CN220406440U - 一种晶圆清洗用的喷射机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆清洗用的喷射机构，涉及晶圆清洗领域，包括放置盘，所述放置盘的外部安装有升降挡板，所述升降挡板用于防止清洗过程中清洗液飞溅，所述放置盘的另一侧安装有为水管提供支撑的安装架，所述水管用于为喷头输送清洗液，所述喷头用于对清洗液的喷出提供导向，分布在水管、喷头上的传动机构，所述传动机构用于为喷头的摆动提供动力；所述传动机构包括传动单元、动力单元。本实用新型通过设置传动机构，对晶圆进行清洗的过程中，管道内的清洗液进入喷头内的过程中，清洗液喷出产生的水压将通过传动机构带动喷头摆动，从而增加喷头的喷洒范围，更加均匀的对晶圆外表面进行覆盖，提高清洗效率，且进一步提高清洗质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆清洗领域，具体是一种晶圆清洗用的喷射机构。
背景技术
晶圆清洗，将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺，是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。
现有的晶圆清洗装置在使用时，一般将晶圆放置在用于清洗的容纳盒内托盘上，通过限位托盘转动带动晶圆转动，通过喷头喷出清洗液，水流作用在转动中的晶圆上，从而对晶圆清洗时能达到全方位清洁，而晶圆位置固定，当晶圆规格较大时，管道的清洗液不能很好的均匀作用在晶圆上，从而降低了清洗质量，因此本实用新型提出了一种晶圆清洗用的喷射机构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于：为了解决上述背景技术中提出的问题，提供一种晶圆清洗用的喷射机构。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆清洗用的喷射机构，包括放置盘，所述放置盘的外部安装有升降挡板，所述升降挡板用于防止清洗过程中清洗液飞溅，所述放置盘的另一侧安装有为水管提供支撑的安装架，所述水管用于为喷头输送清洗液，所述喷头用于对清洗液的喷出提供导向，分布在水管、喷头上的传动机构，所述传动机构用于为喷头的摆动提供动力；
所述传动机构包括传动单元、动力单元；
所述动力单元用于为传动单元的转动提供动力；
所述传动单元用于带动喷头摆动，增加喷头的喷洒范围。
作为本实用新型再进一步的方案：所述传动单元包括连接杆、支撑杆、第一直齿轮、第二直齿轮、第三直齿轮；
所述支撑杆连接在水管、喷头的一侧外壁，所述支撑杆用于为喷头的转动提供支撑；
所述连接杆固定在水管的外壁，所述连接杆的一端转动连接有第一直齿轮，所述第一直齿轮的一端延伸至喷头的内部，所述第一直齿轮的横杆外壁与喷头接触位置通过轴承转动接触；
所述第二直齿轮转动连接在喷头的外壁，所述第二直齿轮的外壁齿块与第一直齿轮的齿块部相啮合；
所述第三直齿轮固定在喷头的外壁，所述第三直齿轮的内侧齿块与第二直齿轮的外壁齿块相啮合。
作为本实用新型再进一步的方案：所述动力单元包括连接板、连接块；
所述连接板安装在第一直齿轮的横杆部，所述连接板位于喷头的内部，所述连接板正上方为连接块的出水口；
所述连接块设置在水管、喷头的连接处，用于为喷头的摆动提供支撑。
作为本实用新型再进一步的方案：所述连接块的出水口呈倾斜状态，用于控制连接板的转动方向。
作为本实用新型再进一步的方案：所述连接板的数量设置有三个，三个所述连接板周向分布在第一直齿轮的横杆外壁。
作为本实用新型再进一步的方案：所述第一直齿轮外壁齿轮部齿块呈一百八十度分布在第一直齿轮的横杆部外壁。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
通过设置传动机构，对晶圆进行清洗的过程中，管道内的清洗液进入喷头内的过程中，清洗液喷出产生的水压将通过传动机构带动喷头摆动，从而增加喷头的喷洒范围，更加均匀的对晶圆外表面进行覆盖，提高清洗效率，且进一步提高清洗质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的喷头的内部结构示意图；
图3为本实用新型的直齿轮的分布结构示意图。
图中：1、放置盘；2、升降挡板；3、安装架；4、水管；5、喷头；6、传动机构；601、连接杆；602、第一直齿轮；603、第二直齿轮；604、第三直齿轮；605、连接板；606、连接块；607、支撑杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图3，本实用新型实施例中，一种晶圆清洗用的喷射机构，包括放置盘1，放置盘1的外部安装有升降挡板2，升降挡板2用于防止清洗过程中清洗液飞溅，放置盘1的另一侧安装有为水管4提供支撑的安装架3，水管4用于为喷头5输送清洗液，喷头5用于对清洗液的喷出提供导向，分布在水管4、喷头5上的传动机构6，传动机构6用于为喷头5的摆动提供动力；
传动机构6包括传动单元、动力单元；
动力单元用于为传动单元的转动提供动力；
传动单元用于带动喷头5摆动，增加喷头5的喷洒范围；
传动单元包括连接杆601、支撑杆607、第一直齿轮602、第二直齿轮603、第三直齿轮604；
支撑杆607连接在水管4、喷头5的一侧外壁，支撑杆607用于为喷头5的转动提供支撑；
