TWI700132B - 旋轉清洗器 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種旋轉清洗器,用以連接於清洗設備的清潔液管路,其
包含一中心軸組、一中心旋轉座及至少二行星噴水組。中心軸組具有一中心軸管及二防漏墊圈,該中心軸管設有至少一第一側孔,該二防漏墊圈分別設置於該第一側孔的兩側;中心旋轉座套設於該中心軸管,二防漏墊圈封閉中心旋轉座與中心軸管之間的空隙,該中心旋轉座設有至少二側連接孔;該行星噴水組包含一連接彎管、一行星軸管及一行星旋轉噴頭,行星旋轉噴頭設有一斜向孔,行星噴水組的中心軸與該中心軸管的中心軸形成具有一銳角角度的傾斜設置。藉此可產生不斷變化角度的噴射旋轉水流。
Description
本發明是關於一種清洗器。
習知工業製程中使用的清洗設備,通常使用輸送帶承載待清洗物緩慢移動,利用多個噴頭對待清洗物噴射液體進行清洗。
其中一種方式例如中華民國公告第M454697號新型專利所揭示的平躺式電路板加工輸送裝置,該裝置包括一基座、複數滾輪組件、以及一供氣單元,基座以實質水平的長條空間形成一輸送路徑供電路板行進,各滾輪組件則沿著輸送路徑而分別排列設置於基座左、右二側上,且基座具有一與輸送路徑對應的表面,表面上分佈設置有複數供氣孔,供氣單元則對各供氣孔提供吹氣並朝向輸送路徑,以供電路板通過輸送路徑時產生氣浮效果。
上述專利在輸送路徑上、下側設置能對電路板噴灑藥劑或液體的加工單元,加工單元包含複數噴頭及一連通各噴頭之供給管,透過供給管提供藥劑或液體而由各噴頭對電路板進行噴灑。
上述習知技術的噴頭通常只設置簡單的圓孔狀或是一字形的噴嘴,噴嘴噴出的液體呈一般常見的柱狀、霧狀或扇形的噴射水流,由於以往的電子元件具有較大的尺寸,一般的噴射水流便可以清潔到電路板上所有的隙
縫,但是科技的進步使得現今各種機械或電子元件極度的微小化,習知的噴頭噴出的水流的清潔能力已不敷所需,無法清潔到更細微的隙縫或角落。
有鑑於此,有必要提供一種新的清洗器以克服習知技術的缺點。
本發明之目的在於提供一種旋轉清洗器,可產生不斷變化角度且複雜的噴射旋轉水流。
本發明之另一目的在於提供一種旋轉清洗器,可以利用四個行星噴水組產生密集且不斷變化角度的噴射旋轉水流,能增進清潔能力。
本發明之再一目的在於提供一種旋轉清洗器,可以使水流清潔清洗器正下方,清潔無死角。
本發明之又一目的在於提供一種旋轉清洗器,可以在清潔液中加入空氣,增加水流速度並且利用氣泡增加清潔能力。
為達到前述及其他發明目的,本發明提供一種旋轉清洗器,用以連接於清洗設備的清潔液管路,其包含一中心軸組、一中心旋轉座及至少二行星噴水組。中心軸組具有一中心軸管及二防漏墊圈,該中心軸管設有至少一第一側孔,該二防漏墊圈分別設置於該第一側孔的兩側;中心旋轉座設有一中心通孔套設於該中心軸管,該二防漏墊圈封閉該中心通孔兩端與該中心軸管之間的空隙,該中心旋轉座可以相對該中心軸管旋轉,該中心旋轉座設有至少二側連接孔;該行星噴水組包含一連接彎管、一行星軸管及一行星旋轉噴頭,該連接彎管連接該側連接孔,該行星軸管連接該連接彎管,該行星軸管設有至少一第二側孔,該行星旋轉噴頭可旋轉的套設於該行星軸管,該行星旋轉噴頭設有一斜向孔,該至少二行星噴水組的中心軸與該中心軸管的中心軸形成具有一銳
角角度的傾斜設置。藉此可以產生不斷變化角度的噴射旋轉水流,強化清潔能力。
在一實施例中,該中心旋轉座設有四個側連接孔,該行星噴水組有四個分別連接該四個側連接孔,藉此可以利用四個行星噴水組產生密集且不斷變化角度的噴射旋轉水流,能增進清潔能力。
