JP2005152862A - 洗浄装置用ノズル - Google Patents

Abstract

【課題】噴射形態を容易に変更することのできる洗浄装置用ノズルを提供する。
【解決手段】洗浄装置用ノズルの噴出口から洗浄液を圧縮気体により加圧して噴出することによって、該被洗浄物の表面に付着している汚染物質を除去する洗浄装置に用いられる洗浄装置用ノズルにおいて、一方の端部側から導入した洗浄液と圧縮気体とを混合する所定形状の第１の管路を備えた本体部と、上記本体部の上記第１の管路の他方の端部側と一方の端部側が連通し噴出口を他方の端部側に有する所定形状の第２の管路を備えた噴射管と、上記本体部に上記噴射管を着脱自在に取り付ける取り付け機構とを有する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、洗浄装置用ノズルに関し、さらに詳細には、例えば、半導体シリコンウェーハや液晶用ガラス基板などの洗浄装置における洗浄装置用ノズルに関するものであって、さらに詳細には、洗浄液を圧縮気体で加圧して噴出することで、微小かつ高速な洗浄液のミストを生成するノズルとして用いて好適な、半導体ウェーハや液晶用ガラス基板などの洗浄装置の洗浄装置における洗浄装置用ノズルに関する。

従来より、半導体シリコンウェーハや液晶用ガラス基板などの各種基板の表面に、液体と気体とを混合してミストを噴射し、基板の表面に付着したパーティクルなどの汚染物質を除去して洗浄するノズルが知られている。

こうした従来のノズル２００は、例えば、図１に示すように、液体を導入するための導入口２０２ｂと気体を導入するための導入口２０２ｃとに枝分かれした管路２０２ａが一体形成された本体部２０２を有している。そして、ノズル２００の導入口２０２ｂ，２０２ｃ近傍においては、管路２０２ａの内径側にメスネジ２０２ｅ，２０２ｆが形成されている。このメスネジ２０２ｅ，２０２ｆには、メイルコネクタ２０４，２０６のシールテープが巻き付けられたネジ部２０４ａ，２０６ａがネジ込まれてネジ結合している。

このノズル２００の導入口２０２ｂ，２０２ｃにそれぞれネジ込まれたメイルコネクタ２０４，２０６を介して接続された液体の導入管２０８と気体の導入管２１０とによって、液体と気体とが管路２０２ａに導入され、管路２０２ａにおいて液体と気体とが混合されると、本体部２０２の先端で管路２０２ａが開口する噴射口２０２ｄから、被洗浄物である基板の表面にミストが噴射される。

上記した従来のノズル２００においては、導入口２０２ｂ，２０２ｃから噴射口２０２ｄまで至る管路２０２ａが、本体部２０２に一体形成されているので、管路２０２ａや噴射口２０２の形状に応じた単一の噴射形態で噴射口２０２ｄからミストが噴射されるだけであった。つまり、複数の異なる管路や噴射口の形状に対応させて異なる噴射形態でミストを噴射させるためには、ノズル２００ごと交換する必要があるという問題点があった。

また、従来のノズル２００においては、噴射口２０２ｄから噴射されたミストが四方八方に飛散してしまったり、あるいは、被洗浄物である基板の表面に衝突したミストが大きく巻き上がってしまうので、被洗浄物の表面から除去された汚染物質などによって汚染されたミストが、洗浄された被洗浄物に再付着して被洗浄物が再汚染されるという問題点があった。

また、従来のノズル２００の管路２０２ａは、切削加工されて本体部２０２に一体形成されており、その仕上げ処理としてリーマ加工が施されている。しかしながら、リーマ加工では、管路２０２ａの内表面の表面粗さの最大高さ（Ｒｙ）をおよそ４μｍにすることしかできないので、ノズル２００の管路２０２ａに高圧かつ大流量の気体を導入すると、異物が発生してしまうこととなっていた。こうした異物の発生はノズル２００の製作直後などに顕著に生起されていた。

