KR101689505B1 - 스테이지 장치 - Google Patents

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KR101689505B1
KR101689505B1 KR1020160080423A KR20160080423A KR101689505B1 KR 101689505 B1 KR101689505 B1 KR 101689505B1 KR 1020160080423 A KR1020160080423 A KR 1020160080423A KR 20160080423 A KR20160080423 A KR 20160080423A KR 101689505 B1 KR101689505 B1 KR 101689505B1
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Abstract

본 발명은 스테이지 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 접촉식 프로브(contact probe)의 조립에 사용되는 스테이지 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에, 제1방향으로 이동가능하게 형성되는 두 개의 제1무빙 플레이트; 상기 각각의 제1무빙 플레이트 상에, 상기 제1방향과 수직인 제2방향으로 이동가능하게 형성되는 두개의 제2무빙 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 설치되며, 상기 제1무빙 플레이트를 상기 제1방향으로 이동 가능하게 형성되는 제1구동모듈; 및 상기 각각의 제1무빙 플레이트 상에 설치되며, 상기 제2무빙 플레이트를 상기 제2방향으로 이동 가능하게 형성되는 두개의 제2구동모듈;을 포함하고, 상기 제1구동모듈 작동 시, 상기 두 개의 제1무빙 플레이트는 서로 반대방향으로 이동하는 것을 특징으로 한다. 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따르면, 모터를 통해 스테이지를 제어하여 미세조정이 가능하기 때문에, 매우 얇은 두께의 접촉식 프로브도 조립할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따르면 스테이지 장치에 포함된 지그를 통해 프로브 니들의 이탈을 방지하는 홈을 생성할 수 있어, 별도의 홈 생성장치를 구비하지 않아도 되기 때문에 경제성이 향상된다.

Description

스테이지 장치{STAGE APPARATUS}
본 발명은 스테이지 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 접촉식 프로브(contact probe)의 조립에 사용되는 스테이지 장치에 관한 것이다.
반도체 소자는 전기적 특성 검사(Electrical Die Sorting; EDS)를 통하여 양, 불량이 판별되는데, 전기적 특성 검사는 테스터와 접촉식 프로브로 이루어진 프로브장치에 의하여 수행된다. 전기적 특성 검사 시에 테스터는 전기적 신호를 발생시켜 프로브장치에 전달하며, 프로브장치로 전달된 신호는 프로브장치가 접촉된 반도체 소자의 전극패드에 전달되어 소자가 양품인지 불량품인지 판단한다.
이때, 프로브장치는 반도체 소자와 접촉하는 프로브 니들, 반도체 소자와의 접촉 시 프로브 니들의 위치를 탄성적으로 변화시키는 탄성부재 및 탄성부재와 니들의 일부를 고정하며 테스터와 연결되는 플런저로 구성되는데, 종래에는 개별적인 수작업으로 프로브장치를 조립하였기 때문에 생산량이 저조할 수밖에 없었다.
이러한 문제점을 해결하고자, 에어 실린더에 의해 작동되는 한 쌍의 스테이지로 플런저를 고정하고, 탄성부재와 프로브 니들을 삽입시킨 후 프로브 니들을 플런저에 고정하여 프로브장치를 조립하는 기술이 개발되었다.
그런데 상기 기술은 프로브 니들을 조립하는 한 쌍의 스테이지가 에어 실린더에 의해 작동되어 지기 때문에, 미세한 조정이 불가하여 매우 얇은 두께의 프로브를 조립하고자 할 수 없었다.
따라서, 매우 얇은 두께의 프로브를 조립할 수 있는 스테이지 장치에 대한 요구가 생기게 되었다.
본 발명은 상기한 바와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 매우 얇은 두께의 프로브를 조립할 수 있는 스테이지 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에, 제1방향으로 이동가능하게 형성되는 두 개의 제1무빙 플레이트; 상기 각각의 제1무빙 플레이트 상에, 상기 제1방향과 수직인 제2방향으로 이동가능하게 형성되는 두개의 제2무빙 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 설치되며, 상기 제1무빙 플레이트를 상기 제1방향으로 이동시키는 제1구동모듈; 및 상기 각각의 제1무빙 플레이트 상에 설치되며, 상기 제2무빙 플레이트를 상기 제2방향으로 이동시키는 두개의 제2구동모듈;을 포함하고, 상기 제1구동모듈 작동 시, 상기 두 개의 제1무빙 플레이트는 서로 반대방향으로 이동하는 것을 특징으로 한다.
