TWI727438B - 基板處理方法以及基板處理裝置 - Google Patents

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TWI727438B
TWI727438B TW108135169A TW108135169A TWI727438B TW I727438 B TWI727438 B TW I727438B TW 108135169 A TW108135169 A TW 108135169A TW 108135169 A TW108135169 A TW 108135169A TW I727438 B TWI727438 B TW I727438B
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沖田有史
角間央章
増井達哉
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日商斯庫林集團股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種能監視已噴出至基板的端部之液柱狀的處理液的著液位置之基板處理方法。基板處理方法係具備有保持工序、旋轉工序、上升工序、斜面處理工序、拍攝工序以及監視工序。在保持工序中，使基板保持部保持基板。在旋轉工序中，使基板保持部旋轉並使基板旋轉。在上升工序中，使用以圍繞基板保持部的外周之罩構件上升，並使罩構件的上端位於比基板的上表面還高的上端位置。在斜面處理工序中，從位於比該上端位置還低的位置之噴嘴的噴出口朝基板的上表面的端部噴出處理液。在拍攝工序中，使照相機拍攝從基板的上方的拍攝位置觀看的拍攝區域並取得拍攝影像，該拍攝區域係包含有已從噴嘴噴出的處理液以及映照至基板的上表面之處理液的鏡像。在監視工序中，依據拍攝影像中的處理液與該鏡像監視處理液的著液位置。

Description

基板處理方法以及基板處理裝置
本發明係有關於一種基板處理方法以及基板處理裝置。
使用基板處理裝置作為用以對基板進行處理之裝置，該基板處理裝置係一邊使基板在水平面內旋轉一邊從噴出噴嘴對基板的表面噴出處理液。已從噴出噴嘴著液至基板的略中央之處理液係藉由伴隨著基板的旋轉之離心力擴展至基板的整面並從基板的周緣朝外側飛散。藉由處理液擴展至基板的整面，能使處理液作用至基板的整面。採用已與針對基板的處理相應之藥液或者洗淨液等作為處理液。
在此種基板處理裝置中，已提案有一種技術(專利文獻1至專利文獻5)，係設置有照相機以監視處理液是否適當地噴出。
此外，在半導體基板的製造工序中，會有殘留在基板的周緣端部上的各種膜對基板的器件(device)面造成不良影響之問題。
因此，以往提案有一種斜面(bevel)處理，係用以從基板的周緣端部去除該膜。在斜面處理中，一邊使基板在水平面內旋轉一邊從噴出噴嘴 朝基板的端部噴出去除用的處理液，藉由該處理液去除基板的周緣端部的膜。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2015-173148號公報。
[專利文獻2] 日本特開2017-29883號公報。
[專利文獻3] 日本特開2015-18848號公報。
[專利文獻4] 日本特開2016-122681號公報。
[專利文獻5] 日本特開2008-135679號公報。
在斜面處理中，由於只要對基板的端部供給處理液即可，因此處理液的流量變少。亦即，已從噴出噴嘴噴出的液柱狀的處理液係變細。因此，該液柱狀的處理液係容易受到伴隨著基板的旋轉之氣流以及周圍所產生的靜電等各種因素的影響，且該液柱狀的處理液的噴出狀態係容易變動。具體而言，可能會因為各種因素導致處理液相對於基板的著液位置偏移。由於著液位置的偏移會對製程造成不良影響，因此希望能監視處理液的噴出狀態。
然而，在斜面處理中，由於噴出噴嘴與基板之間的間隔狹窄，因此為了拍攝已從噴出噴嘴噴出的液柱狀的處理液需要耗費工夫。
因此，本發明的目的係提供一種能監視已噴出至基板的端部之液柱狀的處理液的著液位置之基板處理方法以及基板處理裝置。
第一態樣的基板處理方法係具備有：保持工序，係使基板保持部保持基板；旋轉工序，係使前述基板保持部旋轉並使前述基板旋轉；上升工序，係使用以圍繞前述基板保持部的外周之罩構件上升，並使前述罩構件的上端位於比前述基板保持部保持的前述基板的上表面還高的上端位置；斜面處理工序，係從位於比前述上端位置還低的位置之噴嘴的噴出口朝被前述基板保持部保持的前述基板的上表面的端部噴出處理液；拍攝工序，係使照相機拍攝從被前述基板保持部保持的前述基板的上方的拍攝位置觀看的拍攝區域並取得拍攝影像，前述拍攝區域係包含有已從前述噴嘴的前述噴出口噴出的處理液以及映照至前述基板的上表面之前述處理液的鏡像；以及監視工序，係依據前述拍攝影像中的前述處理液與前述鏡像監視前述處理液的著液位置。
第二態樣的基板處理方法係如第一態樣所記載之基板處理方法，其中在前述拍攝影像中，包含有前述處理液以及前述鏡像之整體影像係在前述處理液與前述鏡像之間的交界中彎曲；在前述監視工序中，依據前述處理液的前述整體影像的彎曲位置求出前述著液位置。
第三態樣的基板處理方法係如第二態樣所記載之基板處理方法，其中在前述監視工序中，從對前述拍攝影像進行了邊緣檢測處理以及二 值化處理所獲得的二值化影像檢測沿著前述處理液的噴出方向延伸的第一直線成分以及沿著前述鏡像的噴出方向延伸的第二直線成分，並求出前述第一直線成分與前述第二直線成分之間的交點作為前述彎曲位置。
第四態樣的基板處理方法係如第一態樣至第三態樣中任一態樣所記載之基板處理方法，其中前述照相機的曝光時間係設定成基板旋轉一圈所需的時間以上。
第五態樣的基板處理方法係如第一態樣至第三態樣中任一態樣所記載之基板處理方法，其中依據將在基板旋轉一圈所需的時間以上的時間內藉由前述照相機所取得的複數個拍攝影像予以積分或者平均所獲得的拍攝影像中的前述整體影像求出前述著液位置。
第六態樣的基板處理方法係如第一態樣至第五態樣中任一態樣所記載之基板處理方法，其中在前述監視工序中，特定前述拍攝影像中的前述基板的周緣的位置，並求出已將前述基板的周緣的位置作為基準的前述處理液的前述著液位置。
第七態樣的基板處理方法係如第一態樣至第六態樣中任一態樣所記載之基板處理方法，其中前述監視工序係包含有下述工序：在所求出的前述著液位置不在預定的範圍內時，使通報部通報此種狀況。
第八態樣的基板處理方法係如第一態樣至第七態樣中任一態樣所記載之基板處理方法，其中在前述監視工序中，藉由機械學習完畢的分類器將前述拍攝影像分類成著液位置無異常的範疇(category)以及著液位置有異 常的範疇中的任一個範疇。
第九態樣的基板處理方法係如第八態樣所記載之基板處理方法，其中在前述監視工序中，從前述拍攝影像切出位於前述噴嘴的正下方且包含有前述處理液以及前述鏡像之區域，並將所切出的區域的影像輸入至前述分類器。
第十態樣的基板處理裝置係具備有：基板保持部，係保持基板並使前述基板旋轉；罩構件，係圍繞前述基板保持部的外周；升降機構，係使前述罩構件上升，並使前述罩構件的上端位於比被前述基板保持部保持的前述基板的上表面還高的上端位置；噴嘴，係具有位於比前述上端位置還低的位置之噴出口，並從前述噴出口朝被前述基板保持部保持的前述基板的上表面的端部噴出處理液；照相機，係拍攝從被前述基板保持部保持的前述基板的上方的拍攝位置觀看的拍攝區域並取得拍攝影像，前述拍攝區域係包含有已從前述噴嘴的前述噴出口噴出的處理液以及映照至前述基板的上表面之前述處理液的鏡像；以及影像處理部，係依據前述拍攝影像中的前述處理液與前述鏡像監視前述處理液的著液位置。
依據第一態樣的基板處理方法以及第十態樣的基板處理裝置，能監視已噴出至基板的端部之液柱狀的處理液的著液位置。
依據第二態樣的基板處理方法，由於彎曲位置位於基板W的上表面上，因此能以更高的精度求出著液位置。
依據第三態樣的基板處理方法，能適當地求出彎曲位置。
依據第四態樣的基板處理方法，由於基板的上表面的圖案(pattern)被平均化且被同樣化，因此能在拍攝影像中降低處理液的鏡像所含有的雜訊。
依據第五態樣的基板處理方法，由於基板的上表面的圖案被平均化且被同樣化，因此能在拍攝影像中降低處理液的鏡像所含有的雜訊。