さらに、従来のノズル２００においては、管路２０２ａの内径側に形成されたメスネジ２０２ｅ，２０２ｆに、メイルコネクタ２０４，２０６のネジ部２０４ａ，２０６ａがネジ込まれるので、液体の導入管２０８ならびに気体の導入管２１０を管路２０２ａを接続するための継手部位が本体部２０２と擦れる構成となっており、管路２０２ａの内径側に形成されたメスネジ２０２ｅ，２０２ｆ近傍において異物が発生していた。

即ち、従来のノズル２００においては、管路２０２ａの内表面が滑らかでないことや、管路２０２ａの内径側に継手部位が形成されていることに起因して、管路２０２ａ内に異物が発生し易く、こうした異物がミストとともに噴射されて被洗浄物が汚染されるという問題点があった。

本発明は、上記したような従来の技術の有する種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、噴射形態を容易に変更することのできる洗浄装置用ノズルを提供しようとするものである。

また、本発明の目的とするところは、被洗浄物が汚染されるのを防止して、被洗浄物の洗浄効果を向上することのできる洗浄装置用ノズルを提供しようとするものである。

上記目的を達成するために、本発明のうち請求項１に記載の発明は、洗浄装置用ノズルの噴出口から洗浄液を圧縮気体により加圧して噴出することによって、該被洗浄物の表面に付着している汚染物質を除去する洗浄装置に用いられる洗浄装置用ノズルにおいて、一方の端部側から導入した洗浄液と圧縮気体とを混合する所定形状の第１の管路を備えた本体部と、上記本体部の上記第１の管路の他方の端部側と一方の端部側が連通し噴出口を他方の端部側に有する所定形状の第２の管路を備えた噴射管と、上記本体部に上記噴射管を着脱自在に取り付ける取り付け機構とを有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、上記取り付け機構は、上記本体部の外周側に形成されたネジ部と、上記本体部の上記第１の管路の上記他方の端部側の内径側に形成され上記噴射管の上記一方の端部側が嵌合する凹部と、上記凹部に上記一方の端部側を嵌合した上記噴射管を内挿し上記本体部の上記ネジ部にネジ結合する袋ナットとを有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の発明において、さらに、上記噴射管の上記噴出口の外周側を被覆するようにして、上記噴射管に上記噴射管の軸線方向と一致する方向で移動自在に配設されたカバーを有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項４に記載の発明は、請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の発明において、さらに、上記噴射管を内挿して上記噴射管の外周側に固定的に配設された袋ナットと、全体が略筒状体に形成され一方の開口部側に上記袋ナットにネジ結合するネジ部を備えた被覆部材とを有し、上記被覆部材の上記ネジ部を上記袋ナットにネジ込む量を変化させることにより、上記噴射管の上記噴出口の外周側を被覆するようにして、上記噴射管に上記噴射管の軸線方向と一致する方向で移動自在に上記被覆部材を配設するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項５に記載の発明は、請求項１、請求項２、請求項３または請求項４のいずれか１項に記載の発明において、さらに、上記本体部は、一方の端部側から導入した洗浄液と圧縮気体とを混合し上記一方の端部側が二股に分岐した上記第１の管路と、上記第１の管路の二股に分岐した一方側の開口部の外周側に上記本体部と一体的に形成され、上記第１の管路に上記洗浄液を導入するための配管を接続可能な接続部と、上記第１の管路の二股に分岐した他方側の開口部の外周側に上記本体部と一体的に形成され、上記第１の管路に上記圧縮気体を導入するための配管を接続可能な接続部とを有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項６に記載の発明は、請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５のいずれか１項に記載の発明において、さらに、上記本体部の上記第１の管路または上記噴射管の上記第２の管路のうちの少なくともいずれか一つは、管路内の表面粗さの最大高さ（Ｒｙ）が１μｍ以内に形成されたものである。

また、本発明のうち請求項７に記載の発明は、請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の発明において、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ、チタンまたはハステロイＣを材質としたものである。

また、本発明のうち請求項８に記載の発明は、請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の発明において、ＰＦＡ、ＰＴＦＥまたはＰＣＴＦＥを材質としたものである。