连接杆601固定在水管4的外壁，连接杆601的一端转动连接有第一直齿轮602，第一直齿轮602的一端延伸至喷头5的内部，第一直齿轮602的横杆外壁与喷头5接触位置通过轴承转动接触；
第二直齿轮603转动连接在喷头5的外壁，第二直齿轮603的外壁齿块与第一直齿轮602的齿块部相啮合；
第三直齿轮604固定在喷头5的外壁，第三直齿轮604的内侧齿块与第二直齿轮603的外壁齿块相啮合；
动力单元包括连接板605、连接块606;
连接板605安装在第一直齿轮602的横杆部，连接板605位于喷头5的内部，连接板605正上方为连接块606的出水口；
连接块606设置在水管4、喷头5的连接处，用于为喷头5的摆动提供支撑。
在本实施例中：使用此装置时，通过将晶圆置于放置盘1的上方，通过安装架3将清洗液输送至水管4，进入水管4的清洗液产生的水压将通过连接块606先与连接板605接触，由于连接块606的出水口呈倾斜状态，所以水压将作用在一个偏移喷头5轴心的连接板605外壁，推动连接板605转动，转动的连接板605带动第一直齿轮602的横杆同步转动，第一直齿轮602的横杆转动带动其外壁的齿块部转动，齿块部转动给予第二直齿轮603推力，第二直齿轮603转动带动第三直齿轮604转动，第三直齿轮604将转动推力传递给喷头5，喷头5以支撑杆607的连接处为轴心转动，直到第一直齿轮602的齿块部最后一个齿块与第二直齿轮603外壁齿块啮合完成，不再与第二直齿轮603外壁齿块啮合，那么第二直齿轮603失去支撑，而第三直齿轮604、喷头5也将在喷头5的自重下复位，使喷头5摆动至最高点向最低点复位，增加喷头5的喷洒角度，进一步提高清洗效率，需要说明的是，支撑杆607的外壁设有对喷头5的转动角度进行的卡块。
请着重参阅图1-图3，连接块606的出水口呈倾斜状态，用于控制连接板605的转动方向，连接板605的数量设置有三个，三个连接板605周向分布在第一直齿轮602的横杆外壁，第一直齿轮602外壁齿轮部齿块呈一百八十度分布在第一直齿轮602的横杆部外壁。
在本实施例中：通过此结构在多个连接板605的作用下，使水压始终为连接板605、第一直齿轮602的转动提供动力，以此往复，完成对喷头5的间歇性摆动操作。
以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种晶圆清洗用的喷射机构，包括放置盘（1），所述放置盘（1）的外部安装有升降挡板（2），所述升降挡板（2）用于防止清洗过程中清洗液飞溅，所述放置盘（1）的另一侧安装有为水管（4）提供支撑的安装架（3），所述水管（4）用于为喷头（5）输送清洗液，所述喷头（5）用于对清洗液的喷出提供导向，其特征在于，分布在水管（4）、喷头（5）上的传动机构（6），所述传动机构（6）用于为喷头（5）的摆动提供动力；
所述传动机构（6）包括传动单元、动力单元；
所述动力单元用于为传动单元的转动提供动力；
所述传动单元用于带动喷头（5）摆动，增加喷头（5）的喷洒范围。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用的喷射机构，其特征在于，所述传动单元包括连接杆（601）、支撑杆（607）、第一直齿轮（602）、第二直齿轮（603）、第三直齿轮（604）；
所述支撑杆（607）连接在水管（4）、喷头（5）的一侧外壁，所述支撑杆（607）用于为喷头（5）的转动提供支撑；
所述连接杆（601）固定在水管（4）的外壁，所述连接杆（601）的一端转动连接有第一直齿轮（602），所述第一直齿轮（602）的一端延伸至喷头（5）的内部，所述第一直齿轮（602）的横杆外壁与喷头（5）接触位置通过轴承转动接触；
所述第二直齿轮（603）转动连接在喷头（5）的外壁，所述第二直齿轮（603）的外壁齿块与第一直齿轮（602）的齿块部相啮合；
所述第三直齿轮（604）固定在喷头（5）的外壁，所述第三直齿轮（604）的内侧齿块与第二直齿轮（603）的外壁齿块相啮合。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用的喷射机构，其特征在于，所述动力单元包括连接板（605）、连接块（606）;
所述连接板（605）安装在第一直齿轮（602）的横杆部，所述连接板（605）位于喷头（5）的内部，所述连接板（605）正上方为连接块（606）的出水口；
所述连接块（606）设置在水管（4）、喷头（5）的连接处，用于为喷头（5）的摆动提供支撑。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗用的喷射机构，其特征在于，所述连接块（606）的出水口呈倾斜状态，用于控制连接板（605）的转动方向。
5.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗用的喷射机构，其特征在于，所述连接板（605）的数量设置有三个，三个所述连接板（605）周向分布在第一直齿轮（602）的横杆外壁。
6.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗用的喷射机构，其特征在于，所述第一直齿轮（602）外壁齿轮部齿块呈一百八十度分布在第一直齿轮（602）的横杆部外壁。
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