JPH0631207A - 洗浄用ノズル - Google Patents
洗浄用ノズルInfo
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- JPH0631207A JPH0631207A JP19527092A JP19527092A JPH0631207A JP H0631207 A JPH0631207 A JP H0631207A JP 19527092 A JP19527092 A JP 19527092A JP 19527092 A JP19527092 A JP 19527092A JP H0631207 A JPH0631207 A JP H0631207A
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- fluid
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 洗浄用流体或いはそれに包含される汚染物質
の飛散、及びそれに起因する２次的な環境汚染を防止す
る。 【構成】 洗浄用流体噴出用ノズル（１４）の外周部に
設けた気体噴出用ノズル（１６）、洗浄用流体噴出用ノ
ズル（１４）の内側或いは外側に設けられた吸引ノズル
（３６或いは４２）のいずれかを含み、或いはこれ等を
適宜組み合わせて構成されている。
の飛散、及びそれに起因する２次的な環境汚染を防止す
る。 【構成】 洗浄用流体噴出用ノズル（１４）の外周部に
設けた気体噴出用ノズル（１６）、洗浄用流体噴出用ノ
ズル（１４）の内側或いは外側に設けられた吸引ノズル
（３６或いは４２）のいずれかを含み、或いはこれ等を
適宜組み合わせて構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄対象物に洗浄用流
体を噴射して汚染物質を洗い流すための洗浄用ノズルに
関する。
体を噴射して汚染物質を洗い流すための洗浄用ノズルに
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の地球環境保全意識の向上と共にフ
ロン対策が重要な課題となっている種々の先端的な工業
分野において、脱塩素系溶剤の洗浄装置として、水系ス
プレー洗浄装置が有望視されている。
ロン対策が重要な課題となっている種々の先端的な工業
分野において、脱塩素系溶剤の洗浄装置として、水系ス
プレー洗浄装置が有望視されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の水系スプレー洗
浄装置或いは洗浄方式では、チャンバーや装置内等の閉
鎖空間において洗浄作業を行う際には、特に問題はな
い。
浄装置或いは洗浄方式では、チャンバーや装置内等の閉
鎖空間において洗浄作業を行う際には、特に問題はな
い。
【０００４】しかし、洗浄作業を開放された空間におい
て行う場合には、洗浄液滴（洗浄液の液滴）及びそれに
包含される汚染物質の飛散により、２次的な環境汚染が
惹起されるという問題が存在する。そして、従来の（水
系スプレー）洗浄装置においては、洗浄液滴の飛散を防
止する有効な手段は講じられていなかった。
て行う場合には、洗浄液滴（洗浄液の液滴）及びそれに
包含される汚染物質の飛散により、２次的な環境汚染が
惹起されるという問題が存在する。そして、従来の（水
系スプレー）洗浄装置においては、洗浄液滴の飛散を防
止する有効な手段は講じられていなかった。
【０００５】本発明は上記した様な従来技術の問題点に
鑑みて提案されたもので、洗浄液或いはそれに包含され
る汚染物質の飛散、及びそれに起因する２次的な環境汚
染を防止することが出来る様な洗浄用ノズルの提供を目
的としている。
鑑みて提案されたもので、洗浄液或いはそれに包含され
る汚染物質の飛散、及びそれに起因する２次的な環境汚
染を防止することが出来る様な洗浄用ノズルの提供を目
的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の洗浄用ノズル
は、洗浄対象物に洗浄用流体を噴射するための洗浄用ノ
ズルにおいて、洗浄用流体噴出用のノズルの外周部に、