本発明による洗浄装置用ノズルは、噴射形態を容易に変更することができるようになるという優れた効果を奏する。

また、本発明による洗浄装置用ノズルは、被洗浄物が汚染されるのを防止して、被洗浄物の洗浄効果を向上することができるようになるという優れた効果を奏する。

以下、添付の図面に基づいて、本発明による洗浄装置用ノズルの実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。

図２には、本発明による洗浄装置用ノズルの実施の形態の一例を示す中央縦断面構成説明図が示されている。

この洗浄装置用ノズル１０は、管路１２ａを備えた本体部１２と、管路１４ａを備えた噴射管１４と、本体部１２の下端部１２ｂに噴射管１４を着脱自在に取り付ける取り付け機構１６とを有して構成されている。

本体部１２は、全体が略円柱状体に形成されており、所定の位置で二股に分岐した形状の管路１２ａを有している。より詳細には、管路１２ａは、本体部１２の軸線方向と一致する方向に延長され延長方向と直交する方向における断面形状が略円形形状の主流管路１２ｃと、主流管路１２ｃの途中の合流ポイント１２ｐで合流するように延長され延長方向と直交する方向における断面形状が略円形形状の支流管路１２ｄとからなるものである。

従って、管路１２ａは、本体部１２ａの上端部１２ｅにおいて主流管路１２ｃが略円形形状で開口する開口部１２ｆと、本体部１２ａの上端部１２ｅにおいて支流管路１２ｄが略円形形状で開口する開口部１２ｇと、本体部１２ａの下端部１２ｂにおいて主流管路１２ｃが略円形形状で開口している開口部１２ｈとを備えている。

管路１２ａの開口部１２ｆの外周側には、ネジ山１２ｋが本体部１２から延設されて本体部１２と一体的に形成されている。

そして、管路１２ａの開口部１２ｆには、圧縮気体を管路１２ａに導入するための配管１０２が、ネジ山１２ｋにネジ結合する袋ナット１０４によって接続されている。従って、配管１０２を介して、図示しないタンクから管路１２ａの主流管路１２ｃには圧縮気体が供給可能となされている。なお、圧縮気体としては、例えば、圧縮空気や窒素（Ｎ_２）ガスなどを用いることができる。

また、管路１２ａの開口部１２ｇの外周側には、ネジ山１２ｎが本体部１２から延設されて本体部１２と一体的に形成されている。

そして、管路１２ａの開口部１２ｇには、洗浄液を管路１２ａに導入するための配管１０６が、ネジ山１２ｎにネジ結合する袋ナット１０８によって接続されている。従って、配管１０６を介して、図示しないタンクから管路１２ａの支流管路１２ｄには洗浄液が供給可能となされている。なお、洗浄液としては、例えば、純水や、酸性の洗浄剤、アルカリ性の洗浄剤のような各種薬品あるいはその他の金属を侵すような洗浄液などを用いることができる。

一方、管路１２ａの開口部１２ｈは、主流管路１２ｃの内径が本体部１２の下端部１２ｂ側において拡大形成されているので、本体部１２ａの上端部１２ｅにおいて主流管路１２ｃが開口する開口部１２ｋの内径より大きな内径を有するものである。このため、本体部１２の下端部１２ｂには、主流管路１２ｃの内径が拡大形成されている範囲で、主流管路１２ｃの内径側に開口部１２ｈで開口する凹部１２ｓが形成されている。

ここで、管路１２ａの開口部１２ｈが開口している本体部１２ａの下端部１２ｂの端面１２ｂｂは平滑面に形成されている。また、本体部１２ａの下端部１２ｂの外周側面１２ｔにはネジ山１２ｗが形成されている。

噴射管１４は、全体が略円柱状体に形成されており、軸線方向と一致する方向に延長され延長方向と直交する方向における断面形状が略円形形状の管路１４ａを有している（図２ならびに図３（ａ）参照）。

この管路１４ａの上端部１４ｂにおいて略円形形状で開口する開口部１４ｃの内径は、管路１４ａが下端部１４ｄにおいて略円形形状で開口する開口部１４ｅの内径に比べて大きくなるように寸法設定されている。この開口部１４ｃの内径は、本体部１２ａの下端部１２ｂの凹部１２ｓの底部１２ｓｓにおいて開口する主流管路１２ｃの内径と略一致するように寸法設定されている。

