CN108380564A - 具有自动清洗功能的显影腔室及其清洗组件、清洗方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种具有自动清洗功能的显影腔室及其清洗组件、清洗方法。该清洗组件包括清洗喷淋机构以及与清洗喷淋机构连接的驱动机构，所述清洗喷淋机构用于在显影腔室停止喷淋显影液时喷淋清洗液，所述驱动机构用于驱动清洗喷淋机构转动以控制清洗液朝多个方向喷淋。基于此，本申请能够自动对显影腔室的四周及上盖板进行清洗，减少人工成本，并且有利于避免因光阻堆积产生的光阻凝聚现象。
Description
技术领域
本申请涉及显示终端制造技术领域，具体涉及一种具有自动清洗功能的显影腔室及其清洗组件、清洗方法。
背景技术
在LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)的制程中，显影工艺是非常重要的一环。显影工艺是利用显影液对经过曝光的光阻(又称光刻胶)进行处理，从而达到去除部分光阻并形成预定图案的目的。在显影后，显影腔室(Chamber)需要通过水洗将基板表面的光阻残渣清洗掉。当前，清洗喷淋机构喷出的水柱在清洗玻璃时会将基板表面的光阻残渣溅射到显影腔室内的四周和上盖板(的内侧)，当光阻残渣堆积到一定量后会再次滴落到基板上，并随基板移动产生Defect(光阻凝聚)现象，影响产品品质。并且，由于清洗喷淋机构不能清洗到显影腔室内的四周和上盖板，因此只有在产品发生品质问题后，才能停止生产制程并通过人工操作对显影腔室内的四周以及上盖板进行冲洗。
发明内容
鉴于此，本申请提供一种具有自动清洗功能的显影腔室及其清洗组件、清洗方法，能够自动对显影腔室的四周及上盖板进行清洗，减少人工成本，并且有利于避免因光阻堆积产生的光阻凝聚现象。
本申请一实施例的显影腔室内的清洗组件，包括清洗喷淋机构以及与清洗喷淋机构连接的驱动机构，所述清洗喷淋机构用于在所述显影腔室停止喷淋显影液时喷淋清洗液，所述驱动机构用于驱动清洗喷淋机构转动以控制清洗液朝多个方向喷淋。
本申请一实施例的具有自动清洗功能的显影腔室，其清洗组件包括清洗喷淋机构以及与清洗喷淋机构连接的驱动机构，所述清洗喷淋机构用于在所述显影腔室停止喷淋显影液时喷淋清洗液，所述驱动机构用于驱动清洗喷淋机构转动以控制清洗液朝多个方向喷淋。
本申请一实施例的显影腔室的清洗方法，包括：
在显影腔室内设置一清洗组件，所述清洗组件包括清洗喷淋机构以及与所述清洗喷淋机构连接的驱动机构；
在所述显影腔室停止喷淋显影液时，所述清洗喷淋机构喷淋清洗液，所述驱动机构驱动所述清洗喷淋机构转动以控制所述清洗液朝多个方向喷淋，以对所述显影腔室内部进行清洗。
有益效果：本申请在显影腔室内设置与驱动机构连接的清洗喷淋机构，通过驱动机构驱动该清洗喷淋机构转动以控制清洗液朝多个方向喷淋，能够自动对显影腔室的四周及上盖板进行清洗，减少人工成本，并且有利于避免因光阻堆积产生的光阻凝聚现象，确保产品品质。
附图说明
图1是本申请一实施例的清洗组件的结构示意图；
图2是图1所示清洗组件的局部结构示意图；
图3是图1所示一个喷淋管上的多个喷淋嘴的分布示意图；
图4是本申请一实施例的显影腔室的清洗方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请所提供的各个示例性的实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。
图1是本申请一实施例的清洗组件的结构示意图。请参阅图1所示，本实施例的清洗组件10包括驱动机构11以及多个平行间隔设置的清洗喷淋机构12，该清洗组件10可以通过固定组件13固定于显影腔室之内，该清洗喷淋机构12用于在显影腔室停止喷淋显影液时喷淋清洗液，例如水，以对显影腔室的内部进行清洗。
对于所述显影腔室，其内部设置有滚轮组件，该滚轮组件可以包括滚轮和传动轴，滚轮用于承载基板，例如LCD的涂覆有光阻的玻璃基板，传动轴可以在电机等驱动机构的驱动下以传动轴的中线为轴线进行绕轴旋转，从而带动固定于其上的滚轮转动，以此传动基板按照预定方向移动。于此，所述清洗喷淋机构12可以设置于滚轮组件的上方，且位于显影腔室的上盖板(或者说封盖，cover)的下方。
驱动机构11与清洗喷淋机构12连接，并用于驱动所述清洗喷淋机构12转动以控制所述清洗液朝多个方向喷淋。例如，当清洗液向上喷淋时可以对显影腔室的上盖板的内部进行清洗；又例如，当清洗液朝向四周喷淋时可以对显影腔室内的四周进行清洗。
相比较于现有技术，本实施例的清洗组件10在显影腔室进行保养之外，有更多时机对显影腔室内部进行清洗，通过驱动机构11驱动该清洗喷淋机构12转动以控制清洗液朝多个方向喷淋，能够自动对显影腔室的四周及上盖板进行清洗，减少人工成本，并且有利于避免因光阻堆积产生的光阻凝聚现象，确保显影产品品质。