洗浄用流体による噴流を包囲する気体噴流を形成するた
めの気体噴出用ノズルを設けている。
は、洗浄対象物に洗浄用流体を噴射するための洗浄用ノ
ズルにおいて、洗浄用流体噴出用のノズルの外周部に、
洗浄用流体による噴流を包囲する気体噴流を形成するた
めの気体噴出用ノズルを設けている。
【０００７】ここで、前記洗浄用流体としては、水、温
水、熱水、スチーム、気体と液体との混合体、その他が
適用出来る。洗浄の際に、洗浄用流体中に防錆剤を混入
すれば、洗浄後の防錆を図ることが出来るので好適であ
る。
水、熱水、スチーム、気体と液体との混合体、その他が
適用出来る。洗浄の際に、洗浄用流体中に防錆剤を混入
すれば、洗浄後の防錆を図ることが出来るので好適であ
る。
【０００８】また、本発明の洗浄用ノズルは、洗浄対象
物に洗浄用流体を噴射するための洗浄用ノズルにおい
て、洗浄用流体噴出用のノズルの内側に、飛散した流体
滴を回収するための吸引用ノズルを設けている。
物に洗浄用流体を噴射するための洗浄用ノズルにおい
て、洗浄用流体噴出用のノズルの内側に、飛散した流体
滴を回収するための吸引用ノズルを設けている。
【０００９】さらに、本発明の洗浄用ノズルは洗浄対象
物に洗浄用流体を噴射するための洗浄用ノズルにおい
て、洗浄用流体噴出用のノズルの外周部に、飛散した流
体滴を回収するための吸引用ノズルを設けている。
物に洗浄用流体を噴射するための洗浄用ノズルにおい
て、洗浄用流体噴出用のノズルの外周部に、飛散した流
体滴を回収するための吸引用ノズルを設けている。
【００１０】本発明の実施に際して、洗浄対象物に洗浄
用流体を噴射するための洗浄用ノズルにおいて、洗浄用
流体噴出用のノズルの外周部に洗浄用流体の噴流を包囲
する気体噴流を形成するための気体噴出用ノズルを設
け、洗浄用流体噴出用のノズルの内側に飛散した流体滴
を回収するための吸引用ノズルを設けるのが好ましい。
用流体を噴射するための洗浄用ノズルにおいて、洗浄用
流体噴出用のノズルの外周部に洗浄用流体の噴流を包囲
する気体噴流を形成するための気体噴出用ノズルを設
け、洗浄用流体噴出用のノズルの内側に飛散した流体滴
を回収するための吸引用ノズルを設けるのが好ましい。
【００１１】また、洗浄対象物に洗浄用流体を噴射する
ための洗浄用ノズルにおいて、洗浄用流体噴出用のノズ
ルの外周部に洗浄用流体の噴流を包囲する気体噴流を形
成するための気体噴出用ノズルを設け、洗浄用流体噴出
用のノズルの外周部に飛散した流体滴を回収するための
吸引用ノズルを設けることも好ましい。
ための洗浄用ノズルにおいて、洗浄用流体噴出用のノズ
ルの外周部に洗浄用流体の噴流を包囲する気体噴流を形
成するための気体噴出用ノズルを設け、洗浄用流体噴出
用のノズルの外周部に飛散した流体滴を回収するための
吸引用ノズルを設けることも好ましい。
【００１２】さらに、洗浄対象物に洗浄用流体を噴射す
るための洗浄用ノズルにおいて、洗浄用流体噴出用のノ
ズルの内側に飛散した流体滴を回収するための吸引用ノ
ズルを設け、洗浄用流体噴出用のノズルの外周部にも飛
散した流体滴を回収するための吸引用ノズルを設けても
好適である。
るための洗浄用ノズルにおいて、洗浄用流体噴出用のノ
ズルの内側に飛散した流体滴を回収するための吸引用ノ
ズルを設け、洗浄用流体噴出用のノズルの外周部にも飛
散した流体滴を回収するための吸引用ノズルを設けても
好適である。
【００１３】これに加えて、洗浄対象物に洗浄用流体を
噴射するための洗浄用ノズルにおいて、洗浄用流体噴出
用のノズルの外周部に、洗浄用流体の噴流を包囲する気
体噴流を形成するための気体噴出用ノズルを設け、洗浄
用流体噴出用のノズルの内側に飛散した流体滴を回収す
るための吸引用ノズルを設け、洗浄用流体噴出用のノズ
ルの外周部に飛散した流体滴を回収するための吸引用ノ
ズルを設けた態様でも、本発明は好適に実施される。
噴射するための洗浄用ノズルにおいて、洗浄用流体噴出
用のノズルの外周部に、洗浄用流体の噴流を包囲する気
体噴流を形成するための気体噴出用ノズルを設け、洗浄
用流体噴出用のノズルの内側に飛散した流体滴を回収す
るための吸引用ノズルを設け、洗浄用流体噴出用のノズ