そして、管路１４ａはほぼ全長にわたって同一の内径を有するものであるが、開口部１４ｃ近傍が一部だけ末広がりになるように内径が拡大形成されている。また、開口部１４ｃが開口している噴射管１４の上端部１４ｂの端面１４ｂｂは平滑面に形成されており、上端部１４ｂ全体は、本体部１２の下端部１２ｂに形成された凹部１２ｓと嵌合可能なように寸法設定されている。

ここで、上記した洗浄装置用ノズル１０の本体部１２と噴射管１４とはそれぞれ、その材質を限定されるものではない。洗浄装置用ノズル１０においては、材質を適宜に選択することにより、種々の洗浄液を用いることができるようになる。

例えば、洗浄装置用ノズル１０の本体部１２と噴射管１４との材質として、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ、チタンまたはハステロイＣなどを用いれば、洗浄液として純水を用いた場合に、洗浄装置用ノズル１０の寿命を長くすることが期待できる。

また、洗浄装置用ノズル１０の本体部１２と噴射管１４との材質として、ＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂）、ＰＴＦＥ（四フッ化エチレン樹脂）またはＰＣＴＦＥ（三フッ化塩化エチレン樹脂）などのフッ素樹脂やその他の樹脂材料を用いれば、洗浄液として酸性の洗浄剤やアルカリ性の洗浄剤を使用することが可能になる。

そして、上記したような種々の材料により、洗浄装置用ノズル１０の本体部１２ならびに噴射管１４を製作する際には、本体部１２の管路１２ａとなる孔の穿設や、噴射管１４の管路１４ａとなる孔の穿設の仕上げ処理として、ラップ仕上げを行っている。その結果、本体部１２ならびに噴射管１４の管路１２ａ，１４ａの内表面１２ａａ，１４ａａは、非常に滑らかになっている。

具体的には、図４に本願出願人の実験の結果が示されているが、ラップ仕上げによって、ＰＦＡによりなる本体部１２ならびに噴射管１４の管路１２ａ，１４ａの内表面１２ａａ，１４ａａの表面粗さ、即ち、最大高さ（Ｒｙ）は１μｍ以内となされている。こうしたラップ仕上げによる結果は、同じくＰＦＡによりなる本体部１２ならびに噴射管１４にリーマ加工をしたときの管路の内表面の表面粗さ４μｍに比べて非常に優れたものである。

こうした本体部１２と噴射管１４とが、取り付け機構１６によって組み付けられて洗浄装置用ノズル１０が構成されている。この取り付け機構１６は、本体部１２の外周側面１２ｔに形成されたネジ山１２ｗと、本体部１２の主流管路１２ｃの内径側に形成された凹部１２ｓと、袋ナット２０とからなるものである。

より詳細には、本体部１２の下端部１２ｂの凹部１２ｓに、噴射管１４の上端部１４ｂを嵌合させる。この際、噴射管１４の上端部１４ｂの端面１４ｂｂが、凹部１２ｓの底部１２ｓｓに当接して位置決めされる。

そして、袋ナット２０の袋部２０ａの孔２０ｂに、本体部１２の凹部１２ｓに上端部１４ｂが嵌合している噴射管１４を内挿するようにして、袋ナット２０を本体部１２の下端部１２側に被覆し、袋ナット２０のネジ溝２０ｃを本体部１２ａの下端部１２ｂの外周側面１２ｔに形成されたネジ山１２ｗとネジ結合させる。これにより、袋ナット２０の袋部２０ａの内面２０ｄが、本体部１２の下端部１２ｂの端面１２ｂｂに当接し、噴射管１４が本体部１２の凹部１２ｓから抜け落ちるのが防止された状態で、本体部１２に噴射管１４が着脱自在に取り付けられる。

こうして取り付け機構１６によって本体部１２と噴射管１４とを組み付けて構成される洗浄装置用ノズル１０においては、本体部１２ａの主流管路１２ｃの開口部１２ｈの端部側と噴射管１４の管路１４の開口部１４ｃの端部側とが連通して、噴射管１４の管路１４ａが下端部１４ｄにおいて開口する開口部１４ｅが、 洗浄装置用ノズル１０の先端部たる噴出口となる。