依據第六態樣的基板處理方法，由於求出相對於基板的周緣的著液位置，因此能更適當地監視著液位置。
依據第七態樣的基板處理方法，作業者能辨識著液位置異常。
依據第八態樣的基板處理方法，能高精度地檢測異常。
依據第九態樣的基板處理方法，由於能去除與處理液關聯性低的區域的影響並進行分類，因此能提升分類精度。
1,1A,1B:處理單元
9:控制部(影像處理部)
10:腔室
11:側壁
12:頂壁
13:底壁
14:風扇過濾器單元
15:區隔板
20:基板保持部
21:自轉基座
21a:保持面
22:自轉馬達
23:蓋構件
24,CX:旋轉軸
26:夾具銷
30,60,65:處理液供給部
31,61,66:噴出噴嘴(噴嘴)
32,62,67:固定構件
33,63,68:移動機構
34:配管
35:開閉閥
36:倒吸閥
37:處理液供給源
40:處理罩(罩構件)
41:內罩
42:中罩
43:外罩
44:升降機構
70:照相機
71:照明部
73:照相機保持部
74:保護構件
75:鏡子
76:鏡子保持部
91:分類器
92:機械學習部
93:通報部
100:基板處理裝置
102:索引器
103:主搬運機器人
321,621,671:噴嘴臂
322,622,672:噴嘴基台
731:連結構件
732:上表面構件
733:側面構件
734:下表面構件
911:特徵向量抽出部
912:判定部
913:判定資料庫
AR34,AR64,AR69:箭頭
B1:交界
IM1:拍攝影像
IM2:二值化影像
L1,L2:直線
LC1,LC2:直線成分
Lq1:處理液
Lqm1:鏡像
R1,R41,R42:區域
R2:判定區域
R3:周緣區域
R4:高像素值區域
W:基板
θ 1,θ 2:角度
[圖1]係顯示基板處理裝置的構成的概略性的一例之圖。
[圖2]係顯示處理單元的構成的概略性的一例之俯視圖。
[圖3]係顯示處理單元的構成的概略性的一例之剖視圖。
[圖4]係概略性地顯示藉由照相機所取得的拍攝影像的一例之圖。
[圖5]係概略性地顯示照相機與照相機保持部的構成的一例之立體圖。
[圖6]係顯示基板處理的一例之流程圖。
[圖7]係顯示監視處理的一例之流程圖。
[圖8]係將拍攝影像的一部分放大之圖。
[圖9]係概略性地顯示二值化影像的一例之圖。
[圖10]係顯示處理單元的構成的概略性的一例之俯視圖。
[圖11]係顯示處理單元的構成的概略性的一例之俯視圖。
[圖12]係概略性地顯示控制部的內部構成的一例之功能方塊圖。
以下，參照隨附的圖式說明實施形態。此外，圖式係概略性顯示，為了方便說明而適當地省略構成或者將構成簡略化。此外，圖式所示的構成等大小以及位置的相互關係並未正確地記載，可適當地變更。
此外，在以下所述的說明中，於相同構成要素附上相同的元件符號，針對這些名稱與功能亦同樣。因此，為了避免重複會有省略針對這些構成要素的詳細說明之情形。
[基板處理裝置的概要]
圖1係顯示基板處理裝置100的整體構成之圖。基板處理裝置100係用以對基板W供給處理液並對基板W進行處理之裝置。基板W係例如為半導體基板。基板W係具有略圓板形狀。
基板處理裝置100係一邊使基板W在水平面內旋轉一邊對基板W 的端部供給處理液，藉此能去除附著至基板W的周緣端部的不要物質。基板W的周緣端部的寬度(沿著徑方向的寬度)係例如為0.5mm至3mm左右。作為不要物質，例如可列舉SiO2膜、SiN膜及多晶矽(polysilicon)膜等膜以及微粒(particle)等。作為用以去除此種不要物質之處理液，能列舉氫氟酸(HF)、磷酸(H3PO4)、氨(NH3)與過氧化氫(H2O2)的混合溶液(SC-1(Standard clean-1；第一標準清洗液，亦即氨水過氧化氫混和液(ammonia-hydrogen peroxide))、以及氫氟硝酸(氫氟酸與硝酸(HNO3)的混合液)等。基板處理裝置100係一邊使基板W旋轉一邊對基板W的端部供給處理液，藉此去除不要物質。此種處理亦稱為斜面處理。
基板處理裝置100係具備有索引器(indexer)102、複數個處理單元1、以及主搬運機器人103。索引器102係具有下述功能：將從裝置外部接取之未處理的基板W搬入至裝置內部，並將處理完畢的基板W搬出至裝置外部。索引器102係用以載置複述個承載器(carrier)(未圖示)，並具備有移送機器人(未圖示)。作為承載器，能採用用以將基板W收容於密閉空間之FOUP(front opening unified pod；前開式晶圓傳送盒)或SMIF(standard mechanical inter face；標準製造介面)盒、或者用以在已收容的狀態下將基板W曝露於外氣之OC(open cassette；開放式晶圓匣)。移送機器人係在承載器與主搬運機器人103之間移送基板W。
於基板處理裝置100配置有十二個處理單元1。詳細的配置構成係以圍繞主搬運機器人103的周圍之方式配置有四個塔，該塔係層疊有三個處理單元1。換言之，三段地層疊有以圍繞主搬運機器人103之方式配置的四個處理單元1，且圖1係顯示其中的一層。此外，搭載於基板處理裝置100之處理單元1的 個數並未限定於十二個，例如亦可為八個或者四個。
主搬運機器人103係配置於層疊有處理單元1之四個塔的中央。主搬運機器人103係將從索引器102接取之未處理的基板W搬入至各個處理單元1，並從各個處理單元1搬出處理完畢的基板W且傳遞至索引器102。
[處理單元]
接著，說明處理單元1。以下，雖然說明搭載於基板處理裝置100之十二個處理單元1中的一個處理單元1，但針對其他的處理單元1亦同樣。圖2係處理單元1的俯視圖。此外，圖3係處理單元1的縱剖視圖。
處理單元1係於腔室(chamber)10內具備有下述構件作為主要的要素：基板保持部20，係將基板W保持成水平姿勢(基板W的法線沿著鉛直方向之姿勢)；三個處理液供給部30、60、65，係用以對被基板保持部20保持的基板W的上表面供給處理液；處理罩(processing cup)(罩構件)40，係圍繞基板保持部20的周圍；以及照相機70。此外，於腔室10內的處理罩40的周圍設置有區隔板15，該區隔板15係用以將腔室10的內側空間上下地區隔。此外，於處理單元1設置有控制部9以及通報部93。
[腔室]
腔室10係具備有：側壁11，係沿著鉛直方向；頂壁12，係封閉被側壁11圍繞的空間的上側；以及底壁13，係封閉被側壁11圍繞的空間的下側。被側壁11、頂壁12以及底壁13圍繞的空間係成為基板W的處理空間。此外，於腔室10的側壁11的一部分設置有：搬入搬出口(未圖示)，係藉由主搬運機器人103將基板W 相對於腔室10搬入以及搬出；以及擋門(shutter)(未圖示)，係將搬入搬出口予以開閉。
於腔室10的頂壁12安裝有風扇過濾器單元(FFU；fan filter unit)14，風扇過濾器單元14係用以將設置有基板處理裝置100的無塵室(cleaning room)內的空氣進一步地清淨化並供給至腔室10內的處理空間。風扇過濾器單元14係具備有用以將無塵室內的空氣取入並輸送至腔室10內之風扇以及過濾器(例如HEPA(High Efficiency Particulate Air；高效率粒子空氣)過濾器)，並於腔室10內的處理空間形成清淨空氣的降流(down flow)。為了將從風扇過濾器單元14所供給的清淨空氣均勻地分散，亦可於頂壁12的正下方設置穿設有多個吹出孔的衝孔板(punching plate)。
[基板保持部]
基板保持部20係例如為自轉夾具(spin chuck)。基板保持部20係具備有圓板形狀的自轉基座(spin base)21，自轉基座21係以水平姿勢固定於沿著鉛直方向延伸的旋轉軸24的上端。於自轉基座21的下方設置有用以使旋轉軸24旋轉之自轉馬達(spin motor)22。自轉馬達22係經由旋轉軸24使自轉基座21於水平面內旋轉。此外，以圍繞自轉馬達22以及旋轉軸24的周圍之方式設置有筒狀的蓋(cover)構件23。
圓板形狀的自轉基座21的外徑係比被基板保持部20保持的圓形的基板W的直徑還稍大。因此，自轉基座21係具有與應保持的基板W的下表面整面對向之保持面21a。
