CN112808720A - 炉管清洗装置及炉管清洗设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种炉管清洗装置及炉管清洗设备，装置包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；所述清洗机构用于喷出所述清洗介质，并在所述清洗介质的反作用力下旋转。实现对炉管内壁的自动清洗，提高清洗效果。

Description

炉管清洗装置及炉管清洗设备

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，更具体地，涉及一种炉管清洗装置及炉管清洗设备。

背景技术

目前，用于清洗炉管(例如石英管)的清洗设备主要分为立式清洗机和卧式清洗机。卧式清洗机是对炉管进行浸泡清洗，立式清洗机是对炉管和晶舟进行喷淋清洗。两者对于炉管的外壁清洗效果都比较明显，但对于炉管内壁的清洗效果却不太理想。炉管内壁的颗粒度直接影响着wafer扩散工艺的合格率，因此，炉管内壁的清洗效果尤为重要。同时，在炉管清洗完成后，通常使用N2枪对炉管表面进行吹扫、干燥，而炉管内壁无法使用气枪吹扫，炉管内壁需要自然干燥。

如图1所示，卧式清洗机一般采用内喷嘴的形式清洗炉管内壁。进行清洗工艺时，机械手101运输炉管105到达下工艺位，炉管105接触到位于水洗槽102内底部的滚动机构103，滚动机构的滚子104在电机的驱动下，带动炉管105旋转。在水槽的一侧设置有喷嘴106，喷嘴106后接的软管连接到机台纯水管路，通过控制气动阀开闭，使用厂务的去离子水(DIW)对炉管内壁冲洗。卧式清洗机存在如下缺点：

1、进行清洗工艺时，炉管完全浸泡在水洗槽102中，从内喷嘴106喷出的DIW会遇到很大阻力，水流无法冲洗到炉管105内壁，更加无法冲洗到炉管顶部，无法达到良好的清洗效果。

2、由于炉管的长度通常要大于1500mm，在完成炉管清洗后，气枪无法深入到炉管内腔较深的地方，炉管在清洗完成后，使用气枪只能对炉管外壁吹扫，无法对内壁吹扫，内壁只能自然干燥，耗费时间较长。

如图2所示，立式清洗机在炉管下方设计有向上的喷头201，经喷头201喷射的水柱清洗炉管内壁。进行清洗工艺时，炉管202放置在卡盘203上，卡盘203通过紧固螺钉204与支撑法兰205安装在一起，支撑法兰205中间外套齿轮206，支撑法兰205底部通过导轨坐落在底部支撑板207上，旋转电机带动齿轮206旋转，从而带动炉管卡盘203和炉管202旋转。厂务的DIW经过底部喷头201向上喷射至炉管内壁顶部，顶部的水顺着炉管内壁顺流而下，达到内壁清洗的效果。立式清洗机存在如下缺点：

1、底部喷淋依靠两条竖直方向的喷淋管冲洗炉管顶部，大量的水在接触顶部后会直接掉落，只有少量的水会顺着炉管内壁流下，难以清洗干净内壁存在颗粒，清洗效果不佳。

2、此种立式清洗方法，同样使用气枪对炉管外壁吹扫，内壁则依靠底部喷头喷出的氮气干燥，但喷头位置距炉管内壁距离较远，干燥效果不明显。

发明内容

本发明的目的是提出一种炉管清洗装置及炉管清洗设备，实现对炉管内壁的自动清洗及干燥。

为实现上述目的，本发明提出一种炉管清洗装置，包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；

所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；

所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；

所述清洗机构用于喷出所述清洗介质，并在所述清洗介质的反作用力下旋转。

可选地，所述传动机构包括导轨槽、传输链条、链轮和链轮驱动机构，所述传输链条设置于所述导轨槽内，至少部分所述导轨槽的延伸方向朝向所述炉管的内部，所述清洗机构设置于所述传输链条的一端，所述链轮与所述传输链条驱动配合，所述链轮驱动机构用于驱动所述链轮转动，进而驱动所述传输链条及所述清洗机构在所述炉管内移动。