さらに、洗浄装置用ノズル１０においてはその噴出口の外周側を被覆するようにして被覆部材３０が配設されている。

被覆部材３０は、全体が略円筒状体に形成されており、略円形形状で開口する先端開口部３０ａの内径に比べて、略円形形状で開口する基部開口部３０ｂの内径が小さくなるように寸法設定されている。この基部開口部３０ｂの内径は、噴射管１４の下端部１４ｄ近傍の外周と略一致するように寸法設定されている。そして、基部開口部３０ｂの外周側にはネジ山３０ｃが形成されている。

そして、被覆部材３０のネジ山３０ｃは、袋部３２ａの孔３２ｂに噴射管１４を内挿し、ネジ溝３２ｃが噴射管１４の下端部１４ｄ側を向くようにして噴射管１４の外周側に固定的に配設された袋ナット３２のネジ溝３２ｃにネジ結合している。これにより、被覆部材３０が噴射管１４の外周側に位置して、噴射管１４の下端部１４ｄの管路１４ａの開口部１４ｅを被覆する。

この際、被覆部材３０のネジ山３０ｃを袋ナット３２にネジ込む量を変化させることにより、被覆部材３０は噴射管１４の軸線方向と一致する方向で移動可能なものであり、被覆部材３０の固定位置は変動できる。従って、噴射管１４の開口部１４ｅ、即ち、洗浄装置用ノズル１０の先端部たる噴出口と被覆部材３０の先端開口部３０ａとの位置関係を変化させ、噴射管１４の開口部１４ｅから被覆部材３０の先端開口部３０ａまでの長さＬ（図２参照）が所定の長さとなるように調節することができる。

以上の構成において、本発明による洗浄装置用ノズル１０を用いて、半導体シリコンウェーハや液晶用ガラス基板のような各種基板などの被洗浄物の洗浄を行うには、まず、図示しないタンクから配管１０２を介して、本体部１２の管路１２ａの主流管路１２ｃに圧縮気体を供給するとともに、図示しないタンクから配管１０６を介して、管路１２ａの支流管路１２ｄに洗浄液を供給する。

そして、本体部１２の管路１２ａの開口部１２ｆから導入された圧縮気体と、管路１２ａの開口部１２ｇから導入された洗浄液とは、主流管路１２ｃの途中の合流ポイント１２ｐにおいて混合してミストを生成する。このミストが開口部１４ｃを介して本体部１２の管路１２ａの主流管路１２ｃと連通する噴射管１４の管路１４ａに至り、管路１４ａの開口部１４ｅ、 即ち、洗浄装置用ノズル１０の噴出口から噴出される。

こうして洗浄装置用ノズル１０の噴出口から洗浄液を圧縮気体によって加圧し加速して噴出し、微小かつ高速な洗浄液のミストが被洗浄物に対して噴出されると、被洗浄物の表面に付着しているパーティクルなどの汚染物質が除去されて、被洗浄物が洗浄される。

この際、噴射管１４の管路１４ａの開口部１４ｅを被覆するようにして噴射管１４の外周側に被覆部材３０が配設されており、しかも被覆部材３０がスルーコネクタ形状で噴射管１４の軸線方向と一致する方向で移動し任意の位置で固定して長さＬ（図２参照）を調節できるので、管路１４ａの開口部１４ｅから噴出した直後のミストの飛散が抑制され、被洗浄物に衝突したミストの巻き上がりも大きくならない。

その結果、管路１４ａの開口部１４ｅから噴出したミストは、被覆部材３０によって誘導されて、被覆部材３０の先端開口部３０ａと被洗浄物との間に効率良く供給され、被洗浄物の表面から除去された汚染物質などによって汚染されたミストが、洗浄された被洗浄物に再付着して被洗浄物が再汚染されることを防止できる。