본발명에서 제1구동모듈은 상기 베이스 플레이트에 상에 설치되며 외주면에 외주연을 따라 제1나사산 및 상기 제1나사산과 반대방향으로 형성되는 제2나사산이 서로 이격되어 형성되는 원통형상의 제1몸체; 상기 각각의 제1무빙 플레이트와 결합되며, 상기 제1나사산 또는 상기 제2나사산과 치합되는 관통공이 형성된 두개의 제1너트; 및 상기 제1몸체의 일단에 연결되어 상기 제1몸체에 회전력을 전달하는 제1동력 발생부;를 포함하고, 상기 제1몸체의 정회전 또는 역회전에 의해 각각의 제1무빙 플레이트가 상기 제1방향으로 전진 또는 후진할 수 있다.
본 발명에서 제2구동모듈은 상기 제1무빙 플레이트에 상에 설치되며 제3나사산이 형성되는 제2몸체; 상기 제2무빙 플레이트와 결합되며, 상기 제3나사산과 치합되는 관통공이 형성된 제2너트; 및 상기 제2몸체의 일단에 연결되어 상기 제2몸체에 회전력을 전달하는 제2동력 발생부;를 포함하고, 상기 제2몸체의 정회전 또는 역회전에 의해 제2무빙 플레이트가 상기 제2방향으로 전진 또는 후진할 수 있다.
본 발명에서 베이스 플레이트는 일면에 상기 제1방향으로 제1돌출부가 돌출 형성되고, 상기 제1무빙 플레이트는 일면에 상기 제1돌출부에 끼워지는 제1슬라이딩 홈이 상기 제1방향으로 함몰 형성되며, 상기 제1돌출부 및 상기 제1슬라이딩 홈은 상기 제1무빙 플레이트의 이동을 안내할 수 있다.
본 발명에서 제1무빙 플레이트는 타면에 상기 제2방향으로 제2돌출부가 돌출 형성되고, 상기 제2무빙 플레이트는 일면에 상기 제2돌출부에 끼워지는 제2슬라이딩 홈이 상기 제2방향으로 함몰 형성되며, 상기 제2돌출부 및 상기 제2슬라이딩 홈은 상기 제2무빙 플레이트의 이동을 안내할 수 있다.
본 발명에서 베이스 플레이트는 일면에 상기 제1방향으로 제1몸체 안착홈이 함몰 형성되고, 상기 제1몸체 안착홈의 일단 및 타단에는 관통홀이 형성된 제1몸체 고정부가 돌출 형성되며, 상기 제1몸체의 일단 및 타단은 상기 제1몸체 고정부에 형성된 관통홀에 고정될 수 있다.
본 발명에서 제1무빙 플레이트는 일면에 상기 제2방향으로 제2몸체 안착홈이 함몰 형성되고, 상기 제2몸체 안착홈의 일단 및 타단에는 관통홀이 형성된 제2몸체 고정부가 돌출 형성되며, 상기 제2몸체의 일단 및 타단은 상기 제2몸체 고정부에 형성된 관통홀에 고정될 수 있다.
본 발명은 각각의 제2무빙 플레이트의 타면에 결합되며 일단이 뾰족하게 형성되는 두 개의 지그를 더 포함할 수 있다.
본 발명은 일부가 상기 제1돌출부 또는 상기 제1슬라이딩 홈에 삽입되는 제1크로스 롤러 베어링을 더 포함하고, 상기 제1돌출부 또는 상기 제1슬라이딩홈은 제1크로스 롤러 베어링과 대응되는 면에 베어링 이동홈이 형성될 수 있다.
본 발명은 일부가 상기 제2돌출부 또는 상기 제2슬라이딩 홈에 삽입되는 제2크로스 롤러 베어링을 더 포함하고, 상기 제2돌출부 또는 상기 제2슬라이딩 홈은 제2크로스 롤러 베어링과 대응되는 면에 베어링 이동홈이 형성될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따르면, 모터를 통해 스테이지를 제어하기 때문에, 미세조정이 가능하여 매우 얇은 두께의 접촉식 프로브도 조립할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면 스테이지 장치에 포함된 지그를 통해 프로브 니들의 이탈을 방지하는 홈을 생성할 수 있어, 별도의 홈 생성장치를 구비하지 않아도 되기 때문에 경제성이 향상된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치의 분해 사시도이다.
