TWI754758B - 噴嘴尖口配接器，噴嘴組件及噴嘴 - Google Patents

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Abstract

一種噴嘴尖口配接器(12)具有一抽吸導管(34)、一供應導管(36)、及一基座本體(16)其具有一裝置端(18)以及一基材端(20)。該基座本體(16)在其基材端(20)有一用來容納噴嘴尖口(14)的噴嘴尖口凹部(26)以及一延伸至該噴嘴尖口凹部(26)內的突出部(30)，其中該抽吸導管(34)延伸通過該突出部(30)且該供應導管(36)開口於該噴嘴尖口凹部(26)中，其中該抽吸導管(34)至少部分地被該供應導管(36)包圍。此外，一種噴嘴組件(10)和一種噴嘴(60)亦被提供。

Description

噴嘴尖口配接器，噴嘴組件及噴嘴
本發明係有關於一種用來將噴嘴尖口安裝至基材處理裝置上的噴嘴尖口配接器、一種用於基材處理裝置的噴嘴組件以及一種用來供應液體至基材的噴嘴。
在習知的用於奈米製造及微米製造的基材處理裝置中，必須將液體施配至基材上。該基材可以是晶圓或類此者。該液體可以是顯影劑、水、溶劑或任何液體溶液且經由噴嘴被供應至該基材。通常，該液體係在一明確的施配期間被施配，使得一預定的液體量被施配。然而，在該施配時期的末了，液體會殘留在該噴嘴內且會以不受控制的方式滴在該基材上。
在此技術領域的現有基材處理裝置中，習用的方式是藉由將液體的流動逆轉用以將過剩的液體從該噴嘴中拉回藉以防止施配期間之後噴嘴的滴漏。
然而，因為在液體內的氣泡及類此者的關係，此方式無法完全防止滴漏。
因此，本發明的目的是要提供一種用於基材處理裝置的噴嘴尖口配接器(nozzle tip adapter)，噴嘴組件及噴嘴，其能夠可靠地防止液體被施配之後的滴漏。
為了此目的，一種用來將噴嘴尖口安裝至基材處理裝置上的噴嘴尖口配接器被提供，其包含一抽吸導管、一供應導管、及一基座本體，其具有一裝置端以及一基材端，其中，該抽吸導管和該供應導管被設置在基座本體內。該基座本體在其基材端有一用來容納噴嘴尖口的噴嘴尖口凹部以及一延伸至該噴嘴尖口凹部內的突出部(projecting portion)，其中該抽吸導管延伸通過該突出部且該供應導管開口於該噴嘴尖口凹部內，其中該抽吸導管至少部分地被該供應導管包圍。
該基材可以是一未被塗覆的基材(譬如，晶圓)或是一被塗覆的基材。例如，該液體是顯影劑、水、溶劑或任何液體溶液。此外，該基材處理裝置可以是一用於奈米製造及/或微米製造的裝置。
在本發明的內容中，“下游(downstream)”係指液體例如從裝置端朝向基材端或朝相基材本身流動的方向。該噴嘴尖口配接器的軸向亦延伸在該下游方向上。
該基材端和該裝置端係彼此相反。
例如，該突出部具有針形或形成一中空的針。此外，該噴嘴尖口凹部可是有螺紋以接納噴嘴尖口。
此外，該抽吸導管和該突出部的直徑可介於0.7至4.0mm之間。
藉由提供兩個不同的導管，該噴嘴尖口配接器的一個導管可被用來將該液體供應至該噴嘴，而另一個導管可被用來在液體施配期間之後將過多個液體轉移離開該噴嘴尖口的孔口。該突出部允許兩個導管在很靠近該噴嘴的孔口處合併，使得介於該孔口和導管合併位置點之間的所有液體可被轉移離開該噴嘴。因此，極為可靠的防滴漏可被達成。