さらに、導入された圧縮気体に洗浄液が混合されミスト化して通過していく、本体部１２ならびに噴射管１４の管路１２ａ，１４ａの内表面１２ａａ，１４ａａは、ラップ仕上げを行っているので非常に滑らかになっている。従って、たとえ製作直後に高圧かつ大流量の気体が導入されても、本体部１２ならびに噴射管１４の管路１２ａ，１４ａにおける異物の発生が抑えられる。

具体的には、噴射管１４の管路１２ａ，１４ａの内表面１２ａａ，１４ａａのようにラップ仕上げで最大高さ（Ｒｙ）を１μｍ以内とすれば、図４に示すように、リーマ加工をした場合のパーティクルの発生量を激減させることができる。

また、洗浄装置用ノズル１０においては、管路１２ａの開口部１２ｆ，１２ｇの外周側に、ネジ山１２ｋ，１２ｎが本体部１２から延設されて本体部１２と一体的に形成されている。このため、管路１２ａの開口部１２ｆ，１２ｇ近傍において管路１２ａの内径側にネジ溝を形成することなしに、圧縮気体を導入するための配管１０２や洗浄液を導入するための配管１０６を、袋ナット１０４，１０８によって管路１２ａの開口部１２ｆ，１２ｇに接続することができる。

つまり、洗浄装置用ノズル１０は、上記「背景技術」の項に記載したノズル２００（図１参照）のように継手部位が本体部と擦れる構成とはなっておらず、管路１２ａ内に異物が発生することもない。

このように、洗浄装置用ノズル１０においては、管路１２ａの内表面が滑らかで、管路１２ａの内径側に継手部位が形成されていないので、管路１２ａ内の異物の発生を抑制でき、異物がミストとともに噴射されて被洗浄物が汚染されるのを防止できる。

従って、本発明による洗浄装置用ノズル１０は、被覆部材３０を配設するようにしたため、被洗浄物の表面から除去された汚染物質などによって汚染されたミストが、洗浄された被洗浄物に再付着して被洗浄物が再汚染されることを防止できるようになり、管路１２ａ，１４ａの内表面１２ａａ，１４ａａにラップ仕上げを行い、管路１２ａの開口部１２ｆ，１２ｇの外周側にネジ山１２ｋ，１２ｎを本体部１２と一体的に形成するようにしたので、異物の発生を抑制して被洗浄物が汚染されるのを防止できるようになり、被洗浄物の洗浄効果を向上することができる。

このため、本発明による洗浄装置用ノズル１０を、例えば、超ＬＳＩの製造工程において用いることにより、各製造工程中にパーティクルなどの汚染物質が半導体ウェーハの表面に付看して、製品の歩留まりおよび品質を著しく低下させるような事態を回避することができる。

また、本発明による洗浄装置用ノズル１０は、取り付け機構１６によって、本体部１２に噴射管１４が着脱自在に取り付けられるようにしたため、洗浄装置用ノズル１０全体を交換せずとも、洗浄装置用ノズル１０の噴出口たる開口部１４ｅを備えた噴射管１４だけを容易に交換することができるようになった。このため、上記した噴射管１４とは異なる管路や異なる噴出口の形状を有する噴射管を取り付け機構１６によって本体部１２に取り付けることにより、ミストの噴射形態を容易に変更することができる。

例えば、図３（ｂ）に示すように、洗浄装置用ノズル１０の噴出口となる開口部４０ｂ近傍において、管路４０ａがラッパ型に拡張されている噴射管４０や、図３（ｃ）に示すように、洗浄装置用ノズル１０の噴出口となる管路４２ａの開口部４２ｂが扇状のスリットとなっている噴射管４２を、上記した噴射管１４（図３（ａ）参照）に代わって、本体部１２に取り付けることができる。

こうして噴射管１４，４０，４２をそれぞれ交換するときには、本体部１２ａの下端部１２ｂの外周側面１２ｔに形成されたネジ山１２ｗから袋ナット２０を取り外すだけでよく、このように様々な形態の噴射管を容易に交換できることで、本発明による洗浄装置用ノズル１０は多様な被洗浄物に対応することができるようになり、洗浄装置用ノズル１０が配設される洗浄装置の汎用性も高められる。