可选地，所述导轨槽呈L型，包括垂直于所述炉管轴线的竖直部分和平行于所述炉管轴线的水平部分，所述水平部分的延伸方向朝向所述炉管的内部，所述竖直部分和所述水平部分的连接处为圆弧形，所述链轮在所述连接处与所述传输链条配合，所述链轮驱动机构通过所述链轮驱动所述传输链条时，所述传输链条的一端沿平行于所述炉管轴线的方向移动，所述传输链条的另一端沿垂直于所述炉管轴线的方向移动；

所述传输链条包括多个链节，所述链节仅能够向靠近所述链轮的一侧弯曲，所述链节上设有限位过孔，所述清洗介质管路穿过每个所述链节的所述限位过孔与所述清洗结构连通。

可选地，所述清洗机构包括喷头组件和旋转基座，所述喷头组件与所述旋转基座连接，所述清洗介质管路通过所述旋转基座与所述喷头组件连通，所述喷头组件上设有多个用于清洗所述炉管侧壁并使所述喷头组件旋转的第一喷嘴和多个用于清洗所述炉管顶壁的第二喷嘴。

可选地，所述旋转基座包括端盖、导流轴盖、限位垫块、旋转主轴、轴承组件和主轴衬套；

所述端盖与所述传输链条的一端连接；

所述端盖与所述导流轴盖密封连接，二者之间形成导流腔，所述清洗介质管路与所述倒流腔连通，所述导流轴盖上设置有导流嘴，所述导流嘴深入所述旋转主轴中的导流通道中；

所述限位垫块设置在所述导流轴盖上，所述旋转主轴设置在所述限位垫块上，所述轴承组件套设在所述旋转主轴上，所述主轴衬套套设在所述限位垫块、所述旋转主轴和所述轴承组件的外侧，与所述导流轴盖密封连接，用于限制所述限位垫块、所述旋转主轴和所述轴承组件的相对位置。

可选地，所述轴承组件包括第一轴承、第二轴承、第一轴套、第二轴套；

所述第一轴套和所述第二轴套与所述旋转主轴过紧配合，所述第一轴承的外圈和所述第二轴承的外圈与所述主轴衬套固定连接；

所述第一轴承与所述第二轴承间隔设置，且所述第一轴承靠近所述限位垫块；

所述旋转主轴靠近所述限位垫块的一端上设置有限位台阶，所述限位台阶设置于所述第一轴承和所述限位垫块之间，所述限位台阶远离所述限位垫块的一端与所述第一轴承的内圈抵接；

所述第一轴套设置在所述第一轴承和所述第二轴承之间，所述第一轴套的两端分别与所述第一轴承的内圈、所述第二轴承的内圈抵接；

所述第二轴套设置在所述第二轴承远离所述第一轴套的一侧，且所述第二轴套的一端与所述第二轴承的内圈抵接。

可选地，所述旋转主轴远离所述限位垫块一端的侧壁上开设有多个连通所述导流通道的安装孔；

所述喷头组件包括多个弯头管，多个所述弯头管一一对应地安装在多个所述安装孔中，均与所述导流通道连通，每个所述弯头管上均设有一个所述第一喷嘴和一个所述第二喷嘴。

可选地，所述弯头管包括直管部和弯头部，所述直管部的轴向沿所述旋转主轴的径向设置，所述弯头部的轴向与所述旋转主轴的径向形成第一预设夹角；

所述直管部上设有所述第二喷头，所述弯头部的端部设有所述第一喷头，且所述第一喷头的喷射方向与所述弯头部的轴向形成第二预设夹角，所述第二喷头的喷射方向平行于所述旋转主轴的轴向且朝向远离所述传输链条的一侧。

可选地，还包括导轨槽盖板，盖设于所述导轨槽的竖直部分。

本发明还提出一种炉管清洗设备，包括箱体，所述箱体内设有清洗槽、机械手和以上所述的炉管清洗装置；

所述清洗槽用于对炉管进行浸泡式清洗，所述机械手设置于所述清洗槽上方，用于取放所述炉管，所述炉管清洗装置设置于所述箱体侧壁上，位于所述清洗槽的上方，用于清洗所述炉管的内壁。