該基座本體和該突出部彼此被固定不動地固定。詳言之，該基座本體和該突出部被形成為單一構件。這簡化了該噴嘴尖口配接器的操作。
例如，該抽吸導管延伸通過該突出部的軸向長度並開口於該突出部的下游端。以此方式，該抽吸導管和該供應導管在該下游方向儘可能遠處被合併。
為了讓該突出部到達該噴嘴尖口內儘可能的遠處，該突出部可在該基座本體的軸向方向上延伸通過該噴嘴尖口凹部且其下游端可從該噴嘴尖口凹部突伸出。在此例子中，該突出部的該下游端是該噴嘴尖口配接器的最下游部分。
在本發明的實施例中，該基座本體包含一在裝置端的裝置突部(device protrusion)，用來將該噴嘴尖口配接器固定至該基材處理裝置。該裝置突部可被設置螺紋。這表示該噴嘴尖口配接器可被輕易地安裝在該噴嘴尖口和該基材處理裝置之間。
詳言之，該噴嘴尖口凹部和該裝置突部具有相同的尺寸及/或互補的形狀。藉此方式即可確保該噴嘴尖口配接器可被安裝在該噴嘴尖口和該基材處理裝置之間而無需對該噴嘴尖口或該基材處理裝置作改變。
在另一實施例中，該噴嘴尖口配接器具有一抽吸埠，其較佳地位在該基座本體的周圍表面或該裝置端，及該抽吸導管開始於該抽吸埠。該噴嘴進一步具有一供應埠，其較佳地位在該周圍表面或該裝置端，且該供應導管開始於該供應埠。該周圍表面是介於該基座本體的兩端之間的表面且該供應導管可延伸通過該裝置突部。此外，該抽吸埠可設有螺紋或是一連結器。藉由提供一抽吸埠，會從該噴嘴滴漏的過剩的液體即可從該噴嘴出口被輕易地轉移走。例如，該供應埠可被設置在該裝置端且該抽吸埠可被設置在該周圍表面，反之亦可。此外，該抽吸埠和該供應埠這兩者可被設置在該基座本體的同一表面，例如在該周圍表面或在該裝置端的端面。
本發明進一步提供一用於基材處理裝置的噴嘴尖口組件，其包含一依據本發明的噴嘴尖口配接器和一噴嘴尖口。該噴嘴尖口包含一噴嘴本體，其具有一連接端和一排放端、一設置在該連接端的緊固突部、一液體室，其朝向該連接端開口且至少延伸到該緊固突部中、以及一較佳地位在該液體室的下游端的出口，其具有一位在該排放端的孔口且被流體連通地連接至該液體室。該噴嘴尖口的該緊固突部被容納在該噴嘴尖口配接器的該噴嘴尖口凹部內，該噴嘴尖口配接器的該突出部延伸至該噴嘴尖口的該液體室中。該噴嘴尖口可以是一槳葉噴嘴(puddle nozzle)或是一霧化噴嘴，尤其是一扇形霧化噴嘴(fan spray nozzle)。該噴嘴組件提供一用來供應液體的導管和用來將該液體轉移離開該液體室以及該出口的另一導管。以此方式可防止液體在施配期間已結束之後從該出口或從該液體室滴漏到基材上。
例如，該噴嘴尖口配接器的供應導管在該液體室的上游端開口於該液體室內及/或該噴嘴尖口配接器的該抽吸導管開口於位在該突出部的下游端的該液體室內。因此，該抽吸導管和該供應導管在該突出部的下游端靠近該液體室的下游端處合併，用以在施配期間之後以一種被控制的方式可靠地將液體轉移離開該噴嘴。
在一實施例中，該出口有一直徑，介於該突出部的該下游端與該孔口之間的距離是該出口的直徑的至少0.5倍。例如，該距離最多是該出口的直徑的5倍，較佳地是該直徑的1至3倍。以此方式，介於該突出部的該下游端與該孔口之間的距離小到足以確保在該出口內的所有液體都被轉移到該另一導管內。
為了要改善效能，該出口和該突出部內的該抽吸導管係同軸。