도 4는 도 3의 분해 사시도를 IV 방향에서 바라본 평면도이다.
도 5는 도 3의 분해 사시도를 V 방향에서 바라본 평면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 베이스 플레이트와 제1무빙 플레이트 사이에 위치하는 크로스 롤러 베어링을 도시하는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치의 프로브 조리방법을 도시하는 참고도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치(1)의 사시도이고, 도 2는 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치(1)의 평면도이다.
도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 스테이지 장치(1)는 베이스 플레이트(100), 두 개의 제1무빙 플레이트(200), 두 개의 제2무빙 플레이트(300), 제1구동모듈(400) 및 두 개의 제2구동모듈(500)을 포함한다.
베이스 플레이트(100)는 제1무빙 플레이트(200)의 이동을 가이드하는 구성요소이다. 이때, 베이스 플레이트(100)는 기설정된 위치에 안착 또는 고정되며, 안착 또는 고정 후 흔들림을 방지하기 위해 판상으로 형성되는 것이 바람직하나, 안착 또는 고정되는 위치에 따라 베이스 플레이트(100)의 형상은 달라질 수 있다.
두 개의 제1무빙 플레이트(200)는 각각 제2무빙 플레이트(300)의 이동을 가이드하는 구성요소이다. 또한, 두 개의 제1무빙 플레이트(200)는 서로 반대방향으로 이동하며, 사이의 공간에 삽입된 물건을 고정하는 구성요소일 수 있다. 두 개의 제1무빙 플레이트(200)는 모두 베이스 플레이트(100)의 상면에 고정되어 있으며, 베이스 플레이트(100)를 따라 제1방향으로 이동될 수 있다.
제2무빙 플레이트(300)는 검사 대상물(미도시)이 안착되거나 지그(600)가 안착되는 구성요소이다. 제2무빙 플레이트(300)는 제1무빙 플레이트(200)의 상면에 고정되어 있으며, 제1무빙 플레이트(200)를 따라 제2방향으로 이동될 수 있다.
제1구동모듈(400)은 제1무빙 플레이트(200)를 제1방향으로 이동시키는 구성요소로, 베이스 플레이트(100)에 결합되어 두 개의 제1무빙 플레이트(200)를 서로 반대방향으로 이동시킨다.
제2구동모듈(500)은 제2무빙 플레이트(300)를 제2방향으로 이동시키는 구성요소로, 제1무빙 플레이트(200)에 각각 결합되어 제2무빙 플레이트(300)를 이동시킨다. 제2무빙 플레이트(300)는 각각 제2구동모듈(500)이 설치되기 때문에, 제2구동모듈(500)의 제어에 따라 두 개의 제2무빙 플레이트(300)가 같은 방향으로 이동될 수도 있으며, 서로 다른 방향으로 이동될 수 있다.
이하에서는 베이스 플레이트(100), 제1무빙 플레이트(200), 제2무빙 플레이트(300), 제1구동모듈(400) 및 제2구동모듈(500)의 세부 구성을 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치(1)의 분해 사시도이고, 도 4는 도 3의 분해 사시도를 IV 방향에서 바라본 평면도이며, 도 5는 도 3의 분해 사시도를 V 방향에서 바라본 평면도이다.
먼저 제1구동모듈(400) 및 제2구동모듈(500)에 대해 설명하도록 한다. 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 제1구동모듈(400)은 제1동력 발생부(401), 제1몸체(402) 및 제1너트(403)를 포함한다. 제1동력 발생부(401)는 회전운동을 발생시키는 구성요소로서, 모터로 형성되는 것이 바람직하다.