本发明的有益效果在于：

通过传动机构驱动清洗机构在炉管内移动，并通过清洗介质管路与清洗结构连通将清洗介质通入清洗机构，同时清洗机构喷出清洗介质，并在清洗介质的反作用力下旋转，实现对炉管内壁的自动清洗，提升炉管内壁的清洗效果。

进一步地，传输机构采用L型的导轨槽和传输链条的传动结构，便于安装且能够节省安装空间，减小清洗装置的体积。喷头组件采用多个弯头管的设计，弯头管上的第一喷嘴的喷射角度与旋转主轴的径向具有夹角，当对炉管内壁进行清洗时，能够在水的反冲力的作用下提供旋转驱动力，实现喷头组件的旋转，使内壁清洗更加均匀，通过沿旋转主轴设置的第二喷嘴能够清洗炉管的顶部，同时，在通入的清洗介质为烘干气体时也能够达到更好的吹扫烘干效果。

本发明的装置具有其它的特性和优点，这些特性和优点从并入本文中的附图和随后的具体实施方式中将是显而易见的，或者将在并入本文中的附图和随后的具体实施方式中进行详细陈述，这些附图和具体实施方式共同用于解释本发明的特定原理。

附图说明

通过结合附图对本发明示例性实施例进行更详细的描述，本发明的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，在本发明示例性实施例中，相同的参考标号通常代表相同部件。

图1示出了现有一种卧式清洗机清洗炉管的示意图。

图2示出了现有一种立式清洗机清洗炉管的示意图。

图3示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗装置的整体结构示意图。

图4示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗装置的传输机构示意图。

图5示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗装置中链条的结构示意图。

图6示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗装置中链节的结构示意图。

图7示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗装置的清洗机构的剖视图。

图8示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗装置中的清洗机构的侧视图。

图9示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗设备结构示意图。

图10示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗设备清洗炉管的示意图。

附图标记说明：

图1-图2中：101-机械手，102-水洗槽，103-滚动机构，104-滚子，105-炉管，106-DIW入口，201-喷头，202-炉管，203-卡盘，204紧固螺钉，205-支撑法兰，206-齿轮，207-支撑板。

图3-图10中：

31-传动机构，32-清洗机构，33-清洗介质管路，301-传输链条，302-导轨槽，303-链轮，304-旋转电机，305-电机保护罩，306-导轨槽盖板，307-软管，308-直通接头，309-端盖，310-导流轴盖，311-主轴衬套，312-限位垫块，313-旋转主轴，314-第一密封圈，315-第二密封圈，316-第一轴承，317-第一轴套，318-第二轴套，319-转换接头，320-弯头，321-管帽，322-第一喷嘴，323-第二喷嘴，324-箱体，325-清洗槽，326-机械手，327-炉管，328-第二轴承，401-链节，402-链条销。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本发明。虽然附图中显示了本发明的优选实施例，然而应该理解，可以以各种形式实现本发明而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了使本发明更加透彻和完整，并且能够将本发明的范围完整地传达给本领域的技术人员。

图3示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗装置的整体结构示意图，图4示出了根据本发明的一个实施例的一种炉管清洗装置的传输机构示意图。

如图3和图4所示，本发明实施例提供的炉管清洗装置，包括：传动机构31、清洗机构32和清洗介质管路33；

传动机构31与清洗机构32连接，用于驱动清洗机构32在炉管内移动；

清洗介质管路33与清洗结构连通，用于将清洗介质通入清洗机构32；

清洗机构32用于喷出清洗介质，并在清洗介质的反作用力下旋转。

本实施例中，传动机构31可以包括导轨槽302、传输链条301、链轮303和链轮驱动机构，传输链条301设置于导轨槽302内，至少部分导轨槽302的延伸方向朝向炉管的内部，清洗机构32设置于传输链条301的一端，链轮303与传输链条301驱动配合，链轮驱动机构用于驱动链轮303转动，进而驱动传输链条301及清洗机构32在炉管内移动。

优选的，导轨槽302呈L型，包括垂直于炉管轴线的竖直部分和平行于炉管轴线的水平部分，水平部分的延伸方向朝向炉管的内部，竖直部分和水平部分的连接处为圆弧形，链轮303在该连接处与传输链条301配合，链轮驱动机构通过链轮303驱动传输链条301时，传输链条301的一端沿平行于炉管轴线的方向移动，传输链条301的另一端沿垂直于炉管轴线的方向移动；