於自轉基座21的保持面21a的周緣部立設有複數個(在本實施形態中為四個)夾具銷(chuck pin)26。複數個夾具銷26係沿著與圓形的基板W的外周圓對應之圓周上隔著均等的間隔(若如本實施形態般為四個夾具銷26時則為90°間隔)配置。複數個夾具銷26係藉由收容於自轉基座21內且未圖示的連桿(link)機構而被連動地驅動。基板保持部20係使複數個夾具銷26各者抵接至基板W的外周端並把持基板W，藉此能在自轉基座21的上方以接近保持面21a的水平姿勢保持該基板W(參照圖3)，並能使複數個夾具銷26各者從基板W的外周端離開並解除把持。
在基板保持部20藉由複數個夾具銷26所為的把持而保持基板W的狀態下，自轉馬達22使旋轉軸24旋轉，藉此能使基板W繞著沿著通過基板W的中心的鉛直方向之旋轉軸CX旋轉。在此，基板保持部20係在圖2中朝逆時鐘方向旋轉。
[處理液供給部]
處理液供給部30係具備有噴出噴嘴31、固定構件32以及移動機構33。固定構件32係用以固定噴出噴嘴31之構件，並例如具備有噴嘴臂321以及噴嘴基台322。於噴嘴臂321的前端安裝有噴出噴嘴31。噴嘴臂321的基端側係固定並連結至噴嘴基台322。移動機構33係使固定構件32移位，藉此使噴出噴嘴31移動。例如，移動機構33為馬達，用以使噴嘴基台322繞著沿著鉛直方向的軸轉動。藉由噴嘴基台322轉動，如圖2中的箭頭AR34所示般，噴出噴嘴31係在基板W的端部的上方的處理位置與比處理罩40更外側的待機位置之間沿著水平方向圓弧狀地 移動。
處理液供給部30亦可具備有複數個噴出噴嘴31。在圖2以及圖3的例子中顯示三個噴出噴嘴31作為噴出噴嘴31。三個噴出噴嘴31係經由噴嘴臂321固定至噴嘴基台322。因此，三個噴出噴嘴31係彼此同步地移動。三個噴出噴嘴31係設置於處理位置中沿著基板W的周方向排列之位置。三個噴出噴嘴31的周方向中的間隔係例如為十數nm左右。
如圖3的例示所示，噴出噴嘴31係經由配管34連接至處理液供給源37。於配管34的中途設置有開閉閥35。於噴出噴嘴31的前端的下表面形成有噴出口(未圖示)。開啟開閉閥35，藉此來自處理液供給源37的處理液係於配管34的內部流動並從噴出噴嘴31的噴出口被噴出。在噴出噴嘴31於處理位置停止的狀態下噴出的處理液係著液至被基板保持部20保持的基板W的上表面的端部。基板W旋轉，藉此來自噴出噴嘴31的處理液係被供給至基板W的周緣端部的整個區域並去除該周緣端部的不要物質(斜面處理)。
亦可於配管34的中途分別設置有倒吸(suck back)閥36。倒吸閥36係在停止噴出處理液時吸入配管34內的處理液，藉此從噴出噴嘴31的前端引入處理液。藉此，不易在停止噴出時產生處理液從噴出噴嘴31的前端作為較大的團塊(液滴)落下之滴落。
在設置有複數個噴出噴嘴31之情形中，噴出噴嘴31亦可連接至彼此不同的處理液供給源37。亦即，處理液供給部30亦可構成為供給複數種處理液。或者，複數個噴出噴嘴31的至少兩個噴出噴嘴31亦可供給相同的處理液。
此外，於本實施形態的處理單元1除了設置有上面所說明的處理液供給部30之外還進一步設置有兩個處理液供給部60、65。本實施形態的處理液供給部60、65係具備有與上面所說明的處理液供給部30同樣的構成。亦即，處理液供給部60係具備有噴出噴嘴61、固定構件62以及移動機構63。與固定構件32同樣地，固定構件62係具備有噴嘴臂621以及噴嘴基台622。於噴嘴臂621的前端安裝有噴出噴嘴61，於噴嘴臂621的基端連結有噴嘴基台622。移動機構63係例如為馬達，使噴嘴基台622轉動，藉此如箭頭AR64所示般使噴出噴嘴61在基板W的端部的上方的處理位置與比處理罩40還外側的待機位置之間圓弧狀地移動。噴出噴嘴61亦對基板W的端部供給處理液。基板W旋轉，藉此來自噴出噴嘴61的處理液係被供給至基板W的周緣端部的整個區域並去除該周緣端部的不要物質(斜面處理)。
處理液供給部65係具備有噴出噴嘴66、固定構件67以及移動機構68。固定構件67係具備有噴嘴臂671以及噴嘴基台672。於噴嘴臂671的前端安裝有噴出噴嘴66，於噴嘴臂671的基端連結有噴嘴基台672。移動機構68係例如為馬達，使噴嘴基台672轉動，藉此如箭頭AR69所示般使噴出噴嘴66在基板W的略中央的上方的處理位置與比處理罩40還外側的待機位置之間圓弧狀地移動。噴出噴嘴66亦對基板W的略中央部供給處理液。基板W旋轉，藉此來自噴出噴嘴66的處理液係從基板W的中心擴展並從基板W的周緣朝外側飛散。藉此，能使處理液作用於基板W的上表面的整面。
處理液供給部60、65各者亦可構成為供給複數種處理液。或者， 處理液供給部60、65各者亦可構成為供給單一的處理液。
處理液供給部60、65係在各者的噴出噴嘴61、66位於處理位置的狀態下對被基板保持部20保持的基板W的上表面噴出處理液。此外，處理液供給部60、65的至少一者亦可為二流體噴嘴，該二流體噴嘴係將純水等洗淨液與經過加壓的氣體混合並生成液滴且將該液滴與氣體的混合流體噴射至基板W。此外，設置於處理單元1的處理液供給部並未限定於三個，只要為一個以上即可。與處理液供給部30同樣地，處理液供給部60、65的各個噴出噴嘴亦可經由配管連接至處理液供給源，且於該配管的中途設置有開閉閥並進一步設置有倒吸閥。以下，代表性地說明使用了處理液供給部30的斜面處理。
[處理罩]
處理罩40係以圍繞基板保持部20之方式設置。處理罩40係具備有內罩41、中罩42以及外罩43。內罩41、中罩42以及外罩43係設置成可升降。具體而言，於處理單元1設置有升降機構44，升降機構44係能使內罩41、中罩42以及外罩43個別地升降。升降機構44係例如具備有滾珠螺桿(ball screw)機構。
在內罩41、中罩42以及外罩43已上升的狀態下，處理罩40的上端(在此為外罩43的上端)係相對於基板W的上表面位於上方。以下，亦將外罩43已上升的狀態的外罩43的上端的高度位置稱為處理罩40的上端位置。處理罩40的上端位置與基板W之間的鉛直方向中的間隔係能設定成例如2mm至十數mm左右。
在內罩41、中罩42以及外罩43已上升的狀態下，從基板W的周緣 飛散的處理液係碰撞到內罩41的內周面並落下。已落下的處理液係被第一回收機構(未圖示)適當地回收。在內罩41已下降且中罩42以及外罩43已上升的狀態下，從基板W的周緣飛散的處理液係碰撞到中罩42的內周面並落下。已落下的處理液係被第二回收機構(未圖示)適當地回收。在內罩41以及中罩42已下降且外罩43已上升的狀態下，從基板W的周緣飛散的處理液係碰撞到外罩43的內周面並落下。已落下的處理液係被第三回收機構(未圖示)適當地回收。藉此，能分別適當地回收不同的處理液。
以下，將外罩43已上升的狀態作為處理罩40已上升的狀態進行說明。亦即，處理罩40已上升的狀態係包含有內罩41、中罩42以及外罩43全部已上升的狀態、僅中罩42以及外罩43已上升的狀態以及僅外罩43已上升的狀態。
[區隔板]
區隔板15係設置成在處理罩40的周圍中將腔室10的內側空間上下地區隔。區隔板15係可為用以圍繞處理罩40之一片板狀構件，亦可為接合了複數片板狀構件的區隔板。此外，亦可於區隔板15形成於厚度方向貫通的貫通孔或者切口；在本實施形態中形成有貫通孔(未圖示)，該貫通孔係通過用以支撐處理液供給部30、60、65的噴嘴基台322、622、672之支撐軸。
區隔板15的外周端係連結至腔室10的側壁11。此外，區隔板15中之用以圍繞處理罩40之端緣部係成為比外罩43的外徑還大的直徑的圓形形狀。因此，區隔板15不會成為外罩43的升降的阻礙。
此外，於腔室10的側壁11的一部分且於底壁13的附近設置有排氣 導管18。排氣導管18係連通地連接至未圖示的排氣機構。從風扇過濾器單元14所供給且於腔室10內流下的清淨空氣中之通過處理罩40與區隔板15之間的空氣係從排氣導管18排出至裝置外部。
[照相機]
照相機70係設置於腔室10內且設置於比區隔板15還上方。照相機70係例如具備有拍攝元件(例如CCD(charge coupled device；電荷耦合元件))以及光學系統，該光學系統係電子光圈以及透鏡等。照相機70係能拍攝接下來要說明的拍攝區域。亦即，拍攝區域係從上方的拍攝位置觀看基板W之區域，且為包含有從噴出噴嘴31朝基板W流下的處理液Lq1以及映照至基板W的上表面的處理液Lq1之區域。