제1몸체(402) 및 제1너트(403)는 제1동력 발생부(401)로부터 전달된 회전운동을 직선운동으로 변환시켜 제1무빙 플레이트(200)에 전달하는 구성요소이다. 제1몸체(402)는 원기둥 형태로 형성되며, 외주면에 외주연을 따라 제1나사산(404) 및 제1나사산(404)과 반대방향으로 산이 형성된 제2나사산(405)이 이격되어 형성된다. 두 개의 제1너트(403)는 두 개의 제1무빙 플레이트(200)에 각각 결합되어 있으며, 제1나사산(404) 또는 제2나사산(405)과 치합하는 나사산(406)이 관통공(407)을 따라 형성되어 있다. 즉, 하나의 제1너트(403)는 제1나사산(404)과 치합하며, 나머지 하나의 제1너트(403)는 제2나사산(405)과 치합하여, 제1몸체(402)의 회전에 따라 제1무빙 플레이트(200)를 서로 반대방향으로 이동시킨다.
제2구동모듈(500)은 제2동력 발생부(501), 제2몸체(502) 및 제2너트(503)를 포함한다. 제2동력 발생부(501)는 회전운동을 발생시키는 구성요소로서, 모터로 형성되는 것이 바람직하다.
제2몸체(502) 및 제2너트(503)는 제2동력 발생부(501)로부터 전달된 회전운동을 직선운동으로 변환시켜 제2무빙 플레이트(300)에 전달하는 구성요소이다. 제2몸체(502)는 원기둥 형태로 형성되며, 외주면에 외주연을 따라 제3나사산(504)이 형성된다. 두 개의 제2너트(503)는 두 개의 제2무빙 플레이트(300)에 각각 결합되어 있으며, 제2몸체(502)의 제3나사산(504)과 치합하는 나사산(505)이 관통공(506)을 따라 형성되어 있다. 즉, 제2몸체(502)의 회전에 따라 제2너트(502)는 전진 또는 후진하며 제2무빙 플레이트(300)를 제2방향으로 이동시킨다.
이하에서는 베이스 플레이트(100), 제1무빙 플레이트(200) 및 제2무빙 플레이트(300)의 구성에 대해 상세히 설명하고자 한다.
베이스 플레이트(100)는 상면에 적어도 하나의 제1돌출부(101)가 제1방향으로 형성되며, 제1무빙 플레이트(200)는 하면에 제1돌출부(101)와 대응되는 위치에 제1돌출부(101)가 삽입되는 제1슬라이딩 홈(201)이 형성된다. 제1돌출부(101) 및 제1슬라이딩 홈(201)은 베이스 플레이트(100)의 상면에 위치한 제1무빙 플레이트(200)가 제1방향으로 이동할 수 있도록 이동을 안내한다.
또한, 베이스 플레이트(100)는 상면에 제1몸체 안착홈(102)이 제1방향으로 형성된다. 도 3 내지 도 5에서는 두 개의 제1돌출부(101) 사이에 형성된 제1몸체 안착홈(102)을 도시하고 있다. 제1몸체 안착홈(102)에는 제1몸체(402) 및 제1너트(403)가 수납, 안착될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따라, 제1몸체 안착홈(102)의 일단과 타단에는 제1몸체(402)가 관통되는 관통홀(409)이 형성된 제1몸체 고정부(408)가 돌출되어 형성될 수 있다. 제1몸체 고정부(408)는 제1몸체(402)의 일단과 타단을 고정하여, 제1몸체(402) 및 제1너트(403)가 제1몸체 안착홈(102)으로부터 이탈되는 것을 방지한다.
제1몸체 고정부(408)의 관통홀(409)에는 제1몸체(402)의 회전이 매끄럽도록 베어링(410)이 개재되며, 베어링(410)은 베어링 홀더(411)에 의해 견고하게 결합될 수 있다. 베어링 홀더(411)는 제1몸체 고정부(408)에 각각 접합되며, 제1몸체 고정부(408)의 관통홀(409)에 대응하는 관통홀(412)이 형성된다.
제1무빙 플레이트(200)는 상면에 적어도 하나의 제2돌출부(202)가 제2방향으로 형성되며, 제2무빙 플레이트(300)는 하면에 제2돌출부(202)와 대응되는 위치에 제2돌출부(202)가 삽입되는 제2슬라이딩 홈(301)이 형성된다. 제2돌출부(202) 및 제2슬라이딩 홈(301)은 제1무빙 플레이트(200)의 상면에 위치한 제2무빙 플레이트(300)가 제2방향으로 이동할 수 있도록 이동을 안내한다.