传输链条301包括多个链节401，链节401仅能够向靠近链轮303的一侧弯曲，链节401上设有限位过孔，清洗介质管路33穿过每个链节401的限位过孔与清洗结构连通。可选的，导轨槽302上还可以设置有导轨槽盖板306，盖设于导轨槽302的竖直部分。

具体地，导轨槽302设计为“L”型，“L”型的拐角处设计为圆角型，导轨槽302对传输链条301起到固定导向的作用，考虑到链条301与导轨槽302的摩擦效果，优选地，导轨槽302材质选用PTFE(聚四氟乙烯)，减小链条301与导轨槽302之间的摩擦效果。导轨槽302底板两侧设有相应的螺纹孔，导轨槽302通过螺装的方式安装在相应的支撑件上，例如炉管清洗设备的侧壁上。同时，导轨槽302立板两侧与导轨槽盖板306两侧也设有螺纹孔，通过螺钉将导轨槽盖板306安装在导轨槽302上。导轨槽302与导轨槽盖板306对链条301起到导向作用，链轮驱动机构可以为旋转电机304，其用于驱动链轮303旋转，进而驱动控制链条301一端沿竖直方向运动，另一端沿水平放方向运动。优选地，旋转电机304外套旋转电机保护罩305，除电机主轴外，保护罩305将电机304与外界潮湿环境隔绝，电机主轴外层做特氟龙涂层，避免腐蚀。电机主轴与链轮303采用键连接，链轮303材质选用PEEK(聚醚醚酮树脂)，在保证强度的同时，可以达到耐腐蚀的效果。

参考图5和图6，链节401可以为平底式限位结构，链节401之间通过链条销402连接，链节401的两侧分别设有一个限位过孔；清洗介质管路33优选采用两根软管307，每根软管307滑动穿设于每个链节401的一个限位过孔。

具体地，链节401与链条销402材质均为PP(聚丙烯)，具有耐腐蚀作用。链节401间由链条销402连接，链节401两侧分别设有一个限位过孔，优选地限位过孔为方孔，方孔边长略大于用于输送DIW的软管307的直径，软管307能够在方孔中自由滑动。链节401采用平底式(或称平顶式)的结构设计，链条301只能向无平底的一侧弯曲(只能朝向链轮的一侧弯曲，即水平部分只能朝上弯曲)，无法向另一侧弯曲(即无法向下弯曲)，由此可以保证链条301在水平方向的水平度。由于链条301上方链轮303与底部导轨槽302的支撑，保证了链条301水平方向不会因为顶部清洗机构32的重量而向下弯曲，从而保证了清洗机构32能够在水平方向移动，运动行程能构达到炉管顶部。软管307共两条，分布在链条301左右两侧，软管307材质选用PFA(可溶性聚四氟乙烯)，保证软管307的可弯曲性及洁净性。软管307一端设计为螺旋状，保证螺旋管伸长后，清洗机构32能够运动到炉管顶部。软管的另一端连接有直通接头308，直通接头308一端与软管307连接，一端与清洗机构32的顶部盖板309通过NPT螺纹连接。

参考图7，本实施例中，清洗机构32包括喷头组件和旋转基座，喷头组件与旋转基座连接，清洗介质管路33通过旋转基座与喷头组件连通，喷头组件上设有多个用于清洗炉管侧壁并使喷头组件旋转的第一喷嘴和多个用于清洗炉管顶壁的第二喷嘴。

优选的，旋转基座包括端盖309、导流轴盖310、限位垫块312、旋转主轴313、轴承组件和主轴衬套311；

端盖309与传输链条301的一端连接；

端盖309与导流轴盖310密封连接，二者之间形成导流腔，清洗介质管路33与该导流腔连通，导流轴盖310上设置有导流嘴，导流嘴深入旋转主轴313中的导流通道中；

限位垫块312设置在导流轴盖310上，旋转主轴313设置在限位垫块312上，轴承组件套设在旋转主轴313上，主轴衬套311套设在限位垫块312、旋转主轴313和轴承组件的外侧，与导流轴盖310密封连接，用于限制限位垫块312、旋转主轴313和轴承组件的相对位置。