ルの外周部に飛散した流体滴を回収するための吸引用ノ
ズルを設けた態様でも、本発明は好適に実施される。
【００１４】
【作用】上記した様な構成を具備する本発明の洗浄用ノ
ズルによれば、洗浄用流体の噴流を包囲する気体噴流を
形成するための気体噴出用ノズルを設け、気体噴出用ノ
ズルから噴出される気体噴流によりエアカーテンを形成
したので、洗浄用流体或いはそれに含有された汚染物質
は該エアカーテンの外周に飛散することが無い。この場
合、該気体噴出用ノズルより熱風を噴射すれば、本発明
の洗浄用ノズルをドライヤーとして作動せしめることが
可能である。
ズルによれば、洗浄用流体の噴流を包囲する気体噴流を
形成するための気体噴出用ノズルを設け、気体噴出用ノ
ズルから噴出される気体噴流によりエアカーテンを形成
したので、洗浄用流体或いはそれに含有された汚染物質
は該エアカーテンの外周に飛散することが無い。この場
合、該気体噴出用ノズルより熱風を噴射すれば、本発明
の洗浄用ノズルをドライヤーとして作動せしめることが
可能である。
【００１５】また、本発明の洗浄用ノズルによれば、洗
浄用流体噴出用のノズルの内側に吸引用ノズルを設け、
洗浄用流体の噴流の内側において飛散する洗浄用流体或
いはそれに含有された汚染物質が吸引用ノズルにより回
収されて、飛散が防止される。
浄用流体噴出用のノズルの内側に吸引用ノズルを設け、
洗浄用流体の噴流の内側において飛散する洗浄用流体或
いはそれに含有された汚染物質が吸引用ノズルにより回
収されて、飛散が防止される。
【００１６】さらに、本発明の洗浄用ノズルによれば、
洗浄用流体噴出用のノズルの外周部に飛散した流体滴を
回収するための吸引用ノズルを設けたので、洗浄用流体
の噴流（或いは気体噴流）の外側において飛散する洗浄
用流体或いはそれに含有された汚染物質が吸引用ノズル
により回収され、飛散が防止されるのである。
洗浄用流体噴出用のノズルの外周部に飛散した流体滴を
回収するための吸引用ノズルを設けたので、洗浄用流体
の噴流（或いは気体噴流）の外側において飛散する洗浄
用流体或いはそれに含有された汚染物質が吸引用ノズル
により回収され、飛散が防止されるのである。
【００１７】さらに、上述の気体噴出用ノズルと、洗浄
用流体噴出用のノズルの内側或いは外側に設けられた吸
引用ノズルとを適宜組み合わせることにより、洗浄用流
体或いはそれに含有された汚染物質の飛散が更に効果的
に防止されるのである。
用流体噴出用のノズルの内側或いは外側に設けられた吸
引用ノズルとを適宜組み合わせることにより、洗浄用流
体或いはそれに含有された汚染物質の飛散が更に効果的
に防止されるのである。
【００１８】
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の実施例
を説明する。なお、図において対応する部材には同一の
符号を付して、重複説明を省略する。
を説明する。なお、図において対応する部材には同一の
符号を付して、重複説明を省略する。
【００１９】図１において、全体を符号１０で示す洗浄
用ノズルは、水、温水、熱水、スチーム、界面活性剤等
の洗浄液、気体と液体との混合体、その他から成る洗浄
用流体１２を噴射するための洗浄用流体噴出用ノズル１
４と、洗浄用流体噴出用ノズル１４の外周部に設けた気
体噴出用ノズル１６から構成されている。そして気体噴
出用ノズル１６からは、洗浄用流体１２の噴流を包囲す
る如き態様にて気体噴流１７が噴出している。
用ノズルは、水、温水、熱水、スチーム、界面活性剤等
の洗浄液、気体と液体との混合体、その他から成る洗浄
用流体１２を噴射するための洗浄用流体噴出用ノズル１
４と、洗浄用流体噴出用ノズル１４の外周部に設けた気
体噴出用ノズル１６から構成されている。そして気体噴
出用ノズル１６からは、洗浄用流体１２の噴流を包囲す
る如き態様にて気体噴流１７が噴出している。
【００２０】ここで、洗浄用流体噴出用ノズル１４及び
気体噴出用ノズル１６の形状については、種々の適用が
可能である。例えば、図２、３、４では、洗浄用流体噴
出用ノズル１４の断面形状は円環状であるが、気体噴出
用ノズルの断面形状は各々異なっている。すなわち、図