圖4係概略性地顯示藉由照相機70所取得的影像資料(以下稱為拍攝影像)IM1的一例之圖。在圖4的例子中，於拍攝影像IM1包含有三個噴出噴嘴31的前端。在拍攝影像IM1中包含有從三個噴出噴嘴31中之位於中央的噴出噴嘴31所噴出的略液柱狀的處理液Lq1。此處所謂的略液柱狀的處理液Lq1係指從噴出噴嘴31的前端朝基板W的上表面流下的處理液Lq1。
此外，在拍攝影像IM1中，於基板W的上表面包含有噴出噴嘴31的前端以及略液柱狀的處理液Lq1。此是藉由下述所得：來自照明部71的光線在噴出噴嘴31以及處理液Lq1反射後，在基板W的上表面經過鏡面反射並被照相機70的受光面受光。亦即，基板W的上表面作為鏡子而發揮作用，且基板W的上表面映照有噴出噴嘴31的外觀。照相機70係將拍攝影像IM1輸出至控制部9。
以下，將在拍攝影像IM1中映照至基板W的上表面之略液柱狀的處理液Lq1稱為處理液Lq1的鏡像Lqm1。此外，亦將拍攝影像IM1中包含有處理液Lq1以及處理液Lq1的鏡像Lqm1之影像稱為整體影像。
如圖2所例示般，照相機70只要設置成可移動即可。在圖2的例子中，照相機70係固定至處理液供給部60的固定構件62。作為更具體的例子，設置有用以保持照相機70之照相機保持部73，該照相機保持部73係連結至固定構件62的噴嘴臂621。例如，照相機保持部73的基端側係藉由緊固構件(例如螺絲)固定至噴嘴臂621的前端部，照相機保持部73的前端側係藉由緊固構件固定並保持照相機70。照相機保持部73係例如由金屬(例如不鏽鋼)等所形成。移動機構63係使固定構件62移位，藉此使照相機70移動至基板W的上方的拍攝位置。更具體而言，移動機構63係使噴嘴基台622轉動，藉此能使照相機70在基板W的上方的拍攝位置與比處理罩40還外側的待機位置之間往復移動。
在圖2的例子中，噴出噴嘴31的待機位置係相對於照相機70的待機位置位於順時鐘方向偏移略90度的位置。噴出噴嘴31以及照相機70係以從各者的待機位置彼此接近之方式移動，並在各者的處理位置以及拍攝位置停止。在照相機70的拍攝位置中，照相機70係以能拍攝包含有噴出噴嘴31的前端以及從噴出噴嘴31的前端噴出的略液柱狀的處理液Lq1之拍攝區域的姿勢被照相機保持部73保持。在圖2的例子中，照相機保持部73係相對於噴嘴臂621朝順時鐘方向側傾斜地突出，並在照相機保持部73的前端側保持照相機70。
在此，說明噴出噴嘴31在處理位置停止且照相機70在拍攝位置停 止的狀態中之照相機70與噴出噴嘴31之間的位置關係的一例。以下，使用三個噴出噴嘴31中之位於中央的噴出噴嘴31來說明該位置關係。
在圖2的例子中，俯視觀看時照相機70係相對於噴出噴嘴31位於基板W的中心側。亦即，照相機70相對於基板W之徑方向的位置係位於比噴出噴嘴31的徑方向的位置還靠近基板W的中心側。
此外，在圖2的例子中，俯視觀看時，照相機70係從比基板W的徑方向還接近周方向之拍攝方向拍攝三個噴出噴嘴31的前端。亦即，照相機70相對於基板W之周方向的位置係相對於噴出噴嘴31的周方向的位置朝一側偏移。再以其他方式來說明，俯視觀看時，連結基板W的中心與噴出噴嘴31之虛擬的直線L1與照相機70的光軸所呈的角度θ 1(0<θ 1<90)係比與直線L1正交的虛擬的直線L2與照相機70的光軸所呈的角度θ 2(0<θ 2<90)還大。藉此，能在拍攝影像IM1中容易地觀看處理液Lq1相對於基板W的著液位置的徑方向位置。然而，當角度θ 2過小時，從拍攝位置觀看時三個噴出噴嘴31有可能在深度方向排列重疊。在此情形中，由於難以將三個噴出噴嘴31全部包含在拍攝影像IM1，因此只要以從拍攝位置觀看時三個噴出噴嘴31適當地朝橫方向偏移之方式設定角度θ 2即可。
此外，照相機70係從更接近周方向的拍攝方向拍攝拍攝區域，藉此從拍攝位置觀看時三個噴出噴嘴31係在深度方向彼此錯開。三個噴出噴嘴31的深度方向中的間隔係例如為數mm至十數mm左右。照相機70的景深(depth of field)係被較大地設定成這三個噴出噴嘴31的輪廓變成明確之程度。此外，照相 機70與噴出噴嘴31之間的距離係例如為約100mm左右。
在圖2的例子中，照相機70係相對於噴出噴嘴31位於基板保持部20的旋轉方向的上游側。相較於相對於噴出噴嘴31位於下流側之情形，在相對於噴出噴嘴31位於上游側之情形中基板W的周緣端部上的處理液Lq1的量有可能變少。此原因在於處理液Lq1有可能隨著基板W的旋轉而從基板W的周緣朝外側飛散。因此，只要照相機70相對於噴出噴嘴31位於上游側，則處理液Lq1難以附著至照相機70，或者處理液Lq1的氣化成分不易對照相機70造成影響。亦即，從保護照相機70的觀點而言，照相機70相對於噴出噴嘴31位於上游側之設計係較佳。
此外，在噴出噴嘴31噴出處理液Lq1時，處理罩40處於已上升的狀態。此原因在於藉由處理罩40接住從基板W的周緣飛散的處理液Lq1。在此狀態下，噴出噴嘴31的前端(噴出口)係位於比處理罩40的上端位置還低的位置。例如，處理罩40的上端位置與基板W的上表面之間的鉛直方向中的間隔係被設定成約2mm至十數mm左右，噴出噴嘴31與基板W之間的間隔係被設定成約2mm左右以下(例如約1mm左右)。
在此，為了進行比較，說明將照相機70的拍攝位置設定至比處理罩40還外側之情形。例如，將拍攝位置設定至比處理罩40還位於外側的空間中之接近噴出噴嘴31之側(圖3的腔室10內的右上的區域)。由於處理罩40的上端位置係位於比噴出噴嘴31的前端還高的位置，因此處理罩40有可能阻礙拍攝。亦即，即使欲從比處理罩40還外側的拍攝位置拍攝略液柱狀的處理液Lq1，該處理 液Lq1亦有可能被處理罩40遮住。當將應避開處理罩40之拍攝位置設定成更高的位置時，變成從斜上方拍攝噴出噴嘴31。由於噴出噴嘴31的前端與基板W之間的間隔狹窄，因此當欲從斜上方拍攝略液柱狀的處理液Lq1時，此時該處理液Lq1有可能被噴出噴嘴31遮住。
因此，亦考量將拍攝位置設定至比處理罩40還外側的空間中之相對於基板W的中心為與噴出噴嘴31之相反側(圖3的腔室10內的左上的區域)。藉此，有可能拍攝從噴出噴嘴31噴出的略液柱狀的處理液Lq1。然而，由於噴出噴嘴31的前端與照相機70的拍攝位置之間的距離變長，因此需要高解析度的照相機70或者望遠用的照相機70。
相對於此，在本實施形態中，由於拍攝位置位於基板W的上方，因此在高度方向中容易使拍攝位置接近至基板W的上表面，且容易使照相機70的光軸沿著水平方向。因此，照相機70不會被處理罩40以及噴出噴嘴31遮住，能拍攝從噴出噴嘴31噴出的略液柱狀的處理液Lq1。照相機70的光軸與水平面之間所呈的角度係例如能設定成十數度左右以下。
此外，俯視觀看時亦能使照相機70接近至噴出噴嘴31。因此，能採用更低解析度、無須望遠、更便宜的照相機。由於此種照相機的尺寸小，故較佳。在圖4的例子中，由於照相機70與噴出噴嘴31之間的距離短，因此於拍攝影像IM1僅包含有基板W的周緣的一部分。
在此，說明照相機70的高度方向中的拍攝位置的一例。照相機70的拍攝位置亦可設定成照相機70的拍攝元件的受光面的下端變成與處理罩40的 上端位置相同或者比處理罩40的上端位置還低的位置。例如，照相機70與基板W的上表面之間的距離係可設定成1mm至5mm左右。藉此，能使照相機70更接近基板W的上表面，且能使照相機70的光軸更沿著水平方向。
或者，亦可以照相機70的框體的下端變成與處理罩40的上端位置相同或者比處理罩40的上端位置還低的位置之方式設定照相機70的拍攝位置。
此外，亦可能會有照相機保持部73支撐照相機70的下表面之情形。圖5係概略性地顯示照相機70以及照相機保持部73的一例之立體圖，圖5中亦顯示基板W以及噴出噴嘴31。在圖5的例子中，照相機保持部73係具備有：L字狀的連結構件731；上表面構件732，係位於照相機70的上表面側；側面構件733，係位於照相機70的側面側；以及下表面構件734，係位於照相機70的下表面側。連結構件731係具備有：第一棒狀構件，係從噴嘴臂621朝水平向延伸；以及第二棒狀構件，係從第一棒狀構件的前端朝鉛直下方延伸。第二棒狀構件的前端係連結至上表面構件732。在圖5的例子中，上表面構件732、側面構件733以及下表面構件734係具有板狀的形狀。上表面構件732以及下表面構件734係以厚度方向沿著鉛直方向的姿勢配置，側面構件733係以厚度方向沿著水平方向的姿勢配置。側面構件733係連結上表面構件732以及下表面構件734。下表面構件734亦作為用以支撐照相機70之支撐構件發揮作用。