在一實施例中,該中心軸管設有四個第一側孔,藉此增加水流通道。
在一實施例中,該銳角角度介於10度至60度之間,以得到適當的噴射水流涵蓋範圍。
在一實施例中,該中心軸管底端另設有一固定噴頭,該固定噴頭連通該中心軸管。藉此可以使水流清潔清洗器正下方,清潔無死角。
在一實施例中,其中另包含一空氣接頭,該中心軸管設有一第三側孔,該空氣接頭連接該第三側孔。藉此可以在清潔液中加入空氣,增加水流速度並且利用氣泡增加清潔能力。
在一實施例中,其中另包含二密封蓋,該二密封蓋結合於該中心旋轉座兩端以防止該二防漏墊圈脫離。
在一實施例中,其中另包含一固定環,該中心軸管設有一擴徑部,該擴徑部頂接下方的該防漏墊圈,該固定環頂接上方的該防漏墊圈,藉此使中心旋轉座可以相對中心軸管旋轉且不會脫離中心軸管。
在一實施例中,該行星軸管設有四個第二側孔。
10:中心軸組
11:中心軸管
111:第一側孔
112:螺紋
113:擴徑部
114:第三側孔
12:防漏墊圈
13:密封蓋
131:螺絲
14:固定環
20:中心旋轉座
21:中心通孔
22:螺孔
23:側連接孔
30:行星噴水組
31:連接彎管
32:行星軸管
321:螺紋
322:第二側孔
323:擴徑端
33:行星旋轉噴頭
331:通孔
332:斜向孔
34:固定環
40:固定噴頭
50:空氣接頭
60:待清洗物
A:銳角角度
圖1是本發明旋轉清洗器之一實施例的分解立體圖。
圖2是本發明旋轉清洗器之一實施例的組合立體圖。
圖3A是本發明旋轉清洗器之一實施例的行星旋轉噴頭立體圖。
圖3B是本發明旋轉清洗器之一實施例的行星旋轉噴頭剖視圖。
圖4是本發明旋轉清洗器之一實施例的組合前視圖。
圖5是本發明旋轉清洗器之一實施例的組合剖視圖。
圖6是本發明旋轉清洗器之一實施例的組合底視圖。
僅以實施例說明本發明可能之實施態樣,然並非用以限制本發明所欲保護之範疇。為了讓本發明之目的、特徵、優點能明顯易懂,下文將舉本發明較佳實施例並配合所附圖式詳細說明。
圖1是本發明旋轉清洗器之一實施例的分解立體圖,圖2是本發明旋轉清洗器之一實施例的組合立體圖,圖5是本發明旋轉清洗器之一實施例的組合剖視圖。請同時參閱圖1、圖2及圖5,本發明旋轉清洗器在一較佳實施例中主要包含一中心軸組(10)、一中心旋轉座(20)及至少二行星噴水組(30)。於本實施例中,設置了四組行星噴水組(30)。
中心軸組(10)主要包含一中心軸管(11)、二防漏墊圈(12)、二密封蓋(13)以及一固定環(14)。
該中心軸管(11)較佳為不銹鋼管,設有至少一第一側孔(111),於本實施例中係設置了四個第一側孔(111),使清潔液體可以較無阻力的從中心軸管(11)內流出。中心軸管(11)頂部較佳係設有螺紋(112),可以方便連接於清洗設備的清潔液管路。中心軸管(11)下方可以設有一擴徑部(113),擴徑部(113)頂接
支撐下方的防漏墊圈(12),並且利用固定環(14)頂接上方的該防漏墊圈(12),藉此使中心旋轉座(20)可以相對中心軸管(11)旋轉,而且中心旋轉座(20)不會脫離中心軸管(11)。
該二防漏墊圈(12)分別設置於該第一側孔(111)的兩側,如此使清潔液從中心軸管(11)的第一側孔(111)流入行星噴水組(30),而不會從中心旋轉座(20)的上下兩端滲漏。
由於製程中噴液的目的不只有清洗,還可能包含藥水噴灑或表面塗佈,本發明所述清潔液包含純水、含有化學藥品之噴灑劑及藥水等各種液體。
防漏墊圈(12)的材質較佳係採用超高分子量聚乙烯(UPE),但不以此為限。超高分子量聚乙烯具有高耐磨及高韌性的特性,與一般聚乙烯(PE)相比,超高分子量聚乙烯擁有較好的化學穩定性及抗張裂性,而適用於本發明用來作為中心軸管(11)與中心旋轉座(20)之間的摩擦密封件。