また、本発明による洗浄装置用ノズル１０は、取り付け機構１６によって、本体部１２に噴射管１４が着脱自在に取り付けられるようにしたため、本体部１２と噴射管１４とを分割して製作することが可能になった。このため、洗浄装置用ノズル１０においては、管路１２ａの開口部１２ｆ，１２ｇから噴出口たる管路１４ａの開口部１４ｅまで所定の長さを有する管路を、本体部１２の管路１２ａと噴射管１４の管路１４ａとに分割して製作することができる。

その結果、切削加工が容易になるとともに、本体部１２の管路１２ａとなる孔や噴射管１４の管路１４ａとなる孔にラップ仕上げを行うこともでき、本体部１２ならびに噴射管１４の管路１２ａ，１４ａの内表面１２ａａ，１４ａａを非常に滑らかにすることができるようになった。

なお、上記した実施の形態は、以下の（１）乃至（４）に説明するように適宜に変形してもよい。

（１）上記した実施の形態の洗浄装置用ノズル１０においては、本体部１２の管路１２ａとなる孔や噴射管１４の管路１４ａとなる孔にラップ仕上げを行うにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、本体部１２ならびに噴射管１４の管路１２ａ，１４ａの内表面１２ａａ，１４ａａを非常に滑らかにすることができるような各種仕上げ加工、例えば、ブラスト仕上げを行うようにしてもよい。

（２）上記した実施の形態の洗浄装置用ノズル１０においては、管路１２ａの開口部１２ｆ，１２ｇの外周側にネジ山１２ｋ，１２ｎを本体部１２と一体的に形成するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、例えば、図５に示す洗浄装置用ノズル５０のように、管路１２ａの開口部１２ｆ’，１２ｇ’が単管構造となるように、開口部１２ｆ’，１２ｇ’の外周側に本体部１２から延設して本体部１２と一体的に接続部を形成するようにしてもよい。

このようにすると、圧縮気体を導入するための配管や洗浄液を導入するための配管を、管路１２ａの開口部１２ｆ’，１２ｇ’にネジ結合によって接続することに限られないので、様々な継手との接続が可能になり、また製作加工も容易である。

（３）上記した実施の形態の洗浄装置用ノズル１０において、さらに、洗浄液や被洗浄物の種類などに応じて各種変更を行うようにしてもよく、例えば、図５に示す洗浄装置用ノズル５０のように、被覆部材３０に孔を穿設して、供給管５２を別途配設するようにしてもよい。この供給管の塗布口５２ａを、洗浄装置用ノズル５０の噴出口たる噴射管１４の開口部１４ｅ近傍に位置させて、洗浄装置用ノズル１０の噴出口からのミストの噴出と塗布口５２ａからの洗浄液の塗布とを併用させることができる。

また、本体部１２の管路１２ａならびに噴射管１４の管路１４ａの内径やその全長、合流ポイント１２ｐの位置や角度などを含めた各種寸法、袋ナットの種類や、被覆部材３０の材質やその形状なども、洗浄液や被洗浄物の種類などに応じて適宜選択して変更可能なものである。例えば、外周カバー部５４ａの内部にスリット５４ｂを設けてミストの飛び散りを分散させるような被覆部材５４（図６参照）を、本発明による洗浄装置用ノズル１０，５０に配設するようにしてもよい。

（４）上記した実施の形態ならびに上記（１）乃至（３）に示す変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。

本発明は、例えば、超ＬＳＩの製造工程における洗浄装置で、半導体シリコンウェーハや液晶用ガラス基板などの各種基板の洗浄の段階で利用することができる。

従来のノズルを示す中央縦断面構成説明図である。 本発明による洗浄装置用ノズルの実施の形態の一例を示す中央縦断面構成説明図である。 （ａ）は図２に示す洗浄装置用ノズルの噴射管を示す中央縦断面構成説明図ならびにＡ矢視図であり、（ｂ）は図２に示す洗浄装置用ノズルの噴射管の他の例を示す中央縦断面構成説明図ならびにＢ矢視図であり、（ｃ）は図２に示す洗浄装置用ノズルの噴射管の他の例を示す中央縦断面構成説明図ならびにＣ矢視図である。 リーマ加工（従来技術）ならびにラップ加工（本願の実施の形態）による表面粗さと異物発生量との関係を示す表である。 本発明による洗浄装置用ノズルの実施の形態の他の例を示す中央縦断面構成説明図である。 本発明による洗浄装置用ノズルの被覆部材の他の例を示す中央縦断面構成説明図である。