在此種構造中，照相機70的拍攝位置亦可設定成下表面構件734的下端變成與處理罩40的上端位置相同或者比處理罩40的上端位置還低的位置。藉此，亦能使照相機70更接近基板W的上表面，且能使照相機70的光軸更 沿著水平方向。
[照明部]
如圖3所示，於腔室10內且於比區隔板15更上方設置有照明部71。照明部71係包含有例如LED(Light Emitting Diode；發光二極體)等光源。照明部71所照射的光的波長並無特別限制，但例如可採用可視光或者近紅外線光。在圖3的例子中，照明部71係配置於比照相機70還上方。例如，俯視觀看時照明部71係配置於與照相機70重疊的位置(參照圖2)。照明部71亦可被照相機保持部73保持。例如，照明部71亦可固定至照相機保持部73的上表面構件732的上表面。通常，由於腔室10的內部為暗室，因此在照相機70進行拍攝時照明部71係對拍攝區域照射光線。
[控制部]
控制部9係控制基板處理裝置100的各種構成並對基板W進行處理。此外，控制部9係對藉由照相機70所取得的拍攝影像IM1進行影像處理。因此，控制部9係作為影像處理部發揮作用。由於照相機70係從基板W的上方的拍攝位置拍攝噴出噴嘴31的前端，因此於藉由照相機70所取得的拍攝影像IM1適當地包含有從噴出噴嘴31噴出的略液柱狀的處理液Lq1。控制部9係藉由對於拍攝影像IM1的影像處理監視(斜面監視)從噴出噴嘴31噴出的處理液Lq1的著液位置。監視處理的一例係容後詳細說明。
作為控制部9的硬體的構成係與一般的電腦同樣。亦即，控制部9係構成為具備有下述構件等：CPU(Central Processing Unit；中央處理器)，係進 行各種運算處理；ROM(Read Only Memory；唯讀記憶體)，係屬於讀出專用的記憶體，用以記憶基本程式；RAM(Random Access Memory；隨機存取記憶體)，係屬於讀寫自如的記憶體，用以記憶各種資訊；以及磁碟，係預先記憶控制用軟體以及資料等。控制部9的CPU係執行預定的處理程式，藉此控制部9係控制基板處理裝置100的各個動作機構並進行基板處理裝置100中的處理。此外，控制部9的CPU係執行預定的處理程式，藉此進行影像處理。此外，控制部9的功能的一部分或者全部亦可藉由專用的硬體來實現。
[通報部]
通報部93係例如為聲音輸出部(例如揚聲器)或者顯示器等。通報部93係能對作業者進行各種通報。例如，聲音輸出部輸出通報音(蜂鳴音(buzzer)或者聲音)或者顯示器顯示通報資訊，藉此能對作業者進行各種通報。通報部93的通報係被控制部9控制。
[控制部的動作]
圖6係顯示基板處理的一例之流程圖。首先，在步驟S1中，藉由主搬運機器人103將基板W搬運至基板保持部20上。基板保持部20係保持被搬運的基板W。
接著，在步驟S2中，控制部9係控制移動機構33使噴出噴嘴31朝處理位置移動，並控制移動機構63使照相機70朝拍攝位置移動。接著，在步驟S3中，控制部9係控制升降機構44使處理罩40上升，並控制自轉馬達22使自轉基座21旋轉。自轉基座21的旋轉速度係例如設定成約1000rpm以上。
接著，在步驟S4中，控制部9係控制照相機70使照相機70開始拍 攝。照相機70係以預定的訊框速率(frame rate)(例如60訊框(frame)/秒)拍攝拍攝區域，並依序將所取得的拍攝影像IM1輸出至控制部9。如後所述，控制部9係依據對於拍攝影像IM1的影像處理來監視處理液Lq1的噴出狀態。
接著，在步驟S5中，控制部9係開始從噴出噴嘴31噴出處理液Lq1。具體而言，控制部9係將開啟訊號輸出至開閉閥35。開閉閥35係依據開啟訊號進行開啟動作並將配管34開啟。藉此，從噴出噴嘴31噴出來自處理液供給源37的處理液Lq1並著液至基板W的上表面的端部。處理液Lq1的流量係設定成例如數ml/分鐘至數十ml/分鐘左右。該處理液Lq1的流量係比處理基板W的整面時的處理液的流量(例如從處理液供給部65的噴出噴嘴66噴出的處理液的流量)還少。
一邊使基板W旋轉一邊對基板W的端部噴出處理液Lq1，藉此處理液Lq1係作用至基板W的周緣端部的整個區域。藉由處理液Lq1，能去除附著至基板W的周緣端部的不要物質(斜面處理)。能從三個噴出噴嘴31的噴出口依序噴出已與不要物質(例如膜)的種類因應的處理液Lq1。此外，亦可從三個噴出噴嘴31的至少兩個噴出口同時期地噴出處理液。
在斜面處理中，為了適當地去除附著至基板W的周緣端部的不要物質，希望以高精度控制處理液Lq1的流量。
此外，於基板W的上表面中之周緣端部以外的器件區域形成有器件。由於處理液Lq1去除膜，因此不希望處理液Lq1進入至器件區域。此原因在於有可能會去除器件區域內的必要的膜。另一方面，需要去除存在於周緣端部 的不需要的膜。為了滿足此要求，希望在斜面處理中以高精度控制處理液Lq1的著液位置。處理液Lq1相對於基板W之著液位置的必要精度係例如為數十(例如五十)μm左右。
在斜面處理中，由於處理液Lq1的流量少，因此處理液Lq1容易受到基板W的旋轉所伴隨的氣流的影響或者周圍的靜電的影響，且處理液Lq1的著液位置等可能會變動。
控制部9係在監視處理中監視處理液Lq1的噴出狀態。監視處理的具體性的動作係容後詳細說明。
控制部9係在斜面處理的結束條件成立時，在步驟S6中停止從噴出噴嘴31噴出處理液Lq1。雖然斜面處理的結束條件無須特別限定，但能採用例如從步驟S5起的經過時間達至預定期間這種條件。控制部9係響應結束條件的成立，將關閉訊號輸出至開閉閥35。開閉閥35係依據關閉訊號進行關閉動作並將配管34關閉。藉此，結束處理液Lq1的噴出。此外，在設置有倒吸閥36之情形中，控制部9係將吸入訊號輸出至倒吸閥36。
亦可在停止噴出處理液Lq1後適當地進行用以使基板W乾燥之工序。接著，在步驟S7中，控制部9係使照相機70結束拍攝。亦即，結束監視處理。接著，在步驟S8中，控制部9係控制自轉馬達22結束自轉基座21的旋轉，並控制升降機構44使處理罩40下降。接著，在步驟S9中，控制部9係分別控制移動機構33以及移動機構63，使噴出噴嘴31以及照相機70移動至各者的待機位置。
圖7係顯示監視處理的動作的一例之流程圖。圖7所示的處理流程 係在每次拍攝影像IM1被輸入至控制部9時被執行。首先，在步驟S11中，控制部9係特定拍攝影像IM1中之以下所說明的判定區域R2。
圖8係概略性地顯示拍攝影像IM1的放大圖的一例之圖。在圖8的例子中顯示已將一個噴出噴嘴31的前端附近的區域R1放大之圖。判定區域R2係拍攝影像IM1中的噴出噴嘴31的正下方的區域，且為包含有從噴出噴嘴31朝基板W噴出的略液柱狀的處理液Lq1的至少一部分與映照至基板W的上表面的處理液Lq1的鏡像Lqm1的至少一部分之區域。於判定區域R2包含有處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1之間的交界B1。
判定區域R2的橫方向的寬度係設定成比從噴出噴嘴31噴出的處理液Lq1的液柱寬度還寬。判定區域R2的橫方向的位置係設定成處理液Lq1的寬度方向的兩端包含於判定區域R2內。判定區域R2的縱方向的寬度係定成判定區域R2包含有處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1。
拍攝影像IM1內的判定區域R2係相對於噴出噴嘴31預先設定。亦即，預先設定了噴出噴嘴31與判定區域R2之間的相對性的位置關係。用以顯示該位置關係之資訊亦可記憶於控制部9的記憶媒體。