在实际应用场景中，驱动机构11可以为电动马达，结合图1和图2所示，清洗喷淋机构12可以包括喷淋管121、设置于喷淋管121上的多个喷淋嘴(nozzle)122、供水管123、以及滚珠轴承124。滚珠轴承124用于连接喷淋管121和供水管123，以喷淋管121水平设置且供水管123竖直设置为例，此时供水管123与喷淋管121为垂直设置，清洗喷淋机构12可以增设具有水平管体1251和竖直管体1252的直角弯管125，所述水平管体1251的自由端与所述滚珠轴承124的外侧连接，所述竖直管体1252的自由端与所述供水管123连接，于此，在驱动机构11驱动喷淋管121旋转时，滚珠轴承124的内侧被带动旋转，而其外侧保持静止，直角弯管125和供水管123均保持静止。
当然，本申请还可以适用于喷淋管121为水平设置且供水管123为水平设置的应用场景，此时，清洗喷淋机构12可以无需设置直角弯管125，只需喷淋管121固定于所述滚珠轴承124的内侧，且所述供水管123直接与所述滚珠轴承124的外侧连接即可。
请继续参阅图1和图2，所述喷淋管121内部中空并用于通入清洗液。电动马达与喷淋管121连接并用于驱动喷淋管121以喷淋管121的中线为轴线进行绕轴旋转，从而带动多个喷淋嘴122旋转。在一种情况的旋转过程中，喷淋嘴122可以绕轴以360°角度喷淋清洗液，从而在上下左右四个方向对显影腔室的内部进行清洗，以此提高清洗效果，进一步减少光阻堆积。
在本实施例中，所述喷淋管121可以采用耐酸碱材质制得，其材质包括但不限于PVC(Polyvinyl chloride,聚氟乙烯)、PE(Polyethylene,聚乙烯)、PP(Polypropylene,聚丙烯)、PFA(Polytetrafluoro ethylene,聚四氟乙烯)。并且，本申请一实施例可以由PLC(Programmable LogicController,可编程逻辑控制器)控制驱动机构11，以此来控制喷淋管121和喷淋嘴122的旋转方向以及转速，当然该PLC还可以控制喷淋嘴122的喷淋量。另外，各个喷淋嘴122喷淋清洗液的形状可以呈圆锥状，以较大的喷淋面积提高单个喷淋嘴122的清洗面积。
结合图1和图3所示，在本申请一实施例中，多个喷淋嘴122可以呈螺旋状分布于喷淋管121的表面，能够确保在喷淋管121旋转过程的任意时刻内各个方向上均有喷淋管121喷淋清洗液，从而实现以较少数量的喷淋管121实现良好的清洗效果。
本申请还提供一种具有上述清洗组件10的显影腔室，鉴于该显影腔室内设置与驱动机构连接的清洗喷淋机构，通过驱动机构驱动该清洗喷淋机构转动以控制清洗液朝多个方向喷淋，因此该显影腔室也至少具有上述有益效果。
请参阅图4，为本申请一实施例的显影腔室的清洗方法。所述显影腔室的清洗方法可以包括以下步骤S41和S42。
S41：在显影腔室内设置清洗组件，所述清洗组件包括清洗喷淋机构以及与清洗喷淋机构连接的驱动机构。
S42：在显影腔室停止喷淋显影液时，清洗喷淋机构喷淋清洗液，驱动机构驱动清洗喷淋机构转动以控制清洗液朝多个方向喷淋，以对显影腔室内部进行清洗。
本实施例的清洗方法可以基于上述实施例的清洗组件，基于此：
在步骤S42中，对于清洗喷淋机构包括喷淋管以及设置于所述喷淋管上的多个喷淋嘴这一设计，本实施例可以向内部中空的喷淋管通入清洗液，由驱动机构驱动喷淋管绕轴旋转，并带动喷淋管上的喷淋嘴旋转，通过喷淋嘴喷淋清洗液，从而对显影腔室内部进行清洗。
在一种情况的旋转过程中，喷淋嘴可以绕喷淋管的中心线所在的轴旋转，并以360°角度喷淋清洗液，从而在上下左右四个方向对显影腔室内部进行清洗，提高清洗效果，进一步减少光阻堆积。其中，多个喷淋嘴可以呈螺旋状分布于喷淋管的表面。
由于本实施例的清洗方法采用上述清洗组件，因此至少具有与其相同的有益效果。
应理解，以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，例如各实施例之间技术特征的相互结合，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种显影腔室内的清洗组件，其特征在于，所述清洗组件包括清洗喷淋机构以及与所述清洗喷淋机构连接的驱动机构，所述清洗喷淋机构用于在所述显影腔室停止喷淋显影液时喷淋清洗液，所述驱动机构用于驱动所述清洗喷淋机构转动以控制所述清洗液朝多个方向喷淋。
2.根据权利要求1所述的清洗组件，其特征在于，所述清洗喷淋机构包括喷淋管以及设置于所述喷淋管上的多个喷淋嘴，所述驱动机构与所述喷淋管连接并控制所述喷淋管旋转，所述喷淋管内部中空并用于通入清洗液，所述喷淋嘴用于喷淋清洗液。
3.根据权利要求2所述的清洗组件，其特征在于，所述多个喷淋嘴呈螺旋状分布于所述喷淋管的表面。
4.根据权利要求2所述的清洗组件，其特征在于，所述清洗喷淋机构还包括供水管以及滚珠轴承，所述喷淋管固定于所述滚珠轴承的内侧，所述供水管与所述滚珠轴承的外侧连接。