２で示す気体噴出用ノズル１６は洗浄用流体噴出用ノズ
ル１４と同様に円環状であるが、図３の気体噴出用ノズ
ルは同一円周（仮想線）上に配列された複数の小円１８
…から構成されており、図４において符号２０で示す気
体噴出用ノズルは矩形状をしている。一方、図５で示す
洗浄用流体噴出用ノズル２２は、洗浄用ノズル１０の中
央部に位置した小径の円孔であり、環状とはなっていな
い。そのため、洗浄用流体噴出用ノズル２２からの洗浄
用流体の噴流１２ａの形状も、図１とは異なり、前方
（図５では右方）に向けて拡散する様な噴流となる。さ
らに図６で示す洗浄用流体噴出用ノズル２４は図５のノ
ズル２２よりも比較的大径の円孔で、且つ、その噴流１
２ｂが前方でもあまり拡散しない様に構成されている。
気体噴出用ノズル１６の形状については、種々の適用が
可能である。例えば、図２、３、４では、洗浄用流体噴
出用ノズル１４の断面形状は円環状であるが、気体噴出
用ノズルの断面形状は各々異なっている。すなわち、図
２で示す気体噴出用ノズル１６は洗浄用流体噴出用ノズ
ル１４と同様に円環状であるが、図３の気体噴出用ノズ
ルは同一円周（仮想線）上に配列された複数の小円１８
…から構成されており、図４において符号２０で示す気
体噴出用ノズルは矩形状をしている。一方、図５で示す
洗浄用流体噴出用ノズル２２は、洗浄用ノズル１０の中
央部に位置した小径の円孔であり、環状とはなっていな
い。そのため、洗浄用流体噴出用ノズル２２からの洗浄
用流体の噴流１２ａの形状も、図１とは異なり、前方
（図５では右方）に向けて拡散する様な噴流となる。さ
らに図６で示す洗浄用流体噴出用ノズル２４は図５のノ
ズル２２よりも比較的大径の円孔で、且つ、その噴流１
２ｂが前方でもあまり拡散しない様に構成されている。
【００２１】図１〜６で示す実施例の作用について説明
する。洗浄用流体噴出用ノズル１４、２２、２４から噴
出する洗浄用流体の噴流１２、１２ａ、１２ｂは、気体
噴出用ノズル１６、１８、２０から噴射される気体噴流
１７により包囲されている。従って、噴流１２、１２
ａ、１２ｂから洗浄用流体（の液滴）が外側に飛散して
も気体噴流１７で遮断され、外部環境に影響を及ぼす恐
れが無い。
する。洗浄用流体噴出用ノズル１４、２２、２４から噴
出する洗浄用流体の噴流１２、１２ａ、１２ｂは、気体
噴出用ノズル１６、１８、２０から噴射される気体噴流
１７により包囲されている。従って、噴流１２、１２
ａ、１２ｂから洗浄用流体（の液滴）が外側に飛散して
も気体噴流１７で遮断され、外部環境に影響を及ぼす恐
れが無い。
【００２２】図７は本発明の別の実施例を示している。
図７において、全体を符号３０で示す洗浄用ノズルは図
１の洗浄用ノズルと似通った構造であるが、その中央
部、すなわち洗浄用流体噴出用ノズル１４の内側に吸引
用ノズル３２を設けた点で、図１の実施例とは相違して
いる。この吸引用ノズル３２は、洗浄用流体の噴流１２
の内側（図７における半径方向内方）で飛散した流体滴
を回収（矢印３４）する作用を奏する。
図７において、全体を符号３０で示す洗浄用ノズルは図
１の洗浄用ノズルと似通った構造であるが、その中央
部、すなわち洗浄用流体噴出用ノズル１４の内側に吸引
用ノズル３２を設けた点で、図１の実施例とは相違して
いる。この吸引用ノズル３２は、洗浄用流体の噴流１２
の内側（図７における半径方向内方）で飛散した流体滴
を回収（矢印３４）する作用を奏する。
【００２３】次に、図８を参照して図７の洗浄用ノズル
３０の作用を説明する。洗浄対象物Ｗの表面（洗浄面）
ＷＳに洗浄用ノズル３０を対向して配置し、洗浄用流体
噴出用ノズル１４から洗浄用流体を噴射し、気体噴出用
ノズル１６から気体を噴射する。洗浄面ＷＳに衝突した
洗浄用流体噴流１２は洗浄面ＷＳに沿って流れ落ち（符
号３６で示す）、図示しない回収機構により別途回収さ
れるが、衝突した噴流の一部は液滴となって洗浄用ノズ
ル３０側に跳ね返る。この液滴は矢印３４で示す様に吸
引用ノズル３２により回収される。この様に、図７、８
で示す実施例によれば、洗浄面ＷＳに衝突して跳ね返っ
た洗浄用流体（の液滴）、すなわち該洗浄面ＷＳに沿っ