此外，由於照相機70相對於噴出噴嘴31之相對位置係有可能會因應移動機構33、63的精度而變動，因此拍攝影像IM1內的噴出噴嘴31的位置亦可能會變動。因此，只要控制部9特定拍攝影像IM1內的噴出噴嘴31的位置並特定相對於已特定的噴出噴嘴31位於預定的位置關係之判定區域R2即可。為了特定拍攝影像IM1內的噴出噴嘴31的位置而包含有噴出噴嘴31的前端的外觀之參照 影像亦預先記憶於控制部9的記憶媒體。控制部9係藉由基於參照影像的圖案匹配(pattern matching)特定拍攝影像IM1內的噴出噴嘴31的位置，並針對所特定的噴出噴嘴31依據預定的相對位置關係特定判定區域R2。藉此，即使在拍攝影像IM1內噴出噴嘴31的位置變動，亦能與噴出噴嘴31的位置對應並適當地特定判定區域R2。
在噴出噴嘴31正在噴出處理液Lq1的狀態下，於判定區域R2包含有略液柱狀的處理液Lq1的一部分。由於照明部71所照射的光線係在處理液Lq1反射並被照相機70受光，因此反映處理液Lq1之像素的亮度值係變得比其他的像素的亮度值還高。此外，在照相機70為灰階(gray scale)的黑白照相機之情形中，像素的像素質係視為顯示亮度值。在此，作為一例，照相機70係採用黑白照相機。
接著，在步驟S12中，控制部9係依據判定區域R2內的處理液Lq1的整體影像來特定處理液Lq1的著液位置。以下說明著液位置的特定方法的一例。
如圖8所例示般，整體影像係在基板W的表面中(亦即在處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1之間的交界B1中)彎曲。此原因在於：在斜面處理中，來自噴出噴嘴31的處理液Lq1的噴出方向相對於基板W並非鉛直，而是因為伴隨著基板W的旋轉之氣流等各種原因而變成稍微傾斜。此外，由於彎曲的程度(處理液Lq1的噴出方向與處理液Lq1的鏡像Lqm1的噴出方向所呈的角度)取決於照相機70的拍攝方向(具體而言為角度θ 2)，因此只要以彎曲變成明確之方式設定 照相機70的拍攝方向即可。
由於彎曲位置係顯示基板W的上表面中的處理液Lq1的著液位置，因此控制部9係在拍攝影像IM1中特定彎曲位置。具體而言，例如控制部9係針對判定區域R2進行邊緣檢測處理以及二值化處理並取得二值化影像IM2。圖9係概略性地顯示二值化影像IM2的一例之圖。在圖9中，以留白顯示具有高的像素質(在此為「1」)的影像，以網點的陰影顯示具有低的像素值(在此為「0」)的像素。亦即，留白的區域係顯示在拍攝影像IM1的判定區域R2內亮度值的變化變得急遽之區域，網點的區域係顯示拍攝影像IM1的判定區域R2內亮度值的變化緩和的區域。以下亦將以留白所顯示的區域稱為高像素值區域R4。
如圖9所例示般，於二值化影像IM2的高像素值區域R4包含有：直線成分LC1，係沿著處理液Lq1的噴出方向延伸；以及直線成分LC2，係沿著處理液Lq1的鏡像Lqm1的噴出方向延伸。直線成分LC1的下側的一端以及直線成分LC2的上側的一端係在處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1之間的交界B1中以已與噴出方向相應的連結角度彼此連結。
控制部9係依據二值化影像IM2來特定直線成分LC1與直線成分LC2。此特定只要採用公知的手法即可，但亦可例如以下述方式進行。
在圖9的例子中，由於在二值化影像IM2中於高像素值區域R4包含有用以顯示噴出噴嘴31的前端部以及基板W的周緣之區域R41，因此首先亦可在二值化影像IM2中去除該區域R41。例如，亦可藉由遮罩處理去除區域R41。
高像素值區域R4中之區域R41以外的區域R42係顯示處理液Lq1 以及處理液Lq1的鏡像Lqm1。因此，針對二值化影像IM2進一步地進行邊緣檢測處理，並特定邊緣以預定以上的長度延伸之直線成分。此外，由於處理液Lq1的噴出方向的範圍係能預先藉由實驗或者模擬等來設想，因此直線成分LC1以及直線成分LC2各者的延伸方向的範圍亦能預先設定。因此，控制部9係在區域R41中特定延伸方向變成預先設定的範圍內之直線成分。
此外，如圖9所例示般，直線成分LC1係從右上朝左下延伸，直線成分LC2係從左上朝右下延伸。因此，控制部9係特定從右上朝左下延伸之直線成分作為直線成分LC1，並特定從左上朝右下延伸之直線成分作為直線成分LC2。
接著，控制部9係求出直線成分LC1以及直線成分LC2之間的交點作為彎曲位置。控制部9係依據彎曲位置求出處理液Lq1的著液位置。例如，亦可求出彎曲位置作為著液位置。
此外，雖然在圖9的例子中顯示一個直線成分LC1以及一個直線成分LC2的群組，但實際上能夠特定複數個群組。因此，亦可依據複數個群組各者的彎曲位置求出著液位置。例如，亦可求出複數個彎曲位置的平均作為著液位置。
接著，在步驟S13中，控制部9係判定求出的著液位置與位置基準值之間的差(絕對值)是否為預定的位置容許值以上。亦即，控制部9係判定著液位置是否處於適當的範圍內。作為位置基準值，能採用用以顯示適當的著液位置之值。例如，亦可依據在正常地噴出處理液Lq1的狀態下所拍攝的複數個拍攝 影像IM1算出正常的著液位置的平均值，並採用該著液位置的平均值作為位置基準值。位置容許值係預先設定。位置基準值以及位置容許值亦可例如記憶於控制部9的記憶媒體。
在該差為位置容許值以上時，在步驟S14中，控制部9係將此種主旨(亦即著液異常)通報至通報部93並結束處理。另一方面，在該差未滿容許值時，不執行步驟S14，結束處理。
如上所述，控制部9係依據包含有拍攝影像IM1中的處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1之整體影像求出著液位置。於整體影像包含有處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1之間的交界B1，且該交界B1係反映處理液Lq1朝向基板W的著液位置。亦即，能依據包含有著液位置的資訊之整體影像適當地求出著液位置。
此外，在上述例子中，求出整體影像的彎曲點並依據該彎曲點特定著液位置。由於彎曲點係位於處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1之間的交界B1上，因此能適當地求出著液位置。
[處理液Lq1的鏡像Lqm1]
有可能於基板W的上表面形成有例如金屬圖案、半導體圖案、絕緣層圖案以及阻劑圖案(resist pattern)等各種圖案。因此，映照至基板W的上表面之處理液Lq1(亦即鏡像Lqm1)係受到這些圖案的影響。亦即，於處理液Lq1的鏡像Lqm1包含有雜訊。
因此，只要將照相機70的曝光時間設定成基板W旋轉一圈所需的 旋轉時間以上即可。藉此，由於拍攝影像IM1中的基板W的圖案被平均化且被同樣化，因此能將拍攝影像IM1中的處理液Lq1的鏡像Lqm1作成更正確的影像。換言之，能降低處理液Lq1的鏡像Lqm1所含有的雜訊。因此，容易求出處理液Lq1的鏡像Lqm1的噴出方向(亦即直線成分LC2)。
或者，曝光時間亦可比旋轉時間還短。控制部9亦可將在比旋轉時間還長的預定時間內所拍攝的複數個拍攝影像IM1予以積分或者平均，並於每個預定時間生成加工影像。在每個預定時間的加工影像中，由於基板W的上表面的圖案被平均化且被同樣化，因此能將處理液Lq1的鏡像Lqm1作成更正確的影像。
[照相機的固定]
此外，在上述例子中，照相機70係與噴出噴嘴61同樣地被固定於固定構件62。亦即，兼用用以使照相機70移動之機構以及用以使噴出噴嘴61移動之機構。因此，與分別設置專用的機構之情形相比，能降低製造成本以及尺寸。
圖10係概略性地顯示處理單元1A的構成的一例之俯視圖。處理單元1A係除了照相機70的固定對象這一點之外，具備有與處理單元1同樣的構成。在處理單元1A中，照相機70係以與成為拍攝對象的噴出噴嘴31相同之方式固定至固定構件32。更具體而言，照相機保持部73係在噴嘴臂321的側方中連結至噴嘴臂321。照相機保持部73係保持照相機70。照相機70係經由照相機保持部73固定至固定構件32。照相機70以及照相機保持部73係相對於噴嘴臂321配置於逆時鐘方向側(亦即從噴出噴嘴31的待機位置朝向處理位置之側)。此外，照相機70係 以可拍攝噴出噴嘴31的前端以及從噴出噴嘴31噴出的處理液Lq1之姿勢被照相機保持部73保持。
移動機構33係使噴嘴基台322轉動，藉此能一邊維持噴出噴嘴31以及照相機70的位置關係一邊使噴出噴嘴31以及照相機70分別移動至處理位置以及拍攝位置。照相機70的拍攝位置與噴出噴嘴31的處理位置之間的位置關係係與處理單元1相同。
