CN114405892A - 一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽 - Google Patents
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Abstract
本发明属于半导体晶圆技术领域，尤其是一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，包括清水槽和机械手，机械手设置在清水槽的一侧，还包括安装在清水槽上的盖体、调节装置、环形清洗装置以及直线清洗装置。该适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，通过设置直线清洗装置，能够对机械手水平方向的夹爪进行清洗，通过双轴电机带动驱动齿轮在齿条上转动的同时进行水平移动，双轴电机的另一端能够带动两个滚刷进行自转，使得两个滚刷位于机械手的水平方向夹爪的上表面与下表面，对其进行洗刷的同时能够水平移动，从而进行全方位的洗刷，解决了现有的晶圆拿取使用的机械手清洗不彻底，影响晶圆的清洗的技术问题。
Description
技术领域
本发明涉及半导体晶圆技术领域，尤其涉及一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。
现有的晶圆在生产时需要对其进行清洗工作，机械手都是采用同一个机械手进行拿取花篮，放入不同功能的清水槽内，每次拿取完成后，机械手都需要清洗，现有的对机械手清洗方式通过超声波或者水流完成机械手的清洗，容易造成清洗不彻底，造成晶圆化学清洗剂溶液的残留，在机械手下一次使用时出现化学清洗剂混合的问题，影响晶圆的清洗。
发明内容
基于现有的晶圆拿取使用的机械手清洗不彻底，造成晶圆化学清洗剂溶液的残留，在机械手下一次使用时出现化学清洗剂混合的问题，影响晶圆的清洗的技术问题，本发明提出了一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽。
本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，包括清水槽和机械手，所述机械手设置在所述清水槽的一侧，还包括安装在所述清水槽上的盖体、调节装置、环形清洗装置以及直线清洗装置。
所述盖体固定安装在所述清水槽的上表面，所述盖体的上表面开设有定位口。
调节装置，所述调节装置设置在所述清水槽的两侧内壁，并对环形清洗装置的水平方向以及竖直方向上实现移动调节动作。
环形清洗装置，所述环形清洗装置位于所述调节装置的外表面，所述环形清洗装置包括驱动机构和清洗机构，所述驱动机构驱动所述清洗机构进行环形转动。
所述清洗机构包括环形毛刷以及缺口环形齿轮，所述驱动机构驱动所述缺口环形齿轮圆周转动后，带动所述环形毛刷围绕所述机械手的一端外表面实现竖直方向上的转动洗刷动作。
直线清洗装置，所述直线清洗装置包括用于清洗的滚刷以及双轴电机，所述直线清洗装置位于所述清水槽的内部，所述双轴电机带动所述滚刷转动的同时，实现对所述机械手的外表面进行水平方向上的洗刷动作。
优选地，所述调节装置包括竖向导轨，两个所述竖向导轨的外表面分别与所述清水槽的两侧内壁固定安装，所述竖向导轨的内壁通过轴承固定安装有升降丝杆，所述竖向导轨的下表面固定安装有升降电机，所述升降电机的输出轴一端与所述升降丝杆固定安装控制所述升降丝杆转动。
通过上述技术方案，其中升降电机的外表面固定安装有防水机壳，对升降电机进行密封，防止进入清水槽内的水溶液，通过升降丝杆的转动能够精准匀速的带动环形清洗装置进行升降。
优选地，所述升降丝杆的外表面螺纹连接有矩形环，所述矩形环的外表面与所述竖向导轨的内壁滑动插接，所述矩形环的内壁固定安装有移动电机，所述移动电机的输出轴一端固定安装有移动丝杆，所述移动丝杆的另一端与所述矩形环的一端通过轴承固定安装。
通过上述技术方案，通过移动电机带动移动丝杆转动，能够实现环形清洗装置进行伸缩，便于机械手进入清水槽内，不造成对机械手的阻碍，同时推动环形清洗装置的环形毛刷插接在机械手的一端外表面实现环形清洗，矩形环对移动电机进行防水工作。
优选地，所述驱动机构包括水平横管，所述水平横管的中心内部与所述移动丝杆的外表面螺纹连接，所述水平横管的两端与所述矩形环的两侧滑动插接，所述水平横管的两端内壁均固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴一端固定安装有蜗杆，所述蜗杆的一端与所述水平横管的内壁通过轴承固定安装。