て流れ落ちなかった洗浄用流体も、外部環境に飛散する
ことなく、且つ吸引用ノズル３２により回収されるので
ある。
３０の作用を説明する。洗浄対象物Ｗの表面（洗浄面）
ＷＳに洗浄用ノズル３０を対向して配置し、洗浄用流体
噴出用ノズル１４から洗浄用流体を噴射し、気体噴出用
ノズル１６から気体を噴射する。洗浄面ＷＳに衝突した
洗浄用流体噴流１２は洗浄面ＷＳに沿って流れ落ち（符
号３６で示す）、図示しない回収機構により別途回収さ
れるが、衝突した噴流の一部は液滴となって洗浄用ノズ
ル３０側に跳ね返る。この液滴は矢印３４で示す様に吸
引用ノズル３２により回収される。この様に、図７、８
で示す実施例によれば、洗浄面ＷＳに衝突して跳ね返っ
た洗浄用流体（の液滴）、すなわち該洗浄面ＷＳに沿っ
て流れ落ちなかった洗浄用流体も、外部環境に飛散する
ことなく、且つ吸引用ノズル３２により回収されるので
ある。
【００２４】図９は、図７、８の実施例の変形例であ
る。図７、８において吸引用ノズル３２は前方（図中右
方）から液滴を吸引するが、図９で示す吸引用ノズル３
６は矢印３８で示す様な態様で、該吸引用ノズル３６の
前方からのみならず側方からも液滴を吸引する。その他
の点は上述したのと同様である。
る。図７、８において吸引用ノズル３２は前方（図中右
方）から液滴を吸引するが、図９で示す吸引用ノズル３
６は矢印３８で示す様な態様で、該吸引用ノズル３６の
前方からのみならず側方からも液滴を吸引する。その他
の点は上述したのと同様である。
【００２５】図１０で示す洗浄用ノズル４０は、洗浄用
流体噴出用ノズル１４或いは気体噴出用ノズル１６の外
周部（半径方向外方）に吸引用ノズル４２を備えている
点で、図１の洗浄用ノズル１０とは異なっている。この
吸引用ノズル４２を備えた事により、矢印４４で示す様
に、気体噴出用ノズル１６から噴射される気体（エアカ
ーテン）１７を突出して外部に飛散しようとする洗浄用
流体（の液滴）が回収されるのである。
流体噴出用ノズル１４或いは気体噴出用ノズル１６の外
周部（半径方向外方）に吸引用ノズル４２を備えている
点で、図１の洗浄用ノズル１０とは異なっている。この
吸引用ノズル４２を備えた事により、矢印４４で示す様
に、気体噴出用ノズル１６から噴射される気体（エアカ
ーテン）１７を突出して外部に飛散しようとする洗浄用
流体（の液滴）が回収されるのである。
【００２６】図１１は、図１０の実施例に図７、８で示
す様な吸引用ノズル３２を設けたものである。図１０で
説明した作用に加えて、図８で説明した作用も奏するこ
とが出来る。
す様な吸引用ノズル３２を設けたものである。図１０で
説明した作用に加えて、図８で説明した作用も奏するこ
とが出来る。
【００２７】図示の実施例はあくまでも例示であり、本
発明は図１〜１１で示すものに限定される訳ではない。
特に、洗浄用流体噴出用ノズル、気体噴出用ノズル、吸
引用ノズルの形状については、ケース・バイ・ケースで
変更、変形が可能である事を付記する。
発明は図１〜１１で示すものに限定される訳ではない。
特に、洗浄用流体噴出用ノズル、気体噴出用ノズル、吸
引用ノズルの形状については、ケース・バイ・ケースで
変更、変形が可能である事を付記する。
【００２８】
【発明の効果】本発明の作用効果を以下に列挙する。
【００２９】（１） 洗浄用流体或いはそれに含有され
た汚染物質が外部環境に飛散することが防止される。
た汚染物質が外部環境に飛散することが防止される。
【００３０】（２） 洗浄用流体の噴流の内側或いは外
側において飛散する洗浄用流体或いはそれに含有された
汚染物質が回収され、飛散が防止される。
側において飛散する洗浄用流体或いはそれに含有された
汚染物質が回収され、飛散が防止される。
【００３１】（３） 洗浄用流体の流体滴及びそれに包
含される汚染物質の飛散による２次的な環境汚染が防止
される。
含される汚染物質の飛散による２次的な環境汚染が防止
される。
【００３２】（４） 気体噴出用ノズルより熱風を噴射
すれば、ドライヤーとして作動せしめることが可能であ
る。
すれば、ドライヤーとして作動せしめることが可能であ
る。
【００３３】（５） 水、温水、熱水、スチーム、界面