其中，轴承组件可以包括第一轴承316、第二轴承328、第一轴套317、第二轴套318；

第一轴套317和第二轴套318与旋转主轴313过紧配合，第一轴承316的外圈和第二轴承328的外圈与主轴衬套311固定连接；

第一轴承316与第二轴承328间隔设置，且第一轴承316靠近限位垫块312；

旋转主轴313靠近限位垫块312的一端上设置有限位台阶，限位台阶设置于第一轴承316和限位垫块312之间，限位台阶远离限位垫块312的一端与第一轴承316的内圈抵接；

第一轴套317设置在第一轴承316和第二轴承328之间，第一轴套317的两端分别与第一轴承316的内圈、第二轴承328的内圈抵接；

第二轴套318设置在第二轴承328远离第一轴套317的一侧，且第二轴套318的一端与第二轴承328的内圈抵接。

具体地，清洗机构32可以由端盖309、导流轴盖310、主轴衬套311、限位垫块312、旋转主轴313、第一密封圈314(O圈)、第二密封圈315(O圈)、塑料轴承316、第一轴套317、第二轴套318、多个弯头管组成。端盖309一侧设计为链节的形式，通过链条销与链条301连接，另一侧通过塑料螺钉与导流轴盖310连接，导流轴盖310上设计有凹槽，安装第一密封圈314，能够起到密封作用。导流轴盖310内部设计为喇叭口形状，形成导流嘴，将直通接头308流出的DIW直接导流到旋转主轴313中。导流轴盖310通过螺钉与主轴衬套311连接，主轴衬套311同样设计有凹槽，用于安装第二密封圈315，起到密封作用。旋转主轴313外过紧配合安装有两个轴承(材质可以是塑料)：第一轴承316和第二轴承328，第一轴承316和第二轴承328外侧由主轴衬套311固定。旋转主轴外安装有第一轴套317、第二轴套318，第一轴套317、第二轴套318能够有效支撑第一轴承316和第二轴承328内圈。在导流轴盖310和主轴衬套311之间安装有限位垫块312，限位垫块312紧压第一轴承316外圈。第一轴套317、轴第二轴套318及限位垫块312能够控制第一轴承316、第二轴承328及主轴313在水平方向上的定位。

导流轴盖309整体呈漏斗状，且朝向端盖309的一侧表面设有导流面，指向导流嘴。端盖309朝向传输链条301的一侧表面设有连接部，连接部为一平底式限位结构的链节401，连接部通过链条销402与传输链条301的一端的链节401连接。端盖309上设有与导流腔连通的螺纹接口，软管307的一端与螺纹接口连接。端盖309与导流轴盖309通过法兰连接，且连接处设有第一密封圈314，导流轴盖309与主轴衬套311的一端通过法兰连接，且连接处设置有第二密封圈315；两个轴承316之间设有与旋转主轴313配合的第一轴套317，主轴衬套311的另一端设有与旋转主轴313配合的第二轴套318。

参考图8，旋转主轴313远离限位垫块312一端的侧壁上开设有多个连通导流通道的安装孔；

喷头组件包括多个弯头管，多个弯头管一一对应地安装在多个安装孔中，均与导流通道连通，每个弯头管上均设有一个第一喷嘴和一个第二喷嘴。

其中，弯头管包括直管部和弯头部，直管部的轴向沿旋转主轴313的径向设置，弯头部的轴向与旋转主轴313的径向形成第一预设夹角；

直管部上设有第二喷头，弯头部的端部设有第一喷头，且第一喷头的喷射方向与弯头部的轴向形成第二预设夹角，第二喷头的喷射方向平行于旋转主轴313的轴向且朝向远离传输链条301的一侧。

具体地，旋转主轴313内部中空形成导流通道，且靠近传输链条301的一端与导流腔连通，另一端封闭，侧壁上开设有多个安装孔；多个弯头管一一对应地安装在多个安装孔中，均与导流通道连通，多个弯头管沿旋转主轴313的径向等间隔设置，每个弯头管上均设有一个第一喷嘴322和一个第二喷嘴323。软管307的一端通过旋转基座与喷头组件连通，软管307的另一端用于通入清洗液或烘干气体。

