而對應該鏡頭容置座之通孔係形成於一凹槽內，該撓性環直徑大於對應凹槽內壁的口徑，使該座體與鏡頭容置座螺接時該撓性環被該凹槽內壁壓縮而密接。
14. 如申請專利範圍第10項所述之鏡頭調整機構，其中該第一螺牙與該第二螺牙間更塗佈有一膠材。
15. 如申請專利範圍第1項所述之鏡頭調整機構，其中每一鏡頭容置座之表面係被分成一第一區以及一第二區，該通孔之內壁面上開設有一螺孔其係於與該通孔軸向相垂直的方向上貫通該座體而於該座體之側表面具有一開口。
16. 如申請專利範圍第15項所述之鏡頭調整機構，其中每一位置調整部更具有：至少一對調整槽，其係形成於該鏡頭容置座之上表面， 且分別對稱設置於該容置槽之槽口外側；一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；一第二螺牙，其係形成於該第一區上以與該第一螺牙相螺接；複數個齒槽，其係環設於該第二區上；以及一調整螺絲，其係經由該開口螺設於該螺孔內，該調整螺絲之一端係抵靠於其中之一齒槽內。
17. 如申請專利範圍第16項所述之鏡頭調整機構，其中該調整螺絲抵靠於該齒槽內之端部更具有一滾珠。
18. 如申請專利範圍第1項所述之鏡頭調整機構，其中每一容置槽所具有之壁面與其所在之鏡頭容置座之外壁間的厚度D範圍為0.5mm≦D≦1.5mm。
19. 一種光學檢測裝置，包括：一座體，其係具有至少一通孔；以及至少一鏡頭容置座，其係分別容置於該至少一通孔內，每一鏡頭容置座具有一容置槽，以提供容置一鏡頭；至少一位置調整部，其係分別對應每一通孔以及每一鏡頭容置座且與該座體以及對應之鏡頭容置座相耦接，每一位置調整部使對應的該鏡頭容置座於於對應之通孔內進行一位置調整運動；以及至少一探針模組，其係設於該座體底面，且分別與該至少一鏡頭容置座相對應，每一探針模組具有複數個探針。
20. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中每一鏡頭容置座之容置槽的槽口外圍一凸體。
21. 如申請專利範圍第20項所述之光學檢測裝置，其中每一位置調整部更具有：一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；一第二螺牙，其係形成於該鏡頭容置座之表面以與該第一螺牙相螺接；以及一彈性體，其係具有一中空部以提供該鏡頭容置座通過而與對應之通孔相螺接，該彈性體之一端抵靠於該座體上而另一端則抵靠於該凸體上。
22. 如申請專利範圍第20項所述之光學檢測裝置，其中該凸體上具有複數個貫孔，該座體於對應每一鏡頭容置座之通孔外圍更具有複數個螺孔其係分別與該複數個貫孔對應。
23. 如申請專利範圍第22項所述之光學檢測裝置，其中每一位置調整部更具有：複數個彈性體，其係分別設置於該凸體與該座體之間，且分別與其中之一螺孔與貫孔相對應；以及；以及複數個調整螺絲，其係分別與該複數個貫孔相對應，每一調整螺絲通過對應的貫孔以及對應的彈性體以與對應的螺孔相螺接。
24. 如申請專利範圍第20項所述之光學檢測裝置，其中每一位置調整部更具有：至少一對調整槽，其係形成於該凸體之表面，且分別對稱設置於該容置槽之槽口外側；一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；一第二螺牙，其係形成於該鏡頭容置座之表面以與該第 一螺牙相螺接；以及一彈性體，其係具有一中空部以提供該鏡頭容置座通過而與對應之通孔相螺接，該彈性體之一端抵靠於該座體上而另一端則抵靠於該凸體上。
25. 如申請專利範圍第24項所述之光學檢測裝置，其中該彈性體為一波形彈片。
26. 如申請專利範圍第24項所述之光學檢測裝置，其中該彈性體與該座體間更具有一調整墊片。
27. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中每一鏡頭容置座於該容置槽之槽口外圍的頂面上更具有至少一對調整槽，分別對稱設置於該容置槽之槽口外側。
28. 如申請專利範圍第27項所述之光學檢測裝置，其中每一位置調整部更具有：一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；以及一第二螺牙，其係形成於該鏡頭容置座之表面以與該第一螺牙相螺接。
29. 如申請專利範圍第28項所述之光學檢測裝置，其中該座體之硬度大於該鏡頭容置座之硬度或者是該座體之硬度小於該鏡頭容置座之硬度。
30. 如申請專利範圍第28項所述之光學檢測裝置，其中該鏡頭容置座之表面更分為第一區以及一第二區，該位置調整部更具有複數個開槽，其係分別形成於該鏡頭容置座對應該第一區上，使該第一區之鏡頭容置座形成複數個向外側撐開之螺牙咬合調整部。
31. 如申請專利範圍第28項所述之光學檢測裝置，其中該位置調整部更具有一撓性環，其係套設於該鏡頭容置座上，而對應該鏡頭容置座之通孔係形成於一凹槽內，該撓性環直徑大於對應凹槽內壁的口徑，使該座體與鏡頭容置座螺接時該撓性環被該凹槽內壁壓縮而密接。
32. 如申請專利範圍第28項所述之光學檢測裝置，其中該第一螺牙與該第二螺牙間更塗佈有一膠材。
33. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中每一鏡頭容置座之表面係被分成一第一區以及一第二區，該通孔之內壁面上開設有一螺孔其係於與該通孔軸向相垂直的方向上貫通該座體而於該座體之側表面具有一開口。
34. 如申請專利範圍第33項所述之光學檢測裝置，其中每一位置調整部更具有：至少一對調整槽，其係形成於該鏡頭容置座之上表面，且分別對稱設置於該容置槽之槽口外側；一第一螺牙，其係形成於該通孔之內壁；一第二螺牙，其係形成於該第一區上以與該第一螺牙相螺接；複數個齒槽，其係環設於該第二區上；以及一調整螺絲，其係經由該開口螺設於該螺孔內，該調整螺絲之一端係抵靠於其中之一齒槽內。
35. 如申請專利範圍第34項所述之光學檢測裝置，其中該調整螺絲抵靠於齒凹槽內之端部更具有一滾珠。
36. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中該 複數個探針之排列方式係為CPC排列方式或者是N型針排列方式。
37. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中每一容置槽所具有之壁面與其所在之鏡頭容置座之外壁間的厚度D範圍為0.5mm≦D≦1.5mm。