通过上述技术方案，通过移动丝杆的转动，能够带动水平横管进行左右移动，水平横管与矩形环进行滑动插接实现限位。
优选地，所述水平横管的外侧面固定连通有延伸壳体，所述延伸壳体的内底壁通过轴承固定安装有蜗轮，所述蜗轮的外表面与所述蜗杆的外表面啮合。
通过上述技术方案，通过蜗杆的转动驱动蜗轮的转动实现环形毛刷的转动。
优选地，所述清洗机构包括环形限位凹块，所述环形限位凹块的外表面与所述水平横管的外表面固定安装，所述环形限位凹块的内壁与所述缺口环形齿轮的外表面转动连接，所述缺口环形齿轮的内壁与所述环形毛刷的外表面固定安装。
通过上述技术方案，通过环形毛刷对机械手的外表面洗刷，可实现机械手每个部位的接触清洗，减少机械手上附着的化学试剂溶液，防止机械手的夹取造成多个晶圆清水槽之间化学试剂溶液的污染。
优选地，所述蜗轮的上表面通过连接轴固定安装有传递齿轮，所述传递齿轮的外表面与所述缺口环形齿轮的外表面啮合。
通过上述技术方案，通过传递齿轮传递蜗轮的转动力，带动缺口环形齿轮的转动，两个传递齿轮分布在缺口环形齿轮的两侧，传递齿轮的之间的间距小于缺口环形齿轮的两端之间的间距，便于在传递齿轮遇到缺口时依旧能够带动缺口环形齿轮的转动，使得环形毛刷能够绕着套接的机械手夹爪的一端进行环形动洗刷。
优选地，所述直线清洗装置还包括支撑块，所述支撑块的两侧均开设有装置槽，所述装置槽的内底壁与所述双轴电机的下表面通过滑轨滑动插接，所述双轴电机的一端输出轴固定安装有驱动齿轮，所述装置槽的内壁固定安装有齿条，所述驱动齿轮的外表面与所述齿条的外表面啮合。
通过上述技术方案，通过双轴电机带动驱动齿轮转动，驱动齿轮能够沿着齿条的轨迹转动的同时带动双轴电机移动，实现带动滚刷进行水平的移动，对机械手的夹爪进行洗刷。
优选地，所述双轴电机的另一端输送轴通过轴承固定安装有转盘，所述转盘的外表面通过连接板与所述双轴电机的外表面固定安装，所述转盘的内壁通过轴承固定安装有齿轮组，所述齿轮组的中间齿轮内壁与所述双轴电机的输出轴一端固定安装，所述齿轮组的三个齿轮内壁分别与多个所述滚刷的一端固定安装。
通过上述技术方案，通过双轴电机输出轴的转动，通过齿轮组的传递，能够带动两个滚刷转动，对机械手的夹爪外表面进行洗刷，转盘通过连接板固定在双轴电机的外表面起到支撑作用。
优选地，所述支撑块的两端均通过凹槽固定安装有喷淋管道，所述喷淋管道的一端与所述清水槽的外表面固定安装。
通过上述技术方案，通过喷淋管道对机械手进行冲洗，加快清洗速度，喷淋管道上的喷头呈向下倾斜形状，倾斜角度为15º-60º之间，加大水流与机械手的接触面积。
本发明中的有益效果为：
1、通过设置调节装置和环形清洗装置，能够对机械手的竖直方向进行清洗，通过升降丝杆与移动丝杆配合，能够使得环形毛刷在机械手的竖直方向进行上下移动，减少机械手上的化学试剂溶液的残留，同时在机械手进入清水槽内时不会对机械手造成阻碍，从而能够减少机械手上的化学清洗溶液的残留，防止造成后续晶圆清水槽内的溶液污染，解决了现有的晶圆拿取使用的机械手清洗不彻底，造成晶圆化学清洗剂溶液的残留，在机械手下一次使用时出现化学清洗剂混合的问题，影响晶圆的清洗的技术问题。
2、通过设置环形清洗装置，能够对机械手的竖直方向继续全方位的清洗，通过环形毛刷围绕机械手进行环形动态的转动，能够在升降的同时进行转动，实现对机械手全方位的洗刷，环形毛刷通过缺口环形齿轮在传递齿轮的带动下进行转动，既不影响对机械手竖直方向的套接，又能够全方位对机械手竖直方向的洗刷，解决了现有的晶圆拿取使用的机械手清洗不彻底，造成晶圆化学清洗剂溶液的残留，在机械手下一次使用时出现化学清洗剂混合的问题，影响晶圆的清洗的技术问题。
3、通过设置直线清洗装置，能够对机械手水平方向的夹爪进行清洗，通过双轴电机带动驱动齿轮在齿条上转动的同时进行水平移动，双轴电机的另一端能够带动两个滚刷进行自转，使得两个滚刷位于机械手的水平方向夹爪的上表面与下表面，对其进行洗刷的同时能够水平移动，从而进行全方位的洗刷，解决了现有的晶圆拿取使用的机械手清洗不彻底，造成晶圆化学清洗剂溶液的残留，在机械手下一次使用时出现化学清洗剂混合的问题，影响晶圆的清洗的技术问题。
附图说明
图1为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的示意图；