在一變化例中，一通道被形成在該噴嘴尖口配接器的該突出部的周邊和該液體室的內壁之間，且該噴嘴尖口配接器的該供應導管開口於該通道內。該通道可具有一介於0.25mm至1.0mm之間的寬度且可以是該供應導管的延伸(elongation)。以此方式，該供應導管係用所需要的最少材料來形成。
為了進一步改良效能，該通道和該抽吸導管在該液體室的該下游端處合併。
本發明進一步提供一種用來提供液體至一基材的噴嘴，其具有一帶有一裝置端和一排放端的主體，該主體包含：一抽吸導管、一供應導管、一液體室，其形成該供應導管的一些部分、一出口，其具有一比該液體室的直徑小的直徑以及具有一位在該排放端的孔口以及較佳地在該液體室的該下游端處被流體地連接至該液體室、及一突伸至該液體室內的突出部。該抽吸導管延伸通過該突出部且在該液體室的該下游端開口於該液體室內並於該出口的上游與供應導管合併。該抽吸導管至少部分地被該供應導管包圍。
該抽吸導管可延伸通過該突出部的軸向長度且可在該突出部的該下游端開口。以此方式，該抽吸導管和該供應導管被合併在下游儘可能遠處。
該主體和該突出部彼此被固定不動地固定。詳言之，該主體和該突出部被形成為單一構件。這簡化了該噴嘴的操作。
例如，該主體在該裝置端包含一用來將該噴嘴固定至基材處理裝置的裝置突部。該裝置突部可被設置螺紋。藉此方式，該噴嘴尖口配接器可被輕易地安裝在該噴嘴尖口和該基材處理裝置之間。該裝置突部可被設置螺紋。
在本發明的一實施例中，該噴嘴具有一抽吸埠，其較佳地位在該主體的周圍表面或該裝置端，及該抽吸導管開始於該抽吸埠。該噴嘴亦具有一供應埠，其較佳地位在該周圍表面或該裝置端，且該供應導管開始於該供應埠。該周圍表面是介於該主體的兩端之間的表面且該供應導管可延伸通過該裝置突部。此外，該抽吸埠可設有螺紋或是一連結器。藉由提供一抽吸埠，會從該噴嘴滴漏的過剩的液體即可從該噴嘴出口被輕易地轉移走。例如，該供應埠可被設置在該裝置端且該抽吸埠可被設置在該周圍表面，反之亦可。此外，該抽吸埠和該供應埠這兩者可被設置在該主體的同一表面，例如在該周圍表面或在該裝置端的端面。
在一變化例中，介於該突出部的該下游端與該孔口之間的距離是該出口的直徑的至少0.5倍。例如，該距離最多是該出口的直徑的5倍，較佳地是該直徑的1至3倍。以此方式，介於該突出部的該下游端與該孔口之間的距離小到足以確保在該出口內的所有液體都被轉移到該另一導管內。
為了要改善效能，該出口和該突出部內的該抽吸導管係同軸。
在另一實施例中，一通道被形成在該突出部的周邊和該液體室的內壁之間。該通道可具有一介於0.25mm至1.0mm之間的寬度。以此方式，用於提供該通道所需要的空間可被最小化。
圖1顯示一包含噴嘴尖口配接器12和噴嘴尖口14的噴嘴組件10。
該噴嘴組件10可被安裝在一基材處理裝置內用來將液體施配至一基材(如，晶圓)上。該基材處理裝置可以是一用於奈米製造及/或微米製造的裝置。
該噴嘴尖口14是一標準的噴嘴尖口且在被示出的第一實施例中是一霧化噴嘴，譬如一扇形霧化噴嘴。
該噴嘴尖口配接器12亦被示於圖2中且包含一基座本體16，例如是用塑膠材料製成。該基座本體16可用射出模製或3D列印來製造。
該基座本體16具有一裝置端18及一相反的基材端20和一延伸在該裝置端18和該基材端20之間的周圍表面22。該液體從該裝置端18流至該基材端20。在下文中，“下游”方向被用來描述從該裝置端18到該基材端20並進一步通過該噴嘴尖口14的方向。因此，“上游”係描述相反方向。該下游方向與該噴嘴尖口配接器12及該噴嘴尖口14的軸向方向重合。
