JP2020082323A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
一態様は、前記液体供給機構は、前記研磨パッドの外側に配置されたノズル洗浄装置を備えており、前記ノズル洗浄装置は、前記スラリーノズルを洗浄する第1洗浄ノズルと、前記液体噴射ノズルを洗浄する第2洗浄ノズルと、を備えている。
一態様は、前記液体供給機構は、前記液体噴射ノズルに連結され、かつ研磨液が流れるスラリーラインと、前記液体噴射ノズルに連結され、かつ前記液体噴射ノズルを洗浄するためのフラッシング液体が流れるフラッシングラインと、を備えている。
一態様は、前記液体供給機構は、前記ノズルアームに取り付けられたスラリーノズルを備えており、前記スラリーノズルおよび前記液体噴射ノズルは、前記ノズルアームが処理位置にあるとき、前記研磨パッドの中心の上方に配置される。
一態様は、前記上限側しきい値は、第1上限側しきい値と、前記第1上限側しきい値よりも大きな第2上限側しきい値とを有しており、前記ノズル異常検出装置は、前記第1上限側しきい値および前記第2上限側しきい値に基づいて、前記液体噴射ノズルの交換を推奨する軽故障アラームおよび前記研磨装置の運転を停止する重故障アラームのうちのいずれか1つを発報する。
一態様は、前記下限側しきい値は、第1下限側しきい値と、前記第1下限側しきい値よりも小さな第2下限側しきい値とを有しており、前記ノズル異常検出装置は、前記第1下限側しきい値および前記第2下限側しきい値に基づいて、前記液体噴射ノズルの交換を推奨する軽故障アラームおよび前記研磨装置の運転を停止する重故障アラームのうちのいずれか1つを発報する。
1a 研磨面
1b 外周部
2 研磨テーブル
3 トップリング
4 液体供給機構
5 トップリング装置
8 トップリングアーム
9 トップリング旋回軸
10 ドレッシング装置
11 ドレッサアーム
12 ドレッサ旋回軸
15 ドレッサ
20 アトマイザ
30 ノズルアーム
30a 先端部分
30b アーム部分
31 第1スラリーノズル(第1液体ノズル)
32 第2スラリーノズル(第2液体ノズル)
33 液体噴射ノズル
33a 両面
34 内面
34a 液体通過面
34b 液体噴射面
34c 液体絞り面
35 ノズル旋回軸
40 第1スラリーライン(第1液体供給ライン)
41 第2スラリーライン(第2液体供給ライン)
44 汚れ防止カバー
45 ノズルホルダー
46 第3スラリーライン(第3液体供給ライン)
47 フラッシングライン
48 連結部材
50 ノズル洗浄装置
51 第1洗浄ノズル
52 第2洗浄ノズル
53 洗浄ライン
60 ドレッシング液供給装置
61 ドレッシング液供給ノズル
62 ドレッシング液供給ライン
70 ノズル異常検出装置
71 流量制御部
72 判定部
73 流量調整バルブ
74 フローセンサ
75 フローコントローラ
80 位置決め部位
80a 嵌合面
81 ジョイント
90 純水ライン
91 クリーニング主ライン
92 クリーニング分岐ライン
110 記憶装置
120 処理装置
130 入力装置
140 出力装置
150 通信装置
PA 研磨装置
Claims (10)
- 研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドに押し付けるトップリングと、
液体を前記研磨パッドに供給する液体供給機構と、を備え、
前記液体供給機構は、
前記研磨テーブルの半径方向に移動可能なノズルアームと、
前記ノズルアームに取り付けられた液体噴射ノズルと、を備えており、
前記液体噴射ノズルは、その内面に形成され、かつテーパー形状を有する液体絞り面を有する扇形ノズルである、研磨装置。 - 前記液体供給機構は、前記ノズルアームに取り付けられたスラリーノズルを備えており、
前記スラリーノズルは、前記ノズルアームが処理位置にあるとき、前記研磨パッドの中心の上方に配置され、
前記液体噴射ノズルは、前記ノズルアームが処理位置にあるとき、前記研磨パッドの中心と前記研磨パッドの外周部との間の領域に配置される、請求項1に記載の研磨装置。 - 前記液体供給機構は、前記研磨パッドの外側に配置されたノズル洗浄装置を備えており、
前記ノズル洗浄装置は、
前記スラリーノズルを洗浄する第1洗浄ノズルと、
前記液体噴射ノズルを洗浄する第2洗浄ノズルと、を備えている、請求項2に記載の研磨装置。 - 前記液体供給機構は、
前記液体噴射ノズルに連結され、かつ研磨液が流れるスラリーラインと、
前記液体噴射ノズルに連結され、かつ前記液体噴射ノズルを洗浄するためのフラッシング液体が流れるフラッシングラインと、を備えている、請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨装置は、洗浄流体を前記研磨パッドに噴射するアトマイザを備えており、
前記液体供給機構は、前記アトマイザに取り付けられたドレッシング液供給装置を備えている、請求項1に記載の研磨装置。 - 前記液体供給機構は、前記ノズルアームに取り付けられたスラリーノズルを備えており、
前記スラリーノズルおよび前記液体噴射ノズルは、前記ノズルアームが処理位置にあるとき、前記研磨パッドの中心の上方に配置される、請求項1に記載の研磨装置。 - 研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドに押し付けるトップリングと、
液体を前記研磨パッドに供給する液体供給機構と、を備え、
前記液体供給機構は、前記研磨テーブルの半径方向に移動可能なノズルアームに取り付けられた液体噴射ノズルの異常を検出するノズル異常検出装置を備えており、
前記ノズル異常検出装置は、前記液体噴射ノズルに連結された液体供給ラインの流路の大きさを調整する流量調整バルブの開度に基づいて、前記液体噴射ノズルの異常を判定する、研磨装置。 - 前記ノズル異常検出装置は、
前記流量調整バルブの開度が所定の上限側しきい値に達すると、前記液体噴射ノズルの異常な詰まりを決定し、
前記流量調整バルブの開度が所定の下限側しきい値に達すると、前記液体噴射ノズルの異常な摩耗を決定する、請求項7に記載の研磨装置。 - 前記上限側しきい値は、第1上限側しきい値と、前記第1上限側しきい値よりも大きな第2上限側しきい値とを有しており、
前記ノズル異常検出装置は、前記第1上限側しきい値および前記第2上限側しきい値に基づいて、前記液体噴射ノズルの交換を推奨する軽故障アラームおよび前記研磨装置の運転を停止する重故障アラームのうちのいずれか1つを発報する、請求項8に記載の研磨装置。 - 前記下限側しきい値は、第1下限側しきい値と、前記第1下限側しきい値よりも小さな第2下限側しきい値とを有しており、
前記ノズル異常検出装置は、前記第1下限側しきい値および前記第2下限側しきい値に基づいて、前記液体噴射ノズルの交換を推奨する軽故障アラームおよび前記研磨装置の運転を停止する重故障アラームのうちのいずれか1つを発報する、請求項8に記載の研磨装置。
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