图2为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的机械手结构的立体图；
图3为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的竖向导轨结构的立体图；
图4为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的升降丝杆结构的立体图；
图5为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的水平横管结构的立体图；
图6为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的环形限位凹块结构的立体图；
图7为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的缺口环形齿轮结构的立体图；
图8为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的支撑块结构的立体图；
图9为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的双轴电机结构的立体图；
图10为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的转盘结构的立体图；
图11为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的齿轮组结构的立体图；
图12为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的连接箱体结构的立体图；
图13为本发明提出的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽的滚刷结构的立体图。
图中：1、清水槽；11、机械手；12、盖体；13、定位口；14、喷淋管道；2、竖向导轨；21、升降丝杆；22、升降电机；23、矩形环；24、移动电机；25、移动丝杆；3、水平横管；31、驱动电机；32、蜗杆；33、延伸壳体；34、蜗轮；4、环形限位凹块；41、缺口环形齿轮；42、环形毛刷；43、传递齿轮；5、支撑块；51、装置槽；52、双轴电机；53、驱动齿轮；54、齿条；55、转盘；56、齿轮组；57、滚刷；58、连接箱体。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例一
参照图1-11，一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，包括清水槽1和机械手11，机械手11设置在清水槽1的一侧，机械手11是通过连接杆与夹爪进行连接，还包括安装在清水槽1上的盖体12、调节装置、环形清洗装置以及直线清洗装置。
如图1-2所示，盖体12固定安装在清水槽1的上表面，盖体12的上表面开设有定位口13。
如图3-5所示，调节装置，调节装置设置在清水槽1的两侧内壁，并对环形清洗装置的高度与距离机械手11的间距进行调节。
调节装置，安装在清水槽1的内壁位置上，为了实现对机械手11的全方位进行刷洗，在清水槽1内的两侧内壁均固定安装竖向导轨2，为了进行自动调节作用，在竖向导轨2的内壁通过轴承固定安装升降丝杆21，为了驱动升降丝杆21的转动，在竖向导轨2的下表面固定安装升降电机22，升降电机22的输出轴一端与升降丝杆21固定安装控制升降丝杆21转动，为了对升降电机22起到密封作用，在升降电机22的外表面固定安装防水机壳，对升降电机22起到保护作用。
进一步地，为了带动环形清洗装置能够进行伸缩，便于机械手11的下降，在升降丝杆21的外表面螺纹连接矩形环23，然后矩形环23的外表面与竖向导轨2的内壁滑动插接进行限位，为了自动进行调节环形清洗装置的位置，在矩形环23的内壁固定安装移动电机24，然后移动电机24的输出轴一端固定安装移动丝杆25用来精准调节环形清洗装置的位置，移动丝杆25的另一端与矩形环23的一端通过轴承固定安装。
如图6-7所示，为了对机械手11的夹爪竖直方向实现全方位的清洗，在移动丝杆25上设置用于竖直方向的环形动态清洗的环形清洗装置，环形清洗装置围绕着机械手11的夹爪竖直方向旋转进行冲刷工作。