其中，弯头管包括直管部和弯头部，直管部的轴向沿旋转主轴313的径向设置，弯头部的轴向与旋转主轴313的径向形成夹角；直管部上设有第二喷头，弯头部的自由端设有第一喷头，且第一喷头的喷射方向与弯头部的轴线形成夹角，第二喷头的喷射方向平行于旋转主轴313的轴向且朝向远离传输链条301的一侧。可选的，旋转主轴313尾部均布有四个NPT螺纹孔(即安装孔)。直管部由转换接头319构成，转换接头319与NPT螺纹孔连接，弯头部采用弯头320和管帽321构成，转换接头319、弯头320和管帽321可以采用PVC胶粘结的方式连接，第一喷嘴322采用NPT螺纹连接的方式安装在管帽321和弯头320上。安装在外围的多个第一喷嘴322能够在清洗介质(液态或气态)的反冲力的作用下提供旋转驱动力。安装在直管部上的第二喷嘴323喷射方向沿水平方向向前，能够清洗炉管内壁的圆顶，同时，在进行热氮干燥时，增大通气量，提升干燥效果，缩短干燥时间。

如图9和图10所示，本发明实施例还提出一种炉管清洗设备，包括箱体324，箱体324内设有清洗槽325、机械手326和以上实施例的炉管清洗装置；

清洗槽325用于对炉管327进行浸泡式清洗，机械手326设置于清洗槽325上方，用于取放炉管327，炉管327清洗装置设置于箱体324侧壁上，位于清洗槽325的上方，用于清洗炉管327的内壁。

具体地，清洗槽325设于箱体324内底部，清洗槽325能够容纳卧式放置的炉管，机械手326设置于清洗槽325上方，炉管清洗装置设置于清洗槽325上方的箱体324侧壁上。炉管327在清洗槽325中完成清洗工艺后，机械手326吊取炉管从清洗槽325中取出，当炉管327中心与旋转主轴中心在一条直线上时，机械手326停止运动；通过控制系统控制旋转电机304转动，驱动链轮32带动链条301运动，清洗机构32沿水平方向向炉管内顶部方向移动；当喷头组件开始进入炉管327内部时，控制气动阀打开，厂务的DIW通过软管307、旋转主轴313并从第一喷嘴322和第二喷嘴323处喷出，其中第一喷嘴322喷射的水流冲击到内壁上，内壁会对喷嘴322产生相应的反冲力，驱动喷头组件旋转，使内壁清洗更加均匀，当移动到炉管327圆顶处时，第二喷嘴323还能够对圆顶处的内壁进行清洗。内壁清洗工艺完成后，控制气动阀关闭DIW供给，打开N2供给，将经过加热后的N2通入软管307，同样在电机304的驱动下，使清洗机构32沿水平方向移动，由第一喷嘴322和第二喷嘴323喷出的热氮对炉管内壁进行吹扫、干燥。在炉管内壁清洗、干燥完成后，清洗机构32回到初始位置。

综上，本发明针对现有的炉管清洗方法，提出了一种可移动、旋转喷淋、干燥的炉管清洗装置，能够实现对炉管内壁的自动清洗、干燥，本装置将厂务DIW、N2转化为驱动清洗机构旋转的动力，实现炉管内壁的喷淋、干燥，解决炉管内壁清洗效果不佳及无法干燥的问题。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。

Claims (10)

1.一种炉管清洗装置，其特征在于，包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；

所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；

所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；

所述清洗机构用于喷出所述清洗介质，并在所述清洗介质的反作用力下旋转。

2.根据权利要求1所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述传动机构包括导轨槽、传输链条、链轮和链轮驱动机构，所述传输链条设置于所述导轨槽内，至少部分所述导轨槽的延伸方向朝向所述炉管的内部，所述清洗机构设置于所述传输链条的一端，所述链轮与所述传输链条驱动配合，所述链轮驱动机构用于驱动所述链轮转动，进而驱动所述传输链条及所述清洗机构在所述炉管内移动。