密封蓋(13)的材質較佳為聚氯乙烯(PVC),但不以此為限。聚氯乙烯容易加工成形也容易取得,同時具有耐酸以及低摩擦係數的特性,可以用來封閉防漏墊圈(12)防止其脫離。密封蓋(13)可以利用螺絲(131)鎖固在中心旋轉座(20)兩端面所設的螺孔(22)。
在本實施例中,還可以另包含一空氣接頭(50),並且在該中心軸管(11)設有一第三側孔(114),該空氣接頭(50)連接該第三側孔(114)。藉此,空氣接頭(50)連接高壓空氣源,可以將空氣打入清潔液中,能增加水流速度,並且利用氣泡可以增加清潔能力。
中心旋轉座(20)的材質較佳為聚氯乙烯(PVC),但不以此為限。中心旋轉座(20)設有一中心通孔(21)用以套設於該中心軸管(11),利用中心軸管(11)與中心旋轉座(20)之間作為摩擦密封件防漏墊圈(12),中心旋轉座(20)可以相對該中心軸管(11)旋轉。中心旋轉座(20)周圍設有至少二個側連接孔(23)。側連接
孔(23)可以設置兩個、三個、四個或五個,主要是配合行星噴水組(30)的數量,使數個行星噴水組(30)平均分配於中心旋轉座(20)周圍,轉動時能穩定減少震動。在本實施例中,該中心旋轉座(20)設有四個側連接孔(23),該行星噴水組(30)有四個並且分別連接該四個側連接孔(23)。
行星噴水組(30)包含一連接彎管(31)、一行星軸管(32)及一行星旋轉噴頭(33)。該連接彎管(31)連接該側連接孔(23),該行星軸管(32)連接該連接彎管(31),該行星軸管(32)設有至少一第二側孔(322),於本實施例中,該行星軸管(32)設有四個第二側孔(322)。
行星軸管(32)與該連接彎管(31)也可以一體製造,於本實施例中行星軸管(32)與連接彎管(31)係分開製造再組合,行星軸管(32)的上端可以設有螺紋(321)鎖入連接彎管(31)的下方,如此可以方便行星旋轉噴頭(33)的組裝。
該行星旋轉噴頭(33)設有一通孔(331),可旋轉的套設於該行星軸管(32),較佳地,該行星軸管(32)底端可以設有一擴徑端(323)用以支撐行星旋轉噴頭(33),使行星旋轉噴頭(33)可以相對行星軸管(32)旋轉並且不會脫離。
圖3A是本發明旋轉清洗器之一實施例的行星旋轉噴頭立體圖,圖3B是本發明旋轉清洗器之一實施例的行星旋轉噴頭剖視圖。請參照圖3A及圖3B,該行星旋轉噴頭(33)設有一通孔(331)及一斜向孔(332),於本實施例中,設置兩個斜向孔(332),但可以理解的,也可以設置三個或三個以上。通孔(331)套設於行星軸管(32),通孔(331)下方由擴徑端(323)支撐,通孔(331)上方可以設置一固定環(34),使行星旋轉噴頭(33)可以相對於行星軸管(32)定位旋轉。
圖4是本發明旋轉清洗器之一實施例的組合前視圖,請同時參照圖4及圖5。本實施例的四個行星噴水組(30)的中心軸分別與該中心軸管(11)的中心軸形成具有一銳角角度(A)的傾斜設置,該銳角角度(A)可以大致介於5度至80
度之間。較佳地,該銳角角度(A)較佳係介於10度至60度之間,藉此可以產生不斷變化角度且複雜的噴射旋轉水流,強化清潔能力。
在本實施例中,較佳地,該中心軸管(11)底端還可以另設有一固定噴頭(40),該固定噴頭(40)連通該中心軸管(11)。藉此可以使水流噴射到清洗器正下方,清潔無死角。
固定噴頭(40)可以是固定在中心軸管(11)底部,不能旋轉的噴射出錐狀或扇形的噴射水流的形式。可以理解地,固定在中心軸管(11)底部的固定噴頭(40)也可以換成能旋轉的噴嘴,使固定噴頭(40)具有旋轉噴液的功能。