또한, 제1무빙 플레이트(200)는 상면에 제2몸체 안착홈(203)이 제2방향으로 형성된다. 도 3 내지 도 5에서는 두 개의 제2돌출부(202) 사이에 형성된 제2몸체 안착홈(203)을 도시하고 있다. 제2몸체 안착홈(203)에는 제2몸체(502) 및 제2너트(503)가 수납, 안착될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따라, 제2몸체 안착홈(203)의 일단에는 제2몸체(502)가 관통되는 관통홀(508)이 형성된 제2몸체 고정부(507)가 돌출되어 형성될 수 있다. 제2몸체 고정부(507)는 제2몸체(502)의 일단을 고정하여, 제2몸체(502) 및 제2너트(503)가 제2몸체 안착홈(203)으로부터 이탈되는 것을 방지한다.
제2몸체 고정부(507)의 관통홀(508)에는 제2몸체의 회전이 매끄럽도록 베어링(509)이 기재되며, 베어링(509)은 베어링 홀더(510)에 의해 견고하게 결합될 수 있다. 베어링 홀더(510)는 제2몸체 고정부(507)에 접합되며, 제2몸체 고정부(507)의 관통홀(508)에 대응하는 관통홀(511)이 형성된다.
또한, 베이스 플레이트(100)의 일단에는 판상의 제1이탈 방지부(103)가 형성될 수 있다. 제1이탈 방지부(103)는 제1무빙 플레이트(200)가 일정 거리이상 이동할 경우 베이스 플레이트(100)로부터 이탈되지 않도록 이동경로를 차단하는 것이다.
제1무빙 플레이트(200)의 일단에는 제2이탈 방지부(204)가 결합될 수 있으며, 제2이탈 방지부(204)는 제2무빙 플레이트(300)가 일정 거리이상 이동할 경우 제1무빙 플레이트(100)로부터 이탈되지 않도록 이동경로를 차단한다.
본 발명의 실시예에 따라, 스테이지 장치(1)는 제2무빙 플레이트(300)의 상면에 각각 결합되는 두 개의 지그(600)를 더 포함할 수 있다. 지그(600)는 판상형태로 형성되며 제2무빙 플레이트(300)와 나사로 결합된다. 필요에 따라 지그(600)의 일단은 절삭되어 뾰족한 형태로 형성될 수 있다. 이때, 지그(600)는 뾰족한 부분이 서로 마주보도록 제2무빙 플레이트(300)에 결합되어, 두 개의 지그(600) 사이에 위치한 물건에 홈을 형성할 수 있다.
또한, 베이스 플레이트(100)의 타단에는 제1동력 발생부(401)를 고정하는 제1고정부(413)가 형성될 수 있다. 제1고정부(413)는 일단에 제1동력 발생부(401)가 결합되고 타단에 베이스 플레이트(100)가 결합되기 때문에, 제1동력 발생부(401)의 작동 시에 진동에 의해 제1동력 발생부(401)의 위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있다.
이와 마찬가지로 제1무빙 플레이트(200)의 타단에는 제2동력 발생부(501)를 고정하는 제2고정부(512)가 형성될 수 있다. 제2고정부(512)는 일단에 제2동력 발생부(501)가 결합되고 타단에 제1무빙 플레이트(200)가 결합되기 때문에, 제2동력 발생부(501)의 작동 시에 진동에 의해 제2동력 발생부(501)의 위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있다.
이때, 제1고정부(413) 및 제2고정부(512)는 제1동력 발생부(401) 또는 제2동력 발생부(501)의 일부가 관통할 수 있는 U자형의 홈(414, 513)이 형성되어, 제1동력 발생부(401) 또는 제2동력 발생부(501)의 회전운동 축이 관통된다. 즉, 회전운동 축이 U자형의 홈(414, 513)을 관통하기 때문에, 제1고정부(413) 및 제2고정부(512)와 맞닿아 마찰에 의해 회전운동이 손실되는 것을 방지할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 제1무빙 플레이트(200)와 제2무빙 플레이트(300) 사이에 위치하는 제2크로스 롤러 베어링(700)을 도시하는 평면도이다. 제2크로스 롤러 베어링(700)은 제1무빙 플레이트(200)의 상단에 위치한 제2무빙 플레이트(300)가 제2방향으로 이동 시 흔들림을 방지하기 위한 구성요소이다. 제2크로스 롤러 베어링(700)은 일부가 제2돌출부(202) 또는 제2슬라이딩 홈(301)의 일단에 삽입되어 고정되고, 나머지 일부는 제2돌출부(202) 또는 제2슬라이딩 홈(301)에 형성된 베어링 이동홈에 삽입된다. 본 발명의 스테이지 장치(1)는 제2크로스 롤러 베어링(700)을 삽입함으로써 주행 평탄성이 향상될 수 있다.
