JP5198826B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
該洗浄装置は、ノズルの噴射口からドライアイススノーを噴出し、ドライアイススノーを被洗浄物に吹き付け、被洗浄物の表面に付着した有機物や不純物などを除去する装置である。
かかる洗浄装置は、ドライアイススノーに並行に噴射用ガスを噴出することにより、ドライアイススノーの方向性が安定し、ドライアイススノーを洗浄ポイントに集中的に吹き付けることができる。
他方、上記噴出用ガスをドライアイススノーと並行して噴射しないと、ノズルの噴出口から出たドライアイススノーが略円錐状に広がり、その多くがガス化するため、ドライアイススノーを洗浄ポイントに確実に吹き付けることができない。
従って、ドライアイススノーを洗浄ポイントに集中させて吹き付けることができる。
また、上記洗浄装置は、窒素ガスなどを併用しないので、低コストで洗浄を行うことができる。
かかる洗浄装置は、支持部材に複数のノズルとそれに対応して拡散抑制管部が設けられているので、一度に多数の洗浄ポイントに、それぞれドライアイススノーを集中させて吹き付けることができる。
本発明の好ましい洗浄装置は、前記拡散抑制管部の内周面の直径が、前記噴射口の内径の7倍〜15倍である。
図1は、本発明の洗浄装置の概略参考図を示し、図2は、ノズル及び拡散抑制管部を備えるドライアイススノー噴出部の断面図を示す。ただし、各図に表した部材は、実際の寸法とは異なっていることに留意されたい。
供給部2及び調整弁5は、従来公知の構成と同様である。簡単に説明すると、供給部2は、液化二酸化炭素が封入された開閉弁付きのボンベ21と、該ボンベ21に接続された供給ホース22と、を少なくとも有する。供給ホース22の下流側には、調整弁5が取り付けられている。調整弁5は、電磁弁などを備えた自動開閉式でもよいし、手動開閉式でもよい。
前記ノズル3は、調整弁5の下流側に取り付けられている。ノズル3の内部には、図2に示すように、流通路31が形成され、該流通路31に連通して、ノズル3の先端面には、噴射口32が開口されている。上記調整弁5を開くことによって上記流通路31に液化二酸化炭素が流れ、噴射口32からドライアイススノーが噴射される。
ノズル3の噴射口32の形状は、通常、断面円状である。該噴射口32の内径(直径)は、特に限定されないが、0.1〜1.0mm程度であり、好ましくは0.15〜0.8mm程度である。
ノズル3の噴射口32の内径が前記範囲に形成されている場合、該ノズル3を備える洗浄装置1は、半導体などの微細部品の洗浄に特に適している。
円筒内周面7aを有する拡散抑制管部7とは、内周面が縦断面において円状(縦断面視円状)に形成されている管部材をいう。
なお、拡散抑制管部7は、円筒内周面7aを有していればその外面形状は特に限定されず、例えば、図3に示すように、外面形状が縦断面視四角形状でもよく、その他図示しないが、その外面形状が縦断面視六角形状、縦断面視三角形状、任意の異形状などでもよい。
該拡散抑制管部7は、その後端部7bにおいてノズル3に固着されている。
例えば、図2に示すように、拡散抑制管部7の後端部7bの内周面に雌ネジを形成し、該後端部7bをノズル3の外周面に形成された雄ネジに螺合することによって、拡散抑制管部7がノズル3に固着されている。なお、ネジ螺合によって取り付けられた前記拡散抑制管部7は、ノズル3に対して着脱可能である。このように着脱可能に取り付けられた拡散抑制管部7は、必要に応じて、直径又は延出長さの異なる拡散抑制管部7に変更できる。
なお、拡散抑制管部7のノズル3に対する取付けは、ネジ螺合に限定されず、凹凸嵌合、接着剤による固着などでもよい。また、拡散抑制管部7は、可動式であってもよい。例えば、スライドすることによって伸縮可能な拡散抑制管部7を用いることにより、拡散抑制管部7の延出長さLを変更できる。
また、拡散抑制管部7の材質は、特に限定されず、金属、合成樹脂、セラミックなどを例示できる。
また、拡散抑制管部7は、噴射口32の軸線X方向に延出されている。従って、円筒内周面7aによって構成される通路71は、噴射口32の軸線X方向に延びている。
例えば、ノズル3の噴射口32の内径が、0.15〜0.8mmである場合、円筒内周面7aの直径Dは、1.5〜6.5mm程度が好ましく、更に、2.0〜5.0mm程度がより好ましい。
一方、拡散抑制管部7の延出長さLが余りに長いと、取り扱い性が悪くなるので、上記延出長さLの上限は、通常、500mm以下、好ましくは200mm以下である。
従って、上記洗浄装置1は、ドライアイススノーを洗浄ポイントに集中させて確実に吹き付けることができる。
特に、拡散抑制管部7の延出長さLが、15mm〜500mmに形成されている場合、拡散抑制管部7の開口72から噴出されたドライアイススノーの略円柱状の噴出形状を、より長く持続させることができる。
以下、他の実施形態について説明するが、上記実施形態と異なる部分について主として説明し、上記実施形態と同様の構成及び効果については、その説明を省略し、用語及び符号を援用する場合がある。