在該裝置端18，該基座本體16被設置了一裝置突部24，其徑向外表面設置有螺紋。
在該基材端20，一噴嘴尖口凹部26被形成在該基座本體16內，其具有螺紋壁。
該裝置突部24的尺寸和該噴嘴尖口凹部26的尺寸相同，這表示該裝置突部24可被旋入到該噴嘴尖口凹部26內。該尺寸可被選擇以適用於標準基材處理裝置或標準噴嘴尖口14。因此，該噴嘴尖口配接器12可被輕易地插入到介於該基材處理裝置和一噴嘴尖口之間的習知裝置中。
一孔洞28在該基座本體16的縱長方向或軸向方向上從該裝置端18延伸穿過該裝置突部24進入到該噴嘴尖口凹部26。
該孔洞28的上游端(即，其在裝置端18的一端)形成一供應埠29。該供應埠29可被設有螺紋或可以是一連結件的接頭。然而，該供應埠29亦可以是一具有外螺紋的中空突出物或形成一連結器的插頭連接器。在任何情況下，該供應埠29被設計成可和該基材處理裝置相連接。
該孔洞28延伸穿過該裝置突部24的鄰近部分形成一供應導管36。
此外，該基座本體16包含一突出部30，其部分地延伸到該孔洞28內且在該基座本體16的軸向方向上伸入到該噴嘴尖口凹部26內。如圖3中所見，該突出部30沿著該孔洞28的中心軸線延伸且在該孔洞28的側壁處受到支撐。
該基座本體16和該突出部30被形成為單一構件，因此彼此被固定不動地固定。
該突出部30具有針的形狀或是一中空的針，其突伸穿過該噴嘴尖口凹部26。
該突出部30進一步延伸於該軸向方向上完全穿過該噴嘴尖口凹部26並有一下游端從該噴嘴尖口凹部26突伸出。因此，該突出部30的該下游端是該噴嘴尖口配接器12的最下游部分。
一抽吸埠32被設置在該基座本體16的該周圍表面22處，尤其是該裝置突部24的下游處。
在該被示出的實施例中，該抽吸埠32被形成為一徑向朝內的凹部。該凹部可被設置螺紋或可以是一連結件的接頭。然而，該抽吸埠32亦可以是一具有外螺紋的中空突出物或形成一連結器的插頭連接器。在任何情況下，該抽吸埠32被設計成用一管件或類此者來與一真空幫浦或任何其它低壓源相連接。
一抽吸導管34開始於該抽吸埠32。該抽吸導管34延伸於該下游方向上完全穿過該突出部30並開口於該突出部30的該下游端處。
該抽吸導管34和該突出部30的直徑可介於0.7mm至4.0mm之間。
該供應導管36在該突出部30的區域內被形成為該孔洞28的一部分。
該供應導管36在該噴嘴尖口凹部26的上游端開口於該噴嘴尖口凹部26內並且圍繞該突出部30以及該抽吸導管34。
因此，該抽吸導管34和該供應導管36彼此同軸。
在圖1至4所示的第一實施例中，該供應埠29被設置在該基座本體16的裝置端18，例如，在該裝置端18的端面，且該抽吸埠32被設置在該基座本體16的周圍表面22。
現翻到圖1所示的噴嘴尖口14，該噴嘴尖口14包含一噴嘴本體44，其具有一面向該噴嘴尖口配接器12的連接端46和一排放端48，其為該噴嘴尖口14和該噴嘴組件10的下游端。
該噴嘴本體44亦可用塑膠材料製成且例如可用射出模製或3D列印來製造。
該噴嘴本體44包含一緊固突部50，其被設置在該連接端46且可被卡入到該噴嘴尖口配接器12的該噴嘴尖口凹部26內。為此目的，該緊固突部50可被設置螺紋。