與處理單元1同樣地，藉由處理單元1A，照相機70亦能適當地拍攝從噴出噴嘴31噴出的略液柱狀的處理液Lq1。
此外，由於照相機70係與噴出噴嘴31同樣地被固定至固定構件32，因此能相對於噴出噴嘴31高精度地定位照相機70。亦即，在處理單元1中，由於噴出噴嘴31以及照相機70係固定至彼此不同的噴嘴臂321、621，因此考量到移動機構33、63的精度需要於照相機70與噴嘴臂321之間設置較廣的餘裕(margin)；相對於此，在處理單元1A中，由於噴出噴嘴31以及照相機70被固定至相同的噴嘴臂321，因此能將照相機70與噴嘴臂321之間的餘裕設定成更窄。亦即，能使照相機70更接近噴嘴臂321。藉此，照相機70係能從更接近周方向的方向拍攝噴出噴嘴31。因此，容易在拍攝影像IM1中特定處理液Lq1的徑方向的噴出位置。
[照相機保護]
在處理液Lq1包含有氫氟酸之情形中，照相機70的框體的下表面或者照相機保持部73的下表面構件734的下端面只要由耐化學性的材料所形成即可。總之， 只要用以保護照相機70之保護構件74設置於照相機70的下表面側即可。作為保護構件74，能採用對於氫氟酸之化學性高之耐化學性樹脂或者金屬，該耐化學性樹脂係聚四氟乙烯(PTFE；polytetrafluoroethylene)等氟樹脂或者氯乙烯樹脂等，該金屬係不鏽鋼等。
藉此，能降低位於基板W的上方之照相機70被處理液Lq1的氣化成分腐蝕的可能性。因此，能提高照相機70的可靠性。
[對於基板之著液位置]
在上述例子中，控制部9係依據將噴出噴嘴31的位置作為基準之判定區域R2內的像素求出處理液Lq1的著液位置。亦即，求出將噴出噴嘴31的位置作為基準之著液位置，藉此監視該著液位置。此點對於例如移動機構33所致使的噴出噴嘴31的位置精度高之情形中尤其有功效。此外，亦會有移動機構33所致使的噴出噴嘴31的位置精度低之情形。因此，控制部9亦可監視將基板W的周緣的位置作為基準之處理液Lq1的著液位置。
控制部9係特定拍攝影像IM1中的基板W的周緣的位置(以下稱為基板周緣位置)，以求出將基板W的周緣的位置作為基準之著液位置。首先，控制部9係特定拍攝影像IM1中之以下所說明的周緣區域R3(亦參照圖8)。
周緣區域R3係拍攝影像IM1中包含有基板W的周緣的一部分之區域。在圖8的例子中，周緣區域R3係具有矩形狀之形狀。與判定區域R2同樣地，周緣區域R3的位置係與噴出噴嘴31的位置對應地預先設定。亦即，預先設定了噴出噴嘴31與周緣區域R3之間的相對性的位置關係。用以顯示噴出噴嘴31與周 緣區域R3之間的相對性的位置關係之資訊亦可記憶至控制部9的記憶媒體。
控制部9係藉由圖案匹配特定拍攝影像IM1內的噴出噴嘴31的位置，並依據所特定的噴出噴嘴31的位置特定周緣區域R3。而且，控制部9係特定周緣區域R3內的基板W的基板周緣位置。例如，控制部9係依據邊緣檢測處理等影像處理特定基板W的周緣。藉此，能特定將噴出噴嘴31的位置作為基準之基板W的基板周緣位置。
如上所述，控制部9係能特定皆將噴出噴嘴31的位置作為基準之著液位置以及基板周緣位置。因此，控制部9係能依據這些位置特定將基板周緣位置作為基準之著液位置。例如，預先藉由實驗等生成成為基準的表格資訊。具體而言，在每次預先藉由控制部9的控制適當地變更噴出噴嘴31的處理位置時，使噴出噴嘴31噴出處理液Lq1並取得拍攝影像IM1。而且，在噴出噴嘴31的各個處理位置中，測定處理液Lq1的著液位置與基板W的周緣之間的距離，並特定此時的拍攝影像IM1中的基板端部位置與噴出位置之間的位置關係。而且，將所測定的距離與所特定的位置關係相互賦予對應並將這些資訊作為表格資訊預先記憶至控制部9的記憶媒體。
控制部9係特定拍攝影像IM1內的基板周緣位置與噴出位置之間的位置關係，並依據所特定的位置關係與表格資訊算出基板W的周緣與處理液Lq1的著液位置之間的距離(亦即將基板W的周緣作為基準之著液位置)。
由於控制部9係能求出將基板W的周緣的位置作為基準之著液位置，因此能更適當地監視著液位置。
[著液位置的特定]
在上述例子中，控制部9係依據直線成分LC1與直線成分LC2之間的彎曲位置求出著液位置。然而，並未限定於此。
如圖9所例示般，二值化影像IM2的高像素值區域R4中的區域R42(相當於處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1之區域)係在處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1之間的交界B1中於橫方向擴展。此原因可認為是因為處理液Lq1著液至基板W的上表面時朝周圍稍微擴展之故。亦即，擴展部分係能視為反映處理液Lq1與處理液Lq1的鏡像Lqm1之間的交界，從而能視為反映著液位置。
因此，控制部9亦可特定在二值化影像IM2中區域R42擴展的部分，並依據擴展部分的位置求出著液位置。具體而言，控制部9亦可特定區域R42中之橫方向中位於最端部的兩點(亦即擴展部分的兩端)，並求出兩端的中心位置作為著液位置。
[拍攝光學系統]
圖11係概略性地顯示處理單元1B的構成的一例之圖。處理單元1B係除了拍攝光學系統之外，具有與處理單元1同樣的構成。在處理單元1B中設置有鏡子75。鏡子75係配置於基板W的上方的拍攝位置，且照相機70係配置於基板W的上方以外的區域。如圖11所例示般，俯視觀看時照相機70亦可位於處理罩40的上方。鏡子75係使來自拍攝區域的光線朝照相機70的受光面反射。因此，照相機70係能拍攝從基板W的上方的拍攝位置觀看的拍攝區域。
如圖11所例示般，鏡子75係只要設置成可移動即可。在圖11的例 子中，鏡子75係固定至處理液供給部60的固定構件62。作為更具體的例子，設置有用以保持鏡子75之鏡子保持部76，鏡子保持部76係連結至固定構件62的噴嘴臂621。例如，在鏡子保持部76的基端側中藉由緊固構件(例如螺絲)固定至噴嘴臂621的前端部，在鏡子保持部76的前端側中藉由緊固構件固定並保持鏡子75。鏡子保持部76係藉由例如金屬(例如不鏽鋼)等所形成。移動機構63係使噴嘴基台622轉動，藉此能使鏡子75在基板W的上方的拍攝位置與比處理罩40還外側的待機位置之間往復移動。移動機構63係使鏡子75移動至拍攝位置，藉此能使來自拍攝區域的光線從鏡子75朝照相機70反射。
鏡子75的位置(拍攝位置)與噴出噴嘴31之間的俯視觀看時的位置關係係與處理單元1中的照相機70的位置(拍攝位置)與噴出噴嘴31之間的位置關係相同。拍攝位置較佳為接近基板W，亦可例如以鏡子75的反射面的下端變成與處理罩40的上端位置相同或者與處理罩40的上端位置還低的位置之方式設定拍攝位置。或者，亦可在鏡子保持部76具有配置於鏡子75的下方側之下表面構件時，以該下表面構件的下端變成與處理罩40的上端位置相同或者比處理罩40的上端位置還低的位置之方式設定拍攝位置。藉此，照相機70係能沿著更接近水平的方向拍攝從拍攝位置觀看的拍攝區域。亦即，容易使拍攝位置起的拍攝方向更沿著水平。
依據處理單元1B，由於能將照相機70配置於基板W的上方以外的區域，因此能降低處理液Lq1對於照相機70的影響。例如，能降低處理液Lq1附著至照相機70或者降低處理液Lq1的氣化成分附著至照相機70的可能性。因此， 例如即使處理液Lq1包含有氫氟酸，亦不易導致照相機70的腐蝕。
此外，照相機70係可在處理單元1B內以實質性無法移動之方式固定，亦可在處理單元1B內以可移動之方式固定。
此外，鏡子75不一定需要固定至處理液供給部60的固定構件62，亦可與處理單元1A的照相機70同樣地固定至處理液供給部30的固定構件32。藉此，由於能使鏡子75更接近噴嘴臂321，因此容易使拍攝位置起的拍攝方向更沿著周方向。
[機械學習]
在上述例子中，控制部9係對拍攝影像IM1進行影像處理，求出處理液Lq1的著液位置並判定處理液Lq1的著液位置是否位於適當的範圍內。然而，控制部9亦可使用機械學習進行判定。