도 6에는 도시되어 있지 않지만 베이스 플레이트(100)와 제1무빙 플레이트(200)는 사이에 제1크로스 롤러 베어링이 형성된다. 자세한 설명은 제2크로스 롤러 베어링(700)과 유사하므로 생략한다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치(1)의 프로브 조립방법을 도시하는 참고도이다.
도 7은 본 발명의 스테이지 장치(1)를 프로브 조립장치로서 활용한 것으로, 도 7의 (a)는 두 개의 제1무빙 플레이트(200) 사이에 접촉식 프로브(800)가 삽입된 프로브 조립상자(804)를 위치시킨 상태를 도시한다. 접촉시 프로브(800)는 프로브 니들(801), 프로브 니들(801)의 위치를 탄성적으로 변화시키는 탄성부재(803) 및 탄성부재(803) 및 프로브 니들(801) 일부를 고정하며 테스터와 연결된 플런저(802)를 포함한다. 프로브 조립상자(804)는 일단이 개구되며 내부가 빈 네모상자 형태로 형성되어, 내부에 접촉식 프로브(800)가 삽입된다.
도 7의 (b)는 도 7의 (a)상태에서 제1구동모듈(400)을 작동하여, 제1무빙 플레이트(200) 사이에 위치한 프로브 조립상자(804)를 제1무빙 플레이트(200)로 고정시키는 상태를 도시한다. 베이스 플레이트(100) 상에 위치한 제1무빙 플레이트(200)는 프로브 조립상자(804)와 맞닿을 때까지 이동한다.
도 7의 (c)는 도 7의 (b)상태에서 지그(600)가 장착된 제2구동모듈(500)을 작동하여, 프로브 조립상자(804) 내에 위치한 플런저(802)에 홈을 형성시키는 상태를 도시한다. 제2무빙 플레이트(300)는 제2방향으로 전, 후진하며, 제2무빙 플레이트(300) 상단에 결합된 지그(600)로 플런저(802)를 가압하여 홈(806)을 형성시킨다. 이와 같이 플런저(802)에 내측면을 향해 굴곡진 홈(806)이 형성되는 경우, 플런저(802) 내부에 위치한 프로브 니들(801)은 홈(806)에 의해 플런저(802)로부터 분리되지 않는다. 이때, 도 7의 (a)의 확대도를 참조하여 설명하면, 프로브 조립상자(804)는 제2무빙 플레이트(300)에 장착된 지그(600)가 프로브 조립상자(804)에 의해 가로막히지 않도록 지그(600)가 삽입 가능한 관통공(805)이 형성될 수 있다.
도 7의 (d)는 도 7의 (c)상태에서 제2구동모듈(500)의 작동을 중지하고, 제1구동모듈(400)을 작동하여, 제1무빙 플레이트(200)를 프로브 조립상자(804)로부터 분리시키는 상태이다. 제1무빙 플레이트(200)의 이동에 의해, 제1무빙 플레이트(200)의 상면에 위치한 제2무빙 플레이트(300) 및 지그(600)도 함께 이동하여 프로브 조립상자(804)로부터 분리된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 모터를 포함하는 제1구동모듈(400)로 제1무빙 플레이트(200)를 제어하기 때문에, 매우 얇은 두께의 접촉식 프로브도 제1무빙 플레이트(200) 사이에 고정해 조립할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따르면 스테이지 장치(1)에 포함된 지그(600)를 통해 프로브 니들(801)의 이탈을 방지하는 홈을 생성할 수 있어, 별도의 홈 생성장치를 구비하지 않아도 되기 때문에 경제성이 향상된다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.