活性剤等の洗浄液、気体と液体との混合体、防錆剤の混
合物やその他の洗浄用流体が適用出来る。
活性剤等の洗浄液、気体と液体との混合体、防錆剤の混
合物やその他の洗浄用流体が適用出来る。
【図１】本発明の１実施例を示す側面図。
【図２】図１の実施例の正面図。
【図３】図１の実施例の変形例を示す正面図。
【図４】図１の実施例のその他の変形例を示す正面図。
【図５】図１の実施例の別の変形例を示す側面図。
【図６】図１の実施例のさらに別の変形例を示す側面
図。
図。
【図７】本発明の他の実施例を示す側面図。
【図８】図７の実施例の作用を示す側面図。
【図９】図７の実施例の変形例を示す側面図。
【図１０】本発明のさらに別の実施例を示す側面図。
【図１１】図１０の実施例の変形例を示す側面図。
１０、３０、４０・・・洗浄用ノズル １２、１２ａ、１２ｂ・・・洗浄用流体の噴流 １４、２２、２４・・・洗浄用流体噴出用ノズル １６、１８、２０・・・気体噴出用ノズル １７・・・気体噴流 ３８・・・吸引 ３２、４２・・・吸引用ノズル
Claims (3)
- 【請求項１】 洗浄対象物に洗浄用流体を噴射するため
の洗浄用ノズルにおいて、洗浄用流体噴出用のノズルの
外周部に、洗浄用流体の噴流を包囲する気体噴流を形成
するための気体噴出用ノズルを設けた事を特徴とする洗
浄用ノズル。 - 【請求項２】 洗浄対象物に洗浄用流体を噴射するため
の洗浄用ノズルにおいて、洗浄用流体噴出用のノズルの
内側に、飛散した流体滴を回収するための吸引用ノズル
を設けた事を特徴とする洗浄用ノズル。 - 【請求項３】 洗浄対象物に洗浄用流体を噴射するため
の洗浄用ノズルにおいて、洗浄用流体噴出用のノズルの
外周部に、飛散した流体滴を回収するための吸引用ノズ
ルを設けた事を特徴とする洗浄用ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19527092A JPH0631207A (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | 洗浄用ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19527092A JPH0631207A (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | 洗浄用ノズル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631207A true JPH0631207A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16338367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19527092A Pending JPH0631207A (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | 洗浄用ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631207A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001353452A (ja) * | 2000-06-13 | 2001-12-25 | Heiwa Sangyo Kk | 切削剤噴霧装置の噴霧ノズル |
| JP2012250210A (ja) * | 2011-06-06 | 2012-12-20 | K & K Service:Kk | 逃し部材、および、ノズル |
| JP2015109327A (ja) * | 2013-12-04 | 2015-06-11 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
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1992
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