具体的には、図4に示す洗浄装置1は、支持部材8と、支持部材8の一面に複数のドライアイススノー噴出部6と、が設けられている。
ドライアイススノー噴出部6は、上記実施形態と同様に、ノズル3と、該ノズル3に設けられた拡散抑制管部7と、を有する。
各ノズル3に対応して円筒内周面7aを有する拡散抑制管部7が設けられているが、該拡散抑制管部7のノズル3の構成は、上記実施形態と同様である。
ただし、各ノズル3に対応してそれぞれ設けられた複数(図示では5個)の拡散抑制管部7は、1つの部材で形成されていてもよい。例えば、金属材料の旋盤加工または合成樹脂成形などにより、ノズル3の個数及び並設間隔に対応した複数の円筒内周面7aが形成された1つの部材を、各ノズル3の噴出口32の軸線周りに各円筒内周面7aを配置させつつ、支持部材8に固着してもよい。
なお、図4では、5個のノズル3を支持部材8に設ける場合を例示しているが、ノズル3の個数はこれに限定されず、2個以上であればよい。もっとも、取り扱い性などを考慮すると、1つの支持部材8に、4〜6個のノズル3を並設することが好ましい。
また、上記ドライアイススノー噴出部6が複数設けられている洗浄装置1において、複数のドライアイススノー噴出部6が、支持部材8の一面に一列に並んで設けられる態様に限られず、複数のドライアイススノー噴出部6が、2列以上に並んで設けられていてもよい。例えば、支持部材8の一面の横方向に5個のドライアイススノー噴出部6が並設され、この5個の列が支持部材8の一面の縦方向に2列多段状に設けられていても良い。
ただし、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。
ノズルの噴射口の内径を0.8mm、拡散抑制管部の円筒内周面の直径を4.35mm、拡散抑制管部の延出長さを40mm、とする洗浄装置を作製した。
被洗浄物として、金属板の表面に水を含ませた砂を薄膜状に付着させたものを準備した。
この砂が付着した金属板の表面に、前記洗浄装置のノズルからドライアイススノー(供給圧力:約6MPa。常温)を噴射し、洗浄試験を行った。なお、噴出時間は、1秒間とし、金属板の表面から拡散抑制管部の先端開口部までの距離は、150mmとした。
噴射後、金属板の表面における砂の除去程度を目視で観察した。その結果を表1に示す。
評価0:洗浄前と変化がない。
評価1:粉末がやや除去されている。
評価2:粉末が半分程度除去されている。
評価3:ほぼ粉末が除去されているが、僅かに残っている部分もある。
評価4:粉末が完全に除去されている。
拡散抑制管部を用いなかったこと以外は、実施例1と同様にして、洗浄試験を行った。
なお、比較例1では、拡散抑制管部を用いなかったので、金属板の表面からノズルの噴出口までの距離を150mmとした。
その結果を表1に示す。
ノズルの噴射口の内径を0.5mm、拡散抑制管部の円筒内周面の直径を4.35mm、拡散抑制管部の延出長さを40mm、とする洗浄装置を作製した。
この洗浄装置を用いて、実施例1と同様にして、洗浄試験を行った。その結果を表1に示す。
拡散抑制管部の延出長さを、それぞれ表1に示す寸法に設定したこと以外は、実施例2と同様にして、洗浄装置を作製し、洗浄試験を行った。その結果を表1に示す。
拡散抑制管部を用いなかったこと以外は、実施例2と同様にして、洗浄試験を行った。その結果を表1に示す。
金属板の表面から拡散抑制管部の先端開口部までの距離を100mmとしたこと以外は、実施例1と同様にして、洗浄装置を作製し、洗浄試験を行った。その結果を表1に示す。
拡散抑制管部の円筒内周面の直径を10mmとしたこと、及び、金属板の表面から拡散抑制管部の先端開口部までの距離を100mmとしたこと以外は、実施例1と同様にして、洗浄装置を作製し、洗浄試験を行った。その結果を表1に示す。
Claims (4)
- ノズルの噴射口からドライアイススノーを噴出して被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、
前記ノズルには、円筒内周面を有する拡散抑制管部が設けられており、
前記拡散抑制管部は、その円筒内周面が前記ノズルの噴射口の軸線周りに配され、且つ、前記噴射口の軸線方向に延出されており、
前記噴射口の内径が、0.1〜1.0mmであり、前記拡散抑制管部の内周面の直径が1.0mm〜8.0mmであり、
前記噴射口の内径が、前記拡散抑制管部の内周面の直径よりも小さいことを特徴とする洗浄装置。 - 支持部材に、前記ノズルの噴射口が複数並んで設けられており、
前記支持部材に、前記複数の噴射口に対応して、前記拡散抑制管部が設けられている請求項1に記載の洗浄装置。 - 前記拡散抑制管部の延出長さが15〜500mmである請求項1または2に記載の洗浄装置。
- 前記拡散抑制管部の内周面の直径が、前記噴射口の内径の7倍〜15倍である請求項1乃至3の何れか一項に記載の洗浄装置。
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