一液體室從該連接端46向下游延伸進入到該緊固突部50內。在下文中被稱為出口54的另一個導管從該液體室52的下游端延伸至該排放端48並開口於該排放端48以形成一孔口56。
該液體室52和該孔口56彼同軸而且和該噴嘴尖口配接器12的抽吸導管34和供應導管36同軸。該出口54的直徑d小於該液體室52的直徑D，但大於該抽吸導管34及/或該突出部30的直徑。
該噴嘴尖口14藉由該緊固突部50和該噴嘴尖口凹部26而被嵌入到該噴嘴尖口配接器12。
在圖1所示的該被嵌入的位置中，該噴嘴尖口配接器12的該突出部30延伸到該噴嘴尖口14的液體室52中。
因為該突出部30的長度的關係，所以該突出部30在下游方向上延伸穿過該液體室52的大部分並在離該噴嘴尖口14的孔口56和排放端48一距離a處終止。
該距離a是一介於該突出部30的下游端和該孔口56(即，該噴嘴尖口的下游端)之間的距離，且至少是該出口54的直徑的0.5倍。該距離a最多是該出口的直徑的5倍且最好是介於該出口54的直徑的1至3倍之間。
因為該突出部30的關係，一通道58被形成在該突出部30的外壁和該液體室52的內壁之間。
該通道58因而是一在該突出部30周圍的環形通道且具有從該突出部30的外壁到該液體室52的內壁的寬度w。該寬度例如係介於0.25mm至1.00mm之間。
該噴嘴尖口配接器12的供應導管36在該液體室52的上游端處開口於該液體室52中，更精確地，該供應導管36開口於該通道58內。因此，該通道58可被視為該供應導管36的延伸。
因此，抽吸導管34和供應導管36開口於該液體室52內。因為該突出部30的長度的關係，該抽吸導管34和供應導管36在該液體室52的下游端和該突出部30的下游端處合併。
在操作時，該噴嘴尖口配接器12經由該噴嘴尖口配接器12的裝置突部24而被安裝於一基材處理裝置(未示出)內。在如此作時，該噴嘴尖口配接器12的供應埠29被連接至該基材處理裝置的一負載將被施配至基材上的液體的通道。
該基材可以是一未被塗覆的基材(如，晶圓)或一已經被塗覆的基材。該液體可以是顯影劑、溶劑、水或任何其它液體溶液。例如該基材是一通過曝光之被塗覆了光敏樹脂的晶圓，且該液體是用於該通過曝光的樹脂的顯影劑。
該抽吸埠32被一適當的管子連接至一低壓源(未示出)，如一真空幫浦，使得真空可被施加至該抽吸導管34。
該液體然後被施加持續一段被界定的施配期間的時間長度。該液體從該基材處理裝置被施加至該供應埠29，流經該供應導管36進入該液體室52的通道58並流經該出口54，該液體在該處經由孔口56被朝向該基材(未示出)施配。在該施配期間，該低壓源被中止作用。
當該液體的供應被停止(即，施配期間的末了)或在其之後，該低壓源即被啟動。因此，低壓或真空被施加至該抽吸埠32。
藉由施加真空，殘留在該出口54及在該液體室52內的液體被吸入到該抽吸導管34內且被轉移離開而不會經由該噴嘴尖口配接器12的噴嘴尖口14被排出。因此，不會有液體留在出口54內，此留在出口內的液體可能會以不受控制的方式滴落在基材上。
該低壓源在沒有液體被施配至基材上的期間內可以是永久地作用，用以將所不想要之可能會經由該噴嘴尖口配接器12朝向出口54流動之任何液體轉移掉。
因此，因為介於該突出部30的下游端(即，抽吸導管34和供應導管36合併的位置點)與出口之間的距離很短，所以能夠很有把握地防止滴漏。