3.根据权利要求2所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述导轨槽呈L型，包括垂直于所述炉管轴线的竖直部分和平行于所述炉管轴线的水平部分，所述水平部分的延伸方向朝向所述炉管的内部，所述竖直部分和所述水平部分的连接处为圆弧形，所述链轮在所述连接处与所述传输链条配合，所述链轮驱动机构通过所述链轮驱动所述传输链条时，所述传输链条的一端沿平行于所述炉管轴线的方向移动，所述传输链条的另一端沿垂直于所述炉管轴线的方向移动；

所述传输链条包括多个链节，所述链节仅能够向靠近所述链轮的一侧弯曲，所述链节上设有限位过孔，所述清洗介质管路穿过每个所述链节的所述限位过孔与所述清洗结构连通。

4.根据权利要求1所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述清洗机构包括喷头组件和旋转基座，所述喷头组件与所述旋转基座连接，所述清洗介质管路通过所述旋转基座与所述喷头组件连通，所述喷头组件上设有多个用于清洗所述炉管侧壁并使所述喷头组件旋转的第一喷嘴和多个用于清洗所述炉管顶壁的第二喷嘴。

5.根据权利要求4所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述旋转基座包括端盖、导流轴盖、限位垫块、旋转主轴、轴承组件和主轴衬套；

所述端盖与所述传输链条的一端连接；

所述端盖与所述导流轴盖密封连接，二者之间形成导流腔，所述清洗介质管路与所述导流腔连通，所述导流轴盖上设置有导流嘴，所述导流嘴深入所述旋转主轴中的导流通道中；

所述限位垫块设置在所述导流轴盖上，所述旋转主轴设置在所述限位垫块上，所述轴承组件套设在所述旋转主轴上，所述主轴衬套套设在所述限位垫块、所述旋转主轴和所述轴承组件的外侧，与所述导流轴盖密封连接，用于限制所述限位垫块、所述旋转主轴和所述轴承组件的相对位置。

6.根据权利要求5所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述轴承组件包括第一轴承、第二轴承、第一轴套、第二轴套；

所述第一轴套和所述第二轴套与所述旋转主轴过紧配合，所述第一轴承的外圈和所述第二轴承的外圈与所述主轴衬套固定连接；

所述第一轴承与所述第二轴承间隔设置，且所述第一轴承靠近所述限位垫块；

所述旋转主轴靠近所述限位垫块的一端上设置有限位台阶，所述限位台阶设置于所述第一轴承和所述限位垫块之间，所述限位台阶远离所述限位垫块的一端与所述第一轴承的内圈抵接；

所述第一轴套设置在所述第一轴承和所述第二轴承之间，所述第一轴套的两端分别与所述第一轴承的内圈、所述第二轴承的内圈抵接；

所述第二轴套设置在所述第二轴承远离所述第一轴套的一侧，且所述第二轴套的一端与所述第二轴承的内圈抵接。

7.根据权利要求5所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述旋转主轴远离所述限位垫块一端的侧壁上开设有多个连通所述导流通道的安装孔；

所述喷头组件包括多个弯头管，多个所述弯头管一一对应地安装在多个所述安装孔中，均与所述导流通道连通，每个所述弯头管上均设有一个所述第一喷嘴和一个所述第二喷嘴。

8.根据权利要求7所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述弯头管包括直管部和弯头部，所述直管部的轴向沿所述旋转主轴的径向设置，所述弯头部的轴向与所述旋转主轴的径向形成第一预设夹角；

所述直管部上设有所述第二喷头，所述弯头部的端部设有所述第一喷头，且所述第一喷头的喷射方向与所述弯头部的轴向形成第二预设夹角，所述第二喷头的喷射方向平行于所述旋转主轴的轴向且朝向远离所述传输链条的一侧。

9.根据权利要求3所述的炉管清洗装置，其特征在于，还包括导轨槽盖板，盖设于所述导轨槽的竖直部分。

10.一种炉管清洗设备，其特征在于，包括箱体，所述箱体内设有清洗槽、机械手和如权利要求1-9任意一项所述的炉管清洗装置；

所述清洗槽用于对炉管进行浸泡式清洗，所述机械手设置于所述清洗槽上方，用于取放所述炉管，所述炉管清洗装置设置于所述箱体侧壁上，位于所述清洗槽的上方，用于清洗所述炉管的内壁。

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