具体的，环形清洗装置包括驱动机构和清洗机构，驱动机构驱动清洗机构进行环形转动，清洗机构对机械手11的外表面进行动态环形清洗工作。
驱动机构，安装在移动丝杆25的外表面，为了驱动清洗机构进行旋转清洗工作，在移动丝杆25的外表面螺纹连接水平横管3，为了对水平横管3限位，水平横管3的两端与矩形环23的两侧滑动插接，为了带动多个清洗机构进行同步的转动，在水平横管3的两端内壁均固定安装驱动电机31，然后驱动电机31的输出轴一端固定安装蜗杆32，蜗杆32的一端与水平横管3的内壁通过轴承固定安装。
进一步地，为了将蜗杆32的旋转力传递，在水平横管3的外侧面固定连通延伸壳体33，然后延伸壳体33的内底壁通过轴承固定安装蜗轮34，蜗轮34的外表面与蜗杆32的外表面啮合。
为了实现为了机械手11的连接杆进行环形动态的洗刷，清洗机构包括环形毛刷42以及缺口环形齿轮41，清洗机构位于水平横管3的外表面，缺口环形齿轮41带动环形毛刷42围绕机械手11的一端外表面转动后对机械手11的外表面进行摩擦，现有的机械手11清洗方式是从侧面向机械手11喷洒水流，配合超声波后实现清洗，这样清洗无法对机械手11外表面附着的化学试剂溶液完全进行清洗，造成死角会有残留，为此，设置了清洗机构来解决这一技术问题。
具体的，为了对缺口环形齿轮41进行限位，在水平横管3的外侧面固定安装呈矩形阵列分布的环形限位凹块4，环形限位凹块4的数量与机械手11上夹爪竖向连接杆的数量对应，然后将环形限位凹块4的内壁与缺口环形齿轮41的外表面转动连接，为了带动环形毛刷42转动，将缺口环形齿轮41的内壁与环形毛刷42的外表面固定安装。
进一步地，为了驱动缺口环形齿轮41的转动，将蜗轮34的上表面通过连接轴固定安装传递齿轮43，然后传递齿轮43的外表面与缺口环形齿轮41的外表面啮合用来驱动环形毛刷42的绕着机械手11的连接杆外表面转动。
如图8-11所示，为了对机械手11的夹爪外表面进行全方位的清洗，直线清洗装置包括用于清洗的滚刷57以及双轴电机52，直线清洗装置位于清水槽1的内部，双轴电机52带动滚刷57转动的同时进行水平移动对机械手11的外表进行洗刷，现有的机械手11清洗保持不同，水流的冲洗无法对机械手11的夹爪死角或者附着的清洗化学试剂溶液进行有效的清洗，为此，设置直线清洗装置来解决这一技术问题。
具体的，直线清洗装置中通过滚刷57在双轴电机52的驱动下转动，对机械手11的夹爪外表面转动的同时沿着水平方向进行移动，对机械手11的夹爪外表面进行洗刷。
为了支撑双轴电机52，在清水槽1的内壁固定安装支撑块5，然后支撑块5的两侧均开设装置槽51，为了对双轴电机52进行限位，装置槽51的内底壁与双轴电机52通过滑轨滑动插接，为了驱动双轴电机52的移动，将双轴电机52的一端输出轴固定安装驱动齿轮53，然后装置槽51的内壁固定安装齿条54，将驱动齿轮53的外表面与齿条54的外表面啮合用来在驱动齿轮53转动的同时能够在齿条54上延伸水平方向带动双轴电机52移动。
为了带动多个滚刷57进行同步转动，将双轴电机52的另一端输送轴通过轴承固定安装转盘55，为了防止转盘55随着双轴电机52的转动而转动，将转盘55的外表面通过连接板与双轴电机52的外表面固定安装，为了带动多个滚刷57的转动，将转盘55的内壁通过轴承固定安装齿轮组56，齿轮组56的中间齿轮内壁与双轴电机52的输出轴一端固定安装用来驱动齿轮组56中的齿轮转动，将齿轮组56的三个齿轮内壁分别与多个滚刷57的一端固定安装用来对机械手11的夹爪外表面进行洗刷。
为了对机械手11进行冲洗，在支撑块5的两端均通过凹槽固定安装喷淋管道14，喷淋管道14的一端与清水槽1的外表面固定安装，喷淋管道14上的喷头呈向下倾斜形状，倾斜角度为15º-60º之间，加大水流与机械手11的接触面积。
工作原理：将机械手11移动后，通过盖体12上的定位口13插接进入清水槽1内，控制两侧的矩形环23下表面的移动电机24启动，移动电机24带动移动丝杆25转动，移动丝杆25带动水平横管3向机械手11方向移动，使得环形毛刷42套在机械手11的夹爪竖向方向上，升降槽体内的升降丝杆21通过升降电机22的控制下进行转动，带动矩形环23向下移动，同时水平横管3内的驱动电机31带动与之固定安装的蜗杆32转动，蜗杆32的转动通过延伸壳体33内的蜗轮34传递，带动传递齿轮43进行转动，传递齿轮43带动环形限位凹块4内的缺口环形齿轮41转动，带动环形毛刷42对内部插接的机械手11进行洗刷，环形毛刷42转动的同时能够进行升降。