圖4至8顯示本發明之與圖1所示的噴嘴尖口配接器12大致相同的不同實施例。因此，相同的部件或具有相同功能的部件使用相同的元件符號且只有不同處才在下文中描述。
圖4顯示一噴嘴60，它實質上是該噴嘴尖口配接器12的單一構件式的版本。
噴嘴60有一主體62，它可被理解為該噴嘴尖口配接器12的基座本體16以及該噴嘴尖口14的噴嘴本體44被作成單一構件的形式。
因此，該主體62包含上文所述之該基座本體16和該噴嘴本體44的所有特徵，但沒有該噴嘴尖口凹部26、該緊固突部50、該基材端20和該連接端46。很自然地，該主體62只包含裝置端18和排放端48。
該主體62和該突出部30因而不可移動地彼此固定。詳言之，該主體62和該突出部30被形成為單一構件。
此外，該液體室52是該孔口28的延伸(elongation)。
該主體62亦可用塑膠材料製造且例如用射出模製或3D列印來製造。
圖5至7顯示噴嘴組件10及噴嘴尖口配接器12的另一實施例。
與圖1至3所示的第一實施例不同之處在於，抽吸埠32及供應埠29的位置被互換。
在此實施例中，該突出部30並不是開始於該孔洞28的內壁，而是從該孔洞28的下游開口的邊緣延伸出。因此，該抽吸導管34延伸該孔洞28，且該抽吸埠32因而被設置在該裝置端18。
該供應埠29現被設置在該基座本體16的周圍表面22。該供應導管36被體現為一凹部64，其從該供應埠29徑向朝內地延伸並環繞該突出部30。
一環繞該抽吸導管34的環形通道被已在該噴嘴尖口配接器12內的該供應導管36的凹部64形成。
該供應導管36的該凹部64在該下游方向上開口於該噴嘴尖口凹部26內。
在此實施例中，該噴嘴尖口14是槳葉噴嘴(puddle nozzle)。然而，和第一實施例一樣地，霧化噴嘴，譬如一扇形霧化噴嘴亦可被使用於此實施例中且反之亦可。此外，對於噴嘴尖口配接器12以及噴嘴組件10而言，任何其它標準的噴嘴尖口14亦是可行的。
圖8顯示本發明的另一實施例，其為圖5至7所示的噴嘴組件10的單一構件式版本。
與圖4的噴嘴相對於圖1至3的噴嘴組件而言一樣地，圖8的噴嘴60具有單一構件的主體62，其包含幾乎所有該基座本體16和該噴嘴本體44的所有特徵，例外的地方為參考圖4的實施例說明之處。
然而，在圖8的實施例的噴嘴60中，該抽吸導管34和供應導管36的設計依循圖5、6及7的實施例的設計。
此外，在這兩個實施例中，抽吸埠32和供應埠29這兩者都位在該基座本體16的裝置端18。例如，抽吸埠32和供應埠29這兩者可被實施成位在裝置端18的端面處。抽吸埠32和供應埠29中的一者(例如，抽吸埠32)亦可位在該孔洞28的內側壁。
10‧‧‧噴嘴組件12‧‧‧噴嘴尖口配接器14‧‧‧噴嘴尖口16‧‧‧基座本體18‧‧‧裝置端20‧‧‧基材端22‧‧‧周圍表面26‧‧‧噴嘴尖口凹部24‧‧‧裝置突部28‧‧‧孔口29‧‧‧共應埠30‧‧‧突出部32‧‧‧抽吸埠34‧‧‧抽吸導管36‧‧‧供應導管44‧‧‧噴嘴本體46‧‧‧連接端48‧‧‧排放端50‧‧‧緊固突部52‧‧‧液體室54‧‧‧出口56‧‧‧孔口58‧‧‧通道60‧‧‧噴嘴62‧‧‧主體64‧‧‧凹部D‧‧‧液體室的直徑d‧‧‧出口的直徑w‧‧‧寬度a‧‧‧距離