5.根据权利要求4所述的清洗组件，其特征在于，所述供水管与所述喷淋管垂直设置，所述清洗喷淋机构还包括具有水平管体和竖直管体的直角弯管，所述水平管体的自由端连接于所述滚珠轴承的外侧，所述竖直管体的自由端连接所述供水管。
6.一种具有自动清洗功能的显影腔室，其特征在于，所述显影腔室包括上述权利要求1～5任一项所述的清洗组件。
7.一种显影腔室的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括：
在显影腔室内设置清洗组件，所述清洗组件包括清洗喷淋机构以及与所述清洗喷淋机构连接的驱动机构；
在所述显影腔室停止喷淋显影液时，所述清洗喷淋机构喷淋清洗液，所述驱动机构驱动所述清洗喷淋机构转动以控制所述清洗液朝多个方向喷淋，以对所述显影腔室内部进行清洗。
8.根据权利要求7所述的清洗方法，其特征在于，所述清洗喷淋机构包括喷淋管以及设置于所述喷淋管上的多个喷淋嘴，
所述清洗喷淋机构喷淋清洗液，包括：
向所述喷淋管通入清洗液；
通过所述喷淋嘴喷淋清洗液；
所述驱动机构驱动所述清洗喷淋机构转动，包括：
所述驱动机构与所述喷淋管连接并控制所述喷淋管旋转。
9.根据权利要求8所述的清洗方法，其特征在于，所述清洗喷淋机构还包括供水管以及滚珠轴承，所述喷淋管固定于所述滚珠轴承的内侧，所述供水管与所述滚珠轴承的外侧连接。
10.根据权利要求9所述的清洗方法，其特征在于，所述供水管与所述喷淋管垂直设置，所述清洗喷淋机构还包括具有水平管体和竖直管体的直角弯管，所述水平管体的自由端连接于所述滚珠轴承的外侧，所述竖直管体的自由端连接所述供水管。
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|---|---|---|---|---|
| CN110153097A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 设备清洗方法、装置及显影设备 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866001B1 (ko) * | 2006-07-24 | 2008-10-29 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 |
| CN106597817A (zh) * | 2017-01-05 | 2017-04-26 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种新型的显影单元 |
| CN106971933A (zh) * | 2017-03-31 | 2017-07-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 具有自动清洗功能的蚀刻腔室及其清洗组件、清洗方法 |
| CN107065452A (zh) * | 2017-06-12 | 2017-08-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显影装置及显影方法 |
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866001B1 (ko) * | 2006-07-24 | 2008-10-29 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 |
| CN106597817A (zh) * | 2017-01-05 | 2017-04-26 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种新型的显影单元 |
| CN106971933A (zh) * | 2017-03-31 | 2017-07-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 具有自动清洗功能的蚀刻腔室及其清洗组件、清洗方法 |
| CN107065452A (zh) * | 2017-06-12 | 2017-08-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显影装置及显影方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110153097A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 设备清洗方法、装置及显影设备 |
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