同时支撑块5上的装置槽51内的双轴电机52启动，带动驱动齿轮53在齿条54上转动的同时进行水平移动，双轴电机52的另一个输送轴的转动带动转盘55内的齿轮组56传动，带动滚刷57转动，对机械手11的外表面进行洗刷，通过喷淋管道14喷射清洗液或者水对机械手11进行冲洗。
实施例二
参照图1-13，一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，包括清水槽1和机械手11，机械手11设置在清水槽1的一侧，机械手11是通过连接杆与夹爪进行连接，还包括安装在清水槽1上的盖体12、调节装置、环形清洗装置以及直线清洗装置。
如图1-2所示，盖体12固定安装在清水槽1的上表面，盖体12的上表面开设有定位口13。
如图3-5所示，调节装置，调节装置设置在清水槽1的两侧内壁，并对环形清洗装置的高度与距离机械手11的间距进行调节。
调节装置，安装在清水槽1的内壁位置上，为了实现对机械手11的全方位进行刷洗，在清水槽1内的两侧内壁均固定安装竖向导轨2，为了进行自动调节作用，在竖向导轨2的内壁通过轴承固定安装升降丝杆21，为了驱动升降丝杆21的转动，在竖向导轨2的下表面固定安装升降电机22，升降电机22的输出轴一端与升降丝杆21固定安装控制升降丝杆21转动，为了对升降电机22起到密封作用，在升降电机22的外表面固定安装防水机壳，对升降电机22起到保护作用。
进一步地，为了带动环形清洗装置能够进行伸缩，便于机械手11的下降，在升降丝杆21的外表面螺纹连接矩形环23，然后矩形环23的外表面与竖向导轨2的内壁滑动插接进行限位，为了自动进行调节环形清洗装置的位置，在矩形环23的内壁固定安装移动电机24，然后移动电机24的输出轴一端固定安装移动丝杆25用来精准调节环形清洗装置的位置，移动丝杆25的另一端与矩形环23的一端通过轴承固定安装。
如图6-7所示，为了对机械手11的夹爪竖直方向实现全方位的清洗，在移动丝杆25上设置用于竖直方向的环形动态清洗的环形清洗装置，环形清洗装置围绕着机械手11的夹爪竖直方向旋转进行冲刷工作。
具体的，环形清洗装置包括驱动机构和清洗机构，驱动机构驱动清洗机构进行环形转动，清洗机构对机械手11的外表面进行动态环形清洗工作。
驱动机构，安装在移动丝杆25的外表面，为了驱动清洗机构进行旋转清洗工作，在移动丝杆25的外表面螺纹连接水平横管3，为了对水平横管3限位，水平横管3的两端与矩形环23的两侧滑动插接，为了带动多个清洗机构进行同步的转动，在水平横管3的两端内壁均固定安装驱动电机31，然后驱动电机31的输出轴一端固定安装蜗杆32，蜗杆32的一端与水平横管3的内壁通过轴承固定安装。
进一步地，为了将蜗杆32的旋转力传递，在水平横管3的外侧面固定连通延伸壳体33，然后延伸壳体33的内底壁通过轴承固定安装蜗轮34，蜗轮34的外表面与蜗杆32的外表面啮合。
为了实现为了机械手11的连接杆进行环形动态的洗刷，清洗机构包括环形毛刷42以及缺口环形齿轮41，清洗机构位于水平横管3的外表面，缺口环形齿轮41带动环形毛刷42围绕机械手11的一端外表面转动后对机械手11的外表面进行摩擦，现有的机械手11清洗方式是从侧面向机械手11喷洒水流，配合超声波后实现清洗，这样清洗无法对机械手11外表面附着的化学试剂溶液完全进行清洗，造成死角会有残留，为此，设置了清洗机构来解决这一技术问题。
具体的，为了对缺口环形齿轮41进行限位，在水平横管3的外侧面固定安装呈矩形阵列分布的环形限位凹块4，环形限位凹块4的数量与机械手11上夹爪竖向连接杆的数量对应，然后将环形限位凹块4的内壁与缺口环形齿轮41的外表面转动连接，为了带动环形毛刷42转动，将缺口环形齿轮41的内壁与环形毛刷42的外表面固定安装。
进一步地，为了驱动缺口环形齿轮41的转动，将蜗轮34的上表面通过连接轴固定安装传递齿轮43，然后传递齿轮43的外表面与缺口环形齿轮41的外表面啮合用来驱动环形毛刷42的绕着机械手11的连接杆外表面转动。
如图8-13所示，为了对机械手11的夹爪外表面进行全方位的清洗，直线清洗装置包括用于清洗的滚刷57以及双轴电机52，直线清洗装置位于清水槽1的内部，双轴电机52带动滚刷57转动的同时进行水平移动对机械手11的外表进行洗刷，现有的机械手11清洗保持不同，水流的冲洗无法对机械手11的夹爪死角或者附着的清洗化学试剂溶液进行有效的清洗，为此，设置直线清洗装置来解决这一技术问题。