本發明的其它特徵及好處從下面的實施例說明及所參考的附圖中將會變得明顯。在這些附圖中： 　　圖1顯示具有依據本發明的第一實施例的噴嘴尖口配接器之依據本發明的第一實施例的噴嘴尖口組件的剖面圖； 　　圖2顯示圖1的噴嘴尖口配接器的剖面圖； 　　圖3顯示圖1的噴嘴尖口配接器沿III-III線所取的剖面圖； 　　圖4顯示依據本發明的另一實施例的噴嘴的剖面圖； 　　圖5顯示具有依據本發明的第二實施例的噴嘴尖口配接器之依據本發明的第二實施例的噴嘴尖口組件的剖面圖； 　　圖6顯示圖5的噴嘴尖口配接器的剖面圖； 　　圖7顯示圖5的噴嘴尖口配接器沿VII-VII線所取的剖面圖；及 　　圖8顯示依據本發明的另一實施例的噴嘴的剖面圖。
10‧‧‧噴嘴組件
12‧‧‧噴嘴尖口配接器
14‧‧‧噴嘴尖口
16‧‧‧基座本體
18‧‧‧裝置端
20‧‧‧基材端
22‧‧‧周圍表面
24‧‧‧裝置突部
28‧‧‧孔口
29‧‧‧共應埠
30‧‧‧突出部
32‧‧‧抽吸埠
34‧‧‧抽吸導管
36‧‧‧供應導管
44‧‧‧噴嘴本體
46‧‧‧連接端
48‧‧‧排放端
50‧‧‧緊固突部
52‧‧‧液體室
54‧‧‧出口
56‧‧‧孔口
58‧‧‧通道
a‧‧‧距離
d‧‧‧出口的直徑
D‧‧‧液體室的直徑
w‧‧‧寬度

Claims (19)

  1. 一種用來將噴嘴尖口(14)安裝至基材處理裝置的噴嘴尖口配接器，包含一抽吸導管(34)、一供應導管(36)、及一基座本體(16)，其具有一裝置端(18)以及一基材端(20)，其中該抽吸導管(34)和該供應導管(36)被設置在該基座本體(16)內，該基座本體(16)在該基材端(20)具有一用來容納該噴嘴尖口(14)的噴嘴尖口凹部(26)以及一延伸至該噴嘴尖口凹部(26)內的突出部(30)，其中該基座本體(16)和該突出部(30)彼此被固定不動地固定，其中該抽吸導管(34)延伸通過該突出部(30)且該供應導管(36)開口於該噴嘴尖口凹部(26)中，其中該抽吸導管(34)至少部分地被該供應導管(36)包圍。
  2. 如請求項1之噴嘴尖口配接器，其中該抽吸導管(34)延伸通過該突出部(30)的軸向長度並開口於該突出部(30)的下游端。
  3. 如請求項1之噴嘴尖口配接器，其中該突出部(30)在該基座本體的軸向方向上延伸通過該噴嘴尖口凹部(26)且該突出部(30)的下游端從該噴嘴尖口凹部(26)突伸出。
  4. 如請求項1之噴嘴尖口配接器，其中該基座本體(16)包含一在該裝置端(18)的裝置突部(24)，用來將該噴嘴尖口配接器(12)固定至該基材處理裝置。
  5. 如請求項4之噴嘴尖口配接器，其中該噴嘴尖口凹部(26)和該裝置突部(24)具有相同的尺寸及/或互補的形狀。
  6. 如請求項1之噴嘴尖口配接器，其中該噴嘴尖口配接器(12)具有一抽吸埠(32)，其較佳地位在該基座本體(16)的該周圍表面(22)或該裝置端(18)，且該抽吸導管(34)開始於該抽吸埠(32)、以及一供應埠(29)，其較佳地位在該周圍表面(22)或該裝置端(18)，且該供應導管(36)開始於該供應埠(29)。
  7. 一種用於基材處理裝置的噴嘴組件，包含如請求項1至6中任一項的噴嘴尖口配接器(12)和一噴嘴尖口(14)，該噴嘴尖口(14)包含：一噴嘴本體(44)，其具有一連接端(46)和一排放端(48)，一設置在該連接端(46)的緊固突部(50)，一液體室(52)，其朝向該連接端(46)開口且至少延伸到該緊固突部(50)中，以及一出口(54)，其具有一位在該排放端(48)的孔口(56) 且被流體連通地連接至該液體室(52)，較佳地是在該液體室(52)的該下游端被連接至該液體室(52)，其中該噴嘴尖口(14)的該緊固突部(50)被容納在該噴嘴尖口配接器(12)的該噴嘴尖口凹部(26)內，該噴嘴尖口配接器(12)的該突出部(30)延伸至該噴嘴尖口(14)的該液體室(52)中。