符号の説明

１０，５０ 洗浄乾燥用ノズル
１２ 本体部
１４ 噴射管
１６ 取り付け機構
２０，３２ 袋ナット
３０ 被覆部材

Claims (8)

1. 洗浄装置用ノズルの噴出口から洗浄液を圧縮気体により加圧して噴出することによって、該被洗浄物の表面に付着している汚染物質を除去する洗浄装置に用いられる洗浄装置用ノズルにおいて、
   一方の端部側から導入した洗浄液と圧縮気体とを混合する所定形状の第１の管路を備えた本体部と、
   前記本体部の前記第１の管路の他方の端部側と一方の端部側が連通し噴出口を他方の端部側に有する所定形状の第２の管路を備えた噴射管と、
   前記本体部に前記噴射管を着脱自在に取り付ける取り付け機構と
   を有する洗浄装置用ノズル。
2. 請求項１に記載の洗浄装置用ノズルにおいて、
   前記取り付け機構は、前記本体部の外周側に形成されたネジ部と、前記本体部の前記第１の管路の前記他方の端部側の内径側に形成され前記噴射管の前記一方の端部側が嵌合する凹部と、前記凹部に前記一方の端部側を嵌合した前記噴射管を内挿し前記本体部の前記ネジ部にネジ結合する袋ナットとを有する
   ものである洗浄装置用ノズル。
3. 請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の洗浄装置用ノズルにおいて、さらに、
   前記噴射管の前記噴出口の外周側を被覆するようにして、前記噴射管に前記噴射管の軸線方向と一致する方向で移動自在に配設されたカバー
   を有する洗浄装置用ノズル。
4. 請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の洗浄装置用ノズルにおいて、さらに、
   前記噴射管を内挿して前記噴射管の外周側に固定的に配設された袋ナットと、
   全体が略筒状体に形成され一方の開口部側に前記袋ナットにネジ結合するネジ部を備えた被覆部材と
   を有し、
   前記被覆部材の前記ネジ部を前記袋ナットにネジ込む量を変化させることにより、前記噴射管の前記噴出口の外周側を被覆するようにして、前記噴射管に前記噴射管の軸線方向と一致する方向で移動自在に前記被覆部材を配設する
   ものである洗浄装置用ノズル。
5. 請求項１、請求項２、請求項３または請求項４のいずれか１項に記載の洗浄装置用ノズルにおいて、さらに、
   前記本体部は、
   一方の端部側から導入した洗浄液と圧縮気体とを混合し前記一方の端部側が二股に分岐した前記第１の管路と、
   前記第１の管路の二股に分岐した一方側の開口部の外周側に前記本体部と一体的に形成され、前記第１の管路に前記洗浄液を導入するための配管を接続可能な接続部と、
   前記第１の管路の二股に分岐した他方側の開口部の外周側に前記本体部と一体的に形成され、前記第１の管路に前記圧縮気体を導入するための配管を接続可能な接続部と
   を有する
   ものである洗浄装置用ノズル。
6. 請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５のいずれか１項に記載の洗浄装置用ノズルにおいて、さらに、
   前記本体部の前記第１の管路または前記噴射管の前記第２の管路のうちの少なくともいずれか一つは、管路内の表面粗さの最大高さ（Ｒｙ）が１μｍ以内に形成された
   ものである洗浄装置用ノズル。
7. 請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の洗浄装置用ノズルにおいて、
   ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ、チタンまたはハステロイＣを材質とした
   ものである洗浄装置用ノズル。
8. 請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の洗浄装置用ノズルにおいて、
   ＰＦＡ、ＰＴＦＥまたはＰＣＴＦＥを材質とした
   ものである洗浄装置用ノズル。

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