具体的，直线清洗装置中通过滚刷57在双轴电机52的驱动下转动，对机械手11的夹爪外表面转动的同时沿着水平方向进行移动，对机械手11的夹爪外表面进行洗刷。
为了支撑双轴电机52，在清水槽1的内壁固定安装支撑块5，然后支撑块5的两侧均开设装置槽51，为了对双轴电机52进行限位，装置槽51的内底壁与双轴电机52通过滑轨滑动插接，为了驱动双轴电机52的移动，将双轴电机52的一端输出轴固定安装驱动齿轮53，然后装置槽51的内壁固定安装齿条54，将驱动齿轮53的外表面与齿条54的外表面啮合用来在驱动齿轮53转动的同时能够在齿条54上延伸水平方向带动双轴电机52移动。
为了带动多个滚刷57进行同步转动，将双轴电机52的另一端输送轴通过轴承固定安装转盘55，为了防止转盘55随着双轴电机52的转动而转动，将转盘55的外表面通过连接板与双轴电机52的外表面固定安装，为了带动多个滚刷57的转动，将转盘55的内壁通过轴承固定安装齿轮组56，齿轮组56的中间齿轮内壁与双轴电机52的输出轴一端固定安装用来驱动齿轮组56中的齿轮转动，为了对机械手11 的夹爪外表面进行全方位的清洗，将齿轮组56的三个齿轮内壁分别与多个滚刷57的一端固定安装，然后在转盘55的外表面固定安装连接箱体58，连接箱体的内壁通过轴承与另一个滚刷固定安装，位于转盘55下方的滚刷57通过锥齿轮组驱动连接箱体58上的滚刷转动，其中锥齿轮组是由两个啮合的锥齿轮构成，两个锥齿轮分别与连接箱体58上的滚刷57和转盘55下方的滚刷57固定安装，从而实现对机械手11的夹爪全方位接触洗刷。
为了对机械手11进行冲洗，在支撑块5的两端均通过凹槽固定安装喷淋管道14，喷淋管道14的一端与清水槽1的外表面固定安装，喷淋管道14上的喷头呈向下倾斜形状，倾斜角度为15º-60º之间，加大水流与机械手11的接触面积。
工作原理：将机械手11移动后，通过盖体12上的定位口13插接进入清水槽1内，控制两侧的矩形环23下表面的移动电机24启动，移动电机24带动移动丝杆25转动，移动丝杆25带动水平横管3向机械手11方向移动，使得环形毛刷42套在机械手11的夹爪竖向方向上，升降槽体内的升降丝杆21通过升降电机22的控制下进行转动，带动矩形环23向下移动，同时水平横管3内的驱动电机31带动与之固定安装的蜗杆32转动，蜗杆32的转动通过延伸壳体33内的蜗轮34传递，带动传递齿轮43进行转动，传递齿轮43带动环形限位凹块4内的缺口环形齿轮41转动，带动环形毛刷42对内部插接的机械手11进行洗刷，环形毛刷42转动的同时能够进行升降。
同时支撑块5上的装置槽51内的双轴电机52启动，带动驱动齿轮53在齿条54上转动的同时进行水平移动，双轴电机52的另一个输送轴的转动带动转盘55内的齿轮组56传动，齿轮组56带动其固定安装的滚刷57转动，对机械手11的夹爪内侧面、上表面和下表面进行冲刷，位于下方的滚刷57转动通过锥齿轮组的传递驱动连接箱体58上的滚刷57转动，对机械手11的夹爪的外侧面进行洗刷，通过喷淋管道14喷射清洗液或者水对机械手11进行冲洗。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，包括清水槽（1）和机械手（11），所述机械手（11）设置在所述清水槽（1）的一侧；
其特征在于：还包括安装在所述清水槽（1）上的盖体（12）、调节装置、环形清洗装置以及直线清洗装置；
所述盖体（12）固定安装在所述清水槽（1）的上表面，所述盖体（12）的上表面开设有定位口（13）；
调节装置，所述调节装置设置在所述清水槽（1）的两侧内壁，并对环形清洗装置的水平方向以及竖直方向上实现移动调节动作；
环形清洗装置，所述环形清洗装置位于所述调节装置的外表面，所述环形清洗装置包括驱动机构和清洗机构，所述驱动机构驱动所述清洗机构进行环形转动；
所述清洗机构包括环形毛刷（42）以及缺口环形齿轮（41），所述驱动机构驱动所述缺口环形齿轮（41）圆周转动后，带动所述环形毛刷（42）围绕所述机械手（11）的一端外表面实现竖直方向上的转动洗刷动作；
直线清洗装置，所述直线清洗装置包括用于清洗的滚刷（57）以及双轴电机（52），所述直线清洗装置位于所述清水槽（1）的内部，所述双轴电机（52）带动所述滚刷（57）转动的同时，实现对所述机械手（11）的外表面进行水平方向上的洗刷动作。