  8. 如請求項7之噴嘴組件，其中該噴嘴尖口配接器(12)的供應導管(36)在該液體室(52)的上游端開口於該液體室(52)內，及/或該噴嘴尖口配接器(12)的該抽吸導管(34)開口於位在該突出部(30)的下游端的該液體室(52)內。
  9. 如請求項7之噴嘴組件，其中該出口(54)有一直徑(d)，介於該突出部(30)的下游端與該孔口(56)之間的距離(a)是該出口(54)的直徑(d)的至少0.5倍。
  10. 如請求項7之噴嘴組件，其中該出口(54)和該突出部(30)內的該抽吸導管(34)係同軸。
  11. 如請求項7之噴嘴組件，其中一通道(58)被形成在該噴嘴尖口配接器(12)的該突出部(30)的周邊和該液體室(52)的內壁之間，及其中該噴嘴尖口配接器(12)的該供應導管(36)開口於該通道(58)內。
  12. 如請求項7之噴嘴組件，其中一通道(58)和該抽吸導管(34)在該液體室(52)的該下游端處合併。
  13. 一種用來供應液體至一基材的噴嘴，其具有一有裝置端(18)和排放端(48)的主體(62)，該主體(62)包含：一抽吸導管(34)，一供應導管(36)，一液體室(52)，其形成該供應導管(36)的一些部分，一出口(54)，其具有一比該液體室(52)的直徑(D)小的直徑(d)、具有一位在該排放端(48)的孔口(56)、以及被流體地連接至該液體室(52)，較佳地在該液體室(52)的下游端被流體地連接至該液體室(52)，及一延伸至該液體室(52)內的突出部(30)，其中該抽吸導管(34)延伸通過該突出部(30)且在該液體室(52)的該下游端開口於該液體室(52)內並於該出口(54)的上游與該供應導管(36)合併，其中該抽吸導管(34)至少部分地被該供應導管(36)包圍。
  14. 如請求項13之噴嘴，其中該抽吸導管(34)延伸通過該突出部(30)的軸向長度且在該突出部(30)的下游端開口。
  15. 如請求項13之噴嘴，其中該主體(62)包含在該裝置端(18)的一用來將該噴嘴(60)固定至基材處理裝置的裝置突 部(24)。
  16. 如請求項13之噴嘴，其中該噴嘴(60)具有一抽吸埠(32)，其較佳地位在該主體(62)的周圍表面(22)或該裝置端(18)，且該抽吸導管(34)開始於該抽吸埠(32)、以及具有一供應埠(29)，其較佳地位在該周圍表面(22)或該裝置端(18)，且該供應導管(36)開始於該供應埠(29)。
  17. 如請求項13之噴嘴，其中介於該突出部(30)的下游端與該孔口(56)之間的距離(a)是該出口(54)的直徑(d)的至少0.5倍。
  18. 如請求項13之噴嘴，其中該出口(54)和該突出部(30)內的該抽吸導管(34)係同軸。
  19. 如請求項13之噴嘴，其中一通道(58)被形成在該突出部(30)的周圍和該液體室(52)的內壁之間。
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