圖6是本發明旋轉清洗器之一實施例的組合底視圖,請參照圖4、圖5及圖6,本發明旋轉清洗器的動作說明如下;
中心軸管(11)連接於清洗設備的清潔液管路,清潔液體從清潔液管路流經中心軸管(11)內部,一部分從中心軸管(11)底部的固定噴頭(40)向正下方噴出,另一部分依序由第一側孔(111)流經中心旋轉座(20)的側連接孔(23)、行星噴水組(30)的連接彎管(31)、行星軸管(32)、第二側孔(322),最後由行星旋轉噴頭(33)的斜向孔(332)噴出。
由於行星噴水組(30)的中心軸與該中心軸管(11)的中心軸形成具有一銳角角度(A)的傾斜設置,從斜向孔(332)噴出的液體產生的反作用力推動中心旋轉座(20)圍繞中心軸管(11)旋轉,四個行星噴水組(30)產生第一個旋轉噴射清潔作用,並且斜向孔(332)本身噴射液體產生的反作用力推動行星旋轉噴頭(33)圍繞行星軸管(32)旋轉,產生第二個旋轉噴射清潔作用,加上固定噴頭(40)對正下方的待清洗物(60)噴射的清潔液,使輸送帶上的待清洗物(60)移動經過本發明的旋轉清洗器時,可以受到密集且不斷變化角度的噴射旋轉水流清潔,加上空
氣接頭(50)的設置能導入空氣混合在清潔液中,本發明能產生習知一般清洗器遠不能及的清潔能力。
呈上所述,本發明之旋轉清洗器,係用以連接於清洗設備的清潔液管路,在一實施例中較佳係包含一中心軸組(10)、一中心旋轉座(20)及至少二行星噴水組(30)。該中心軸組(10),具有一中心軸管(11)及二防漏墊圈(12),該中心軸管(11)設有至少一第一側孔(111),該二防漏墊圈(12)分別設置於該第一側孔(111)的兩側。該中心旋轉座(20)設有一中心通孔(21)套設於該中心軸管(11),該二防漏墊圈(12)封閉該中心通孔(21)兩端與該中心軸管(11)之間的空隙,該中心旋轉座(20)可以相對該中心軸管(11)旋轉,該中心旋轉座(20)設有至少二側連接孔(23)。該行星噴水組(30)包含一連接彎管(31)、一行星軸管(32)及一行星旋轉噴頭(33),該連接彎管(31)連接該側連接孔(23),該行星軸管(32)連接該連接彎管(31),該行星軸管(32)設有至少一第二側孔(322),該行星旋轉噴頭(33)可旋轉的套設於該行星軸管(32),該行星旋轉噴頭(33)設有一斜向孔(332),該至少二行星噴水組(30)的中心軸與該中心軸管(11)的中心軸形成具有一銳角角度(A)的傾斜設置。藉此可以產生不斷變化角度的噴射旋轉水流,強化清潔能力。
較佳地,該中心旋轉座(20)設有四個側連接孔(23),該行星噴水組(30)有四個分別連接該四個側連接孔(23),藉此可以利用四個行星噴水組產生密集且不斷變化角度的噴射旋轉水流,能增進清潔能力。
較佳地,該中心軸管(11)設有四個第一側孔(111)。藉此可以增加水流通道,減少水流從中心軸管(11)進入中心旋轉座(20)的阻力。
其中,該銳角角度(A)較佳係介於10度至60度之間,藉此可以得到適當的噴射水流涵蓋範圍。
其中,該中心軸管(11)底端可以另設有一固定噴頭(40),該固定噴頭(40)連通該中心軸管(11)。藉此可以使水流噴射到清洗器正下方,清潔無死角。
在本實施例中,可以另包含一空氣接頭(50),該中心軸管(11)設有一第三側孔(114),該空氣接頭(50)連接該第三側孔(114)。藉此可以在清潔液中加入空氣,增加水流速度並且利用氣泡增加清潔能力。
在本實施例中,可以另包含二密封蓋(13),該二密封蓋(13)結合於該中心旋轉座(20)兩端以防止該二防漏墊圈(12)脫離。