2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，其特征在于：所述调节装置包括竖向导轨（2），两个所述竖向导轨（2）的外表面分别与所述清水槽（1）的两侧内壁固定安装，所述竖向导轨（2）的内壁通过轴承固定安装有升降丝杆（21），所述竖向导轨（2）的下表面固定安装有升降电机（22），所述升降电机（22）的输出轴一端与所述升降丝杆（21）固定安装控制所述升降丝杆（21）转动。
3.根据权利要求2所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，其特征在于：所述升降丝杆（21）的外表面螺纹连接有矩形环（23），所述矩形环（23）的外表面与所述竖向导轨（2）的内壁滑动插接，所述矩形环（23）的内壁固定安装有移动电机（24），所述移动电机（24）的输出轴一端固定安装有移动丝杆（25），所述移动丝杆（25）的另一端与所述矩形环（23）的一端通过轴承固定安装。
4.根据权利要求3所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，其特征在于：所述驱动机构包括水平横管（3），所述水平横管（3）的中心内部与所述移动丝杆（25）的外表面螺纹连接，所述水平横管（3）的两端与所述矩形环（23）的两侧滑动插接，所述水平横管（3）的两端内壁均固定安装有驱动电机（31），所述驱动电机（31）的输出轴一端固定安装有蜗杆（32），所述蜗杆（32）的一端与所述水平横管（3）的内壁通过轴承固定安装。
5.根据权利要求4所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，其特征在于：所述水平横管（3）的外侧面固定连通有延伸壳体（33），所述延伸壳体（33）的内底壁通过轴承固定安装有蜗轮（34），所述蜗轮（34）的外表面与所述蜗杆（32）的外表面啮合。
6.根据权利要求4所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，其特征在于：所述清洗机构包括环形限位凹块（4），所述环形限位凹块（4）的外表面与所述水平横管（3）的外表面固定安装，所述环形限位凹块（4）的内壁与所述缺口环形齿轮（41）的外表面转动连接，所述缺口环形齿轮（41）的内壁与所述环形毛刷（42）的外表面固定安装。
7.根据权利要求5所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，其特征在于：所述蜗轮（34）的上表面通过连接轴固定安装有传递齿轮（43），所述传递齿轮（43）的外表面与所述缺口环形齿轮（41）的外表面啮合。
8.根据权利要求1所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，其特征在于：所述直线清洗装置还包括支撑块（5），所述支撑块（5）的两侧均开设有装置槽（51），所述装置槽（51）的内底壁与所述双轴电机（52）的下表面通过滑轨滑动插接，所述双轴电机（52）的一端输出轴固定安装有驱动齿轮（53），所述装置槽（51）的内壁固定安装有齿条（54），所述驱动齿轮（53）的外表面与所述齿条（54）的外表面啮合。
9.根据权利要求1所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，其特征在于：所述双轴电机（52）的另一端输送轴通过轴承固定安装有转盘（55），所述转盘（55）的外表面通过连接板与所述双轴电机（52）的外表面固定安装，所述转盘（55）的内壁通过轴承固定安装有齿轮组（56），所述齿轮组（56）的中间齿轮内壁与所述双轴电机（52）的输出轴一端固定安装，所述齿轮组（56）的三个齿轮内壁分别与多个所述滚刷（57）的一端固定安装。
10.根据权利要求8所述的一种适用于半导体晶圆槽式清洗机械手的清洗槽，其特征在于：所述支撑块（5）的两端均通过凹槽固定安装有喷淋管道（14），所述喷淋管道（14）的一端与所述清水槽（1）的外表面固定安装。
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115518933A (zh) * | 2022-05-05 | 2022-12-27 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种具有监测功能的晶圆清洗设备 |