Claims (10)

  1. 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트 상에, 제1방향으로 이동가능하게 형성되는 두 개의 제1무빙 플레이트;
    상기 각각의 제1무빙 플레이트 상에, 상기 제1방향과 수직인 제2방향으로 이동가능하게 형성되는 두개의 제2무빙 플레이트;
    상기 베이스 플레이트 상에 설치되며, 상기 제1무빙 플레이트를 상기 제1방향으로 이동시키는 제1구동모듈; 및
    상기 각각의 제1무빙 플레이트 상에 설치되며, 상기 제2무빙 플레이트를 상기 제2방향으로 이동시키는 두개의 제2구동모듈;을 포함하고,
    상기 제1구동모듈 작동 시, 상기 두 개의 제1무빙 플레이트는 서로 반대방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1구동모듈은
    상기 베이스 플레이트에 상에 설치되며 외주면에 외주연을 따라 제1나사산 및 상기 제1나사산과 반대방향으로 형성되는 제2나사산이 서로 이격되어 형성되는 원통형상의 제1몸체;
    상기 각각의 제1무빙 플레이트와 결합되며, 상기 제1나사산 또는 상기 제2나사산과 치합되는 관통공이 형성된 두개의 제1너트; 및
    상기 제1몸체의 일단에 연결되어 상기 제1몸체에 회전력을 전달하는 제1동력 발생부;를 포함하고,
    상기 제1몸체의 정회전 또는 역회전에 의해 각각의 제1무빙 플레이트가 상기 제1방향으로 전진 또는 후진하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2구동모듈은
    상기 제1무빙 플레이트에 상에 설치되며 제3나사산이 형성되는 제2몸체;
    상기 제2무빙 플레이트와 결합되며, 상기 제3나사산과 치합되는 관통공이 형성된 제2너트; 및
    상기 제2몸체의 일단에 연결되어 상기 제2몸체에 회전력을 전달하는 제2동력 발생부;를 포함하고,
    상기 제2몸체의 정회전 또는 역회전에 의해 제2무빙 플레이트가 상기 제2방향으로 전진 또는 후진하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트는
    일면에 상기 제1방향으로 제1돌출부가 돌출 형성되고,
    상기 제1무빙 플레이트는
    일면에 상기 제1돌출부에 끼워지는 제1슬라이딩 홈이 상기 제1방향으로 함몰 형성되며,
    상기 제1돌출부 및 상기 제1슬라이딩 홈은 상기 제1무빙 플레이트의 이동을 안내하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1무빙 플레이트는
    타면에 상기 제2방향으로 제2돌출부가 돌출 형성되고,
    상기 제2무빙 플레이트는
    일면에 상기 제2돌출부에 끼워지는 제2슬라이딩 홈이 상기 제2방향으로 함몰 형성되며,
    상기 제2돌출부 및 상기 제2슬라이딩 홈은 상기 제2무빙 플레이트의 이동을 안내하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트는
    일면에 상기 제1방향으로 제1몸체 안착홈이 함몰 형성되고,
    상기 제1몸체 안착홈의 일단 및 타단에는 관통홀이 형성된 제1몸체 고정부가 돌출 형성되며,
    상기 제1몸체의 일단 및 타단은 상기 제1몸체 고정부에 형성된 관통홀에 고정되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 제1무빙 플레이트는
    일면에 상기 제2방향으로 제2몸체 안착홈이 함몰 형성되고,
    상기 제2몸체 안착홈의 일단 및 타단에는 관통홀이 형성된 제2몸체 고정부가 돌출 형성되며,
    상기 제2몸체의 일단 및 타단은 상기 제2몸체 고정부에 형성된 관통홀에 고정되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 각각의 제2무빙 플레이트의 타면에 결합되며 일단이 뾰족하게 형성되는 두 개의 지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    일부가 상기 제1돌출부 또는 상기 제1슬라이딩 홈에 삽입되는 제1크로스 롤러 베어링을 더 포함하고,
    상기 제1돌출부 또는 상기 제1슬라이딩홈은 제1크로스 롤러 베어링과 대응되는 면에 베어링 이동홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  10. 제5항에 있어서,
    일부가 상기 제2돌출부 또는 상기 제2슬라이딩 홈에 삽입되는 제2크로스 롤러 베어링을 더 포함하고,
    상기 제2돌출부 또는 상기 제2슬라이딩 홈은 제2크로스 롤러 베어링과 대응되는 면에 베어링 이동홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
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