在本實施例中,可以另包含一固定環(14),該中心軸管(11)設有一擴徑部(113),該擴徑部(113)頂接下方的該防漏墊圈(12),該固定環(14)頂接上方的該防漏墊圈(12)。藉此使中心旋轉座(20)可以相對中心軸管(11)旋轉,而且中心旋轉座(20)不會脫離中心軸管(11)。
以上所述之實施例僅係為說明本發明之技術思想及特徵,其目的在使熟習此項技藝之人士均能了解本發明之內容並據以實施,當不能以此限定本發明之專利範圍,凡依本發明之精神及說明書內容所作之均等變化或修飾,皆應涵蓋於本發明專利範圍內。
10:中心軸組
11:中心軸管
112:螺紋
20:中心旋轉座
30:行星噴水組
33:行星旋轉噴頭
332:斜向孔
40:固定噴頭
50:空氣接頭
Claims (8)
- 一種旋轉清洗器,用以連接於清洗設備的清潔液管路,其包含:一中心軸組(10),具有一中心軸管(11)及二防漏墊圈(12),該中心軸管(11)設有至少一第一側孔(111),該二防漏墊圈(12)分別設置於該第一側孔(111)的兩側;一中心旋轉座(20),設有一中心通孔(21)套設於該中心軸管(11),該二防漏墊圈(12)封閉該中心通孔(21)兩端與該中心軸管(11)之間的空隙,該中心旋轉座(20)可以相對該中心軸管(11)旋轉,該中心旋轉座(20)設有至少二側連接孔(23);至少二行星噴水組(30),該行星噴水組(30)包含一連接彎管(31)、一行星軸管(32)及一行星旋轉噴頭(33),該連接彎管(31)連接該側連接孔(23),該行星軸管(32)連接該連接彎管(31),該行星軸管(32)設有至少一第二側孔(322),該行星旋轉噴頭(33)可旋轉的套設於該行星軸管(32),該行星旋轉噴頭(33)設有一斜向孔(332),該至少二行星噴水組(30)的中心軸與該中心軸管(11)的中心軸形成具有一銳角角度(A)的傾斜設置;及一空氣接頭(50),該中心軸管(11)設有一第三側孔(114),該空氣接頭(50)連接該第三側孔(114)。
- 依請求項1所述之旋轉清洗器,其中,該中心旋轉座(20)設有四個側連接孔(23),該行星噴水組(30)有四個分別連接該四個側連接孔(23)。
- 依請求項2所述之旋轉清洗器,其中,該中心軸管(11)設有四個第一側孔(111)。
- 依請求項1所述之旋轉清洗器,其中,該銳角角度(A)介於10度至60度之間。
- 依請求項1所述之旋轉清洗器,其中,該中心軸管(11)底端另設有一固定噴頭(40),該固定噴頭(40)連通該中心軸管(11)。
- 依請求項1所述之旋轉清洗器,其中另包含二密封蓋(13),該二密封蓋(13)結合於該中心旋轉座(20)兩端以防止該二防漏墊圈(12)脫離。
- 依請求項1所述之旋轉清洗器,其中另包含一固定環(14),該中心軸管(11)設有一擴徑部(113),該擴徑部(113)頂接下方的該防漏墊圈(12),該固定環(14)頂接上方的該防漏墊圈(12)。
- 依請求項1所述之旋轉清洗器,其中,該行星軸管(32)設有四個第二側孔(322)。
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Applications Claiming Priority (1)
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Country Status (1)
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