| CN116372900A (zh) * | 2023-06-07 | 2023-07-04 | 深圳市腾阁机电实业有限公司 | 一种五金零件加工用机械手臂 |
| CN118143003A (zh) * | 2024-05-10 | 2024-06-07 | 苏州智程半导体科技股份有限公司 | 一种晶圆间距可调式清洗机用清洗槽 |
| CN118143003B (zh) * | 2024-05-10 | 2024-07-09 | 苏州智程半导体科技股份有限公司 | 一种晶圆间距可调式清洗机用清洗槽 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103567194A (zh) * | 2012-07-18 | 2014-02-12 | 上海广茂达光艺科技股份有限公司 | 用于明渠的紫外消毒设备套管的清洗装置 |
| CN106078767A (zh) * | 2016-08-23 | 2016-11-09 | 无锡市湖昌机械制造有限公司 | 清洗机械手设备 |
| CN107262449A (zh) * | 2017-05-10 | 2017-10-20 | 中国核电工程有限公司 | 机械手清洗设备 |
| CN211660588U (zh) * | 2019-12-30 | 2020-10-13 | 常州工学院 | 一种工业机械自动化清洗装置 |
| CN215696392U (zh) * | 2021-07-07 | 2022-02-01 | 深圳市波斯曼技术有限公司 | 机车电器屏柜除尘机械手自动设备 |
-
2022
- 2022-03-29 CN CN202210317154.8A patent/CN114405892B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103567194A (zh) * | 2012-07-18 | 2014-02-12 | 上海广茂达光艺科技股份有限公司 | 用于明渠的紫外消毒设备套管的清洗装置 |
| CN106078767A (zh) * | 2016-08-23 | 2016-11-09 | 无锡市湖昌机械制造有限公司 | 清洗机械手设备 |
| CN107262449A (zh) * | 2017-05-10 | 2017-10-20 | 中国核电工程有限公司 | 机械手清洗设备 |
| CN211660588U (zh) * | 2019-12-30 | 2020-10-13 | 常州工学院 | 一种工业机械自动化清洗装置 |
| CN215696392U (zh) * | 2021-07-07 | 2022-02-01 | 深圳市波斯曼技术有限公司 | 机车电器屏柜除尘机械手自动设备 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115518933A (zh) * | 2022-05-05 | 2022-12-27 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种具有监测功能的晶圆清洗设备 |
| CN115518933B (zh) * | 2022-05-05 | 2023-09-19 | 苏州智程半导体科技股份有限公司 | 一种具有监测功能的晶圆清洗设备 |
| CN116372900A (zh) * | 2023-06-07 | 2023-07-04 | 深圳市腾阁机电实业有限公司 | 一种五金零件加工用机械手臂 |
| CN116372900B (zh) * | 2023-06-07 | 2023-08-15 | 深圳市腾阁机电实业有限公司 | 一种五金零件加工用机械手臂 |
| CN118143003A (zh) * | 2024-05-10 | 2024-06-07 | 苏州智程半导体科技股份有限公司 | 一种晶圆间距可调式清洗机用清洗槽 |
| CN118143003B (zh) * | 2024-05-10 | 2024-07-09 | 苏州智程半导体科技股份有限公司 | 一种晶圆间距可调式清洗机用清洗槽 |
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