圖12係概略性地顯示控制部9的內部構成的一例之圖。控制部9係具備有分類器91以及機械學習部92。依序對分類器91輸入來自照相機70的拍攝影像IM1。分類器91係將被輸入的各個拍攝影像IM1分類至與噴出噴嘴31的噴出狀態量(流量或者噴出位置)相關的範疇。範疇亦可稱為類別(class)。作為範疇，能採用針對噴出狀態量有異常的範疇以及針對噴出狀態量無異常的範疇。更具體而言，能採用用以顯示針對著液位置無異常之第一範疇以及針對著液位置有異常之第二範疇。
分類器91係使用複數個教師資料並藉由機械學習部92而生成。亦即，分類器91係視為機械學習完畢的分類器。機械學習部92係使用例如鄰近法 (neighbourhood method)、支援向量機(support vector machine)、隨機森林分類器(random forest)或者類神經網路(neural network)(包含有深度學習(deep learning))等作為機械學習的運算法(algorithm)。由於類神經網路係自動地生成特徵量，因此設計者無須決定特徵向量。
教師資料係包含有影像資料以及標籤(label)，該標籤係顯示該影像資料被分類至哪個範疇。影像資料係藉由照相機70所拍攝的拍攝影像且預先生成。於各個影像資料賦予有正確的範疇作為標籤。賦予係能藉由作業者來進行。機械學習部92係依據這些教師資料進行機械學習並生成分類器91。
作為一例，說明用以藉由鄰近法分類訊框之分類器91。分類器91係具備有特徵向量抽出部911、判定部912以及記憶有判定資料庫913的記憶媒體。特徵向量抽出部911係依序被輸入有來自照相機70的拍攝影像的各個訊框。特徵向量抽出部911係依循預定的運算法抽出拍攝影像IM1的特徵向量。特徵向量係顯示了已與噴出噴嘴31的噴出狀態相應的特徵量之向量。作為運算法，能採用公知的運算法。特徵向量抽出部911係將特徵向量輸出至判定部912。
於判定資料庫913記憶有藉由機械學習部92從複數個教師資料所生成的複數個特徵向量(以下稱為基準向量)，該基準向量係被分類至各個範疇。具體而言，機械學習部92係針對複數個教師資料應用與特徵向量抽出部911相同的運算法並生成複數個基準向量。而且，機械學習部92係對該基準向量賦予教師資料的標籤(正確的範疇)。
判定部912係依據從特徵向量抽出部911所輸入的特徵向量以及 記憶於判定資料庫913的複數個基準向量將拍攝影像IM1予以分類。例如，判定部912亦可特定特徵向量最接近的基準向量，並將拍攝影像IM1分類至所特定的基準向量的範疇(最鄰近法)。藉此，判定部912係能將被輸入至分類器91(特徵向量抽出部911)的拍攝影像分類至範疇。
控制部9係藉由分類器91將各個拍攝影像IM1分類至第一範疇以及第二範疇的任一個範疇。此分類係意味著正在判定處理液Lq1的著液位置是否處於適當的範圍內。由於藉由機械學習進行分類，因此能高精度地檢側異常。
[朝分類器的輸入]
在上述例子中，作為朝分類器91的輸入資料，雖然能採用拍攝影像IM1的整個區域，但並未限定於此。例如，控制部9亦可切出拍攝影像IM1中的判定區域R2的影像並將該影像輸入至分類器91。在此情形中，亦可採用用以顯示判定區域R2之影像作為輸入至機械學習部92的學習資料。
藉此，由於分類器91係能去除與噴出狀態關聯性低的區域的影響並進行分類，因此能提升分類精度。
此外，為了監視將基板W的周緣作為基準之著液位置，不僅是將判定區域R2輸入至分類器91，亦可將周緣區域R3輸入至分類器91。在此情形中，亦可採用用以顯示判定區域R2以及周緣區域R3之影像作為輸入至機械學習部92的學習資料。或者，從拍攝影像IM1切出包含有判定區域R2以及周緣區域R3之矩形狀的區域並將此影像輸入至分類器91。
[伺服器]
在上述例子中，設置於基板處理裝置100的控制部9係藉由機械學習生成分類器91，並藉由分類器91分類訊框。然而，亦可於伺服器設置有控制部9所為的機械學習功能(分類器91以及機械學習部92)的至少一部分的功能。
以上雖然已說明本基板處理裝置的實施形態，但只要未逸離本發明的精神，則除了上述說明以外亦可對本實施形態進行各種變更。上述各種實施形態以及變化例係能適當地組合並實施。
此外，作為基板W，雖然採用半導體基板進行說明，但並未限定於此。例如，亦可採用光罩用玻璃基板、液晶顯示用玻璃基板、電漿顯示用玻璃基板、FED(Field Emission Display；場發射顯示器)用基板、光碟用基板、磁碟用基板或者光磁碟用基板等基板。
1:處理單元
10:腔室
20:基板保持部
26:夾具銷
30,60,65:處理液供給部
31,61,66:噴出噴嘴(噴嘴)
32,62,67:固定構件
33,63,68:移動機構
40:處理罩(罩構件)
70:照相機
71:照明部
73:照相機保持部
321,621,671:噴嘴臂
322,622,672:噴嘴基台
AR34,AR64,AR69:箭頭
L1,L2:直線
W:基板
θ 1,θ 2:角度

Claims (10)

  1. 一種基板處理方法，係具備有：保持工序，係使基板保持部保持基板；旋轉工序，係使前述基板保持部旋轉並使前述基板旋轉；上升工序，係使用以圍繞前述基板保持部的外周之罩構件上升，並使前述罩構件的上端位於比前述基板保持部保持的前述基板的上表面還高的上端位置；斜面處理工序，係從位於比前述上端位置還低的位置之噴嘴的噴出口朝被前述基板保持部保持的前述基板的上表面的端部噴出處理液；拍攝工序，係使照相機拍攝從被前述基板保持部保持的前述基板的上方的拍攝位置觀看的拍攝區域並取得拍攝影像，前述拍攝區域係包含有已從前述噴嘴的前述噴出口噴出的處理液以及映照至前述基板的上表面之前述處理液的鏡像；以及監視工序，係依據前述拍攝影像中的前述處理液與前述鏡像監視前述處理液的著液位置。
  2. 如請求項1所記載之基板處理方法，其中在前述拍攝影像中，包含有前述處理液以及前述鏡像之整體影像係在前述處理液與前述鏡像之間的交界中彎曲；在前述監視工序中，依據前述處理液的前述整體影像的彎曲位置求出前述著液位置。
  3. 如請求項2所記載之基板處理方法，其中在前述監視工序中，從對前述拍攝影像進行了邊緣檢測處理以及二值化處理所獲得的二值化 影像檢測沿著前述處理液的噴出方向延伸的第一直線成分以及沿著前述鏡像的噴出方向延伸的第二直線成分，並求出前述第一直線成分與前述第二直線成分之間的交點作為前述彎曲位置。
  4. 如請求項1至3中任一項所記載之基板處理方法，其中前述照相機的曝光時間係設定成基板旋轉一圈所需的時間以上。
  5. 如請求項1至3中任一項所記載之基板處理方法，其中依據將在基板旋轉一圈所需的時間以上的時間內藉由前述照相機所取得的複數個拍攝影像予以積分或者平均所獲得的拍攝影像中的前述整體影像求出前述著液位置。
  6. 如請求項1至3中任一項所記載之基板處理方法，其中在前述監視工序中，特定前述拍攝影像中的前述基板的周緣的位置，並求出已將前述基板的周緣的位置作為基準的前述處理液的前述著液位置。
  7. 如請求項1至3中任一項所記載之基板處理方法，其中前述監視工序係包含有下述工序：在所求出的前述著液位置不在預定的範圍內時，使通報部通報此種狀況。
  8. 如請求項1至3中任一項所記載之基板處理方法，其中在前述監視工序中，藉由機械學習完畢的分類器將前述拍攝影像分類成著液位置無異常的範疇以及著液位置有異常的範疇中的任一個範疇。
  9. 如請求項8所記載之基板處理方法，其中在前述監視工序中，從前述拍攝影像切出位於前述噴嘴的正下方且包含有前述處理液以及前述鏡像之區域，並將所切出的區域的影像輸入至前述分類器。
  10. 一種基板處理裝置，係具備有： 基板保持部，係保持基板並使前述基板旋轉；罩構件，係圍繞前述基板保持部的外周；升降機構，係使前述罩構件上升，並使前述罩構件的上端位於比被前述基板保持部保持的前述基板的上表面還高的上端位置；噴嘴，係具有位於比前述上端位置還低的位置之噴出口，並從前述噴出口朝被前述基板保持部保持的前述基板的上表面的端部噴出處理液；照相機，係拍攝從被前述基板保持部保持的前述基板的上方的拍攝位置觀看的拍攝區域並取得拍攝影像，前述拍攝區域係包含有已從前述噴嘴的前述噴出口噴出的處理液以及映照至前述基板的上表面之前述處理液的鏡像；以及影像處理部，係依據前述拍攝影像中的前述處理液與前述鏡像監視前述處理液的著液位置。
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